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测量系统(MSY.0001 v1.1) DGNn#DP ZP'0= 应用示例简述 zZ;V9KM>v `N8t2yF 1. 系统说明 P|t2%:_ fGoJP[ae 光源 ox5WboL — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) ~bsdy2&/q 元件 0X5b32 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 UjS+Ddp 探测器 R5&<\RI0 — 干涉条纹 h.q9p! 建模/设计 [ps4i_ — 光线追迹:初始系统概览 _ Y7Um — 几何场追迹加(GFT+): D7=Irz!O\7 计算干涉条纹。 jXPbj. 分析对齐误差的影响。 hDXaCift [,(+r7aB 2. 系统说明 ~BMUea( [}yPy))A 参考光路 8Oz9 UcG  5=
T$h;O 3. 建模/设计结果 6j95>} @ 7^tYtMm|U NS-0-o|4# 4. 总结 S0M i ~RLWr.pK 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 #x`K4f) 3)I]bui 1. 仿真 F}=_"IkZ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 Mfnfp{.) 2. 计算 gegM&Xo 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 >Y(JC#M; 3. 研究 bo1J'pU 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 -ijzo%&qA #8zC/u\`= 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 %7 QSBL =cO5Nt 应用示例详细内容 Lp/'-Y_ 系统参数 0!oqP1 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 %J Jp/I @Ne&%F?^Z 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 X}Om)WCr f@[)*([ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 m#[9F']Z`
TO.STK` 2. 说明:光源 JI
cm$ ^+~5\c* t2Jf+t_B7 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 [ r 因此,相干长度大于1m ~!=Am:-wr 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 #RbdQH ! 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ^4NRmlb {]dG 9
<B>hvuCoH rIb~@cR) 3. 说明:光源 2vU-9p { h(R7y@mp\0
;u[:J 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 v(GnG 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 $-u c#57 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 #-PMREgO 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 `e fiX^ 4. 说明:光学元件 p(nO~I2E fj/L)i v_Df+ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 *rbgDaQ 位相延迟平板材料为N-BK7。 -agB ]j 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 ''D7Bat@ 透镜材料为N-BK7。 \ 4^zY' 其中心厚度与位相平板厚度相等。 ,i|K} Y& wEwRW t- TUP>_ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 K C"&3 K F_Uu ! L|l(<C 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 MgJ5FRQ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 60]VOQku ah
f,- ?S 6. 分光器的设置 :*BN>*1^\r Ph%ylS/T{ H C,5j)1 F_g(}wE#
q 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 \y%"tJ~N{ 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 \At~94 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 YFPse.2$a V= p"1!( 7. 合束器的设置 #pgD-0_ 3 !8#wn .>}I/+n Z.!<YfA) 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 kr|r-N` 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 H ?9Bo! _
Pzgn@D 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 }No #_{ ^|6#Vx P^=B6>e 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 lP)n$?u 应用示例详细内容 74:( -vS 仿真&结果 uL-kihV:- :RukW.MR 1. 结果:利用光线追迹分析 2;*G!rE&*` t#_6GL 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 A'7Y{oPHX 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 p>\[[Md <*z'sUh+} 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 BeQ'\#q, l3BN,HNv+ 88X]Uw(+ 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 VyNF)$'T 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 &&52ji<3 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 UJDI[`2 `>g\gaQ 3. 对准误差的影响:元件倾斜 Q?LzL(OioN U&:-Vf~& 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 COm^ti-p 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 ^Ss<< 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 j DEym&- RA!m,"RM 4. 对准误差的影响:元件平移 I4w``""c yx&}bu\ 元件移动影响的研究,如球面透镜。 a6ryyt 5 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 2-qWR<E 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 mZ? jpnd eYoc(bG(+ ZVJ6 {DS/ 5. 总结 CdCY#$Z 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 (zy|>u g#l!b%$ 4. 仿真 5xnEkg4q4 以光线追迹对干涉仪的仿真。 }j1;0 kb? 6tP!( 5. 计算 Gdx%#@/ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 |5FEsts[
@ YWuWF 6. 研究
il{x?#Wrb 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 pX3E l$p _C1u}1hW# 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 fM:bXR2Y' rVsCJuxI 扩展阅读 U
v>^ Z2 rGt]YG#C 1. 扩展阅读 ]v@ng8 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 bT9:9LP 7KRNTnd 开始视频 [a$1{[|) - 光路图介绍 L{&1w - 参数运行介绍 WTt
/y\'6 - 参数优化介绍 ^tm2Duv 其他测量系统示例: d/*EuJYin< - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) HlkjyD8 %Gu=Dkz c<cYX;O QQ:2987619807 cMy?&
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