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成像系统>包括光栅 uRpBeH]Z"
w{r8kH 任务/系统说明 { m'AY) ; [FLT:$  _N @(Y : xj7vI&u. 亮点 #N$9u"8C
H nd+l)ng
 9(Jy0 ]E~ ;?`@"YG) 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） JRo;(wqZ 严格分析光栅衍射效率 q~M2:SN@X 考虑入射光的方向分布 F 3s?&T)[G .:N:p W e 说明：光源 r>O|L%xpv YD9!=a$  &Sa~/!M WN\PX!K9 说明：光束分束器 V)h
y0_ 1mix+.d  +99Bi2H}o e=L*&X 说明：检测透镜系统 g>T f "P$f8$  a'A s (l_:XG)7~b 说明：微型晶片 8i[LR#D) _#vGs:-x&  ^vaL 8+ t}~UYG( h~ 说明：检测物镜 ]x_F{&6U8 O2lIlCL  \ 4QH/e }I'^./za 说明：探测器 Qsji0ikG ,J& 9kYz  u(Rk'7k `;/XK,m- 结果：3D光线追迹（只有0级） Qt~B#R.
V D )gD<  lRH0)5` ;W ~4L+e 结果：3D光线追迹（所有级） & g$rrpTzv 7 Kjj?~RA  y]^#$dK(z u# 3)p 结果：光线追迹 +o u Y ~j] dc t7
 *{nunb>WO }Aw47;5q; 结果：场追迹 [S) G$JW 0E RsMnU'
 BUDGyl/= XmlIj8%9[& 结果：线性偏振光的场追迹 {#9,j]< s>r ^r%uK  H0+:XF\M
'e85s%ru 文档和技术信息 D:)~%wu Lt Z/c_kf[
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