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测量系统(MSY.0001 v1.1) FDs^S)B "M0l; 应用示例简述 =,8Eo"~\ VD&3%G! 1. 系统说明 r5da/*G/O Il`k]X M 光源 )'dH}3Ba — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) C5PBfn<j 元件 >AX~c
jo — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 O0(Q0Ko 探测器 yO,`"Dc_0 — 干涉条纹 n,:.]3v% 建模/设计 -@V"i~g<e — 光线追迹:初始系统概览 %x8`fm — 几何场追迹加(GFT+): I&fh 计算干涉条纹。 "zIq)PY 分析对齐误差的影响。 >g"M.gW ck_fEF 2. 系统说明 bb/?02*)H \pD=Lv9 参考光路 g_U~.?Db7  T\
}v$A03 3. 建模/设计结果 QT= ,En 3)c
K*8# 46P6Bwobh 4. 总结 SM#S/|.] ^0tf1pV2 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 K_+;"G i$^B- 1. 仿真 X*9N[#wu6 以光线追迹对干涉仪的仿真。 SM /ykk 2. 计算 fxoi<!|iGY 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 kAB+28A 3. 研究 {29S`-|P 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 87pXv6'FQ hKZ`DB4 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 Cq*}b4^; 7}cDGdr 应用示例详细内容 UUMdZ+7 系统参数 9ze| s^ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 "ryk\}*< v]{uxlh 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 k8
;uC~L ){ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 T<f\*1~^ :9F''f$AP 2. 说明:光源 ey\m)6A$ Ed^uA+D <{cNgKd9 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 O%JsUKV 因此,相干长度大于1m LZc$:<J<6 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 wLOQhviI^- 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 "rx^M*" 8L-4}!~C
_))I.c=v 5`E`Kb+@ 3. 说明:光源 h^A3 0f_x V'"I9R'1 EzIs@} 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 3xzkZ8]/ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 WfRfx#MMt 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ;;?vgrz 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 Ki/'Ic1 4. 说明:光学元件 )W`SC mr] l 70,Jo?78 &v$,pg%-: 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 v.Xoq 位相延迟平板材料为N-BK7。 -*|:v67C& 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 3T|Y} 透镜材料为N-BK7。 w!WRa8C 其中心厚度与位相平板厚度相等。 /}w#Jk4pD zUs~V`0 4O`6h)!NQ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 bR`rT4.F LZM,QQ )d +hZ' 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
@8=vFP' 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 G [3k tx0Go'{ 6. 分光器的设置 /Fv/oY Z&FkLww )RwBg8 2'wr={>W 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 4l&"]9D 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 E
&7@#'l 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 Mlv<r=E =s'XR@ 7. 合束器的设置 4E=0qbt8 M o}H_8y xfq]9< FXx.$W 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 {ITv&5?> 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 8RdP:*HY l80bHp= 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 =-$!:W~ Bx(yu'g|a mEoA#U 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 YP[LQ> 应用示例详细内容 ],8;eq%W) 仿真&结果 }A{_L6qx h|bqyu 1. 结果:利用光线追迹分析 cYGRy,'gH FU%~9NKX 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 N-[n\}' 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 '#v71, K7IyCcdB 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 Wk@
eV\H71 _6;<ow NB EpM 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 c~P)4(udT 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 D"L|"qJ 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 ,I]7g4~ hwiKOP 3. 对准误差的影响:元件倾斜 I(pb-oY3!I L 5+J
^ 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 UL+E,= 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 eY
T8$ 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 \}Dpb%^\ 1h2H1gy5I3 4. 对准误差的影响:元件平移
n
]w7Zj 2s 7mI' 元件移动影响的研究,如球面透镜。 9Uk(0A 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 sltk@ 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 \M9h&I\7 B={/nC}G~ uJgI<l'|e3 5. 总结 pA<eTlH 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Q uB+vL ~z5@V5z 4. 仿真 =yo{[&Jz 以光线追迹对干涉仪的仿真。 RU6KIg{H [g#s&bF 5. 计算 [OzzL\)3l 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 lzEb5mg [[w2p 6. 研究 | H8^ 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 q/$GE," be7L="vZw 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 t:>x\V2m a5a1'IVq 扩展阅读 {7qA &c= =L"^.c@ 1. 扩展阅读 SET-8f 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 BEWro|]cM j&WL*XP&5 开始视频 lV\lj@ - 光路图介绍 SG:bM7*1' - 参数运行介绍 fD{II+T - 参数优化介绍 ltoqtB\s 其他测量系统示例: 9x?B5Ap[ - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) [![ G7H%f H-(q#?: Ea4_Qmn QQ:2987619807 rnO0-h-;
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