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光整形>衍射光学 G_2gKkIK- B%%.@[o, 任务说明 OQytgXED c]s(u+i q7O,I`KaJ ==-7F3QP 灵活地导出制造数据: ;uM34^ - 平滑的界面 xE G+%Uk{ - 量化界面 YiIddQ - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 XJ
f+Eh <O,'5+zG% 亮点 RR[)UQ 导出各种表面形状的制造数据 dAYI D E 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 dJdD"xj ]97Xu_ 26\HV 一般界面的制造数据 wo7N7R5 %gV)arwK =R8f)UQYx 4)z3X\u|Z2 支持文件格式: &57qjA,8< - 纯文本 ,GdxUld - ASCII码 X;s3y{ku - 点云 >Jm-2W5J - CAD格式(例如,STL,IGES) 1zb$5 {,| a^RZsR STL导出平滑界面(例如Asphere) -{yDk$" bjM-Hd/K 采样高度剖面的STL导出 th.M.jas i>ESEmb- L0X&03e=e: L"""\5Bn( 量化界面的GDSII导出 +L`V[; 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 'P@=/ 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 Ep^B,;~ (A7T}znG +
$k07mb\ 文档和技术信息 ]}nu9z< )x$!K[= RtW4n:c PC用于模拟的规格 QT`fix{ Nbgp_:{ Q;XXgX#l
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