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光整形>衍射光学 ^C~t)U =U}!+ 8f 任务说明 $KPf[JvQ ~j[mM E} <x1,4a~ wDKA1i%G 灵活地导出制造数据: YLp#z8 1e - 平滑的界面 B~`:?f9ny5 - 量化界面 6\RZ[gA? - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 ~Gh9m]b TRFza}4:i 亮点 pt%Y1<9Eh? 导出各种表面形状的制造数据 gW^0A)5 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 0}-MWbG $.O(K4S * & : J 一般界面的制造数据 },,K6*P *R8P brN K<p)-q 1 Ay.^f 支持文件格式: ]Uul~T - 纯文本 &"=<w - ASCII码 +@MG$*}Oz - 点云 /U=?D(>x - CAD格式(例如,STL,IGES) .=@CF8ArG 95*=&d STL导出平滑界面(例如Asphere) .2SD)<}(9 M<xF4L3] 采样高度剖面的STL导出 Tz{-L%*# xd!GRJ<I qjH/E6GGg u XVs<im 量化界面的GDSII导出 y|(?>\jBl 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 8>'vzc/*> 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 rGQY G3gEL)b* ^\w!D{Y7Q 文档和技术信息 <1E5[9
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