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光学测量 > 干涉测量 +CACs7tV uzS57 O% 任务/系统说明 D^pAf/ek@i
, ?}TSJKC
 Cs$g]&a
@`T6\ 1 亮点 fR bV c
F>&8b^v bn
 EV}%D9:
+ 7Z%N 9 •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； Tb}b* d 3 •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； V{8mx70
:%0Z 具体要求：光源 35ng_,t $ !({[ ^[!  ^Tl|v'
@+xQj.jNC 具体要求：用于准直的消色差透镜 v>,XJ 7P qU}[( 9~Ru >yaRz+  _H-Lt{k 'rSM6j ^ *ZO@GNL  (LnK af8 "Aynt_a. 具体要求：分束器 #e=[W) ) B$ {Q Y)t  KjhOz%Yt[o
a^,Xm(Wb} 具体要求：参考光路反射镜 ETmfy}V8 c+q4sNnE  ^JH 4:
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}^=J]
 O)&V}h U*
w E'~Qj 具体要求：测试光路反射镜 V-VR+ Ndz <FP&1Eg!|  7r:!HmRl
WzF /wz R 具体要求：探测器 huO_ARwK' R@;kY S  d}Q;CF3 m: t1D6#J P(a 结果：3D光线追迹 Nl0*"}`I_ 6<gh:vj  SI-s:%O yAaMYF@ 结果：场追迹 Mu Tl N "I
u3&mc
 'v?Z~"w=
<5=^s%H 结果：移动样品的场追迹结果 caS5>wk`R .|!Kv+yD  w?Y;pc}1B 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 h (ZZ7(ue
yH irm|o 文件&技术信息 c1c8):o+V l7\Bq+Q
 usU5q>1 l1nrJm8
x:G uqE QQ：2987619807 4/cUd=>Z
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