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光整形>衍射光学 .?NAq[H% e0 EJ[bG 任务说明 ,/9|j*9H vj0?b/5m Xw5"JE!. yRDLg
c 灵活地导出制造数据: f;a6ux# - 平滑的界面 <'33!8
G - 量化界面 1XRVbQt - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 d0az#Yg! s<]l[Y> 亮点 P]GGnT(! 导出各种表面形状的制造数据 0g\&3EvD 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 RJM(+5xQ| 5Tq 3L[T5; m\=u/Zip 一般界面的制造数据 ,zaveQ~l 2rM i~8T MiRB*eA g&V.o5jIhc 支持文件格式: :nt%z0_ - 纯文本 LtBH4A - ASCII码 EC0auB7G - 点云 >Ko )Z&j9W - CAD格式(例如,STL,IGES) TXM.,5Dx\ l{4\Wn Va STL导出平滑界面(例如Asphere) j&9~OXYv F)G#\r 采样高度剖面的STL导出 ]jYM;e ia[wVxd #*~Uu.T -uZ^UG!K 量化界面的GDSII导出 {mDaK&]Oh 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 ;&!l2 UB% 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 /zWWUl`: =
N#WwNC Y'P8 `$ 文档和技术信息 S.z ;Bm
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t> Am0$U eSZ PC用于模拟的规格 6!$S1z#wM 4}CRM# W2 {:Q2Itsy
QQ:2987619807
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