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成像系统>包括光栅 (WW,]#^
nDvny0^a 任务/系统说明 u%O^hcfb `,(1' @ %z5]w &%Hj. 亮点 p Nu13o~ 1F5F2OT$8
T^GdN_qF >t8eVMMa 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) tazBZ'\c 严格分析光栅衍射效率 n X
Qz 考虑入射光的方向分布 0;TMwE U2ANu| 说明:光源 PyHE>C% Yb =8\<; 'q*1HNwGp NUL~zb 说明:光束分束器 HIhoYSwB y&__2t^u j7-#">YL xDr
*|d 说明:检测透镜系统 5<w0*~Zd~ 'd?8OV ,iPkx( 9Zrn(D 说明:微型晶片 v2@M,xbxF: JmYi& "<O?KO3K *rEW@06^\ 说明:检测物镜 F"23>3 {8jG6 jv0e&rt "Ln\ZYB] 说明:探测器 w-nkf
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