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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-28
    光整形>衍射光学 k[1[Y{n.  
    1Ji"z>H*  
    任务说明 cwUor}<|  
    b]8\% =d  
    a  ?wg~|g  
    2NL|_W/  
    灵活地导出制造数据： !<-+}X+o8$  
    - 平滑的界面 127@ TN"  
    - 量化界面 3 }rx(  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 @zix %x  
     )fT0FLl|1  
    亮点 &)~LGWBdC  
     导出各种表面形状的制造数据 E?m W4?  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 M?$tHA~OX  
         SYOU &*  
    Y}x_ud,  
    一般界面的制造数据 6>EoU-YX}l  
     Z\$!:  
    =gB{(  
    ! }awlv;  
    支持文件格式： L\<J|87p?  
    - 纯文本 nm,Tng oj  
    - ASCII码 YGq-AB  
    - 点云 AWmJm)   
    - CAD格式（例如，STL，IGES） 0*u X2*  
     u-dF ~.x  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） K*MI8')  
    6Qm .k$[  
    采样高度剖面的STL导出 VqB9^qJ]!  
    gE!`9#..  
    SR\$fmo  
    U09@pne8  
    量化界面的GDSII导出 `udZ =S"/L  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 -| t|w:&  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 3j$,x(ua9  
    v\COl*  
    1]jUiX=T  
    文档和技术信息 z;i4F.p  
    '8Lc}-M4  
    M$LzV}k  
    PC用于模拟的规格 EY!P"u;  
    O[')[uo8s  
    hB*3Py27L  
    QQ：2987619807
     
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