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光学测量 > 干涉测量 @ vrV*! .sj^{kGE 任务/系统说明 ?)1{)Erf8x
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By9*1H2R 亮点 ^WNrG F
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YGPy@-,E •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； )8UWhl= •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； qycI(5S,
2h=!k|6 具体要求：光源 O2BDL1o X6mqi; +  %e(z /"M=` Ts ^ "xlK 具体要求：用于准直的消色差透镜 A' /KUi 2m35R& $W9{P;  Gmq/3tw !cA yTl(_ %d(^d  c(n&A~*AJ% de; GrPLAi 具体要求：分束器 0 Emr<n Qe} `~a9P  X 90J!
-: Ia^{YN 具体要求：参考光路反射镜 d)R:9M}v sPMa]F(  [-;_ZFS{
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)?f{ 具体要求：测试光路反射镜 .Jrqm # P?6@\  , 'ZD=4_
G_k~X" 具体要求：探测器 o (r\E0 I {6c2{@  pm\x~3 jHs ;r>snJ=M 结果：3D光线追迹 5KDGSo HaYE9/xS  "(3BvMA&!9 I*IhwJFl/ 结果：场追迹 1}:bqI.<W nM-h&na{s
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)d$glI+ 结果：移动样品的场追迹结果 Lv'D^'I dz *7gL;7G  %9M ~f* 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 j^;I3_P
N#Zhxu,g! 文件&技术信息 E !a |Xp -#2)?NkeE
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