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光学测量 > 干涉测量 v`HE R6 Z}J5sifr 任务/系统说明 qb>41j9_t
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CL=%eSsuD 亮点 qO#3{kW
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T6U/ }&{O •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； {M]_]L{&7 •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； !+GYu;_
L:$4o 具体要求：光源 ;tjOEmIiU ^4dE8Ve"@  8tj]@GE <xI<^r'C9e 具体要求：用于准直的消色差透镜 7o E 0;' |R`"Zu` f9.?+.^_  77P\:xc AI|vL4*Xd "tJ+v*E  4&iQo' #-/W? kD 具体要求：分束器 n5:uG'L \ ;J %:DD  7EJ2 On
@) Qgy}*5 具体要求：参考光路反射镜 l2D*b93
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 66yw[,Y
]}2)U 具体要求：测试光路反射镜 =RoG?gd{R M(%H  AGlB vRX7e
i'IT,jz ! 具体要求：探测器 {{G)Ry*pb ~k"+5bHa*  TEtmmp0OD H I g2y 结果：3D光线追迹
5ZCu6 A vObZ|>.J~O  MpV<E0CmE JJ: ku&Mb 结果：场追迹 YpZB-9Krf M\ATT%b:
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w"hd_8cO 结果：移动样品的场追迹结果 ?CpVA gabfb#  Ji4p6$ .j- 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 +
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