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测量系统(MSY.0001 v1.1) sc8DY!|OYN s^>lOQ= 应用示例简述 b(RBG h/Hl?O8[ 1. 系统说明 ISS\uj63M *v
rWA 光源 ^IGyuj0]jG — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) BMNr<P2li 元件 ,?k%jcR — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 C.>
探测器 GVG!sMmnX — 干涉条纹 %5h^`lp 建模/设计 xP/OsaxN — 光线追迹:初始系统概览 !&`}]qQZ — 几何场追迹加(GFT+): #9`r XEz 计算干涉条纹。 wn+j39y?ZY 分析对齐误差的影响。 V5a?=vK9 #SQvXMT 2. 系统说明 ~o@\
n !7*(!as 参考光路 #, Q}NO#vT  K 3Yw8t2J 3. 建模/设计结果 YOV : *KK[(o}^J- &$qF4B* 4. 总结 kG1;]1tT# qO-C%p
[5 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 o\ngR\> M
XZq 1. 仿真 0e+W/Tq 以光线追迹对干涉仪的仿真。 S
Pn8\2Cj 2. 计算 B6bOEPQ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 |3{+6cg 3. 研究 J/'M N 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 $Z;B QJVH ;8P_av}C 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 c>ad0xce6 p jKt:R} 应用示例详细内容 <%z@ 系统参数 TDlZ!$g( 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 N = LM?(H XFW5AP 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 6&89~W{
i&`!|X-=R 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 jfUJ37zNZr ]9jZndgC 2. 说明:光源 &<au/^F DVI7]+=nV ~TDzq -U) 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 vwKw?Z0%J 因此,相干长度大于1m v&fGCD\R 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 &1wpGJqm 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 {odA[H !@u&{"{`
+W9]ED S5N@\ x 3. 说明:光源 %>Bko,ET fk>l{W}e) T2wv0sHlt 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 _J,xT 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 o{V#f_o 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 14H'!$ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 vMhYpt?7\ 4. 说明:光学元件 HsnG4OE Ah-8"`E iZQ\
m0Zc 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 u_.HPA 位相延迟平板材料为N-BK7。 !.EcP=S 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 {I{3 (M#" 透镜材料为N-BK7。 #{x5L^v>] 其中心厚度与位相平板厚度相等。 3 > |uF vM`7s[oAK KmQ^?Ad-C 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 O)uOUB !hCS#' P-'_}*wxi 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 _gW{gLYyJ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 K\P!a@>1 T~X41d\ 6. 分光器的设置 DLi?'K3t ?*H9-2W@ 'T7 x@a`b) >,"sHm}l% 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 e .l!3xY2' 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 "Sjr_!u 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 CWi8Fv }c%
pH{HI 7. 合束器的设置 ,r=re!QI7 ',ZF5T5z@ FLZS K:3B] T%(C-Quh 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 QU T"z' 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 \dcdw*v@ A59gIp*> 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 ewnfeg1 \}JrFc%O ?x3Jv<G0* 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 g9KTn4 应用示例详细内容 b,@aqu 仿真&结果 #?Mj$ZB .!RavEg+ 1. 结果:利用光线追迹分析 ,l HLH z/ 7$NxJH 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 ?NG=8.p 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 uWjU OJEe ;`(R7X
*3 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 6|!NLwa }`o?/!X /L v1$~ 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 V8PLFt; 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 3o6RbW0[
因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 OeElMRU" 1 ] #9
3. 对准误差的影响:元件倾斜 #NN ewzC<* qX#MV>1 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 gU1 #`r>[) 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 sx
9uV 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 8SC%O\, "A3dvr 4. 对准误差的影响:元件平移 j6g@tx^)' B4g8
~f 元件移动影响的研究,如球面透镜。 [}2Z/
现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 TDNf)Mm 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 osHCg ]@
M5_%p 6f)2 F<
7 5. 总结 @T:faJ5\' 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 aeP[+ I9 edvFQ#,d 4. 仿真 p_2pU)% 以光线追迹对干涉仪的仿真。 "y;bsZBd" a~]bD 5. 计算 x_MJJ(q8g 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 9em*r9- 6GL=)0Ah 6. 研究 ^G1%6\We 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 4n0xE[- oxz{ ejd{ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 3x@<Z68S w?y6nTg< 扩展阅读 ~DF:lqwWP 6^)}PX= * 1. 扩展阅读 S*
R,FKg 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 NHQF^2 \\ Di5(9]o2 开始视频 OJO!FH) - 光路图介绍 =L-I-e97@ - 参数运行介绍 T*[
VY1 - 参数优化介绍 O4iC]5@ 其他测量系统示例:
CE%_A[a - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) e Y$qV} h9s >LY g);^NAA QQ:2987619807 )_7>nuQ6
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