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测量系统(MSY.0001 v1.1) S&g- 75cr!+ 应用示例简述 PfMOc+ q [@71 1. 系统说明 2LK*Cv[ {Eb2<;1o{ 光源 ny;)+v?mN\ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
Xv;ZA a 元件 [ZpG+VAJ8 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 N,'qMoNf 探测器 {hp@j# — 干涉条纹 jYssz4)tp 建模/设计 AI`1N%Owi — 光线追迹:初始系统概览 X\:(8C;+ — 几何场追迹加(GFT+): gl4
f9Ff 计算干涉条纹。 j-\^
}K.& 分析对齐误差的影响。 xn#I7]]G t7&
GCZ 2. 系统说明 )eVDp,.^ oHGf | 参考光路 6j.(l4}  K0bmU(Xxp 3. 建模/设计结果 =(uy':Dbn* 9n2%7dLQ* jfhDi6N 4. 总结 i7E7%~S [ Sa
C 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 q>h+Ke sJ*U Fm{ 1. 仿真 'g,
x}6 以光线追迹对干涉仪的仿真。
WN?`Od:y 2. 计算 [IX!3I[J] 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 |Szr=[ 3. 研究 -"b3q 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 x6mq['_ Qpu2RfP 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 Wam?(!{mOf iV$75Atk 应用示例详细内容 Ho*RLVI0U 系统参数 >Qu^{o 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 /-9+( `RLrT34 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 I ywx1ac m|?J^_ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 "!eT i(#c
Yb 2. 说明:光源 P_Ja?)GT Ol^EQLO L PgI"6cP 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 i2c<q0u 因此,相干长度大于1m Fi}rv[`XY[ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 Rs`Y'_B 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ho=]'MS| qt;Tfuo
<W{0@?y QxL
FN(d 3. 说明:光源 pNsLoNZ3w @_Oe`j^ =5#Jsn?U 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 )4C6+63OD& 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 y6yseR! 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ml/O 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 M)RQIl5 4. 说明:光学元件 *XR~fs?/*W RlL,eU$CS !~kzxY 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 a-hGpYJJG 位相延迟平板材料为N-BK7。 I8:&Btf 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 VAzJclB 透镜材料为N-BK7。 |ZzBCL8q 其中心厚度与位相平板厚度相等。 d+)L\
`4 CT`X~y10 ':dHYvP/UX 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 _QCI<|A J4X35H=Z BS.6d}G4 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 |`/uS;O 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 q,Q|Uvpk ZJm^znpw6 6. 分光器的设置 k,(_R= f ebh1rUX =hlu,
B y G-<~I#k 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 a^,RbV/ 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 M] *pBc(o0 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 TR20{8" ?Ea"%z*c5 7. 合束器的设置 7mBL#T2 %q^]./3p `7ZJB$7D|* %W+Fe,] 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 B.jYU 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 /L^dHI]Q 9\2&6H 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 mAa]Et. V|`|CVFo] z`SkKn0f
Y 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 BD+?Ad? 应用示例详细内容 [l:.Q?? )| 仿真&结果 Hq$|j,&? N R{:4zJT 1. 结果:利用光线追迹分析 T(DE^E@a 4N&}hOM'S 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 ;;5i'h~?]J 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 kvn6
NiU !NjE5USi 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 IgL8u k"$V O+}m o5uwa{v 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 R#M).2:: 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 {VG6m
Hw 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 tHeLq*)) ;*p}~#2 3. 对准误差的影响:元件倾斜 VXS9E383 =KLYR UW 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 +l(}5(wc 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 }p~%GA.=98 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 AbB>ZT>hR rB]/N,R 4. 对准误差的影响:元件平移 bv "S( v]~[~\|a 元件移动影响的研究,如球面透镜。 ix;8S=eP~{ 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 ?%(*bRV - 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 /_\4(vvf zAewE@N#_ z?xd\x 5. 总结 ;f
Gi5=- 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Hw?
J1#1IE .anL}OA_q 4. 仿真 ,")7uMZaF\ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 _1ins;c52 "5Mo%cUp 5. 计算 }- Sr@bE 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 "2J;~ Wj&s5;2a 6. 研究 .PgkHb=l@ 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 K9R[
oB]b >\ W" 3. 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 &BkNkb 0 dq2v[?*R 扩展阅读 k>"I!&#g q2y:bqLWl 1. 扩展阅读 {+;8dtZ)x 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 Tb^9J7] y06 2/$*$ 开始视频 C;` fOCz^ - 光路图介绍 H UjmJu6f{ - 参数运行介绍 ^^m%[$nw&r - 参数优化介绍 DWAU8>c+ 其他测量系统示例: /.r($Sg^ - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) j^gF~Wz^ _~!,x.Dbp 8'y|cF%U QQ:2987619807 :.<&Y=^
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