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光学测量 > 干涉测量 \osQwGPV iBW6<2@oZF 任务/系统说明 1E_ Ui1 [
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T FA 亮点 X35U!1Y\
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=v=! x •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； ]<z(Rmn`Q •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； +( (31l
__%E!*m"<_ 具体要求：光源 JJ3JULL2 ^b.
MR ?9  Ui;s.f :R\v# ) C 具体要求：用于准直的消色差透镜 n
k3lC/f &nw ~gSe u (`A ?H:  C}EDl2 ,PxQ[CGg eH*b -H [  zm"g,\.d XB 7^Ka 具体要求：分束器 y.<Y]m / {~h?P}  ]}y'3aW
f+~!s 2uw 具体要求：参考光路反射镜 b u9&sQ; o@;_(knb  L4Y3\4xXO
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kovzB] 具体要求：测试光路反射镜 a/#,Y<kJ 5)<jPyC  ?M(Wx
HNT8~s.2 具体要求：探测器 W/Q%%)J gi >{`.]  > vy +U XnOl*#P 结果：3D光线追迹 qEz' l'%( 4=:eGlU93U  dig76D_[e ^uzVz1%mM 结果：场追迹 z 59J=?| _S1uJ~j;E
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Xy&#}S}9 结果：移动样品的场追迹结果 6<nO2 GW NZP,hAUK,  Jl ?Q}SB 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 "ukbqdKD
fTgN 2U 文件&技术信息 Ts6X:D4, )>p6h]]a
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