切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 1579阅读
    • 0回复

    [推荐]高NA物镜聚焦的分析 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6441
    光币
    26350
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-08-27
    摘要 jXPf}{^  
    4 :phq  
    高NA物镜广泛用于光学光刻，显微镜等。因此，在聚焦仿真中最基本的就是考虑光的矢量性质。 使用VirtualLab对这种镜头进行光线追迹和场追迹分析非常方便。通过场追迹，可以清楚地展示不对称焦斑，这源于矢量效应。相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性，可以让用户深入了解矢量效应。 *epK17i=  
    /9b+I/xY"  
    1y3)ogL  
    8q]_> X  
    建模任务 fQU5'wGp  
     o,rK8x  
    l&|Tb8_'  
    概观 lLur.f  
    rF$ S  
    QsX`IYk  
    光线追迹仿真 g '+2bQ  
    QVF561Yz  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作为仿真引擎。 .PD_Vv>C/>  
    _BEDQb{"|  
    •点击Go！ Py`7)S  
    •获得3D光线追迹结果。 o\<JG?P  
    6&"*{E  
     1@t8i?:h  
    Bx/)Sl@  
    光线追迹仿真 a8YFH$Xh  
    hbe";(  
    Xz?7x0)Z  
    •然后，选择“光线追迹”（Ray Tracing）作为仿真引擎。 U#x`u|L&6  
    •单击Go！ PYwGGB-  
    •结果，获得点列图（2D光线追迹结果）。     "#:h#uRUb  
    _b`/QSL  
    z57q |  
    n5 <B*  
    场追迹仿真 iu9+1+-  
    gj7'4 3 ?W  
    d(j g "@  
    •切换到场追迹并选择“第二代场追迹”（Field Tracing 2nd Generation）作为仿真引擎。 }tW1\@ =  
    •单击Go！     _VB;fH$  
    |['SiO$)  
    bN&DotG  
    Qe0?n  
    场追迹结果（摄像机探测器） Mr*CJgy  
     eNK6=D|  
    E9w"?_A)  
    •上图只显示整合了Ex和Ey场分量的强度。 Y>{%,d#s_  
    •下图显示整合了Ex，Ey和Ez分量的强度。 b\^1P;!'W  
    Ez分量：由于在高NA情况下相对较大的Ez分量，可以看到明显的不对称性。 8ly Ng w1  
    ^?: Az  
    .] 0:`Y,;  
     Uw?25+[b  
    场追迹结果（电磁场探测器） _PLZ_c:O  
    yjOZed;M  
    4QE")Ge  
    •所有电磁场分量均使用电磁场探测器获得。     ~<}?pDA}~  
    m2l0`l~T8  
    <O41 M\,  
    文件信息 'JO}6 ;W  
    "^ aSONz  
     R2qz>kyyB  
    k!T-X2L=  
     4^*Z[6nt|  
    QQ：2987619807 A9WOu*G1O  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表