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测量系统(MSY.0001 v1.1) ?[Lk]A&"L2 noxJr/A] 应用示例简述 \Mg_Q$ 8~C_ng-wn 1. 系统说明 9E2iZt] 1 P!)4W 光源 z3+@[I$ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) \9VF)Y.ke 元件 6WY/[TC- — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 )y,^M3$?C 探测器 'ztOl`I5V — 干涉条纹 5CFNBb%Xy 建模/设计 $9,&BW_* — 光线追迹:初始系统概览 O:wG/et — 几何场追迹加(GFT+): k."p& 计算干涉条纹。 {|?^@ 分析对齐误差的影响。 .xsfq*3e5 G tI )O} 2. 系统说明 6eV#x%z@v' 7&ED>Bk 参考光路 A`Z/B[)  eO!9;dJ 3. 建模/设计结果 ]y0Y ( ]c/E7|0Q YZg#H)w% 4. 总结 WTfjn|a la3B`p 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 U
g "W6` G\@pg;0|y 1. 仿真 bE _8NA"2 以光线追迹对干涉仪的仿真。 tqGrhOt 2. 计算 K;RH,o1 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ,|]JaZq 3. 研究 jW'YQrj{<Y 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 L^sjV/\oW $H)^o! 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 5'} V`?S xLW$>;kI 应用示例详细内容 yaj dRU 系统参数 X;I9\Cp]! 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 vF27+/2+R 3kn-tM 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 <CyU9`ye CvoFt=c$jE 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 tk"+ u_u w 1t
R^ 2. 说明:光源 '$9o(m# N''QQBUD EwP2,$; 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 $h#sb4ek 因此,相干长度大于1m {X!OK3e 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 E/zf9\ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 mO>L]<O 5C Dk5B_
IVR%H_uz &$MC!iMh 3. 说明:光源 Cr.YSWg)4 k#].nQG
$YSXE
: 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 y\?ey'o 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 g>lZs 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 5'zXCHt 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 RzEzNV 4. 说明:光学元件 Tuln#<: }%|ewy9|CW GcBqe=/B! 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 s4|\cY`b- 位相延迟平板材料为N-BK7。 l=~!'1@L} 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 Su#0F0 透镜材料为N-BK7。 'cD?0ou`o 其中心厚度与位相平板厚度相等。 #Bd]M#J17a QNNURf\[( Lljn\5!r< 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 MGg(d :`bC3Mr ={BD*=i 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 G/_IY; 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 "=h1gql' .biq)Le 6. 分光器的设置 ')m!48 t<H"J__& K`4lL5oH TKDG+`TyZ 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 *6Wiq5M>. 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 {EgSjxfmw 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 i^s Vy &uq.k{<p\ 7. 合束器的设置 (@?mm CFtQPTw ai!u+L 384n1? 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 feej'l }F 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 KWJVc
` +}:Z9AAMy 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 @^,q/%; F y+NJSG U&^q#[' 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 &W<7!U:2m 应用示例详细内容 R/hf"E1 仿真&结果 iU)I"#\l'k ?@64gdlwq 1. 结果:利用光线追迹分析 \""^'pP@ iN;Pg_Kq 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 6!<I'M'[e 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 iJs~NLCgVu I7ao2aS 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 O. * 0;5 i)i>Ulj*i ~A0]vcP 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 4Gu'WbJ 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 `+H=3`}X 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 1T^WMn:U WtM%(8Y[] 3. 对准误差的影响:元件倾斜 74%vNKzc~ 0z8(9DlTc 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 Eb3 ZM# 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 "{0G,tdA 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 5y#,z`S M8},RR@{ 4. 对准误差的影响:元件平移 k8gH#ENNK O
NabL.CV 元件移动影响的研究,如球面透镜。 qGinlE&\ 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 #:)'D?, 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 5KCQvv\ OSu&vFKz z/7q#~J, 5. 总结 bt}8ymcG 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 so-5%S +=tdgw/ 4. 仿真 DUOoTlp 以光线追迹对干涉仪的仿真。 ?t/qaUXN _>gz& 5. 计算 3.&BhLT 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 6)INr,d 1/dL-"*0 6. 研究 o}N@Q-i gq 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 *D]:{#C* 7oZ:/6_> 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 ~Ntk-p .UK0bxoa 扩展阅读 Xaz "! UP](1lAf 1. 扩展阅读 I9?\Jbqg 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 @Q1!xA^S 2?,Jn&i5 开始视频 !6/UwPs - 光路图介绍 /@LkH$ - 参数运行介绍 ,np=m17 - 参数优化介绍 ;&d#)&O"e 其他测量系统示例: 4D65VgVDM - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) Ib(C`4% vC]X>P5 Px [$dVs16K QQ:2987619807 U,rI/'
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