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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-28
    光整形>衍射光学 ;rF[y7\  
    K yyVO"  
    任务说明 wZN_YFwQ  
    ec`re+1r  
    !\$V?*p7  
    !/!ga)Y  
    灵活地导出制造数据： -7]j[{?w  
    - 平滑的界面 jCXBp>9$M  
    - 量化界面 c#>(8#'.U  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 22=sh;y+2  
     Rk[a|T&  
    亮点 T=)qD2?  
     导出各种表面形状的制造数据 &x[7?Y L  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 " :vEWp+g  
         El@*Fo  
    7F6 B  
    一般界面的制造数据 |35OA/O?X  
    pu+Q3NfR  
    f*B-aj#  
    m./PRV1$x  
    支持文件格式： !yxqOT-  
    - 纯文本 g&y^r/  
    - ASCII码 ,`k&9o7  
    - 点云 vy *-"=J  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） I8j:{*h  
     -F[@)$L  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） v&'#Gg  
    ~!5=o{wy  
    采样高度剖面的STL导出 @aZTx/  
    (y 7X1Qc)  
    {x.0Yh7  
    "I)zi]vk  
    量化界面的GDSII导出 g+4y^x(X@1  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 <JH,B91  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 giX[2`^NG  
    3,Yr%`/5'  
    flo$[]`.7  
    文档和技术信息 w\YS5!P,V  
    8ZVQM7O  
    %Qlc?Wl:  
    PC用于模拟的规格 SXZ9+<\  
    ]FZPgO'G  
    G:":CX"O(  
    QQ：2987619807
     
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