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    [推荐]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-16
    成像系统>包括光栅 /.1h_[K]  
    {/qq*0wa  
    任务/系统说明 N..@}}  
    f87lm*wZ  
    Z&y9m@  
    \XG\  
    亮点 TUR2|J@n  
    _ 3jY,*  
    |w`Q$ c  
    M7AUY#)  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) a#P{[  
     严格分析光栅衍射效率 y/Q,[Uzk\  
     考虑入射光的方向分布 OQsF$% *   
    AkV8}>G?#A  
    说明:光源 ^:m7Qd?Z[  
    N1z:9=(I  
    <o_(,,P%  
    0$q)uip  
    说明:光束分束器 nOUF<DNQ  
    K2pW|@~U  
    8Jf4" ;  
    ~YrO>H` B  
    说明:检测透镜系统 oyo V1jO  
    #j${R ={  
    8|\?imOp\[  
    25jgM!QBXF  
    说明:微型晶片 R;2 Z~P  
    A{QA0X!p  
    W&0KO-}ot  
    !qVnziE,,  
    说明:检测物镜 Z"'tJ3Y.~  
    ,qO2D_  
    A;C)#Q/  
    8Ir = @  
    说明:探测器 +`~6Weay  
    #R3|nL  
    ju?D=n@i  
    $23dcC*hI  
    结果:3D光线追迹(只有0级) f 8836<c  
    )Fh5*UC  
    _V-pr#lP1  
    I Z{DR  
    结果:3D光线追迹(所有级) VRa>bS  
    l|&DI]gw  
    K';x2ffj  
    $fl+l5?9  
    结果:光线追迹 h1.<\GO  
    E*X-f"  
    P+t`Rw  
    lcYjwA  
    结果:场追迹 rc+}KO  
    rW B/#m  
    1=Nh<FuQ  
    Z. G<'  
    结果:线性偏振光的场追迹 jQrw^6C  
    tKKQli4Mn4  
    e.jbFSnA  
    :J6lJ8w ?  
    文档和技术信息 A 2Rp  
    5>u,Qh  
    7F@#6  
    }*9mNE  
    N-:.z]j#_  
    QQ:2987619807 @UCr`>  
     
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