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    [推荐]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2020-10-16
    成像系统>包括光栅 m%PC8bf`S  
    &  =/  
    任务/系统说明 vpU#xm.K  
    5?Wto4j  
    =v*.p=r  
    +NFzSal  
    亮点 Dn>%%K@0  
    C^ )*Dsp  
    ko^\ HSXl  
    Ks\ NE=;5  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) ~g7l8H67  
     严格分析光栅衍射效率 %2V-~.Ro6  
     考虑入射光的方向分布 hTbI -u7BF  
    !u]1 dxa  
    说明:光源 RV&^g*;E  
    VS&TA>  
    KeNL0_ Pw  
    o:6@ Kw^  
    说明:光束分束器 !!o8N<NU  
    v<fnB  
    g&n)fF  
    p^iRPI  
    说明:检测透镜系统 3R&lqxhg  
    wd/< 8>2X  
    . <tq6 1  
    b}Zd)2G  
    说明:微型晶片 :eZh'-c?  
    _f6HAGDN  
    hb{ u'=  
    YSaJeU>@  
    说明:检测物镜 [{r}u  
    u=YX9Mo!  
    B(F,h+ajy  
    KzQ3.)/q  
    说明:探测器 *|_"W+JC  
    9h0X&1u  
    .SWt3|Pi5  
    -rKO )}  
    结果:3D光线追迹(只有0级) )z8!f}:De=  
    "k Te2iS  
    FW"^99mrnb  
    \u&_sBLKV  
    结果:3D光线追迹(所有级) ~y$ !48o  
    F,5r9^,_  
    Ys!>+nL|  
    kPjd_8z2n  
    结果:光线追迹 W>b(Om_%  
    bZx!0>h  
    X{kpSA~  
    )NR Q2  
    结果:场追迹 VxzkQ}o  
    z_ =Bt  
    _uc\ D R  
    <58l;<0  
    结果:线性偏振光的场追迹 v=95_l  
    }oJAB1'k  
    % },Pe  
    OTZ_c1"K  
    文档和技术信息 |;A/|F0-e  
    Eq:2k)BE  
    y&_m 4Zw"  
    @t1V o}c  
    `Bn=?9  
    QQ:2987619807 s s 3t  
     
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