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测量系统(MSY.0001 v1.1) Ust +g4 m?-)SA 应用示例简述 sBlq)h;G?6 fWP]{z` 1. 系统说明 9G6)ja?W jLFaf#G] 光源 a-*sm~u — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) -O})Y>=} 元件 |\bNFnn( — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 hu-]SGb6 探测器 x]VycS — 干涉条纹 MpKXC 建模/设计 F%L"Q>aHW — 光线追迹:初始系统概览 ^|/<e?~I — 几何场追迹加(GFT+): ;apLMMsWC 计算干涉条纹。 s.(.OXD& 分析对齐误差的影响。 f}dlQkZ( [w](x 2. 系统说明 ( w4XqVT <B%wq>4S 参考光路 c |%5SA  kwi$% 3. 建模/设计结果 MdX4Rp' 6I[*p0j5 @Z0. }}Y 4. 总结 Wv>`x?W I/'>MDB! 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 -cUW,>E mq{Z
Q' 1. 仿真 d{TcjZ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 CCpRQKb= 2. 计算 M_O$]^I3w 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 l>jrY1u 3. 研究 padV|hF3(e 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 mAH7;u< N+V#=Uy 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ?23J(;)s yS)k"XNb 应用示例详细内容 g=KK
PSK 系统参数 "eoPG#]& 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 /XG7M=A$o <F`9;WX 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 TaF*ZT2 (9bU\4F\ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 F_u?.6e] bSM|" 2. 说明:光源 W)`>'X` |yNyk7~ 4JBfA, 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 7<kr|- 因此,相干长度大于1m !}A`6z 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 y2k's 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 3{H!B&sb x1
LI&
9[t-W:3c7 Z$0mKw 3. 说明:光源 .yzXw8~S (*26aMp I9TNUZq(' 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 7ey|~u2 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 "%
i1zQo& 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 qoan<z7 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 h1)+QLI 4. 说明:光学元件 <-d-.
8 zv1,DnkqF ABEEJQ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 823y; 位相延迟平板材料为N-BK7。 }zo-%# 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 rI)&.5^ 透镜材料为N-BK7。 yl<=_Q 其中心厚度与位相平板厚度相等。 YU87l aF=;v* WUDXx % 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 5W{|?l{ 1^Q!EV TR?jT
U 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 J(~xU0gd' 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 B^1jd!m 8Z@O%\1x6 6. 分光器的设置 Rlr[uU_ 3,+UsB% 8BIPEY -I? 4[0.M 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 sx9[#6~{Y 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 j{5oXW 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 d{^K8T3 I#yd/d5^ 7. 合束器的设置 [o'}R`5) or`"{wop %MfT5*||f ^w
RD| 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 YkV-]%c 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 @XF/hhGE_y ,g)9ZP.F 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 KrECAc piUfvw Zfr?(y+3 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 z:$TW{%M 应用示例详细内容 J0Y-e39 ` 仿真&结果 nYY' hjZ 7"_gX 1. 结果:利用光线追迹分析 6dCqS %8L5uMx 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 LZ9IE>sj 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 Ks7kaX wa9{Q}wSa 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 l\-(li
H fI(H
:N X/wqfP 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 |Oaj
Jux 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 "2/VDB4!FG 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 W/R-~C e F9SIC7}uH 3. 对准误差的影响:元件倾斜 Eh;~y*k\ b+}*@xhl 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。
t#g6rh& 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 &-Zg0T&tZ 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 ~&IL>2-B <$;fOp 4. 对准误差的影响:元件平移 esEOV$s} My'6yQL 元件移动影响的研究,如球面透镜。 kjW`k?'s 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 ZGOI8M]@ 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 mk~Lkwl >&9Iy" $}7WJz: 5. 总结 kR-5RaW 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 j&?NE1D>I
*o[*,1Pw 4. 仿真 K`1\3J) 以光线追迹对干涉仪的仿真。 yyHr. C 0) lG~_q 5. 计算 L7*~8Y 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 oM-@B'TK pr-!otz 6. 研究 yz2NB?) 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 dDk<J;~jGJ
/m*vY` 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 [w)6OT NC2PW+( 扩展阅读 Z,,Wo
%)o T3{qn$t8 1. 扩展阅读 2S8/
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以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 )P.|Xk:r z|yC [Ota 开始视频 GRj{*zs - 光路图介绍 S?=2GY - 参数运行介绍 !/$BXUrd - 参数优化介绍 bLoYg^T/ 其他测量系统示例: rC<m6 - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) +B'9!t4 2 .x1EdfHed/ v *~ yN* QQ:2987619807 {N;XjV1x
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