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测量系统(MSY.0001 v1.1) krgsmDi7 o`G@Je_}x 应用示例简述 a4?:suX$ 6 LC*X 1. 系统说明 YQ&Xd/z- >>p3#~/ 光源 M*nfWQ
a — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) Zx@{nVoYe~ 元件 ds`a6>746 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 QM
O OJA 探测器 %A04'dj`zQ — 干涉条纹 cJ&%XN 建模/设计 {A{=RPL — 光线追迹:初始系统概览 tJc9R2 — 几何场追迹加(GFT+): ? r^+- 计算干涉条纹。 qjuX16o 分析对齐误差的影响。 9M<{@<]dm DJhi>!xJ 2. 系统说明 aB.`'d)V Ie4}F|#= 参考光路 5TqX;=B  Ao2t=vg 3. 建模/设计结果 HKV]Rn El,p}Bi. al1Uf]xh 4. 总结 ]oj
2 {2A/ @$? 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 7i`8 c =.
d x?4)lb 1. 仿真 "YM)bc 以光线追迹对干涉仪的仿真。 R["_Mff 2. 计算 npZ=x-ce 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 |d&a&6U: 3. 研究 ULj'DzlfH 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ex1b jM7 1 %K^(J; 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 [;%qxAB/_ f3h^R20qmO 应用示例详细内容 /2 ')u| 系统参数 ;vnG 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪
v[\'
M 3+rud9T 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 q,A; d^g {dTtYL$'" 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 l*rli[No dX?8@uzu 2. 说明:光源 1 :<f[l Tapj7/0` u6j\@U6 I 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 l.Iov?e1S 因此,相干长度大于1m e4ym6q<6! 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 >fNRwmi 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 i{vM NI{ gmd-$%"
x 8|sdZFxo &z8I@^< 3. 说明:光源 e@|/, W 5ELKL#( 5srj|'ja 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 $)8b)Tb 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 U=QfInB 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 vau0Jn%=ck 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 FwKT_XkY 4. 说明:光学元件 '7Q5"M'
kqdF)Wa am K=nW|^ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 2j*;1 位相延迟平板材料为N-BK7。 u2}zRC= 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 MZ]#9/ 透镜材料为N-BK7。 qRC-+k:
其中心厚度与位相平板厚度相等。 g:V8"' b+7!$ 9O1#% 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 rXgU*3RG 99)m d \-i5b 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 tj<a , l 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 m$6u K0 zI1-l9 o 6. 分光器的设置 !}
~K'1" 2vbm=~)$F N{rC#A3 & |