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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-28
    光整形>衍射光学 ^o<[. )  
    =d20Xa  
    任务说明 Z(!pYhLq  
    nX x=1*X  
    3B18dv,V  
    ]if;A)'  
    灵活地导出制造数据： c;V D}UD'  
    - 平滑的界面 [ #]jC[  
    - 量化界面 %O) Z  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 !]DuZ=  
     j 2}v}  
    亮点 (:}<xxl  
     导出各种表面形状的制造数据 ph^4GBR   
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 F3 f@9@b   
         T Oy7?;|=  
    t"YIq/08  
    一般界面的制造数据 fA XE~  
    fPE?hG<x  
    5EhE`k4  
    z>:U{!5k  
    支持文件格式： xyV]?~7  
    - 纯文本 IQ{?_'  
    - ASCII码 !GNXt4D  
    - 点云 v72,h  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） hZF(/4Z2  
     u9}!Gq  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） + U5U.f%  
    Y(z }[`2  
    采样高度剖面的STL导出 wb+<a  
    |uQ[W17^N  
    *R!]47Y d  
    ?z"YC&Tp  
    量化界面的GDSII导出 |8;? *s`H  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 \*9Ua/H  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 4 m $sJ  
    "i''Ui\H  
    [Pqn 3I[  
    文档和技术信息 F G _,  
    dqwWfn1lt  
    /fC\K_<N  
    PC用于模拟的规格 UFk!dK+  
    r4S=I   
    rBD2Si=  
    QQ：2987619807
     
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