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测量系统(MSY.0001 v1.1) +;!w;t {VNeh 应用示例简述 ]yIy~V n9J>yud| 1. 系统说明 >u/yp[Ky B0KM~cCPQP 光源 `nM4kt7 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) hqds T 元件 *
;M?R?+ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 8n:D#`K 探测器 (gmB$pwS — 干涉条纹 mPD'" 建模/设计 r9t{/})A — 光线追迹:初始系统概览 _0f[.vN — 几何场追迹加(GFT+): ;C{_T:LS 计算干涉条纹。 N-Z 9
分析对齐误差的影响。 2kgm)-z .Lp-'!i 2. 系统说明 'H9~rq7 g Q9ff, 参考光路 8&;dR  T*ic?! 3. 建模/设计结果 8xv\Zj + JQ1VCG POG5x 4. 总结 >mV""?r] 8`~]9ej 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 [5 V l^"G \ZVI 1. 仿真 p4Y9$(X 以光线追迹对干涉仪的仿真。 W!(Q_B 2. 计算 a&[n Vu+ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 gi6_la+ 3. 研究 +vnaEy 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 =e+go
]87x \'KzSkC8 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ? c+; Cf N; ` 应用示例详细内容 F)IP~BE-k 系统参数 y*D 8XI$ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 re!CF8
q RW)C<g 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ;@
e|}Gk 0#7dm9 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 -5[GX3h0 6\K)\ 2. 说明:光源 vK C>t95 <*+MBF 6xe
|L 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 O+N-x8W{ 因此,相干长度大于1m smU+:~ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 0{yx*}. 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 z|2liQrf+ x,%&[6(
%([c4el>\F iiTUhO ) 3. 说明:光源 &)l:m. ;'p'8lts 7`}z7nk 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 +\%zy= 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 V("1\ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 Ydx5kUJV< 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 p"@|2a 4. 说明:光学元件 0 *\=Q$Yy J.nq[/Q= q1y4B` 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 &; \v_5N6 位相延迟平板材料为N-BK7。 <B`V 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 hgK=fHJk 透镜材料为N-BK7。 Q6K)EwN 其中心厚度与位相平板厚度相等。 lNb\^b kR|y0V {K* d3GK.8y_z 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 lND[anB! +b+sQ<w?. Qx;A; n!lw 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 u*{ _WL[( 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 arZIe+KW !U_L7 6. 分光器的设置 %5%Wo(W' #A;Z4jK zwtsw [. {%{GZ 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 `Tj}4f 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 4:$>,D\ 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 DOe KW >U?Bka! 7. 合束器的设置 !Yu-a! 1 1CJT Gq/6{eRo\ .h,xBT`}Ji 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 9#ft;c 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 \aIy68rH, }eM<A$J 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 $0T"YC% &F_rg,q&_
c^s> 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 \F~Cbj+'Nu 应用示例详细内容 S:/RYT" 仿真&结果 Y)}%SP>, m7vxzC* 1. 结果:利用光线追迹分析 9
w1ONw8v _~Vz+nT 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 /T)n5X 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
'*u;:[73 ~+C?][T 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 V(LFH9.Mp MdZgS#` o'/C$E4W 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 $3[\:+ 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 PMs_K"-K 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 )C]&ui~1 Ch"8cl;Fm 3. 对准误差的影响:元件倾斜 JZ/O0PW [P=[hj; 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 2Fg t)`{! 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 (M,VwwN 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 ApYud?0b '<< ~wt 4. 对准误差的影响:元件平移 < iI6@X> yr2L 元件移动影响的研究,如球面透镜。 _/~ ,a 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 W#I:j: p 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 ,G|aLBn QM_X2Ho UvJuOh+ 5. 总结 #0hNk%X= 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 YQV?S D%UZ'bHN* 4. 仿真 X2dc\v.x 以光线追迹对干涉仪的仿真。 Wk#h,p3
G].__] 5. 计算 )9L pX 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 SiqX1P {lTxB'W@d 6. 研究 $KWYe{# 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 Qy5Os?9" 5%?b5(mnD 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 IAF;mv}' r p
@ 扩展阅读 B$TChc3B ?koxt44 1. 扩展阅读 {&=qM!2e 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 bLEATT[ 2k}-25xxL 开始视频 51G=RYay9 - 光路图介绍 Mp"'?zf - 参数运行介绍 \DU^idp# - 参数优化介绍 p&sK\ 其他测量系统示例: r}0C8(oq - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) .6ngo0<g mvq7G 4[#6<Ixf QQ:2987619807 =vr Y{5!>
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