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测量系统(MSY.0001 v1.1) [+_>g4M~% "8R
&c} 应用示例简述 bObsj] dI|D c 1. 系统说明 D^gS.X ^ %lD+57= 光源 }|%1LL^pB — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) Ra"hdxH 元件 C57m{RH — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 o{hX?,4i 探测器 Au6Y] — 干涉条纹 H~^)^6)^T 建模/设计 }V[ORGzox — 光线追迹:初始系统概览 `ZbFky{ — 几何场追迹加(GFT+): Ch\__t*v! 计算干涉条纹。 \2]_NU5. 分析对齐误差的影响。 ITg<u?z_ 0?}n( f!S 2. 系统说明 X`1R&K;z^ }=}wLm#&1 参考光路 4Us_Z{.  [(gXjt- 3. 建模/设计结果 ;s;3cC! ~>HzAo9e 0)M8Tm0$ 4. 总结 s<rV1D TkJ[N4'0 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 #?V rt,n [h8s0 1. 仿真 `<7!Rh,tS^ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 #q h
, 2. 计算 zgH(/@P 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ;1s+1G}_z 3. 研究 bK.*v4RG 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 1Qu@pb^ ^5.XQ0n 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 L SP p <N1wET- 应用示例详细内容 dFF=-_O> 系统参数 </WeB3#6 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ]8}51y8
?C#E_ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 N0.|Mb"?t DU0/if9. 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 Pc_aEBq tAF?.\x"g 2. 说明:光源 nYFrp)DLK 5nUJ9sqA pF4Z4?W 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 <S041KF.{6 因此,相干长度大于1m MUAs(M; 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 2ozh!8aL 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 Rd&DH_<+^ BBRL_6
;4[[T%&v Dlq!:dF{& 3. 说明:光源 n{FjFlX2= W3:Fw6v 2lCFE) 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 ~/]]H;;^u 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 o`,~#P| 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 0z8?6~M;< 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 oojl"j4
4. 说明:光学元件 V`1,s~"q ;~EQS.Qp D]]wJQU2 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 @kqxN\DE 位相延迟平板材料为N-BK7。 !:^q_q4 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 L%T(H< |