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测量系统(MSY.0001 v1.1) MLr L"I" <vl(a*4a 应用示例简述 }F1Asn ScJ:F-@> 1. 系统说明 ( &m1* {W?!tD43" 光源 05ZYOs } — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) c+{XP&g8_J 元件 `_vPElQXZ# — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 _3
[E$Lg 探测器 ;s3@(OnjZ — 干涉条纹 7eq.UyUxs 建模/设计 yHM29fEZk — 光线追迹:初始系统概览 (NUXK — 几何场追迹加(GFT+): 7h9oY<W 计算干涉条纹。 [vtDtwL 分析对齐误差的影响。 #~j $J h`fZ8|yw 2. 系统说明 5%S5*c6BD {;bec%pq0 参考光路 j 1'H|4  'NWvQR<X 3. 建模/设计结果 lU|ltnU yzpa\[^ Rt%Dps% 4. 总结 %|@?)[; Q9y|1Wg1W 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 NO*~C',cI/ 9^SrOW6~ 1. 仿真 Ypm*or 以光线追迹对干涉仪的仿真。 JBQ>"X^ 2. 计算 Wm8BhO 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 'PMzm/;8st 3. 研究 w;VUP@Wm 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 fR.raI4et =uwG.,lC 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ^umHuAAE Zo-Au 应用示例详细内容 Kc9)Lzu+ 系统参数 FlS)m` 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 E3Z>R=s pfim*\' 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ~R|fdD/% 7.5\LTM>9e 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 YVHDk7s YVY(uq)d 2. 说明:光源 #l2WRw_t .hvn/5s _}Gs9sHr0K 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 YS"76FJ 因此,相干长度大于1m :?%_JM5U 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 `Geq, 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 u*;53 43 d@|j>Z
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{ `0ju=FP'u5 3. 说明:光源 XeBSHvO_ \No22Je6d J! eVw\6 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 C vTgtZ
' 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 9aqFdlbY 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 FH H2 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 `|JQ)!Agx 4. 说明:光学元件 ?yz} ~w%Z Bp Q^V`%+ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 y+iuA@WCv 位相延迟平板材料为N-BK7。 B<'V7#L_ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 w1A&p 透镜材料为N-BK7。
K[TMTn 其中心厚度与位相平板厚度相等。 =09j1:''<d OEGAwP?F d0Kg,HB 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 zT+yZA.L Zr2QeLQC( l 0b=;^6 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 +XRv
iHA` 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 { K0T%.G &(^>}&XS.< 6. 分光器的设置
vrW9<{ m~NWY$oI9[ 7erao- ;1OTK6 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 $X&OGTlw^ 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 LveqG 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 fW}H##b :~)Q] G1Nj 7. 合束器的设置 ;%z0iZmg #XY]@V\ J2[QHr&tn +[}]a3) 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 .y2<2eW 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 (&hX8 >%3c 1 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 u#UeJuO |95/'a* 'IW+"o 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 w./EJkKI 应用示例详细内容 `Zi #rr|)L 仿真&结果 OB^2NL~Q~ a!^wc, 1. 结果:利用光线追迹分析 H62*8y8 Pd;ClMa% 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 w+$gY?% 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 tB3CX\e z|?R=;,u` 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 y?@Y\ b <d5vVn 4K;j:ZJ"x 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 l?1!h2z% 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 d,+n,;6Cf 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 :d2u? +F XP^6*}H.* 3. 对准误差的影响:元件倾斜 "=n8PNV/
c 9f6TFdUi"y 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 k"7eHSy, 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 jrl6):x 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 )|a9Z~#x Mqtp}<*@- 4. 对准误差的影响:元件平移 jgo@~,5R 1;gSf.naG 元件移动影响的研究,如球面透镜。 #Fd([Zx#. 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 _Lb& 2PAG 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 .nH
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. `k|nf9_ 5. 总结 9|WWA%p 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 S+y2eP G ,;-*q}U 4. 仿真 U[D<%7f 以光线追迹对干涉仪的仿真。 5#o,]tP [;f"',)y, 5. 计算 W7o/
采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 FOA%(5$4 U.F65KaKF 6. 研究 *n'xS L 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 r?I(me, WLl9>v^1 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 )\;r
V'; DS2$ w9! 扩展阅读 cj#q7 !v L:P2 1. 扩展阅读 \IfgL$+ 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 %nh'F6bNgv $bosGG 开始视频 k >CtWV5B - 光路图介绍 fNJ;{ - 参数运行介绍 _64@zdL+ - 参数优化介绍 pb
Ie)nK 其他测量系统示例: $IT9@}*{ - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) i|^6s87"N2 vNSf:5H$ A%2}?Ds QQ:2987619807 AZy2Pu56
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