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光整形>衍射光学 Z'd]oNF zJOyr"B'8 任务说明 j
~I_by $]a*ZHd;2& !VHw*fL|r
:1~4X 灵活地导出制造数据: qporH]J-E - 平滑的界面 $4]4G=o - 量化界面 _OK!/T*FBt - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 K'[kl' >B.KI}dE 亮点 w ;:{ 导出各种表面形状的制造数据 &-Q_%eM^ 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 R,-DP/ (im 2=|Ks]<P s|R`$+'{ 一般界面的制造数据 C~M,N|m+^ U:|:Y=O?Q M0]J`fL@ /5Yl, P 支持文件格式: NkAu<>
G _ - 纯文本 31p7oRzr - ASCII码 &b]_#c - 点云
O44Fj) - CAD格式(例如,STL,IGES) ~6[3Km|2 ]zI*}(adu STL导出平滑界面(例如Asphere) 9zpOp-K6 V} h)e3X 采样高度剖面的STL导出 l_ LH!Tu 6dRvx;d IYhn* -R`nitf 量化界面的GDSII导出 d\tA1&k71 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 [6nN]U~ Y 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 !]&+g'aC3 /@", 5U# sDkO!P 文档和技术信息 6L-3cxqf\ \M*c3\&~,e Z{_YH7_ PC用于模拟的规格 cY|@s?3NND :]8!G- Z O#)YbaE
QQ:2987619807
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