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测量系统(MSY.0001 v1.1) |(fWT}tg Vz^:|qON 应用示例简述 9}-,dgAB In
r%4&!e 1. 系统说明 Y!H"LI |v+b?@ 光源 LYKepk — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) =
~yh[@R) 元件 s`{O- — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 V}*b^<2o5 探测器 TBpW/wz/ — 干涉条纹 $8Zw<aEJ 建模/设计 wRKGJ — 光线追迹:初始系统概览 "o1/gV — 几何场追迹加(GFT+): {`: != 计算干涉条纹。 rRMC<.= 分析对齐误差的影响。 $]9d((u4 2Y,s58F 2. 系统说明 qxq ~9\My h*Ej}_
参考光路 i^8Zp;O"f  q+z,{K 3. 建模/设计结果 ~7*HZ:. gaJS6*P# L6FUC6x" 4. 总结 jooh`| `P |Q{ l]D 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 0-@waK 49CMRO,T 1. 仿真 r6A7}v 以光线追迹对干涉仪的仿真。 iU &V}p 2. 计算 OS3J,f}<= 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 PiN3t]2 3. 研究 tqHXzmsjW 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 7>.^GD q+N}AKawB 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 rh+OgKi <1"6`24 应用示例详细内容 P~~RK&+i 系统参数 Ys\l[$_`* 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 7Kn=[2J5k' LNj|t)O v 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 3vy5JTCz~ 9Y7 tI3 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 h7g9:10 cewQQ& 2. 说明:光源 :`_wy-}V bo]k9FC /OViqZ;9 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 L)Kn8 因此,相干长度大于1m (A1 !)c 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 Blu^\:?#z- 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 U\ 51j ?L_#AdK
2-8<uU y rt"\\sOlMB 3. 说明:光源 7m1*Q@D Y#uf 2>J 2(UT;PSI 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 Z";o{@p 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 #u#s'W 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 $?0<rvGJ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 i^
1P6B 4. 说明:光学元件 ~=}56yxl[ 6MZfoR D|OX]3~ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 ,"&v |