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测量系统(MSY.0001 v1.1) 8Z3+S)6 >\DXA)nc 应用示例简述 V2/+SvB2 3UC8iq* 1. 系统说明 >^J!Z~;L) {OAy@6
+ 光源 n^Z?u9VR — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) c<&+[{| 元件 =As'vt
0 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 flLmZ1" 探测器 0^ (.(: — 干涉条纹 z5'VsK: 建模/设计 xC;$/u%' — 光线追迹:初始系统概览 Tao lX*$5 — 几何场追迹加(GFT+): )%j)*Ymz; 计算干涉条纹。 95]%j\ 分析对齐误差的影响。 ^\+6*YE 4 %\b5)p 2. 系统说明 %oor7 -l DBmcvC 参考光路 Fah}#,  b1*6) 3. 建模/设计结果 W)4xO>ck*3 LnJ7i"Q 3F.O0Vz 4. 总结 +V'r>C: }p- %~Y 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 SbI,9< p>}N9v;Bo 1. 仿真 qw, >~ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 kT$4X0} 2. 计算 *<0g/AL 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 8dZH&G@; 3. 研究 9hguC yr@h 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 VR:b1XWX 1$Hf`h2 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 pP/o2 dJ&s/Z/>E 应用示例详细内容 8 Zj>|u 系统参数 gRqz8UI 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ?=4t~\g? EEo+# 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 x<3vA|o l|up3A3) 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 & {/u>, :<(<tz7dj 2. 说明:光源 /6.b>|zF G?_,( 3}gK`1Nq1 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 k m|wB4 因此,相干长度大于1m `fV$'u 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 AdYQhF## 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 :|A db\b )I$Mh@F
X'F$K!o*,: {vH8X(m 3. 说明:光源 "nefRz%j+ )/pPY }wb;ulN) 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 DtN6.9H2` 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 E<4}mSn) 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 0zxeA+U 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 1&As:kv5I 4. 说明:光学元件 >k jJq]A2 {p\KB!Y- t8+93,*B 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 UmuFzw^ 位相延迟平板材料为N-BK7。 ,5?MRqCM 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 `j$d(+Gv
透镜材料为N-BK7。 .WPqK>79| 其中心厚度与位相平板厚度相等。 sg2C_]i,H _L72Ae(_ igL^k`&5^" 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 =>J#_Pprn |Wgab5D>V 7(;VUR%%. 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 <>oW f 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 Y|~>(
D-!%L<< 6. 分光器的设置 %G&v@R F&~vD el%Qxak`" )1,&YJM*6l 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 I$LO0avvH2 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 !;a<E: 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 5b'S~Qj#r$ m t^1[ 7. 合束器的设置 Uf<vw3 AVWrD[ wD2 iE`aGoA "lZ<bG
两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 n58jB:XR( 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 yw<xv-Q=i k#&SWp= 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 ~-%A@Lt tK
H!xit y<b0z\ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 -*2X YTe 应用示例详细内容 aB)DX 仿真&结果 A{%;Hd`0/ >>Di 1. 结果:利用光线追迹分析 Fm':sd)'X SI9hS4<j 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 <k6xScy$} 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 bYc qscW Se`N5hQ 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 z-G (!]: R.T-Pt ene i#=X#_
+El 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 J.l%HU 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 %5gJ6>@6Z 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 M(uB
;Te sD+G+ 3. 对准误差的影响:元件倾斜 uyj*v]AE' ~S!kn1&O 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 )}!'VIe^! 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 Uzn|)OfWP 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 !.$P`wKr +GU16+w~E 4. 对准误差的影响:元件平移 |plo65 l)s +"C# 元件移动影响的研究,如球面透镜。 u_8 22Z 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 oZ[ w 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 SGd.z6"H A#:
c *XOKH+_u 5. 总结 -RQQ|:O$ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 #UD ?/MXcI( 4. 仿真 )du{ZWr 以光线追迹对干涉仪的仿真。 Ue:T3jp3% U(4_X[qD 5. 计算 @|Bp'`j%J 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 FF~4y>R7u m0\}Cc 6. 研究 {~g 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 \#,#_ {VG[m@ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 2z# @:Q L.[uMuUa 扩展阅读 r.^X>? [#'_@zZz 1. 扩展阅读 )#~fS28j 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 $ow`)?sh M~F2cXW 开始视频 rxp9B>~ - 光路图介绍 'TsZuZW] - 参数运行介绍 F5[ITK]A4 - 参数优化介绍 Vzvw/17J 其他测量系统示例: < DZ76 - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) =w$"wzc gr{Sh`Cm- l]y%cJ~$'D QQ:2987619807 igj@{FN
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