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成像系统>包括光栅 /.1h_[K] {/qq*0wa 任务/系统说明 N..@}} f87lm*wZ Z&y9m@ \XG\ 亮点 TUR2|J@n _
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|w`Q$ c M7AUY#) 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) a#P{ [ 严格分析光栅衍射效率 y/Q,[Uzk\ 考虑入射光的方向分布 OQsF$%* AkV8}>G?#A 说明:光源 ^:m7Qd?Z[ N1z:9=(I <o_(,,P% 0$q)uip 说明:光束分束器 nOUF<DNQ K2pW|@~U 8Jf4"; ~YrO>H` B 说明:检测透镜系统 oyo
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Z~P A{QA0X!p W&0KO-}ot !qVnziE,, 说明:检测物镜 Z"'tJ3Y.~ ,qO2D_ A;C)#Q/ 8Ir
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? 文档和技术信息 A
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