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成像系统>包括光栅 (Fqa][0 I.a0[E/, 任务/系统说明 2GUupnQkD Abf1"#YImy  h >W@U9 +* D 4( 亮点 (I~\,[
^@"c`
 ,LZ(^ u rKp1%S1 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） 2d~LNy 严格分析光栅衍射效率 (: OHyeNt 考虑入射光的方向分布 )&z4_l8`= N7pt:G2~% 说明：光源 tBv3~Of. KII ym9%  Q S;F+cmTh u~}%1 说明：光束分束器 Qi:j)uDW l5 HWZs^  4#h ?Wga @H+~2;B, 说明：检测透镜系统 y\Dn^ @'gl~J7  +c r p%8 v` 说明：微型晶片 !qaDn.9 $}4K`Iu  `j:M)2:*y $m8leuo) 说明：检测物镜 8 }z3CuM XN(tcdCG  QT;Va#a
{,Fcd(MU 说明：探测器 A6i
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 6ZOAmH fs f?0D%pxc}& 结果：3D光线追迹（只有0级） ,ey0:.!; "& Mou  -ek1$y9) ob]dZ 结果：3D光线追迹（所有级） ?@3&dk~ni o\ 60 n  R+F,H` ]v GgJ< 结果：光线追迹 :A#+=O0\ z x ;mJv fX
 Y'JL (~ | t9Vb~ Ubdb 结果：场追迹 ALAL( f` RpA iU
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FF3&Y^+^" 文档和技术信息 C d|W#.6 yl]UUBcQ
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