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测量系统(MSY.0001 v1.1) ` U#Po_hq -fQX4'3R 应用示例简述 w>vmF cp ?&\h;11T 1. 系统说明 *k[kV H9:%6sds 光源 X\'E4 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) Vku#;:yUb^ 元件 "B?R|
Xg — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 xfes_v"" 探测器 d}VALjXHX! — 干涉条纹 %xpd(&)n 建模/设计 j`hNZ %a — 光线追迹:初始系统概览 W/a,.M — 几何场追迹加(GFT+): ~}9Bn)@ 计算干涉条纹。 F'ENq6 分析对齐误差的影响。 G V=OKf# *@~`d*d 2. 系统说明 a>?p.!BM ]'6'<S 参考光路 ;9vIa7L& Vp\80D& 3. 建模/设计结果 MyqiBGTb q>P[n z% !^]q0x 4. 总结 qKA_A% hi0XVC95 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 7\f{'KL ,Q+\h>I 1. 仿真 p!QR3k.9s 以光线追迹对干涉仪的仿真。 sl% #u9r= 2. 计算 e$H|MdYIA 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
wFp~ 3. 研究 C)U #T) 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 V*>73I {clCn 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 yr%yy+(.k 98h :X % 应用示例详细内容 7t`E@dm 系统参数 T^d#hl.U 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 Kyu@>9Ok ^uM_b 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 0c`sb+? Lblet 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 4bPqmEE prqyoCfq 2. 说明:光源 QN3qF|)) bG"6pU Tw}@+- 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 Tm%WWbc 因此,相干长度大于1m ?<Z)*CF) 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
v*smI7aH 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 K?$9N}+ -e &$,R>; U.Pa7tn r^fxyN2V 3. 说明:光源 E1^aAlVSD 0&.LBv8 !p-'t] 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 rf)PAdj|~ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 4u@yJ?U 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ?OdV1xB 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 t) ; 4. 说明:光学元件 TlM'g6SQS h_AJI\{" ^xzE^"G6 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 FP.(E9 位相延迟平板材料为N-BK7。 d]^\w'w$ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 @=02 透镜材料为N-BK7。 <ur KIu 其中心厚度与位相平板厚度相等。 >oVc5} >|v=Ba6R0 l0eANB%Y=@ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 &*X3ch 5Xp$yX = kqjxJ5 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 cZPbD;e: 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 }K#iCby4 QWU5-p9e8 6. 分光器的设置 #k"1wSx16 _Jf J%YXy NvXj6U*% nwZ[Ygl| 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 ]$* $0 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 e}{8a9J<%_ 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 <1ztj#B pP?<[ql[w 7. 合束器的设置 I@8+k&nXS 0L3Bo3:k n,CD4Nv wJ;9),fL 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 rU/-Wq`B 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 U)&H.^@r$ nEjo, 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 O JZ!|J8? 9OrA9r @t{{Q1 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 7H8GkuO 应用示例详细内容 H}u)%qY+~ 仿真&结果 ~EM#Hc, *Y|lO 1. 结果:利用光线追迹分析 jUV#HT Mqrt-VPh 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 {|8:U}<#h 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 umq$4}T'$ F9>(W#aC 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 ; Xnk+ Hl4vLx@ =RCfibT!C 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 {[(W4NAlH 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 -jcrXskb&N 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 %8bFQNd LH?gJ8` 3. 对准误差的影响:元件倾斜 ex;Yn{4 Mt7X<?GZm 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 FvtM~[Q 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 BP7<^`i& 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 [A.eVuV;+ [4V|UvKz 4. 对准误差的影响:元件平移 ^^j|0qshL H4K(SGx 元件移动影响的研究,如球面透镜。 zD#+[XI]K 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 g%<{G/Tz 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 gn;nS{A JsAb q vl#V-UW$4P 5. 总结 /_ hfjCE 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 +ik N) D 9I^H)~S 4. 仿真 O(c4iWm 以光线追迹对干涉仪的仿真。 -Y!=Iw
4 V.E.~<7D\ 5. 计算 Ed ?Yk* 4 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 MOH,'@&6^ unbcz{&Hb[ 6. 研究 XH_qA[=c] 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 /ab K/8ZQ
$)i"[ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 37za^n?SG v~W6yjp 扩展阅读 st1M.} ":ws~Zep 1. 扩展阅读 sov62wuqU 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 J[_?>YJ \C'I l
w 开始视频 (t"YoWA#m - 光路图介绍 Xf' - 参数运行介绍 Hf E;$ - 参数优化介绍 F0o18k_" 其他测量系统示例: z<C~DH - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) iaq:5||, 8mQd*GGu1 zfT'!kb,( QQ:2987619807 r:S5x. P2
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