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测量系统(MSY.0001 v1.1) Xz/5Wis4
=+I~K'2 应用示例简述 lrn3yDkR? N0Y$QWr_$ 1. 系统说明 px|y_.DB2x a/})X[2 光源 jZRf{ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) b=V"$(Q 元件 j$2rU' — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 YH_mWN\Wu 探测器 JCL+uEX4S — 干涉条纹 XUI9)Ne 建模/设计 zDEX `~c — 光线追迹:初始系统概览 pKSn
3-A — 几何场追迹加(GFT+): ;3 N0) 计算干涉条纹。 |I; tBqN{u 分析对齐误差的影响。 G9`;Z^<L hLs<g!*O 2. 系统说明 B8XW+U D'{NEk@ 参考光路 Uavr>-  " Bz\<e&u 3. 建模/设计结果 TH;kJ{[} IJWUNKqo= z%lu% 4. 总结 4*j6~ *u?QO4> 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 @D?KS;# U9?fUS 1. 仿真 AXnuXa(j 以光线追迹对干涉仪的仿真。 x,U'!F 2. 计算 W^a-K 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 goE \C 3. 研究 {}sF?wZf 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 gdPPk=LD 6MewQ{h i 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 J$aE:g6' n\-nBrVSf 应用示例详细内容 fX
^hO+f 系统参数 5%qq#;[n 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 d4#CZv[g/ ce3UB~Q 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 Su4&qY kp6{QKDj& 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 #9(0.!v |S0w>VH> 2. 说明:光源 eD(;Wn ~wtK(U Az+k8=? 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 l i @: 因此,相干长度大于1m Z<yLu'48)A 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 S7B7'[ru 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 GiZv0>*x 0[# zn
J]!&E~Y Rudj"OGO 3. 说明:光源 Z!/!4(Fh c\Z.V*o ]+"25V'L 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 !J6;F}Pd/ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 {
R`"Nk 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 \&6^c=2= 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 3)6TnY/u6{ 4. 说明:光学元件 =O1py_m d3[O!4<T nrF5^eZ# 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 D<QE?:# 位相延迟平板材料为N-BK7。 eT'Z;ZO 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 hZ[(Ik]*Zd 透镜材料为N-BK7。 f?qp* 其中心厚度与位相平板厚度相等。 [ ,&O :Rroz]* A6?!BB=]
5. 马赫泽德干涉仪光路视图 %w3Y!7+ ppP0W`p 6CV9ewr 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 0|}]=XN^ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 H{BP7!t[V T2dv!}7p 6. 分光器的设置 lz [s 6IPQ}/l xXRlQ|84 1iJa j 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 FK+`K< 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 vTl7x 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 JW}O`H9 tW
-f_0a. 7. 合束器的设置 @2;/-,4O ,\RZ+kC>~ c gOkm}h Ncr*F^J4 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 u85dG7 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 $`&zI |