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    [推荐]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-10-16
    成像系统>包括光栅 F?ebY k1  
    ;wxt<   
    任务/系统说明 SkA'+(  
    Kx+Bc&X  
    `VE&Obp[  
    cZzZNGY^ts  
    亮点 z}tp0~C  
    =*}Mymhk(  
    =ol][)Bd  
    1n( }Q1fa  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) ]e~^YZOs  
     严格分析光栅衍射效率 2vN(z %p  
     考虑入射光的方向分布 wT= hO+  
    @e0skc  
    说明:光源 kw:D~E (  
    \87J~K'  
    I?g__u=n~  
    =hOa 0X=  
    说明:光束分束器 gtGKV  
    N:[;E3?O  
    &:#8ol(n5b  
    l_-n&(N2<[  
    说明:检测透镜系统 *m@w^In^  
    n{r#K_  
    08?MS_  
    xBfe8lor  
    说明:微型晶片 >m1V9A  
    s7i.p]  
    -+>r4P  
    b ]&zDo|8  
    说明:检测物镜 {/xs9.8:JX  
    DjzBG*f/  
    `A _8nW)  
    {ah~q}(P  
    说明:探测器 lO:{tV  
    ~y H>Ko9F}  
    +Z<Q^5w@  
    nCMa$+  
    结果:3D光线追迹(只有0级) NVqC|uEAF  
    kok^4VV  
    Qr%Jm{_o  
    8{Eo8L'V  
    结果:3D光线追迹(所有级) kF,\bM  
    `s> =Sn&UP  
    Gb|}Su  
    L##8+OJ.L  
    结果:光线追迹 X/8iJ-KB  
    SKpPR;=q|:  
    >-@ U_p  
    ;;'a--'"  
    结果:场追迹 U%t/wq  
    }j(2Dl  
    :sVHY2x  
    :6j :9lYL2  
    结果:线性偏振光的场追迹 nlebFDb7  
    JD{MdhhV  
    iqednk%  
    4JZHjf0M6  
    文档和技术信息 Kxl,] |e>  
    V}|v!h[O8  
    {rvbo1t  
    uo4$rf7  
    #>:(#^Uu  
    QQ:2987619807 [)SR $/A  
     
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