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测量系统(MSY.0001 v1.1) XX+rf <AXYqH7%A 应用示例简述 g[Y$SgJ cA^7}}?e 1. 系统说明 7E]l=Z`x 5rhdm?Ls0 光源 L3Iz]D3s — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) s;)tLJ! 元件 t38T0Ao — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 e1a %Rj~ 探测器 `fHiY.- — 干涉条纹 {uG_)G Fr0 建模/设计 n*|-"'j — 光线追迹:初始系统概览 W12K93tO — 几何场追迹加(GFT+): 0 <;B2ce 计算干涉条纹。 2Ki/K( 分析对齐误差的影响。 r#}%sof m/h0J03'T 2. 系统说明 ~-zC8._w3r ZaV@}=Rd8 参考光路 )HHzvGsL)  "*WXr$ 3. 建模/设计结果 T9.gs}B0 W6>uLMUa _E 8SX
v 4. 总结 U3QnWPt}> pu#<qD*w 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 NoIdO/vy" G)`MoVH1 1. 仿真 1jb@nxRjO 以光线追迹对干涉仪的仿真。 E{B<}n|}& 2. 计算 .42OSV 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 HBu>BSv: 3. 研究 =+WFx3/ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 YWdvL3Bgk, `VbG%y&I 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 19DW~kvYk Ky|0IKE8Z 应用示例详细内容 $P~ a 系统参数 `XP Tf#9j 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 )c/BDC7g 4#uoPkLK 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 cm<3'#~Q? ShP V!$0 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 k[m-"I%ZFX }Q_i#e(S 2. 说明:光源 P{ o/F [d}1Cq=_ bx>D 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 ~]Jfg$' 因此,相干长度大于1m 3i1>EjML 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 &~EOM 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 Zuf&maa S %qhaVM$]
:n4x}% Qp}<8/BM\ 3. 说明:光源 }ls>~uN i|e-N?l jw)t"S/E 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 Q]C1m<x 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 2vLn# 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 XR(kR{yo 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 R !HL+ 4. 说明:光学元件 2Qy&V/E ? j<u`W|vl a>6p])Wh 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 QQJcvaQ 位相延迟平板材料为N-BK7。 M*Xzr .6 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 Bb6_['y 透镜材料为N-BK7。 `B~%TEvMh 其中心厚度与位相平板厚度相等。 .W\Fa2}%av nBd;d}LD
I`7[0jA~ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 P_}$|zj7 <v?-$3YT \BA_PyS?W+ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 .+.Pc_fv 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 sE% n=Ww &f$jpIyVX 6. 分光器的设置 w$_ooQ(_;Q /@K?W=w4 ;XjKWM; \VW.>@s~ 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 !Qy3fs 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 aE+E'iL 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 p-Z5 {by zPn8>J<.0Q 7. 合束器的设置 'sC{d&c *ZHk^d: oPi)#|jcb 2ma.zI@^u9 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 z[B7k%} 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 9E+^FZ e x~
I cSt 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 /}V9*mD2 ~{J.br` r(RJ& |