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成像系统>包括光栅
8'8`xu$ @ I`^\oJ 任务/系统说明 S-7&$n .PUp3 X-  D! [v{0 er W-n4w Ij" 亮点 Ec@n <KK#
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 73D< wMgZF Lz'VQO1U= 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） w31Ox1>s 严格分析光栅衍射效率 9_?x AJ 考虑入射光的方向分布 Z,.Hz\y1D "^n,(l*4x 说明：光源 E=p+z"Ui GBbnR:hM  a4__1N^Qj 67II9\/ 说明：光束分束器 T`ibulp 0 5`"U#`:  6 4zOEjra &Vz$0{d5 说明：检测透镜系统 4VwF \ %M@K(Qu  u kW&\ rGyAzL] 说明：微型晶片 YB5"i9T2 6QX m] <
 go uU %L+q:naZe 说明：检测物镜 MY^{[ #Q v 3I^81  _fHml 147QB+cE 说明：探测器 $oK&k}Q FmL]| ~  x;n3 Zr;( g"! (@]L!@ 结果：3D光线追迹（只有0级） N T`S)P*? ~|V^IJZ22  Wh) D_ h+FM?ct6} 结果：3D光线追迹（所有级） f2i:I1 p(" sS>b}u+v#!  A9$x8x*Lt 0ns\:2)cEB 结果：光线追迹 kJWg},-\ ky2 bj}"p9
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