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测量系统(MSY.0001 v1.1) G7
1U 7 CV s8s 应用示例简述 Yx6hA#7I }<SNO)h3 1. 系统说明 V/J>GRjw ;SfNKu 光源 |Dg;(i? — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) >[a FOA 元件 Q4X7Iu: — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 hF2/
y.:P 探测器 Am=wEu[b — 干涉条纹 wDDx j 建模/设计 <D;MT96SG — 光线追迹:初始系统概览 [!G)$< — 几何场追迹加(GFT+): NjbwGcH%\ 计算干涉条纹。 'V&2Xvl% 分析对齐误差的影响。 (zY * 0lN 8 4z6zFv?Q 2. 系统说明 X6xx2v%D .Y! :x=e 参考光路 {1~9vHAZ  rnu
e(t 3. 建模/设计结果 NH'iR!iGo i|%5 hm3jpWi8 4. 总结 `|]e6Pb N0Gf0i> 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 9mQ#L<Ps ^|aNG`|O 1. 仿真 ]c}=5m/ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 _Fizgs 2. 计算 &s:=qQa1 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ;W0]66& 3. 研究 Vu[:A 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 84'?um Y;,Hzmbs6w 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ~Eq \DK ('t kZt%8 应用示例详细内容 "x&3Z@q7 系统参数 kg3ppt 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 0 O~p7D )Pli}) 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 NhA#bn9y? Q2eXK[?* 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 )r9b:c\ w>qCg XU3
2. 说明:光源
: tM?%=Q c&f
y{}10 Zn&k[?;Al 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 ^mg*;8eGa 因此,相干长度大于1m }E; F)=E 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 S$eDnw~$ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 DZe}y^F BDe]18X
'L{p, %9o+zg? RJ 3. 说明:光源 t\r:E2
O .#fPw_i <C<`J{X0 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 i"HgvBHx 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 We}lx{E 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 O"*`'D|hK 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 Q>8pP \ho 4. 说明:光学元件 )`8pd 7<. D|_V<' NP/>H9Q2% 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 %6ub3PLw8 位相延迟平板材料为N-BK7。 gLQ #4H
所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 3]U]?h 透镜材料为N-BK7。 +y&d;0! 其中心厚度与位相平板厚度相等。 8~ #M{} @(:v_l )ofm_R'q* 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 pm USF #u `qiQ$kz nrpI5t.b 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 9vI]LfP 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 0mexF@ :?CQuEv- 6. 分光器的设置 6T+ /N)5
3!LT ,P6=~q3k z^W$%G 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 },c,30V' 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 O8|*M " 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 C+%K6/J( [s`
G^ 7. 合束器的设置 0{) $SY v-`h>J!Nx jm3G?Vnq GXX+}=b7qO 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 V U~Dk);Bv 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 /#S>sOg2xq 8o-bd_ 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 'v&}( sR=/%pVN cxP6-tV% 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 #S5`Pd!I 应用示例详细内容 n56;m`IU 仿真&结果 >dQ K.CG 4MW ]EQ- 1. 结果:利用光线追迹分析 Zk?
= hI|)u4q 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 x<B'.3y 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 uDuF#3
+" .g% Y@r)=5 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 #^rU x. Sm|( z4M1D9iPY 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 Llz['"m 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 rdJB*Rlkh 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 {G*QY%j^ or_+2aG 3. 对准误差的影响:元件倾斜 Z1,gtl ? d^V$Z6*
] 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 ?tYpc_p# 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 y79qwM. 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 y' x F0 |4b)>8TL/ 4. 对准误差的影响:元件平移 ?Zcj}e.r w+AuMc 元件移动影响的研究,如球面透镜。 #a9_~\s 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 $v27]"] 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 3/goCg k#)Ad*t &%F@O<: 5. 总结 rPiNv
30L 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 q<{NO/Mm O\beKBT; 4. 仿真 F 3RB 以光线追迹对干涉仪的仿真。 jqcz\n d cFZCf8:zB 5. 计算 i~yX tya 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 \t.}-u<7{ (> "QVxr 6. 研究 ]/dVRkZeAE 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 kE)!<1yy2 %c/^_. 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 d;G~hVu ?nFO:N< 扩展阅读 Ax<\jW< mLwY]2T" 1. 扩展阅读 sQ1jrkm 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 eaZQ2 Nhf~PO({& 开始视频 l";'6;g - 光路图介绍 +m$5a
YX - 参数运行介绍 jBtj+TL8 - 参数优化介绍 WjMRH+ 其他测量系统示例: 79Bg]~}Z - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) 1]OSWCEm*[ }NmNanW^ 45+{nN[ QQ:2987619807 ;e s^R?z
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