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光整形>衍射光学 pdq5EUdS J_}Rsp ED 任务说明 QqCwyK0 z`2Ais@ao SG{&2G X ApSKJ 灵活地导出制造数据: eEZZ0NNe; - 平滑的界面 $l/w.z - 量化界面 XgPZcOzYB - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 #QM9!k@9k !9]q+XefJ 亮点 YtFH@M 导出各种表面形状的制造数据 1{$=N2U 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ewOe A| /?B%,$~ /=gU 一般界面的制造数据 Gr|IM,5P4 N D1'XCN }_,={<g n<3{QqF 支持文件格式: fIii - 纯文本 yo]8QO]97 - ASCII码 SS7C|*-Zd - 点云 E, ;'n - CAD格式(例如,STL,IGES) ueu=$.^;g /ULO#CN?; STL导出平滑界面(例如Asphere) E-L>.tD n|Gw?@CU7 采样高度剖面的STL导出 ~M9&SDT/lB evro]&N{ IiZXIG4H ~=/.ZUQNX 量化界面的GDSII导出 is6d:p 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 nV>=n,+s" 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 JVq`v#8 K/|qn) :~LOw}N!aQ 文档和技术信息 %R@&8 [WN2ZQ x%OJ3Qjj= PC用于模拟的规格 wd<jh,Y C3-I5q(V] N7#,x9+E
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