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测量系统(MSY.0001 v1.1) [sACPn$f Xqf"Wx(X 应用示例简述 ^
chlAQz( "c1vW<; 1. 系统说明 Ya304Pjd T-f+<Cxf 光源 .E[k}{k, — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) .:l78>f 元件 PN+,M50;1 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 cg0L(oI~ 探测器 ag[ yM — 干涉条纹 BYNOgB1 建模/设计 89+m?H]K — 光线追迹:初始系统概览 mY dU`j — 几何场追迹加(GFT+): *N< 22w 计算干涉条纹。 ^Q2K0'm5 分析对齐误差的影响。 7-6_`Q2}Y )x?F1/ 2. 系统说明 Kd7OnU B6OggJ9Iq 参考光路 O:p~L`o>>  k<8: 3. 建模/设计结果 +% '0; VEE:Z^U! jpOi Eo 4. 总结 JcvK]x CZ|Y o 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 {#Mz4s`M
1u)I}"{W> 1. 仿真 @i6D&e= 以光线追迹对干涉仪的仿真。 V..m2nQj
2. 计算 Kax85)9u 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 -L1{0{Z 3. 研究 HO&#Lv 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 vseuk@> [$-y8`~( 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 {.Nt#l _2U1$0xK 应用示例详细内容 GJ{]}fl 系统参数 ]#+fQR$! 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 *hFT,1WE=+ <@@.~Qm' 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 g0_8:Gs}^ HQv#\Xi1 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 %J2u+K !3?HpR/nV 2. 说明:光源 ,v>P05 Q4_j`q M0"xDvQ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 u=RF6V| 因此,相干长度大于1m >(~;V; 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 q$>At}4 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 F9-xp7T FW=oP>f]w
8;Yx a8i e sh E>gTe 3. 说明:光源 e9N"{kDs6 ~{RXc+ M nH4p 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 V
mKMj' 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 U1J?o#( 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 QTtcGU 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 b@z/6y! 4. 说明:光学元件 >k
kuw?O@ ]NG`MZ
),dXaP[ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 J?u@' "u 位相延迟平板材料为N-BK7。 o;_v' 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 5A:b
\ 透镜材料为N-BK7。 |c dQJW 其中心厚度与位相平板厚度相等。 A;q}SO%b f{k2sU*uBE V 7%rKK 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 1i#M(u_ j`='SzVloW `NyvJt^< 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 l#V"14y 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 |4ONGU*`E [bH6>{3u 6. 分光器的设置 qL
UbRp ()= UR:cBr GC~Tf rf=r 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 jrZM 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 K"#np!Y) 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 IF$f^$ Et4gRS)\ 7. 合束器的设置 8b[^6]rM d7N}-nsB j<Lj1P3 1^b-J0 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 &v'e;W 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 mJ)o-BV ]fnc.^{ 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 [8(e`6xePb `N]!-=o Ca0~K42~ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 K
p~x 应用示例详细内容 Z Z\,iT 仿真&结果 gj0gs Jp=ur)Dj 1. 结果:利用光线追迹分析 DnMfHG[< /P Qz$e-!Y 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 [wj&.I{^s 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 /{."*jK Z)~.OqRw] 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 9EIHcUXe j7?53e ?;ZTJ 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 R0B\| O0Uv 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 *&Np;^~ 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 MRMswNQ "M3R}<Vt 3. 对准误差的影响:元件倾斜 t,gKN^P_ <7~HG(ks 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 )+'FTz` c 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 /59jkcA+ 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 =6y4* f "7(2m 4. 对准误差的影响:元件平移 jeFX?]Q rwWs\~.H 元件移动影响的研究,如球面透镜。 F.<sKQ&A 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 Y6~/H 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 w+)MrB-} Rq-BsMX!A j7IX"O%f\ 5. 总结 z@R:~ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 %5?qS`/c(
] lE6:^V 4. 仿真 b) "bX} 以光线追迹对干涉仪的仿真。 ^oDC F a/A$
MXZ_ 5. 计算 ?W:YS82 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 4D=p#KZ zy"wQPEE 6. 研究 L #c*) 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 i0;
p?4`m Z7a~M3VnZ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 00X~/'! D/[(}o( 扩展阅读 r`Y[XzT9 mxt fKPb 1. 扩展阅读 .aTu]i3l_ 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 iOXxxP%# CV&+^_j'k 开始视频 In<L?U?([D - 光路图介绍 \wwY?lOe - 参数运行介绍 \ <b-I - 参数优化介绍 COvcR.*0F 其他测量系统示例: ' P5ttI#| - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) :)hS-*P JDeG@N$ +ExXhT QQ:2987619807 "5:^aC]
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