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测量系统(MSY.0001 v1.1) DP3PYJ%+B y *fDwd~ 应用示例简述 Ib+Y~
XYR Bs O+NP 1. 系统说明 6f\Lf?vF }Q=!Y>Tc 光源 R)mu2^ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 4iKgg[)7`= 元件 Y?(r3E^x — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 vSi.txV2 探测器 Q$="_y2cTA — 干涉条纹 QNpqdwu%h 建模/设计 (=* cK-3 — 光线追迹:初始系统概览 B2C$N0R# — 几何场追迹加(GFT+): =Ur}~w&H8 计算干涉条纹。 mg*qiScfW 分析对齐误差的影响。 /f|X(docI Tl2C^j 2. 系统说明 P] UJ0b Mf&{7% 参考光路 0@H|n^Md# MLRK74D 3. 建模/设计结果 IW@PF7 G>1eFBh } Kfh| 4. 总结 o]; [R sB c
(gr 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 r[lF<2&*R o1FF"tLkN 1. 仿真 ?kB2iU_f+ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 \E%'Y 2. 计算 wnM9('\ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 DDPxmuNG 3. 研究 1n:8s'\ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 C4~;y hz }^/9G17 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 @8;W \L$~1 fO0XA"= 应用示例详细内容 ;9#Z@]p 系统参数 PDrZY.- 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ^OstR`U3 rzh#CnL3 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 Db;G@#x A7%:05 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 v(EEG/~ +(C6#R<LI 2. 说明:光源 .)<(Oj|4 8;Yx<woR HA2k[F@3^ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 kX>f^U{j 因此,相干长度大于1m 1#0{@35 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 \ aHVs 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 N(y\dL=v ]K/DY Do- Yx eOI#L Vzwc}k*Y 3. 说明:光源 $D}{]MN. "QWq_R d"6&AJ5a 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 F@<CsgKB- 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 {3.r6ZwCn 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 xv&Q+HD 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 op6CA "w 4. 说明:光学元件 8AnP7}n;?' [BT/~6ovrZ /ew
Ukc8, 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 -eN\ ! 位相延迟平板材料为N-BK7。 z&{5;A}Q@ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 8[J}CdS 透镜材料为N-BK7。 Dg}
Ka7H 其中心厚度与位相平板厚度相等。 p~9vP)74u 4Rvf C@bm 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 T`Mf]s)* k&.Jk
B" ^9ePfF)5 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 &&VqD
w 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 hb^7oq"a 9\]^|?zQ` 6. 分光器的设置 U)o$WH.b Qbyv{/ yRiP{$E .F(i/)vaq| 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 mGGsB5#w> 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 ##EYH1P] 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 E[bd@[N
8 ;Hj~n+ 7. 合束器的设置 ODC8D>ZYl tc!wLnhG FN%m0"/Z{t Ie4 hhW 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 [fKUyIY_ 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 +{L<? " W"k8KODOY 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 a\:VREKj, ,i,q!M{- &ZX{R#[L 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 rn=m\Gv
e 应用示例详细内容 '8T=~R6 仿真&结果 bLd#xXl LJ(1RK GCz 1. 结果:利用光线追迹分析 hweaGL t0 *L'>U[Pl7 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 /M*a,o 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 1s{^X
- Hw-Z 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 Iz{R}#8CZ (<Th=Fns? ;XDz)`c 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 Z t&6Ua[Y} 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 W!"}E%zx 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 S9>0t0 zWb4([P; 3. 对准误差的影响:元件倾斜 }oKG}wgY sqS=qC 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 B-T/V-c7 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 |-CnT:|o 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 ?l $Nf@- /g$G_} 4. 对准误差的影响:元件平移 CCX8>09 j$TwL; 元件移动影响的研究,如球面透镜。 v,\R,{0 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 8B#GbS
K 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 !QT'L,_ cn-
nj] ?"KC-u| 5. 总结 v
(2GX 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 s9>(Jzcf9 _` [h,= 4. 仿真 4j!]:ra 以光线追迹对干涉仪的仿真。 X2xuwA yj$TPe_BW 5. 计算 7]%Ypv$ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 Vm|Y$C d|*"IFe 6. 研究 Z-B%'/. 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ee/&/Gt 80$fG8 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 c. A|Ir )Y8",Ig 扩展阅读 XZ/[v8 @Kgl%[NmX 1. 扩展阅读 P@]8pIB0d^ 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 @y/wEBb eJo3 MK 开始视频 NKmoG\* - 光路图介绍 -.|4Y#b:& - 参数运行介绍 z 8*8OWM - 参数优化介绍 0K-*WQ*#9 其他测量系统示例: Z^9/v - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) }I!hOD>]O 0'r%,0 x#N-&baS QQ:2987619807 .Xdj(_&
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