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测量系统(MSY.0001 v1.1) nXb;&n% Sq-mH=rs] 应用示例简述 /V46:`V Jnb>u*7, 1. 系统说明 z^{VqC*o+ m$*dPje 光源 *<xEM- — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) E$4\Yc)(AL 元件 :v
Pzw! — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 ~(-B%Az 探测器 GasIOPzK — 干涉条纹 @4T+0&OI10 建模/设计 9w}A7(' — 光线追迹:初始系统概览 mxq'A — 几何场追迹加(GFT+): +x-n,!( 计算干涉条纹。 53=s'DZ 分析对齐误差的影响。 0kQAT# JDD(e_dw 2. 系统说明 <{9E.6G`n Goz9"yazg 参考光路 "npj%O<bd  OY51~#BF 3. 建模/设计结果 jToA"udW/ 3vHEPm] #8%Lc3n 4. 总结 ?#rDoYt/Sx -_%n\# 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 hCc_+/j| d;
oaG (e 1. 仿真 ;5q=/ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 j Bl I^ 2. 计算 31
QT 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 Cc]t*;nU_ 3. 研究 {E@Vh
不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 iU~oPp[e +smPR 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 g&\A1H -wW%+wH 应用示例详细内容 n>+M4Zb 系统参数 )<UNiC 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 hJkIFyQ{j P,j)m\| 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 A>b o Xcr <Ktx*(D 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 'eLO#1Ipf Z'/:
2. 说明:光源 H8mmmt6g z$QYl*F1 ,~hvFTJI 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 y7u"a)T 因此,相干长度大于1m >IJH#>i 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 H .JA)*b- 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 {3i.U028] f-k%P$"X&
,l_"%xYx Vge9AH:op 3. 说明:光源 ,*+F*:o(m lOCMKaCD $GSn#} yz 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 sPyq.oG 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 4@u*#Bp`| 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 P bj &l0C 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 jav7V"$ 4. 说明:光学元件 ==RYf*d U,gg@!1GJo 5hr$tkkL 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 ,ZHIXylZ 位相延迟平板材料为N-BK7。 r,cV( 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 @a'Rn 透镜材料为N-BK7。 wI'T Je, 其中心厚度与位相平板厚度相等。 _rdEur C6 ?xWO>#/ ",k"c}3G 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 hbl:~O&a/ g=0`^APql 5V':3o;D__ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 ^RAst1q7 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 tda#9i[pkH 9{RCh9 6. 分光器的设置 DI{VJ&n66 $nUhM|It p[2`H$A )"/.2S; 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 X4_1kY; 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 "oz
: & #+ 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 ]0p]
u d& V^;2u 7. 合束器的设置 !nQ_< v*iD)k:|t ++w7jVi9 ^hr^f;N 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 97l<9^$ 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 $REz{xgA= mhVdsa 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 H(Pzo+k* akATwSrU a> qB
k}) 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 6|:K1bI) 应用示例详细内容 PvF3a`&r 仿真&结果 4zKmoYt tAF#kBa\y_ 1. 结果:利用光线追迹分析 >!sxX = < 1[p6v4qO{ 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 i]x_W@h 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 %])U ( _}+Aw{7!r 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 AK$&'t+$}7 NH9"89]E K93L-K^J 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 '^B[Krs'Z` 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 0OCmyy 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 H j [!F% FxU a5n 3. 对准误差的影响:元件倾斜 (%~^Kmfb0 C- 5QhD 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 P^[eTR*? 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 Z<D8{&AjS 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 (;VlK#rnC w3Lr~_j 4. 对准误差的影响:元件平移 8=!uQQ %9v l 元件移动影响的研究,如球面透镜。 Jlp nR#@ 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 E<RPMd @a 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 VOJA}$ bT>MZK8b GHNw.<`l? 5. 总结 /_SQKpic 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 +~(SeTY w.VjGPp 4. 仿真 jQBL8< 以光线追迹对干涉仪的仿真。 Zzn
N"Si, 4SVIdSA 5. 计算 +[vIocu 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 {ty)2 >piVi[` 6. 研究 Ty<."dyPW 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 9U>OeTh( "?%2`*\ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 ]*?lgwE wKU9I[] 扩展阅读 mF:Pplf< p<[MU4 1. 扩展阅读 PctXh, = 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 <$(y6+lY E$.f AIt 开始视频 n&l(aRoyx - 光路图介绍 \VpN:RI - 参数运行介绍 7Q^p|;~a - 参数优化介绍 !He_f-eZ 其他测量系统示例: v-Tkp
Yn - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) U ,NGV0 a[Nm<
qV05 A(_HMqA] QQ:2987619807 OxQ 5P;O
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