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测量系统(MSY.0001 v1.1) $'Mf$h jLVD37 P^ 应用示例简述 hPBBXj/= 1a{r1([) 1. 系统说明 At=d//5FFP
0]c&K 光源 x@rQ7K> — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) q: FhuOP 元件 ~BJE~ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 C2v_],] 探测器 ^OWG9`p+ — 干涉条纹 J$1H3#VVG 建模/设计 ' :B;!3a0d — 光线追迹:初始系统概览 T
pF[-fO — 几何场追迹加(GFT+): -W('^v_* 计算干涉条纹。 F.$z7ee@ 分析对齐误差的影响。 TMPk)N1Ka ~d]v{<3 2. 系统说明 G|1.qHP[F V)/J2 -w 参考光路 OR~ui[w  =#W:z.w 3. 建模/设计结果 T*C25l;w eZT8gKbjJ) ;n(f?RO3X 4. 总结 a,RCK~GR z6E =%-` 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 U0j>u*yE PZ8,E{V 1. 仿真 >;c);|'}q 以光线追迹对干涉仪的仿真。 oxc;DfJ_ 2. 计算 ?cRF;!o" 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 g3NUw/]# 3. 研究 (=7"zECq# 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 kpn|C 9r [h;I)ug[o( 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 a&b/C*R_ zs#-E_^%M 应用示例详细内容 C'$}{%Cc@$ 系统参数 <>\|hno} 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 x0Loid\f +M
I{B="7. 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 >tcEx( z fSE7i0 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 BVb^ xL \]Ah=` 2. 说明:光源 ekyCZ8iai {\1bWr8!U Wds>'zzS 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 t(*n[7e 因此,相干长度大于1m 'D5J5+.z 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 ^ul1{ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 <9fXf* $oQOOa@;i)
Zwc&4:5% tz;o6,eb 3. 说明:光源 u5}:[4N%I NzQvciJ@" kb2C9< 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 q][kD2 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 '69)m~B0a 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 7w)8s 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 ~q566k!Ll! 4. 说明:光学元件 Pt5 wm\ 'W_NRt: $GRw k>N 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 -1Li&K7 位相延迟平板材料为N-BK7。 (]'wQ4iQ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 &EV%g6 透镜材料为N-BK7。 +-'F]?DN' 其中心厚度与位相平板厚度相等。 |(%<FY$ {"Sv~L|J; h8UhrD<: 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 #h=V@Dh U!|)M PxrT@.T$ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 )4uWB2ZRoi 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 lF(v<drkB qA7,txQ: 6. 分光器的设置 C%yH}T\s cOP'ql{" &qXobJRM AJi+JO- 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 D*- 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 S&UP;oc 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 ; j.d bDWLHdu
a 7. 合束器的设置 vOlfyH> V"4L=[le jq)Bj#'7 y p{Dl 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 yy{YduI 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 q#AEu
xI1 j%'2^C8 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 QY)p![6Fj =a,qRO MS""-zn< 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 x*z[(0g! 应用示例详细内容 FA-cTF[,( 仿真&结果 %l&oRBC }TMO>eB' 1. 结果:利用光线追迹分析 %_s)Gw&sq Q(w; 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 &l2xh~L 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 G)s.~ T M4)U
[v 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 AAa7)^R ((]i}s0S 3mU~G}ig 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 =A,B'n\R 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 M2cGr 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 Nxt:U{`T' *D%w r'!> 3. 对准误差的影响:元件倾斜 )@DDs(q=i 9oc_*V0< 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 ,TWlg 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 NL:-3W7vf 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 ShC$ue?Q >6Uc|D 4. 对准误差的影响:元件平移 JqO1 a?H tm5{h{AM 元件移动影响的研究,如球面透镜。 )lLeL#]FLO 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 fmK~? 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 ~-vCY >D u=(pB ]CLM'$ 5. 总结 -B-G$ii 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
8?LT*>! O#;sY`fy_M 4. 仿真 A{\?]]/ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 j17h_ a; qZF&^pCF} 5. 计算 _Vp"G)1Y 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 %2dzx[s TOG4=y-N 6. 研究 }kQ{T:q4 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 RN 4?]8 B /uaRi% 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 BhDg\oxZ &G_#=t& 扩展阅读 A{;"e^a-^l .g}N@ 1. 扩展阅读 M7?ktK9`ma 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 s?;8h &]= 3);P!W4> 开始视频 BAXu\a-C_ - 光路图介绍 C~4SPCU - 参数运行介绍 N{bg-%s10i - 参数优化介绍 ?WXftzdf6u 其他测量系统示例: Lqxhy s - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) Kw"e4 a _fZec+oM ) ??N]V_U QQ:2987619807 O EaL2T
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