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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-28
    光整形>衍射光学 it{Jd\/hR  
    kjQW9QJ<  
    任务说明 I>rTqOK  
    _zbIS&4  
    U=%(kOx  
    :tbI=NDb  
    灵活地导出制造数据： ?9?A)?O<j~  
    - 平滑的界面 ~jJ.E_i  
    - 量化界面 6RIbsy  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 %4` U' j  
     U6|T<bsOl  
    亮点 m{$+  
     导出各种表面形状的制造数据 )cL(()N  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ;HYEJ3  
          &I-T  
    RU#}!Kq  
    一般界面的制造数据 .[eC w  
    S/*\j7cj  
    IkmEctAU  
    K%`]HW@I{  
    支持文件格式： ;jx[  +  
    - 纯文本 |) cJ  
    - ASCII码 dHAT($QG  
    - 点云 D HQxu4  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） LV1drc  
     ?zP 2   
    STL导出平滑界面（例如Asphere） s[eSPSFZ  
    vC1fKo\p  
    采样高度剖面的STL导出 yX*$PNL5w  
    3st?6?7|  
    [QMN0#(h  
    '+l"zK ]L-  
    量化界面的GDSII导出 2Y9u9;ah  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 [So1`IA6  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 Hr=|xw8.  
    G*_]Lz(N  
    G3y8M |:  
    文档和技术信息 R<I#. KD  
    O..{wdZy  
    &'zc2  
    PC用于模拟的规格 kWa5=BW2f  
    f tl$P[T  
    IP{$lC  
    QQ：2987619807
     
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