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测量系统(MSY.0001 v1.1) A!x &,< mOn_#2=KF 应用示例简述 1d]F$> !@8i(!xb 1. 系统说明 }shxEsq l&qCgw 光源 ZCPUNtOl — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) Dpw*m.f 元件 Cg]),S — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 }P
fAf 探测器 8SKrpwy — 干涉条纹 0C/ZcfFU~ 建模/设计 "W(Ae="60 — 光线追迹:初始系统概览 BU/A\4xQ,Y — 几何场追迹加(GFT+): %sr- xE 计算干涉条纹。 qclc--fsE 分析对齐误差的影响。 wAprksZL# `**{a/3 2. 系统说明 Z}dK6h5+' Ls9NQy 参考光路 NSB6 2  SXOAa<u5 3. 建模/设计结果 Nq6'7'x i!?gga m3lz#Pm'0 4. 总结 jBw)8~tYm mSxn7LG 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 6-
i.*!I 8 )P:^A9&_n= 1. 仿真 UDg's 以光线追迹对干涉仪的仿真。 1w^wa_qx 2. 计算 rXX>I;`& 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 V >' 3. 研究 lZcNio 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ;X,u &P|[YP37_ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 E
s5:S# }bjZeh. 应用示例详细内容 {G:y?q'z 系统参数 YS9RfK/ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 `NsjtT'_ D%YgS$p[M$ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 .Q*X5Fc uPA
(1 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 oY18a*_>M1 |:=o\eu& 2. 说明:光源 J/?Nf2L4 ~y!'\d>q< ;"wCBuXcu 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 c0@8KW[, 因此,相干长度大于1m ~.m<`~u 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 ;hX( /T 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 v~P,OP("c fSuykbZ
.gRj^pu
;!4gDvm 3. 说明:光源 5~JT*Ny (CmK>"C+ ATNOb 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 /fr> Fd 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 +T+@g8S 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 |@Tga_0p 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 LwH#|8F 4. 说明:光学元件 'x!\pE- p~qe/ i6`"e[aT[o 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 1sQIfX#2f 位相延迟平板材料为N-BK7。 !+T1kMP+l 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 BX@Iq 透镜材料为N-BK7。 NI >%v 其中心厚度与位相平板厚度相等。 RdTM5ANT a:h<M^n049 S(Yd.Sp 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 >gk_klLh :gh[BeqQ) [. 5m}V 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 /d8o*m'bu! 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 uepyH ff"wg\O4 6. 分光器的设置 A =Wg0eYy\ }SN( ^3N XIeLu"TSL >ZgzE 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 *T|B'80 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 )O]T}eI 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 Hcq.Lq;2: nM
)C^$3<t 7. 合束器的设置 VM"cpC_8 &NE e-cb[ /0h
*(nL kNEEu!G 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 b'H'QY
为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 -Mt
5< s RgE`H r 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 24mdhT| Ykbg5Z aER|5!7(2\ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 4`IM[DIG~ 应用示例详细内容 t8Zo9q> 仿真&结果 /HC:H,"i L[` l80 1. 结果:利用光线追迹分析 i=8iK#2 h v<qh;2 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 sGvbL-S-f: 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 qtGJJ#^, ;SR ESW 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 $Gn.G_"v pMc6p0 \INH[X#> 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 v\0 G`&^1 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 ,g`%+s7 u 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 ~}/Dl#9R! Pf?kNJ*Tv) 3. 对准误差的影响:元件倾斜 E-MPFL cPGlT" 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 +8=$-E= 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 p|4qkJK8 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 "q4tvcK. ,w
}Po 4. 对准误差的影响:元件平移 adON&< _B4&Fb. 元件移动影响的研究,如球面透镜。 T:|/ux3 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 ZO}Og&% 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 _`$LdqgE `sxfj)s @u3`lhUcT 5. 总结 Rd?}<L 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 1C[9}} 'nJF:+30ZH 4. 仿真 )n/%P4l 以光线追迹对干涉仪的仿真。 ;?6vKpj; WKf<%
E$ 5. 计算 od;-D~ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 K,f:X g!: mgxIxusR 6. 研究 JFq
wC=- 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 `h}eP[jA ?@V R%z 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 $o6/dEKQ $o"nTl 扩展阅读 ^}3^|jF x"W~m.y$h 1. 扩展阅读 ]]xKc5CT 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 8$Q`wRt(% ?M2(80 开始视频 WSThhI - 光路图介绍 BEZ~<E&0H - 参数运行介绍 !Jg;%%E3:i - 参数优化介绍 WlL(NrVA@@ 其他测量系统示例: `s}* - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) c=\tf~}^Ms ^Fk;t [ X*p
[ QQ:2987619807 Wj{lb_Rj
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