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测量系统(MSY.0001 v1.1) m&`(pf4A %t~SOkx 应用示例简述 Q1nDl %`?;V;{= 1. 系统说明 QSF"8Uk C3\E.u? 光源 y3cf[Q — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) M6jp1:ZH2q 元件 `/w\2n — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 >^yc=mM(g3 探测器 5K ,#4EOV — 干涉条纹 6mu<&m@ 建模/设计 *j/S4qG — 光线追迹:初始系统概览 Z6^QB@moj — 几何场追迹加(GFT+):
gmRT1T 计算干涉条纹。 sp=OT-Pfp 分析对齐误差的影响。 7k]RO V@v1a@=W 2. 系统说明 ?jri!]ux# ;n}
>C' : 参考光路 >sQ2@"y)s2  @GG(7r\/B 3. 建模/设计结果 -Aa]aDAz68 fimb]C I|x ^Ue0mC7m 4. 总结 \9] I#Ih}M Z6Nj<2u2 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 iUI y,Y hhpv\1h# 1. 仿真 ':\fl.b 以光线追迹对干涉仪的仿真。 BrJ
o!@< 2. 计算 aXdf>2c{JD 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 i s L{9^ 3. 研究 S~0JoCeo 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 s) Cpi kDzj%sm! 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 =2
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g ?afX1Sg 应用示例详细内容 %5JW<9 系统参数 7L=T]W 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 P</s)"@ F#(.v7Za 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 q*6q}s3n 5-D`<\ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 Ag0]U 9W*.lf 2. 说明:光源 Z-)[1+Hs $]@O/[ b'velj3A 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 aSOU#Csx 因此,相干长度大于1m [E>R.Oe 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 ;rd6ko 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 F`!TV(,bY F:%^&%\
3p=vz' "JkZJ# 3. 说明:光源 mCM|&u Kb}MF9?:e Zta$R,[9h 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 `f@{Vcr%i 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 <^xfcYx\ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 wL;]1&Qq 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 bA9CO\Pp` 4. 说明:光学元件 tG/aH% 4S U\Ct/U&A? Dy su{rL 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 D9~}5 位相延迟平板材料为N-BK7。 Rab#7Q16Q8 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 Y2<dM/b/ 透镜材料为N-BK7。 M
Hg6PQIB 其中心厚度与位相平板厚度相等。 d7* CwY9" )o{VmXe@@ Zvxp%dES 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 q69H^E= ?cJY
B) NS@{~;#R 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 MEEAQd<* 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 <yZP|_ j")FaIM 6. 分光器的设置 dLZjB(0eO "%VbI P O}QFq14<+ yO=p3PV d 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 Pey//U 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 Km,*)X.-5 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 &pM'$}T* (#$$nQj 7. 合束器的设置 Ox^:)ii ibXe"X/_ =+<d1W`>0 [ByQ;s5tY 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 [(|^O>k8c 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 3[r";Wt# Hd*}k6 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 ltoqtB\s 9x?B5Ap[ [![ G7H%f 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 H-(q#?: 应用示例详细内容 Ea4_Qmn 仿真&结果 rnO0-h-; x`2| }AP( 1. 结果:利用光线追迹分析 X D) 8? |g<* Rk0
首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 yxwW j>c 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 rgqQxe= \3aTaT?.. 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 *_1[[~Aw ^O)ve^P %&+TbDE+T 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 0I5&a 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 -f?A h 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 F~6#LT i)8N(HN 3. 对准误差的影响:元件倾斜 RPH1''*! 2+.18"rvi 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 vc8?I."? 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 ~zF2`. 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 l}rS{+:wK (#|{%4g@> 4. 对准误差的影响:元件平移 y bQP E/9 "'a* [% 元件移动影响的研究,如球面透镜。 SdJ/4&{ ! 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 g$FEEDF 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 Gr: 3{o` x6;j<m5Mjx ;Lo&}U3F,! 5. 总结 BAV>o|-K 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 U>P|X=) !^y y0`k6 4. 仿真 XV>&F{ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 P=`1 rjPE O'$K],=BS 5. 计算
oY=1C} 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 bA@P}M)X R-rCh. 6. 研究 }$kQs!# 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ?WpenUWk ]|U-y645 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 .A6lj).: <G~>~L.E 扩展阅读 p'f%%#I r-IT(DzkD 1. 扩展阅读 Quzo8u 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 u6Je@e_! ~@4'HMQ 开始视频 }]+xFj9[> - 光路图介绍 o''wCr% - 参数运行介绍 `/n M[ - 参数优化介绍 zhblLBpeE\ 其他测量系统示例: ;%Hf)F - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) >cN~U3 *7$P] %Dig)<yx QQ:2987619807 nSx]QREL!
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