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摘要 nGVqVSxKT Z7^}G=* 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 SD&[K
8-i2 [oj"Tn(
Exr7vL dq(x@&J 本用例展示了...... 63HkN4D4 •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: -eMRxa> - 矩形光栅界面 $#r(1 Ev - 过渡点列表界面 ^n/uY94E)p - 锯齿光栅界面 f<wgZM - 正弦光栅界面 |@BN+o;`Om •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 : [y(<TLw )VT/kIq-U 光栅工具箱初始化 * 5n:+Tw( •初始化 ^U}0D^jDeE - 开始 pQNFH)=nw 光栅 "}! rM6 h 通用光栅光路图
={^#E? •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, ^|C|=q~: 可直接选择特定的光路图。 7,TWCVap _ LNPB$P
N6;Z\\&0^q 7o. 'F 光栅结构设置 .a*$WGb •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 <Xx\F56zp
l i-YkaP •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 wY#mL1dF •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 YkX=n{^ %S.U`(.
.TC
`\mV i1\2lh$ •例如,选择第一个界面上的堆栈。 p( *3U[1 {O)&5 堆栈编辑器 M-N2>i# •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 !Yu-a! •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 F/sBr7I Gq/6{eRo\
.h,xBT`}Ji 9#ft;c 矩形光栅界面 \aIy68rH, }eM<A$J •一种可能的界面是矩形光栅界面。 N_D+d4@ •此类界面适用于简单二元结构的配置。 aUK4{F ; •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 j_@3a)[NY •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 C4]%pi •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 x-&v|w ' vLv@ Mo
^z^e*<{WEl OPW"ABJ 矩形光栅界面 `Xdxg\| •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 A@(h!Cq •所选界面在视图中以红色突出显示。 e"#D){k#
1m;*fs •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 Z4ioXl •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 f<Tz#w&6W v`^J3A •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 DA`sm •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 A(OfG&! •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 *Ne&SXg '%C.([ h6y4Ii {@__%=`CCS
x ;,xd v9m;vWp 矩形光栅界面参数
x9"4vp •矩形光栅界面由以下参数定义 zK4
8vo - 狭缝宽度(绝对或相对) ) Zo_6% - 光栅周期
/1~|jmi( - 调制深度 ,M.!z@ •可以选择设置横向移位和旋转。 8sIA;r%S \K~fRUo]=c
NLZZMr U
qw}4C/0 高级选项和信息 ;'QY<,p[e •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 4z%#ZIy3 •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 Q &7)vs •可以设置总级次数或衰逝波级次数 o 7W Kh= (evanescent orders)。 tQ/
#t<4D •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 aq+IC@O •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 yISQYvSN E? eWv)// D`:d'ow~KQ 3'*%R48P` •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 Ocwp]Mut& •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 b>=Wq •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 Ldhk^/+ •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 2FIR]@MQd E<Dh_K M*|VLOo=v 1i /::4= 过渡点列表界面 ,ah*!Zm.kk •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 <2O7R}j7v •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。
$.Q>M]xH •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 WAB0e~e:|Q guOSO@ (y~laW! 过渡点列表参数 =v4r M0m, •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 a=*ALd_&0 •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 mPfUJ#rS poQdI?ed, {(z(NgXG/ S2&9#6 •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 >*= =wlOB •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 7AO3-;
l] •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 6`qr:. u-QO>3oY6
}B=qH7u.K ,<$YVXe/ 高级选项及信息 wD6!#t k •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 _2m[(P9d 7"F|6JP"$c
w}j6.r %l:|2s: 正弦光栅界面 *
{gxI< •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 UW hn1N •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 hD6JW- •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: w53z*l>ek - 脊的材料:基板的材料 sq~+1(X - 凹槽材料:光栅前面的材料 4@v1jJj Jh$"f r3 Any Zi'
VFl 1 f 正弦光栅界面参数 "7kge z#Y - 正弦光栅界面也由以下参数定义: 2y+70(E1 •光栅周期 Ht|",1yr+ •调制深度 j|[(*i%7| - 可以选择设置横向移位和旋转。 3}B5hht"D - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 )W8L91- OL=ET)Y .Vo"AuC} _%wK}eH+sy 高级选项和信息 .!JMPf"QEI •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 -`!_h[ cBifZv*l
XogvtK* (PS$e~Hs 高级选项及信息 m~u|VgD •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 0)d?Y Q[J [= $D QD$ 锯齿光栅界面 A\".t=+7
•另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 (R_CUH •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 m|]j'g?{}( •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: K??1,I - 脊的材料:基板的材料 ,b<9?PM
- 凹槽材料:光栅前面的材料 h/I@_?k+ Abj97S
2GSgG.%SSM #P(l2 ( 锯齿光栅界面参数 },DyU •锯齿光栅界面也由以下参数定义: \F 3C=M@: - 光栅周期 lPY@{1W - 调制深度 Zc-#;/b3T •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 }{ n\tzR •可以选择设置横向移位和旋转。 Bk@)b`WR •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 u_N\iCYp aZ`<PdA p?Ed-
S `#ul,% 高级选项和信息 ispkj' •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 pT4qPta,2 sNm,Fmuz: 探测器位置的注释 CN7k?JO< 关于探测器位置的注释 !w q4EV •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 RCI4~q •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 6m9 7_NRO •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 R6`*4zS •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 np\st7&f6 •可以避免这些干涉效应的不良影响。 tXt:HVN DU;[btK> %c]nWR+/ 文件信息 oEJaH ##H;Yb
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