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测量系统(MSY.0001 v1.1) fJSV)\e0 ;XD>$t@ 应用示例简述 |q1b8A \ .#:@cP~v 1. 系统说明 7v4-hfN E-*>f"<h 光源 .HH,l — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) =CD:.FG. 元件 H4K(SGx — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 (_s!,QUe 探测器 (AyRs7Dkn — 干涉条纹 LiHXWi{s 建模/设计 o$qFa9|Ec? — 光线追迹:初始系统概览 h:US]ZC^Z — 几何场追迹加(GFT+):
2_ZHJ,r 计算干涉条纹。 Q
xj|lr 分析对齐误差的影响。 ] BP^.N= <try%p|f 2. 系统说明 CM@"lV_ <)0LwkFtB 参考光路 c+\Gd}IJq  pqNoL*
H 3. 建模/设计结果 g'l7Jr3 'KN!m|
z 7u&H*e7 4. 总结 ~jrU#<'G9 k?@W/}Iv9 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 9BgQoK@ )I0g&e^Tzy 1. 仿真 s\K-(`j} 以光线追迹对干涉仪的仿真。 qgY(S}V 2. 计算 g]hn@{[ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 7C6BZ$( 3. 研究 LnACce
?b 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 M. UUA?d<' $F==n4) 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 hF?\K^tF Yv|bUZ@ 应用示例详细内容 h: (l+jr 系统参数 J1wGK|F~ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 i\c^h;wX Ub-k<]yZ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 A_dYN?^?| Y{\2wU!Isn 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 m:o$|7r #
v/aI*Rl 2. 说明:光源 #p^pvdvh3 6-E4)0\ u=?P*Y/|W 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 JZ*?1S> 因此,相干长度大于1m L``mF(R^ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 .m
% x-i 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 PfMOc+ q -
&LZle&M
)fcpE,g' |kRx[UL 3. 说明:光源 So0,)
Xv;ZA a [ZpG+VAJ8 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 t`/RcAwA 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ;{#M 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 qv >( 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 "MKsSty 4. 说明:光学元件 +/ d8d _ -FQ78C hQrsZv:Q
在参考光路中设置一个位相延迟平板。 RAJ|#I1 位相延迟平板材料为N-BK7。 9n2%7dLQ* 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 p~VW3u] 透镜材料为N-BK7。 >@\?\!Go 其中心厚度与位相平板厚度相等。 d3hTz@JY &Fr68HNmj k.VOS0 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ~]s"PV:| <qZ+U4@I) iV$75Atk 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 n/|`Dz. 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 tWy<9TF " ~hj B 6. 分光器的设置 V)?g4M3} <JuJ`t fu;B ?mIn 8?R_O}U 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 ^d=@RTyo/ 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 tUnVdh6L.B 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 [wxI
X @_Oe`j^ 7. 合束器的设置 0(6`dr_ y6yseR! C\h<02 y`dzo`f 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 ^aMdbB 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 <;"=ah7A N*-Z Jv 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 4 (gf!U .k(_j.v Wuz~$SU 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 vGDo?X~#o 应用示例详细内容 Xqw7lj;K 仿真&结果 znRhQ+8;! xUoY|$fI 1. 结果:利用光线追迹分析 iB-s*b<`~ _
RYZyw
首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 SsZzYj.d 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 u&bU !ZI |SleSgS<# 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 V|`|CVFo] -GjJrYOU mws.) 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 N R{:4zJT 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 2B;QS\e" 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 }XU- JAn P $S P4F 3. 对准误差的影响:元件倾斜 H2vEFn V ZxQP,Ys_Y 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 Is[0ri 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 J)o%83// 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 3}+
\&[ '-=?lyKv 4. 对准误差的影响:元件平移 e`^j_VnEH =B1!em| 元件移动影响的研究,如球面透镜。 ^(R
gSMuT` 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 e<K=Q$U. 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 )SuJK.IF ~4 ab\hq vNIQc "\- 5. 总结 ]Ea-?IhD 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 yr?\YKV)I =[kv@p 4. 仿真 K9R[
oB]b 以光线追迹对干涉仪的仿真。 P;34Rd U N/.T
5. 计算 Dts:$PlCk 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 kVY@q&p |@RO&F 6. 研究 SzgVvmM} 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 <IYt*vlm \iFE,z 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 &N EzKf ;1KhUf;&F 扩展阅读 /bWV`* 39"'Fz?1 1. 扩展阅读 wP%;9y2B 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 tc[PJH&P W6pS.} 开始视频 #r1x0s40D - 光路图介绍 HN:{rAIfc - 参数运行介绍 }V 1sY^C - 参数优化介绍 7cC$) 其他测量系统示例: /<mc~S7 - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) 2dC)%]aLme m>iuy:ti T/H*Bo*=5 QQ:2987619807 M?,;TJ7Gd
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