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摘要 Fu^^i& [frq
'c 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 *m2=/Sh 3pmWDG6L
w,R[C\#J kh%{C]".1 本用例展示了...... ?YeWH
WM •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: D~o$GW% - 矩形光栅界面 .rPn5D Y - 过渡点列表界面
^xPmlS;X - 锯齿光栅界面 p">EHWc}D - 正弦光栅界面 7OjR._@ •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 =}PdH`S LHJ":^ 光栅工具箱初始化 7z~_/mAI •初始化 s&GJW@
| - 开始 Gn;@{x6 光栅 *!^<m0 通用光栅光路图 OM{WI27 •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, #M A4 可直接选择特定的光路图。 vky .^ ." $
':R,53tjl v`1,4,;,qs 光栅结构设置 cWajrLw •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 \p%3vRwS%p
Ge d [#Q •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 GElvz'S~ •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。
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pu,?<@0YK wW>)(&!F •例如,选择第一个界面上的堆栈。 g:0#u;j^7 US 堆栈编辑器 KR"M/# •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 ,.gQ^^+= •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 ;O<9|? "`[!L z
,ZS6jZ e*j. 矩形光栅界面 $4MrP$4TI FYS/##r •一种可能的界面是矩形光栅界面。 {D g_?._d •此类界面适用于简单二元结构的配置。 +/D>|loRC •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 Bvt@X •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 `<[6YH_ •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 `mT$s,:h M# 18H<]
];%0qb q$G,KRy/ 矩形光栅界面 ` ]Ppau •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 exdx\@72 •所选界面在视图中以红色突出显示。 hm<}p&!J
L#)(H^[ •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 SR*wvQnOx •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 7 h y&-< [31p&FxM •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 ) _ I,KEe •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 SE7W F18A •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 5<L_|d)0" 7=]i~7uy 4.RG4Jq Q%aU42?_1
E+C5 h
;p& _7DkS}NJs 矩形光栅界面参数 _lW+>xQ •矩形光栅界面由以下参数定义 y0~Ia:y - 狭缝宽度(绝对或相对) Q!,<@b) - 光栅周期 c"!lwm3b - 调制深度 t:LcNlN| •可以选择设置横向移位和旋转。 f.GETw zY+Fl~$S
Z`3ufXPNlO . |*f!w}5 高级选项和信息 Jw~( G9G •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 b%f[p/no •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 /WPv\L •可以设置总级次数或衰逝波级次数 sS
TPMh (evanescent orders)。 .yENM[-bQ •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 x_|F|9 •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 `bKA+c,f j'i0*"x 97!>%d[0 B5X sGLV •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 fx8EB8A7K7 •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 X}P$emr7 •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 \n0Oez0z!B •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 [~D|peM3 clI*7j.4E# ?t@v&s hl&-\ dc+ 过渡点列表界面 ;DnUQj •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 dMx4ykrR •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 Fyyg`J •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 /9yaW7w a'\By?V]
nxQ?bk}*d 过渡点列表参数 t]1ubt2W •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。
yz+, gLY •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 b{DiM098 1G~S|,8p 52zGJ I*
weMww,: ^[ •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 zBf-8]"^ •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 hM@\RPsY •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 wxLXh6|6%_ +)nT|w45
Q4s&E\} (UNtRz'=; 高级选项及信息 v}J;ZIb •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 tNs~M4TVVH 1-I
Swd'u
4"\yf 9+Y D!y 正弦光栅界面 V%HS\<$h •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 k6IG+:s •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 dEM?~? •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: 'UM!*fk7C - 脊的材料:基板的材料 ghk5rl$ - 凹槽材料:光栅前面的材料 H'RL62! -jg (G GJ ;)DzCc/ vd#,DU=p! 正弦光栅界面参数 Iy
{U'a! - 正弦光栅界面也由以下参数定义: P2n2Qt2 •光栅周期 d_}a`H •调制深度 9Z\z96O- - 可以选择设置横向移位和旋转。 A,~Hlw - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 b'>8ZIY #`tD1T{; J."{<& p}]q d4j 高级选项和信息 P#GD?FUc •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 7x.%hRk [UPNd!sy
^o<:;{ eNySJf 高级选项及信息 DOD6Liau{Q •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 (0*v*kYdL+ 2]jPv0u zCXqBuvu1 锯齿光栅界面 ]S8LY.Az5 •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 !"4w&bQ •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 9+CFRYC •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: Oo%!>!Lt, - 脊的材料:基板的材料 ?)A2Kw>2 - 凹槽材料:光栅前面的材料 eFQQW`J l%"`{
&R]pw`mTH ;?6>mh(` 锯齿光栅界面参数 O OlTrLL •锯齿光栅界面也由以下参数定义: fDuwgY0 - 光栅周期 m% bE-# - 调制深度 ZW ye>] •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 `\FI7s3b •可以选择设置横向移位和旋转。 ^JhFI* •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 j)D-BK&+ |Mg }2!/L 6c\DJD #MTj)P, 高级选项和信息 o<4D=.g7D •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 ?M&4pO&Y GEE
]Kr 探测器位置的注释 t!l%/$- 关于探测器位置的注释 S!j^|! •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 Jirct,k •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 !P|5#.eC •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 gg8c7d:Q •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 AUAI3K? •可以避免这些干涉效应的不良影响。 9y+[o _^;;i4VZ S[U/qO)m 文件信息 VN|G5* ]V<"(?,K
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