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测量系统(MSY.0001 v1.1) G[>NP#P Rge>20uTl$ 应用示例简述 &3t973= >`AK'K8{M 1. 系统说明 R,BJr y (I~ 光源 )95k3xo — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) zP44
Xhz 元件 x@OBGKV — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 \E?3nQM 探测器 {5B j*m5 — 干涉条纹 8'*x88+ 建模/设计 ;5ki$)v" — 光线追迹:初始系统概览 gF,=rT1:>r — 几何场追迹加(GFT+): yP{ 52%|+ 计算干涉条纹。 gxl7jY 分析对齐误差的影响。 D"pT?\kO 32z4G =l 2. 系统说明 GNJ/|9 Q$U5[TZm 参考光路 )g'J'_Sl  iE'' >Z 3. 建模/设计结果 9qftMDLZJ\ i M !`4 "s0,9;
} 4. 总结 y$%oR6K7- .Exvuo`F 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 \8xSfe "B{3q`( 1. 仿真 :6Nb,Hh~ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 "%Ok3Rvv 2. 计算 ~3.*b%, 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 RvAgv[8 3. 研究
P\MDD@ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 `$/a-K} )7
Mss/2T 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 )J[m>tyY5 PgA<pfEHE 应用示例详细内容 *V kaFQZ$, 系统参数 AJ}FHym_ZQ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 G Y%5N= u 9I/l+IS"X 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 +g
g_C'" TO.b-
; 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
b WNa6x K[icVT2v~ 2. 说明:光源 G*4I;'6 W\~ie}D{ Wo
"s ;Z 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 fM ID}S 因此,相干长度大于1m ms0V1` 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 3Rb#!tx9 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 i6WPf:#wr mFTuqujO
7n#-3#_mG \oWpyT _ 3. 说明:光源 !K( >UCg3uFj ?XY'< |