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成像系统>包括光栅 H064BM _IHV7*u{; 任务/系统说明 IxN9&xa kOrZv,qFG[ GTPHVp&y 5J.bD)yrP 亮点 IVnHf_PzF U BU=9a5
w>&aEv/f HXC ;Np 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) edq4D53 严格分析光栅衍射效率 CT<7mi! 考虑入射光的方向分布 A/$QaB,x V*;(kEqj 说明:光源 ha<[bu e MTh<|$
yx8z4*]kH @Sn(lnlB 说明:光束分束器 %g$o/A$ ] )\Pqn( uk:(pZ-uJ :K,i\ 说明:检测透镜系统 cGzPI+F ,.8KN<A2]' dh iuI|?@ =U9*'EFr 说明:微型晶片 @CL{D:d !X#OOqPr= ]IQ&>z}< [-K& |