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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-28
    光整形>衍射光学 :Lu=t3#  
    mcvd/  
    任务说明 [(Ss^?AJW  
    #\U;,r  
    j#mo Vq  
    wPdp!h7B~N  
    灵活地导出制造数据： ;/T=ctIs  
    - 平滑的界面 3m:[o`L  
    - 量化界面 qP=4D 9 ]  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 ^GMM%   
     &o@IMbJ8  
    亮点 *\ZK(/V  
     导出各种表面形状的制造数据 "l0z?u  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 EF1aw2  
         (|H1zO  
    qk!")t  
    一般界面的制造数据 RS'!>9I  
    >S/m(98  
    :=9?XzCC  
    !;EG<ji,gj  
    支持文件格式： >Wvb!8N  
    - 纯文本 }Jfi"L  
    - ASCII码 2w6 y  
    - 点云 hn]><kaA  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） n HiE$Y  
     t<~$?tuZ  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） }&|S8:   
    h2M>4c  
    采样高度剖面的STL导出 t*X k'(v  
    "\0&1C(G  
    B+W 4r9#  
    L9L!V"So1k  
    量化界面的GDSII导出 rq=D[vX\N(  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 ^0" W/  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 ';<gc5EK  
    HjG!pO{  
    \Eqxmo  
    文档和技术信息 yKSvg5lLy  
    +JQ/DNv  
    N pu#.)G  
    PC用于模拟的规格 6%N.'wf  
    o1I8l7  
    (vL-Z[M!  
    QQ：2987619807
     
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