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成像系统>包括光栅 [, Gg^*umS [y(MCf19 任务/系统说明 [n@]
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 e'~3oqSvR }bxs]?OW> 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） yWK)vju" 严格分析光栅衍射效率 5m@V#2^P 考虑入射光的方向分布 BGSw~6 )lkjqFQ( 说明：光源 6k%f {7[Ox<Ho  x2xRBkRg= 5pX6t 说明：光束分束器 {}9a6.V;}
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H  F59 TZI KNl$3nX 说明：检测物镜 _`X:jj> + {]j]OP  @7 }W=HB X$
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