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测量系统(MSY.0001 v1.1) Moza".fiN *P=VFP 应用示例简述 rw JIx|( v$wIm, j 1. 系统说明 o|<!"AD7 Wt-GjxGi 光源 ^k">A:E2 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 3bH'H*2 元件 `dN@u@[\ks — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 !z3jTv 探测器 x
g — 干涉条纹 E*K;H8}s 建模/设计 %l[( Iw — 光线追迹:初始系统概览 PKiy5D*8p — 几何场追迹加(GFT+): jm/`iXnMf 计算干涉条纹。 JjTegQN 分析对齐误差的影响。 GGs}i1m yWo; a 2. 系统说明 cR<fJ[* c`w}|d]mC 参考光路 Iit;F  /7^4O(iG 3. 建模/设计结果 B[?Ng}<g` )Y{L&A V {ddr:]4 4. 总结 FWgpnI\X|{ S;#'M![8 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 hMD|#A-< -k e's 1. 仿真 y}ev ,j 以光线追迹对干涉仪的仿真。 {B*s{{[/' 2. 计算 m~0/&RA 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 `Eo.v#< 3. 研究 }00BllJ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 Txb#C[` _F|Ek ;y% 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 wjB:5~n50k /"Uqa,{ 应用示例详细内容 [5Mr@f4I 系统参数 'e'cb>GnA 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 B*Dz{a^.: ~dTrf>R8M 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 e1Hgw[l` k=T\\]KxC 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 M&9+6e'-F $}<e|3_ 2. 说明:光源 '!~)?C< q(W3i^778 5MJS
~( 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。
n<R?ffy 因此,相干长度大于1m 3{sVVq5Y 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 $suzW;{# 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 f\L0xJ Y\g3hM
TJXT-\Vk PtiOz
:zV 3. 说明:光源 t&e{_|i#+ ZyFjFHe+ @*KZ}i@._ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 R%[ c;i 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 D_zZXbNc 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 $X,D( 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 )irEM 4. 说明:光学元件 JYHl,HH#z [FR`Z=% `*1p0~cu
在参考光路中设置一个位相延迟平板。 j3E7zRm] \ 位相延迟平板材料为N-BK7。 4ID5q~ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 Qj3EXb 透镜材料为N-BK7。 :&."ttf= 其中心厚度与位相平板厚度相等。 #Ki[$bS~6 ^SrJu:Q_ =]0&i]z[. 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 m^;f(IK5 Zp=U
W*g^ 3AN/
H 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 WCixKYq 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 s|r3Gv|G PALc;"]O 6. 分光器的设置 GC}==^1 uJ v-4H &6nWzF [S!/E4>[' 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 Z4
=GMXj 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 sD#.Oq4&]y 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器 Qd3 j%( 5VU2[ \ 7. 合束器的设置 Q*~]h;6\{d '?(% Zxw%& E$p+}sP(C t;\Y{` 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 sLxc(d'A 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。 ER.}CM6{[ FVJGL 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 hM@>q&q_ @b2aNS<T A6(/;+n 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 +T Dw+ 应用示例详细内容 hkQ"OsU 仿真&结果 iGB}Il) $1`2kM5 1. 结果:利用光线追迹分析 '/s)%bc 1yu4emye4 首先,利用光线追迹分析光在光学系统中的传播。 g]0_5?i 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。 o&$A]ph8X }-=|^ 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 xU`p|(SS- #KZBsa@p )\$|X}uny& 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 #AQV(;r7@ 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。 v`
1lxX'* 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。 U # qK. E~"y$Fqe 3. 对准误差的影响:元件倾斜 -(H0>Ap 1iF1GkLEq 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 6T`i/". 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。 c{w2Gt! 结果可以以独立的文件或动画进行输出。 h@ryy\9 Z(CkZll 4. 对准误差的影响:元件平移 f) L $f7l34Sf3 元件移动影响的研究,如球面透镜。 t*w/{|yO 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。
92oFlEJ 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。 :d'8x 2<}%kQ` e+fN6v5pU 5. 总结 7B66]3v 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 K]w'&Qm8W /N.U/MPL_ 4. 仿真 3%b6{ie/= 以光线追迹对干涉仪的仿真。 LZxNAua tc_ 3sC7jN 5. 计算 AFwdJte9e 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 K[zVa { 2f-8Z&> 6. 研究 O?#7N[7 不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 .8JTe0 mQ"-,mMI 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。 V(!V_Ug9. ~((O8@}J 扩展阅读 dG ?*y \:LW(&[! 1. 扩展阅读 KHvYUTY 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。 8zW2zkv2|# FGBbO\</ 开始视频 &mS^ZyG - 光路图介绍 N4TV - 参数运行介绍 G$('-3@i`w - 参数优化介绍 @-`*m+$U6 其他测量系统示例: 0?|<I{z2 - 迈克尔逊干涉仪(MSY.0002) `C'H.g\>2Q iuul7VR-% F#5~M<`.o QQ:2987619807 IO<6
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