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测量系统(MSY.0001 v1.1) \;%D;3Au :WH{wm| 应用示例简述 n4?;!p<F 2 U%t 1. 系统说明 pg!mOyn {?
yRO] 光源 EQnU:a — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) FoIK, MdJ 元件 `?:{aOI — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 w2$ L;q 探测器 4PC'7V=S — 干涉条纹 )YCH>Za 建模/设计 D _\HX9 — 光线追迹:初始系统概览 zt((TD2 — 几何场追迹加(GFT+): mj9|q8v{+ 计算干涉条纹。 4o''C |ND 分析对齐误差的影响。 L9[m/(:y `zs@W
2. 系统说明 ~+\A4BW 5m;pHgkb 参考光路 X:FyNUa  m:EYOe,w 3. 建模/设计结果 zBrIhL]95 zv1,DnkqF +=`w 4. 总结 823y; }zo-%# 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Jx3a7CpX yl<=_Q 1. 仿真 YU87l 以光线追迹对干涉仪的仿真。 aF=;v* 2. 计算 WUDXx % 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 5W{|?l{ 3. 研究 1^Q!EV 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 TR?jT
U J(~xU0gd' 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 G*v,-O kSJ:4! lFU 应用示例详细内容 LGy!{c 系统参数 M~sP|Ha"+ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 8BIPEY -I? 4[0.M 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 a`||ePb|W~ -r_ Pp}s 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 <
Lrd(b; lZ+1A0e 2. 说明:光源 WsM/-P1Y :Ea]baM" Dx3Sf}G
` 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 "MT{t>< 因此,相干长度大于1m BW)t2kR& 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
(+\K 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 [yAR%]i-7 -}JRsQ+rgM
i];@ e] /3vj`#jD 3. 说明:光源 j%0g*YI 9e1KH' B415{ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 ,wra f#UdP 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 2wh{[Q2f 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 y/?;s]>b 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 *Oe;JqQkK 4. 说明:光学元件 -E!V;Tgc%U rNHV pQxi0/d p 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 7W#9ki1 位相延迟平板材料为N-BK7。 j[1^#kE 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 jr5x!@rb 透镜材料为N-BK7。 =HvLuVc 其中心厚度与位相平板厚度相等。 _bq2h%G=8 @*LESN>T@t xZ"kJ'C4} 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Q ?W6 }oTac $VJ=A< 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 )@Yr HS4 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 D#9W [6 0 g(hY: 6. 分光器的设置 4a~9?}V: QPa&kl tU7eW#"w <<![3&p# 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 <tTn$<b 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 2?7a\s 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 U`"nX)$ Ad7=JzV 7. 合束器的设置 J_mpI.^Bsf 9X{aU)"omQ M:(k7a+[^ VuW&CnZ 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 ^Sr`)vP 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 Im_`q\i Wc_Ph40C<_ 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 M+^+u 1QQ0 i_&&7. uEuK1f` 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 *%cI,}% 应用示例详细内容 r,b-c 仿真&结果 jX{lo nmN6RGx 1. 结果:利用光线追迹分析 B|~\m~ AuU:613]W8 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 gGdZ}9 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 o0Hh&:6!M 6i\b& 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 W"WvkW>- @,sg^KB BiHBu8< 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 Wm.SLr,o0 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 s 4}}MV3X 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 H1=R(+-s (85F1"Jp 3. 对准误差的影响:元件倾斜 Rm *"SG +;z4.C{gM 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 '89D62\89 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 82Vxk 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 Yb x4 Up@ KFC zf_P! 4. 对准误差的影响:元件平移 )mZ`j. ^ yu^Du 元件移动影响的研究,如球面透镜。 7IZ(3B<87t 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 jvm
"7)h 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 4(YKwY2_L OY`G _=6!N !cE)LG 5. 总结 ({zp$P} 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 )CXJRo`j0 JT<Ia 4. 仿真 *RM#F!A 以光线追迹对干涉仪的仿真。 ^#%$?w>wI J/wot,j^ 5. 计算 ;Z.}~d6>! 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 %r~TMU2" *Xl&N- 04 6. 研究 .6OE8w
1 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 O*yc8fUI WFN5&7$ W 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 n2Ycq&O ]b<k% 扩展阅读 qdj,Qz9ly kS?!"zk> 1. 扩展阅读 8 s:sMU:Q 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 m2<sVTN`^ vM\8>p*U 开始视频 0V srAV0 - 光路图介绍
D[]vJ - 参数运行介绍 |n67!1 - 参数优化介绍 4 "wuqr|o 其他测量系统示例: O2Rv^la - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) Dw6Q2Gnv Ql\{^s+ ='OPU5(;O QQ:2987619807 i)8,u
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