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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-28
    光整形>衍射光学 I |?zSFa  
    c[4  H  
    任务说明 $:R"IqDG  
    dHnR)[?e  
    \7QAk4I~  
    LY%`O#i.  
    灵活地导出制造数据： -t, .A/?  
    - 平滑的界面 Q Fv"!Ql  
    - 量化界面 1'dL8Y  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 z}vgp\cuT  
     &}P{w  
    亮点 URbu=U  
     导出各种表面形状的制造数据 oe$Y=`  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ]g jhrD   
         $0C1';=^}  
    <!#6c :(Q  
    一般界面的制造数据 ^[{\ZX  
    Y4Hi<JWo  
    ;Jex#+H(:D  
    w\ U fq  
    支持文件格式： _q >>]{5  
    - 纯文本 N'nI ^=  
    - ASCII码 `Z*k M VN  
    - 点云 1/>#L6VAZ  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） :^+ aJ]  
     N`7) 88>w  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） V 45\.V  
    Y4]USU!PA  
    采样高度剖面的STL导出 d^"<Tz!  
    iq>PN:mr  
    >1[Hk0 <x  
    tH0=ysf  
    量化界面的GDSII导出 "oX@Z^  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 9*gD;)!  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 aZGX`;3  
    #M;Cw}pW  
    }R#YO$J7  
    文档和技术信息 =k#SQ/@  
    +;7Rz_.6f  
    1*{` .  
    PC用于模拟的规格 9ZjSM,+  
    Ti`H?9t  
    './j<2|;U  
    QQ：2987619807
     
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