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测量系统(MSY.0001 v1.1) c9/w-u~j ~O;!y% 应用示例简述 =G]} L< FY)v rM*yh 1. 系统说明 Q:&,8h[ D|/Azy.[ 光源 "aHY]E{ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) \:mx Ri 元件 5V!L~# — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 Z#BwJHh 探测器 %H75u6 — 干涉条纹 B(wk $2 建模/设计 kbJ/7 — 光线追迹:初始系统概览 pN6!IxN$ — 几何场追迹加(GFT+): / tM<ois* 计算干涉条纹。 SL" ;\[uI 分析对齐误差的影响。 tQ_;UQlX EGO;g^, 2. 系统说明 {(]B{n Y$uXBTR`y/ 参考光路 0kS[`a(}J  N3g[,BE 3. 建模/设计结果 ?`V%[~4_I dRTtDH"% !SEHDRp 4. 总结 FiMP_ y*S e;~[PYeu 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 x^^;/%p O|m-Uz"+ 1. 仿真 z=<x.F 以光线追迹对干涉仪的仿真。 wvvMesX<L 2. 计算 } R!-*Wk 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 RE Dh`Wd 3. 研究 )[yM4QFl 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ftq&<8 !^cQPX2< 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ugcWFB5| km,}7^?F0r 应用示例详细内容 ~j}di^<{ 系统参数 c) Zid1 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 jG)fM? u:&gp 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 oRFHq>-.g V^B'T]s 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 z #c)Q 9:"%j 2. 说明:光源 Ar7vEa81 Os'
7h Z7%
|'E R 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 h~{TCK+I 因此,相干长度大于1m e#JJd= 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 ba& \~_4 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 =Y#)c]` -twV?~f
;V`e%9. 'qwFVP 3. 说明:光源 |_/q0#" Zy _A3m{ }eb}oK 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 iIji[>qz 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 fiqeXE?E 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 .vYU4g] 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 1.U5gW/3L 4. 说明:光学元件 ^_
L'I%%[ z[Xs=S!]I =UYZ){rt9E 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 fa9c!xDt 位相延迟平板材料为N-BK7。 Fl<|/DCg 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 0*S]m5#; 透镜材料为N-BK7。 *>,8+S33r{ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 K n%[& [t/7hx"2t ts/rV#s~ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 'bVDm m). "_t2R &A u^T)4~( 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 @T[}]e 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 BC0SSR@e &Iv3_T<AF 6. 分光器的设置 (4=NKtA^G ua[ d
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fo! Lpd q^X 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 hvCX,^LoJ 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 - ` F#MN 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 |pxM8g1w O& k+;r 7. 合束器的设置 vpu20?E>5z ?4v&TB@ 7.7P>U 3p`*'j 2R 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 s{x{/Bp(KK 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 w:%3]2c I?c "\Fe 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 +EG?8L,z O2./?Ye L5$r<t< 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 T pXbJ]o9 应用示例详细内容 uj#bK
7 仿真&结果 :k9n
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Ve\^(9n 1. 结果:利用光线追迹分析 {`~uBz+dJq <Vucr 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。
%GS^=Qr 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 nv>|,&; B>sSl1opI 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 A'Q=DoE &L6xagR7M %%`Q5I 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 p2T<nP<Pt 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 ('k;Ikut 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
/6)6 =(\
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0-[ 3. 对准误差的影响:元件倾斜 'MZX"t Q'-g+aN 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 ~1e?9D 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 (
-^- 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 XIQfgrGZ Si=zxy T 4. 对准误差的影响:元件平移 0'&N?rS n:QFwwQ`Q; 元件移动影响的研究,如球面透镜。 ]6JI(( 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 'u"r^o? 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 cTlitf9 xZ2^lsY "eKNk 5. 总结 AcC'hr.N+ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 }EFMJ,NQ q6E8^7RtS@ 4. 仿真 *\W
*,D.I 以光线追迹对干涉仪的仿真。 :
&! >.Y <zUU` 5. 计算 -<e8\ Z` 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 oqM(?3 yv ;yd[QT<I< 6. 研究 ZWJ%t'kF 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 Z?@1X`@ }?PvNK]", 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 ::'DWD1 2@!Ou $W 扩展阅读 !{On_>`, @|A
wT 1. 扩展阅读 /m#!<t7 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 ]<y _
=> f(=3'wQ 开始视频 (jQ]<q%P - 光路图介绍 snU
$Na3 - 参数运行介绍 2Mqac:L - 参数优化介绍 T2Duz, 其他测量系统示例: 8M9LY9C - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) TF0DQP `8 Q3=^)3 |n9q4*dN QQ:2987619807 s+mNr3
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