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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-10-28
    光整形>衍射光学 $>m<+nai'  
    7s3<}  
    任务说明 IvH+94[)  
    V#KM~3e  
    &>t1A5  
    /omVM u  
    灵活地导出制造数据： IDZn ,^  
    - 平滑的界面 _ RT}Ee}Y  
    - 量化界面 M/;g|J jM  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 Z`M Q+  
     NebZGD2K  
    亮点 3W0:0I  
     导出各种表面形状的制造数据 -3 Hq1  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 aQ\O ]gCE  
         }$U6lh/Ep  
    XE\bZc  
    一般界面的制造数据 ~=*_I4,+r  
    4ebGAg?_  
    SBt: `,  
    Pw{+7b$  
    支持文件格式： ]uf_"D  
    - 纯文本 aR $P}]H  
    - ASCII码 p(%x&*)f  
    - 点云 |JQ05nb  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） `BY`ltW  
     &Y$rVBgQ  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） Q5JeL6t  
    K2Zy6lGOZ  
    采样高度剖面的STL导出 s<]l[Y>  
    *^ BE1-  
    )=@ XF0  
    i|Wn*~yFOO  
    量化界面的GDSII导出 'Ud5;?{  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 y5}|Y{5  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 gE~31:a^  
    GS%Dn^l  
    k=[R o  
    文档和技术信息 k@'.d)y0`  
    Yg b#U'|  
    :1Cc~+]w(u  
    PC用于模拟的规格 E3qX$|.$/  
    `OWB@_u5  
    Ycwb1e#  
    QQ：2987619807
     
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