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测量系统(MSY.0001 v1.1) (<lhn Y-9I3?ar 应用示例简述 $~kA
B8z TqQ[_RKg2 1. 系统说明 /{2,zW |y*c9 光源 !IR6
,A\ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) n"8Yv~v*2j 元件 iow"n$/ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 QV8g#&z 探测器 [>9is=>o. — 干涉条纹 IGgL7^MF 建模/设计 9M ]_nP Y — 光线追迹:初始系统概览 A}w/OA97RO — 几何场追迹加(GFT+): iDD$pd,e\ 计算干涉条纹。
b2*TgnRq 分析对齐误差的影响。
.Y|!:t| +,l-Nz 2. 系统说明 -RLOD\ZBh xx $cnG 参考光路 ig"L\ C"T  DfB7*+x{ 3. 建模/设计结果 bMBLXk H*6W q {)Xy%QV 4. 总结 r|Z{-*` NlXimq 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 cb bFw _dg\\c 1. 仿真 ,//S`j$S 以光线追迹对干涉仪的仿真。 0`H#
'/ 2. 计算 /@5YW"1 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 T{'RV0%
3. 研究 ('~LMu_ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 `_h&glMJ,q Hp?/a?\Xm 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 $Q0n z%kULTL 应用示例详细内容 vSh`&w^* 系统参数 h];I{crh 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪
8Y?;x} ^@]3R QB 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ]^]wP]R_ ce(#2o&` 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ^Dx&|UwiZa E"0>yl) 2. 说明:光源 $xQL]FmS Pz^544\~ou I:.s_8mH} 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 Hv, LS;W 因此,相干长度大于1m EV?z`jE9 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 ]f3>-)$* 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 /tLVX} & SAz
W9)&!&<o pJ{Y
lS{ 3. 说明:光源 i9$ Av r
:dTz E_`=7i 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 '<M{)? 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 EQ ttoOO 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 W8<%[-r 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 _G0x3 4. 说明:光学元件 c%&>p|| saAF+H/= [
3HfQ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 7d vnupLh 位相延迟平板材料为N-BK7。 yHGADH0B 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
@8
6f 透镜材料为N-BK7。 ;=N#`l 其中心厚度与位相平板厚度相等。 q*KAk{kR(v n*$ g]G$ 2?x4vI
np; 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 a9 G8q>h]O UI#h&j5pW `2snz1>!j 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 {8aTV}Ha2 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 Q20%"&Xp] 6wxs1G 6. 分光器的设置 nrb Ok4Dz :Sma`U& .u:GjL'$ "oD[v 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 $C\BcKlmv 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 ZW}_DT0 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 }'.m*#Y oQ# 8nu{k 7. 合束器的设置 nK,w]{<wG! 9gFUaDLo &o*A{ Uv.)?YeGh 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 HDLk>_N_s, 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 1qch]1
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grYe&(`X 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 r,udO,Yi=c 6pzSp yw!{MO 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 9UkBwS` 应用示例详细内容 7"mc+QOp 仿真&结果 Y}/-C3) +H.`MZ= 1. 结果:利用光线追迹分析 #jk_5W T|p"0b A 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 liZxBs
:%i 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 WM{=CD G"6 !{4g 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 *fdTpXa =WLY 6)]A Gq6*SaTk 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 \8
":]EU 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 ?CZd Ol 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 ?(PKeq6 y(&Ac[foS} 3. 对准误差的影响:元件倾斜 Z.WW(C. d1*<Ll9K 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 TV:9bn?r) 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 n?Q|)2 2 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 <GJbmRc| SKtr tm 4. 对准误差的影响:元件平移 u!s2BC0}N XG?8s
& 元件移动影响的研究,如球面透镜。 G)YcJv7 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 L-Lvp%% 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 pw#-_ 43w}qY1 ,I9bNO,%JK 5. 总结 9$Y=orpWxr 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 9!GM{ bLL2 4. 仿真 us.~G 以光线追迹对干涉仪的仿真。 B:<VA= D=$)n_F 5. 计算 YQ}o?Q$z 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ~rm_vo [K Qi.u 6. 研究 C^){.UGmJ 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 I'Hf{Erw ~~.}ah/_d 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 gIfh3 D=yX IgzQr > 扩展阅读 YR70BOxK xLE)/}y_7H 1. 扩展阅读 rjP/l6
~' 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 "7
yD0T)2 >!JS:5| 开始视频 iCoX&"lb - 光路图介绍 QPx^_jA - 参数运行介绍 k+/6$pI - 参数优化介绍 WxDh;*am: 其他测量系统示例: ;"I^ZFYX - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) @iiT< <q836]aaA ~Ei<Z`3}7" QQ:2987619807 5G#n"}T
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