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光整形>衍射光学 NAlYfbp ;}ileLTl 任务说明 AMGb6enl A#\NVN8sk `c ^2 /T!S)FD\/v 灵活地导出制造数据: #B_
``XV - 平滑的界面 =i4 Ds - 量化界面 +K])&}Dw - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 U8PSJ0ny 8S "vRR 亮点 2r^| 导出各种表面形状的制造数据 E?m(&O
j 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ;|5m;x/a HE,# pj(D F\yxXOI 一般界面的制造数据 pZ}4'GnZI rfpeX ML^c-xY( K1AI:$H 支持文件格式: %+ynrg- - 纯文本 |<t"O - ASCII码 $*tq$DZ4& - 点云 xv4_q-r[ - CAD格式(例如,STL,IGES) l\vtz5L M}k t q) STL导出平滑界面(例如Asphere) \cP\I5IW:s &.,ZU\`zT 采样高度剖面的STL导出 5zWxI]4d\ hz\Fq1 hiZE8?0+~N D G}} S5 量化界面的GDSII导出 NguJ[ 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 7aUk?Hf 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 P,^`|\#7 BWamF{\d1a M^JRHpTn 文档和技术信息 l8/ tR %]S~PKx @0S3`[/U PC用于模拟的规格 g}
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