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光整形>衍射光学 \SWuylE M{=p0?X 任务说明 sD6vHX% Bi0&F1ZC! VK|$SY( xj5MKX{CJT 灵活地导出制造数据: y+7A?"s) - 平滑的界面 d1NKVMeWr - 量化界面 /1hcw|cfC - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 >/.Ae8I) N`vPt?@ 亮点 !1<>][F 导出各种表面形状的制造数据 yQFZRDV~ 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 3)l<'~"z< r90R~'5x9 9 vNz
yh\ 一般界面的制造数据 h0l_9uI #BIY[{! /vqsp0e"H vfh\X1Ui} 支持文件格式: ~-A"M_n ? - 纯文本 T1RICIf1F - ASCII码 hgdr\
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XUJ29. - CAD格式(例如,STL,IGES) Wf&i{3z[ !6J+# STL导出平滑界面(例如Asphere) *[b~2 h~#.s*0.F 采样高度剖面的STL导出 v5L#H=P P_Exh]P %,udZyO3uR ?!bA#aSbl5 量化界面的GDSII导出 FuP~_ E~ 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 eM^Y 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 @nM+*0
$d v2>Dn=V V|;os 文档和技术信息 |(5|6r3 VWMr\]g %;O# y3, PC用于模拟的规格 aY%{?8PsB k-$J # NOtwgZ-
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