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测量系统(MSY.0001 v1.1) c"1d#8J EZBzQ"" 应用示例简述 ^i\1c-/ v1)6")8o+ 1. 系统说明 I_7EfAqg( wP"|$HN 光源 >oDP(]YGg — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) f*Js= hvO 元件 zX`RN)C — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 0 +LloB 探测器 ArK9E!`^ — 干涉条纹 !yrHVc 建模/设计 G9Tix\SpF — 光线追迹:初始系统概览 |'_<(z — 几何场追迹加(GFT+): #"-^;Z 计算干涉条纹。 S
'+"+%^tj 分析对齐误差的影响。 @un
}&URp rK|&u
v*b 2. 系统说明 BxYA[#fd} V}+;bbUc- 参考光路 krc!BK`V  Ypj)6d 3. 建模/设计结果 mC(t;{ HH@xnd Pc==]H( 4. 总结 WEAXqDjM *wcoDQ b; 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ,>v9 Y#U v*'\w#
1. 仿真 ,5*xE\9G 以光线追迹对干涉仪的仿真。 Z]\^.x9S 2. 计算 NI:N
W-! 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 olh3 R.M< 3. 研究 1Z8oN3 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 {][7N p!y
d2yHfl]3 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 >Fk`h=Wd @$K q<P 应用示例详细内容 J5( D7rp# 系统参数 z}8L}: 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 @ibPL+~-_ 6FMW g:{ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 eH/\7)z <W')
~o} 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 Q.dy
$`\ Q9tE^d+% 2. 说明:光源 u@u.N2H.% W+C_=7_ i9U_r._qj; 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 fO!O"D5 因此,相干长度大于1m aZGDtzNG5h 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 q%Jy>IXt 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 Jd"s~n<>K q'@Ei4
wD^do X`QW(rq 3. 说明:光源 !H=k7s >1I2R/' HKN"$(Q 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 e`M]ZGrr 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 E?4@C"Na 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 AeCG2!8^0 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 H-KwkH`L4 4. 说明:光学元件 (jMAa% L^{;jgd&T9 P`IG9 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 1$D`Z/N"A 位相延迟平板材料为N-BK7。 :_,]?n 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 aX'g9E 透镜材料为N-BK7。 |$?Ux,(6 其中心厚度与位相平板厚度相等。 O| 6\g>ew 7r[%|: PeUd 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Yj7= T%5
|iUfM3 [^}>AC*im 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 bZay/ Zkj 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 w*xUuwi Ld3Bi2d| 6. 分光器的设置 3 [)s;e /\a]S:V-j Xm=^\K3 nB@iQxcz 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 nHA`B.:B 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 j_'rhEdLP 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 }vUlTH ^A"lkV7 7. 合束器的设置 ]pR fY9w keQXJ0 IgiF,{KE, ')u5 l 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 ]O7.ss/2 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 teOBsFy/I gAr`hXO 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 &Ky u@Tt $v'Y: s\Pt,I@Y_ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 2}Z4a\YX 应用示例详细内容 UrhM)h?% 仿真&结果 {NY~JFM Rg?{?qK\K 1. 结果:利用光线追迹分析 OSa}8rlr' .qIy7_^ 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 c.8((h/
对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 G_^iR- 9o`7Kc/g 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 s!hI:$J. ]/o12pI x!C8?K=| 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 ovDJ{3L6O 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 #6N+5Yx_[ 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 {C/L5cZ]J xMNNXPz( 3. 对准误差的影响:元件倾斜 .L^pMU+!^ YXX36 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 YA"Ti9-EV 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 >d{dZD} 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 b.R!2]T]i^ *^@#X-NG 4. 对准误差的影响:元件平移 2JiAd*WK <'}b*wUB 元件移动影响的研究,如球面透镜。 n^iNo 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 :Su #xI 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 <?LfOSdMs^ Z;GIlgK9 G`]v_`> 5. 总结 Sa;<B:| 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 pHen>BA[ j{{~Z M 4. 仿真 r zM Fof 以光线追迹对干涉仪的仿真。 Pt6hGSo. aNE9LAms 5. 计算 3XeXzPj 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 4<G? *xE"8pN/ 6. 研究 m]FaEQVoE 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 9Z,*h-o e2AN[Ar 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 lAdDu bA@
/B' 扩展阅读 `z|=~ M}Nb|V09 1. 扩展阅读 <w0NPrS] 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 2;r]gT~ 1Pk mg%+ 开始视频 4S,. R - 光路图介绍 r]A"Og_U - 参数运行介绍 lLuID - 参数优化介绍 Y{B9`Z 其他测量系统示例: (^sh - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) \Fj5v$J- kOs(?= yicO!:bM QQ:2987619807 )W&o?VRfO
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