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摘要 Abt<23$h w]{c*4o 光栅结构广泛用于多个应用,如光谱仪、近眼显示系统等。通过应用傅里叶模态方法(FMM),VirtualLab Fusion以一种简单的方法提供了任意光栅结构的严格分析。在光栅软件包中,通过使用堆栈中的多个界面或/和介质可以配置光栅结构。用于设置堆栈的几何结构的用户界面是友好型的,可以用于产生更加复杂的光栅结构。在这个用例中,解释了基于特殊介质光栅结构的配置。 tzIP4CR~F& ?{^_z_, rz
k;Q@1 F=1 #qo<? 该用例展示了… 'g,h 在光栅工具箱中通过使用特殊介质如何配置光栅结构,如: M>p<1`t-& 倾斜光栅介质 2[qfF6FHA 体光栅介质 8{2 如何在计算前改变高级选项&检查定义的结构 bHv"! nM2<u[{gF 6{1=3.CL :e;6oC*"q 光栅工具箱初始化
v>B412l Z,E$4Z k/wD@H N 初始化 F!ztU8, 开始-> )-Hs]D: 光栅-> J#F5by%8 通用光栅光路图 /u4RZ|&as 注意:对于特殊类型光栅的使用,如体光栅,可以直接选择特定的光路图 `7:uc@ 光栅结构设置 u5k{.& 首先,需要定义基底(底座)材料和厚度 j2_j5Hgo 在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈中定义 Si?s69 堆栈可以固定到基底的一边或两边 bN zb#P#hP bkDVW 这个例子中,第一个界面上的堆栈已经选中 49&i];:%7% BL16?&RK 堆栈编辑器 a- rR` eb\S pdM6 /)Cfm1$ic <Q9l'u]3$c 堆栈编辑器 .c+U=bV- },l
i'r#p B=a+cT 涂层倾斜光栅介质 $ItmYj.m v7
*L3Ol
在目录分类“LightTrans定义”中,可以找到涂层倾斜光栅介质。 7b>_vtrt 这种类型的介质可以使用具有或不具有额外涂层的倾斜光栅结构 M8X6!"B$Y 在这个例子中,由熔融石英制成的光栅(具有含铬的涂层)位于玻璃基质上 :
"|/ 在堆栈编辑器视图中,不同的材料由基于他们折射率的其他颜色显示(暗色意味折射率高) *O~y6|U? <.n,:ir OA&'T*)-A6 rz%~=Ca2j 涂层倾斜光栅介质 )-)rL@s. x:MwM? 5:IDl1f5 yogavCD9b/ 涂层倾斜光栅介质 N<rq}^qo 堆栈周期允许控制整个配置的周期 ]i.N'O<p 该周期同样用于FMM算法的周期性边界条件 O>]i? 在简单光栅结构的案例中,推荐选择选项“根据介质周期“和选择周期性介质合适的折射率 FAdTm#tgW] l2St)`K8 .t1:;H b `CS\"|z 涂层倾斜光栅介质参数 Ur
xiaE Pl:4`oY3 qhGz2<}_j %(W&(eN 涂层倾斜光栅介质参数 spfW)v/T! ,yltt+e ~-A"j\gi" paIjXaU1Mb 高级选项&信息 Z|n|gxe 在传输菜单中,多个高级选项可用 /=p[k^A 传输方法标签允许编辑FMM算法的精确设置 $UH:r 可以设置考虑的总级数或倏逝级数的数量 $M)i]ekm 这可能是有用的,如果考虑金属光栅 c36p+6rJk= 相比之下,在电介质光栅中,默认设置已经足够 nKm#
kb *ai~!TR S=r0tao,!v 9?,i+\)qK@ 高级选项&信息 n\((#<& 高级选项标签提供了结构分解的信息 ck{S 层分解和过渡点分解设置可用于调整结构的离散化,默认设置适用于几乎所有的光栅结构 >g{&Qx`& 更多地,提供了关于层数和过渡点的信息 {OEjITm 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述,折射率由颜色尺度描述 N4+Cg t( JI.=y5I ~ZVz
sNrx F9o7=5WAb 高级选项&信息 C~pas~ bIiuna\ Q[#}Oh6$ \:J=tAC 高级选项&信息 -r sbSt ?_ P$U"y/ ;|vP|Xi &'>m;W 体光栅介质 $,~Ily7w G*N[t w 另一种用于光栅配置的介质类型是体光栅介质 /X_L>or 界面允许配置折射率的调制,这由全息曝光产生 P5?VrZy 同时,两个平面界面作为介质的边界 &NBH'Rt kZG .Id g:fvg!_v $!*>5".A 体光栅介质参数 !Sn|!:N4 Z>`\$1CI 为了描述体光栅,VirtualLab模拟了一定数量刻蚀波的干涉图案 y-3'qq'E 首先,需要选择全息介质,这提供了初始折射率 T>asH 其次,折射率调制的周期和取向由入射角(α)和信号波的参考波长控制 C})Dvh 更多地,根据入射角引入量化的波矢空间,数值计算量可以显著的减少(也可以查阅更多关于体光栅的文件) 32 i6j ~g=&wT11 Br9j)1; =T9h7c R 体光栅介质参数 #s c!H4 P_5aHeiJ '*y(F*7+ E'aOHSAg 高级选项&信息 /7D5I\ HMF2sc$N 1 .+O2qB L-w3A:jk 高级选项&信息 {C5:as UAF$bR p*c(dkOe8 DKt98; 在探测器位置处的备注 #<)[{+f[t 在VirtualLab中,探测器默认位于空气中基底的后面 k";dK*hD, 如果光栅包含在复杂的光学装置中,这是必要的 B`-uZ9k 然而,完美的平面和平行基底可能引起更多地干涉效应,这在现实中不会发生 z)C}}NH*!@ 因此,对于合理的光栅效率的计算,在基质材料中设置探测器是合适的(正如大多数光栅评估软件) ooJxE\L 这避免了这些干涉效应的不必要的影响 "a[;{s{{. 67rY+u% 68z#9}
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