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测量系统(MSY.0001 v1.1) JxMyeo%gv {UV<=R,E 应用示例简述 rzYobOKd# Ti9:'I
1. 系统说明 C{d8~6 -@gJqoo> 光源 %~~z9 6( — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) v;N1' 元件 O&rD4# — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 kb>Vw<NtE 探测器 %+t — 干涉条纹 Tv*1q.MB 建模/设计 0,"n-5Im — 光线追迹:初始系统概览 mCC:}n"# — 几何场追迹加(GFT+): G>_42Rp 计算干涉条纹。 "FLD%3l 分析对齐误差的影响。 ]|((b/L3 Xd19GP! 2. 系统说明 #um1?V -Z/6;2Q 参考光路 Y7b,td1  [#,X$O> 3. 建模/设计结果 Gct&}]3pm \U<F\i j"D0nG, 4. 总结 \ eyQo>( :)
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B" 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 k #,Gfs x]%4M\T`` 1. 仿真 [X$|dOm'N 以光线追迹对干涉仪的仿真。 lo>-}xd 2. 计算 ]'1N_m]? 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 [6RV'7`Abj 3. 研究 +lDGr/ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
ycAi(K [6/%V>EM 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 &ls!IN yaYIgG 应用示例详细内容 {%+3D,$) 系统参数 1=o(sIeA 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 2U+z~ c@ZkX]g 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 =aCIaL&9Y *~t$k56 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 yw3U"/yw b3 %& 2. 说明:光源 P7BJ?x [r~rIb%Zj _uy5?auQ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 z}b U\3! 因此,相干长度大于1m ;hfG${l; 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 hF=V
?\ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 1!v >I"] ]B[/sqf
<g|nmu)o$ zx]M/=7,V# 3. 说明:光源 2AdHj&XE zm)CfEF
8 xdTzG4 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 9OJ\n|,( 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 D^R! |K/ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 RAx]Sp
Q-S 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 omUl2C 4. 说明:光学元件 DRBYH( ow>[#.ua 8`LLHX1| 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 ~E:/oV:4 > 位相延迟平板材料为N-BK7。 ['N#aDh.? 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 .n|3A3: 透镜材料为N-BK7。 ?'$.
-z: 其中心厚度与位相平板厚度相等。 B=RKi\K6a ?[>BssW bl=*3qB 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 )dN,b(w9 s7)# NT2 NYV0<z@M2M 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 G}hkr 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 |sZ9/G7 ])ZJ1QL1 6. 分光器的设置 HIp {< M3 LM`tNZ1Fc! K
v># NN pa69U 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 >5@ 0lYhH 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 W!9f'Yn 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 TX5/{cHd :w`i 7. 合束器的设置
6V_5BpXt U>M>FZ Mud\Q[" vR.6^q 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 8w@jUGsc 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 B(vz$QE,$r E":":AC# 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 oO9iB:w |c+N)FB $HnD|_* 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 5<ya;iK 应用示例详细内容 *q9$SDm 仿真&结果 O!cO/]< _"e(
^yiK 1. 结果:利用光线追迹分析 %;XuA*e I3=Sc^zz&V 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 K>p:?w 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 )t 7HioQ Cr\/<zy1-e 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 X/D9%[{& JG+o~tQC [8g\pPQ 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。
rlh6\Fa 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 (HgdmN% 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 w5G34[v [
^ \) 3. 对准误差的影响:元件倾斜 us *l+Jw,m /]58:euR 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 SxQDqoA~ 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 .3SjkC4I 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 Z"&ODVP R}mWHB_h" 4. 对准误差的影响:元件平移 pv.),Iv-68 |"&4"nwa 元件移动影响的研究,如球面透镜。 \evgDZf 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 pNme jz: 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
jS)-COk gM]/Y6*$b 3JO:n6 5. 总结 XSIO0ep 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Wl"fh_ 6h"?3w 4. 仿真 KUV{]?' 以光线追迹对干涉仪的仿真。 <1K:
G/! ({62GWnn_ 5. 计算 `l@t3/ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 u"3cSuqy jh!IOtf 6. 研究 N^j''siB 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 #.K&]OV/88 1KEPD@0oxx 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 nsn,8a38 {i?K~|
h 扩展阅读 J)~=b_'< XX;%:?n 1. 扩展阅读 l )eaIOyk 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 :zZM&r> ?["ZEa 开始视频 jF0BWPL - 光路图介绍 4}b:..Ku - 参数运行介绍 W#/Ol59 - 参数优化介绍 v:ZD}Q_ 其他测量系统示例: dv>zK#! - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) g7ROA8xu :\cJvm *gKr1}M QQ:2987619807 e6/} M3B
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