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光整形>衍射光学 9T\:ID=h GYBM]mW^ W 任务说明 Fw|5A"9'a' 7w9) ^ B;EdLs} 2a{eJ89f 灵活地导出制造数据: nD!^0? - 平滑的界面 QDU^yVa_ - 量化界面 rHMsA|xz6 - 镜子/棱镜/光栅单元阵列
@>BFhH j0Q;OKu 亮点 SQ@@79A 导出各种表面形状的制造数据 %f@]- 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 $Uzc X{)M}WO+r WHU&9N 一般界面的制造数据 JV@>dK8 [Ga9^e$Zv ^CX~>j\( h4V.$e<T& 支持文件格式: `jP6;i - 纯文本 !d ZHG
R - ASCII码 *-2u0 %
- 点云 K%S k{' - CAD格式(例如,STL,IGES) xX}vxhN (HY|0Bgr STL导出平滑界面(例如Asphere) /q8n_NR 1<lLE1fk 采样高度剖面的STL导出 <#:"vnm$j WFtxEIrl3j {<bByHT! fuQ?@F 量化界面的GDSII导出 ++xEMP) 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 # *\PU 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 HdVGkv/ *K!V$8k=99 MSw/_{ 文档和技术信息 e KET8v[ Uc\\..Cf lepgmQ|oY PC用于模拟的规格 >pr{)bp G an.)2*u x2;92I{5C,
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