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测量系统(MSY.0001 v1.1) %ZoJu #)S }z+I 应用示例简述 W
$D 34( B<s+I# 1. 系统说明 lB27Z} Qb@j8Xa4[ 光源 ),{3LIr — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) I0Do% 元件 Q3>qT84 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 "dCIg{j 探测器 4AhFE@ — 干涉条纹 rv[BL.qV 建模/设计 >IQ&*Bb — 光线追迹:初始系统概览 sA6Hk B. — 几何场追迹加(GFT+): R}Zaz3( Hd 计算干涉条纹。 :vi %7 分析对齐误差的影响。 F-@yH 8TYh&n=r 2. 系统说明 HV!P]82Pa 6No.2Oo 参考光路 Vc'p+e|(  wSjy31 3. 建模/设计结果 Rb<|
<D+ Yy
4Was# cY} jPDH 4. 总结 o,k#ft< 9I 6^-m@: 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 l&Q@+xb> R@WW@ Of 1. 仿真 ruqE]Hx9( 以光线追迹对干涉仪的仿真。 vasw@Uto) 2. 计算 ])pX)(a 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 crd|r." 3. 研究 AkjoD7.* 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 &/EZn xl XXwIp-' 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 f~d=1 R(Vd[EGY 应用示例详细内容 *QW.#y>"j 系统参数 >ptI!\i} 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 xG~-. 7TAoWD3
通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ed,+Slg q&ed4{H< 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 JKmd'ZGw "~C\Z} ; 2. 说明:光源 a[^dK- >y+j!)\ M]\"]H? 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 JmF`5 因此,相干长度大于1m *=z.H
* 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 Rpcnpo 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 $o\Uq 6O5E4=
AO$aW yI [\HAJA, 3. 说明:光源 *|+ ~V/# x2i`$iNhmP n;b9f|&z 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 g2
V $ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 HV3wU EI3 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 e ]>{?Z 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 mR{%f?B 4. 说明:光学元件 {iq{<;)U?U gvZLW!={ 7f=9(Zj 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 8DrKq]& 位相延迟平板材料为N-BK7。 4ri)%dl1 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 X>jwjRK
$ 透镜材料为N-BK7。 _Q;M$.[zyR 其中心厚度与位相平板厚度相等。 \b88=^ [/t/694 "ZVBn!
5. 马赫泽德干涉仪光路视图 5Q72.4HH PzTTL=G + [laX~(ND{ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 13{"sY:PT# 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 ;lWy?53=@ T{K+1SPy4 6. 分光器的设置 -ap;Ul? eEe8T=mD H"?-&>V- J=]w$e ?.P 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 cl7+DAE 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 1J*wW# e 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 {78*SR e]X9"sd0= 7. 合束器的设置 1}q[8q l1_X5DI IO_H%/v"jC _5YL !v& 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 9'8oOBqm3% 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 $l[*Y SS~Txt75m 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 C1rCKKh iii$)4V (U dDp"/ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 B
9Mwj:)} 应用示例详细内容 @%cJjZ5y 仿真&结果 qP<,"9!I $ .Z2Rdlv( 1. 结果:利用光线追迹分析 FZ2-e 8"*$e
I5 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 ujWHO$uz! 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 /7"1\s0 U tw3d>H` 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 z=Vvb =L
wX+c o5$K^2^g 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 Tk2kis(n 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 jh0$:6 `C 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 x)yf!Dv5$
pn7 :")Zx 3. 对准误差的影响:元件倾斜 #"yf^*wX n*6s]iG
V 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 v!U# C[a^ 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 aQmL=9 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 qRGb3l /#se>4] 4. 对准误差的影响:元件平移 (MIw$)#^ S'JeA>L 元件移动影响的研究,如球面透镜。 ipp_?5TL 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 g^4FzJ 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 -pGt; k"7eHSy, jrl6):x 5. 总结 )|a9Z~#x 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Mqtp}<*@- jgo@~,5R 4. 仿真 1;gSf.naG 以光线追迹对干涉仪的仿真。 zB$6e!fc (}}8DB 5. 计算 r"[T9 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 Z%{f[|h9} g&vEc1LNo 6. 研究 u.=;A# 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 *vO'Z & ?BZ][~n-Q 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 UQcmHZ+lf 19u?^w 扩展阅读 <"+C<[n. qU
n> 1. 扩展阅读 p,8Z{mLn 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 m'B6qy!}6 R,bcE4WR" 开始视频 &Kp+8D* - 光路图介绍 !~l%6Z5 - 参数运行介绍 k9xKaJ%1 - 参数优化介绍 @#tSx 其他测量系统示例: 6 {Z\cwP)c - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) !gf3%!% //@=Q!MW ,AM-cwwT:u QQ:2987619807 0cUt"(]
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