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测量系统(MSY.0001 v1.1) uegb;m `%%?zgY 应用示例简述 3f,u}1npa* i&1U4q 1. 系统说明 s8yCC#H" tnNZ`]qY 光源 UCn.t — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) oX#9RW/ >I 元件 S8vx[ < — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 SCI1bMf 探测器 7Qt2gf — 干涉条纹 1=ip,D 建模/设计 GA7u5D"0 — 光线追迹:初始系统概览 +RdI;QmM — 几何场追迹加(GFT+): "u,sRbL 计算干涉条纹。 {QW-g 分析对齐误差的影响。 Gk{W:866 yX3PUO9 2. 系统说明 4 ;^g MI9 n~9 i^ 参考光路 (
-xR7A  X+d&OcO=q 3. 建模/设计结果 BjwMb&a; FSFFk~ l~4_s/ 4. 总结 u1wg
C# { _-wG3f| 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 >@z d\}@W "h QV9 [2\ 1. 仿真 HKM~BL
"X 以光线追迹对干涉仪的仿真。 !+5C{Hs2 2. 计算 a (P^e)< 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 Tln9q0"W 3. 研究 $R8>u#K! 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 C+T&O CG CQa0 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 >6*(}L9 PbbXi 应用示例详细内容 M' a& 系统参数 X!HDj< 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 YCir Oge &G0l&8pa 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 14mXx}O }Q47_]5 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 )GB3=@ fui4@ 2. 说明:光源 <WZ1- Oqd"0Qt-
pESB Il 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 \Oi5=, 因此,相干长度大于1m IlcNT_
5a8 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 =Jsg{vI 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 BM|-GErE NFrNm'v
N$N;Sw l*F!~J3 3. 说明:光源 ,k4z; 7p
P| (eCF>Wh^m 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 "bHtf_ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 1zh$IYrd 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 N>uA|<b, 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 } l :mN 4. 说明:光学元件 &:;/]cwj 2neF<H?^o *,O
:>Z5I 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 zF[3%qZE:T 位相延迟平板材料为N-BK7。 V-?sek{; 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 R=][>\7]} 透镜材料为N-BK7。 GVjv**U 其中心厚度与位相平板厚度相等。 O!#L#u53 dAu^{1+2 30sC4} 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 aX>4Tw ]%NO"HzF~ sh',"S#=@ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 Gk{
"O%AE 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 #Pb7EL#c M!xm1-,[ 6. 分光器的设置 xHM&csL LU-#=1Q C5:dO\?O hW0,5>[7% 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 ?#VP)A 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 'DL;c@}37 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 '<RB ;a!h.8UJPI 7. 合束器的设置 <6d{k[7fz) ]>VJ--fH *@-q@5r}! TS\A`{^T 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 EWuiaw. 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 ,wry u|7"$ pO-s@"j] 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 oW
yN:Qh H3p4,Y}'# #`N6<nb 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 +WV_`Rx# 应用示例详细内容 f^[{k
{t 仿真&结果 ~xlMHf 4e(9@OLP 1. 结果:利用光线追迹分析 nJ'>#9~a'> Ovl?j&8 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 \dp9@y[^ 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 Ovaj":L D]G'R5H 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 .J<qfQ *0Wi^f *6sJ*lh 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 J^s< |