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成像系统>包括光栅 &Gt9a-ne (^4%Fk&I- 任务/系统说明 #75;%a8 w$!n8Aqs W2k~N X#@ ,O+7nByi[V 亮点 btE+.V PrcM'Q
N@>S>U8C M@3H]t? 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) 4c yv
8 严格分析光栅衍射效率 Ui.F<,E 考虑入射光的方向分布 '37b[~k4 koU.`l. 说明:光源 b,W'0gl 8K/lpqw Ww~0k!8,t 5W48z%MN
说明:光束分束器 9.B7Owgr89 .wSAysiQ|P #@fypCc uI[*uAR 说明:检测透镜系统 sFTIRVXN, SOL=3hfb^ :KLD~k7yA( \v_C7R;& 说明:微型晶片 GdU
W$. ;~J~g# wGH@I_cy> ZJ(!jc$"*% 说明:检测物镜 :Mk}Suf&H -Me\nu8(RF G;;~xfE' I'C,' 说明:探测器 wW4S@m qu%s 7+ ?+\,a+46P_ A@OV!DJe] 结果:3D光线追迹(只有0级) Ul
Iw&U De_</1Au!2 [)A#9L~s= ~aG-^BAS 结果:3D光线追迹(所有级) O|~'-^ $EIkk= z wrU[#g,uvr vp@+wh]# 结果:光线追迹 ]Yex#K
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