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成像系统>包括光栅 <$!^LKKzA [!9 dA.tF 任务/系统说明 mGR}hsQpn aVsA5t\zi  Gh; Ju[6 9i4!^DM_ 亮点 Pl(+&k`}
FRa@T N/Ic
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j. UQLi&` 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） ? ->:,I=<~ 严格分析光栅衍射效率 t}r`~ AEa! 考虑入射光的方向分布 ` Q C 5y ]1 v 说明：光源 F)P"UQ!\ %Ci`O hT  Omy4Rkj8bh QH%Zbt2qS 说明：光束分束器 LDDeZY"x d `tZu~
n  H}G=%j 0 `@+}zE 说明：检测透镜系统
7-a[W *=UxX ] 0y  :EOx>Pf_9) ,M@LtA3g 说明：微型晶片 )X*?M ?~\ 0 5et h  a(}dF?M= VxD_:USIF 说明：检测物镜 !9GJ9ZEXM @j
+8 M  {z)&=v@ p<>x qU 说明：探测器 l|#WQXs*c{ 4.]xK2sW  gp0 7I{0~m R? aE:\A 结果：3D光线追迹（只有0级） 6u-@_/O5R3 ]L0GIVI E  K:PzR,nn 08)X:@ w? 结果：3D光线追迹（所有级） jG($:>3a@ @**@W[EM  [$; \1P/ =gI;%M\' 结果：光线追迹 RQ?T~ASs OO%< ~H
 IT,d (UV_ 2+KOUd&jS 结果：场追迹 u`E 24~ $*)??uU
 ^/;W;C{4 cd8ZZ 8L 结果：线性偏振光的场追迹 JTT"t@__ cSdkhRAn  ejq2]^O4c
bu`8QQ "C 文档和技术信息 En@] xvE rEI]{?eoF
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