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摘要 h&yaug,. +zs;>'Sf 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 C-_u; NEu o LX6w
pa+^5N d&?B/E^ 本用例展示了...... l},px •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: LiQs;$V - 矩形光栅界面 ]$nJn+85@b - 过渡点列表界面 yQ+#Tlji - 锯齿光栅界面 RPaB4> - 正弦光栅界面 X.Z?Ie •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 ,)GCg@7B ~v,LFIT 光栅工具箱初始化 R,Tw0@{O* •初始化 'L3 \ I - 开始 9S6vU7W 光栅 d-N<VVcy\ 通用光栅光路图 ,[Cl 'B •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, M?$-u 可直接选择特定的光路图。 <ze'o.c g:;v]
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_<?=[ 4)'5;|pI 光栅结构设置 ,=o q)Fm] •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 \~y>aYy
]X?+]9Fr •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 30<dEoF •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 yo
(&~r 'Q(A5zfN]Y
[mWo&Ph[- &g)
` •例如,选择第一个界面上的堆栈。 =nid #<X ~01rc 堆栈编辑器 A%+~ •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 \=yg@K?"AJ •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 {b/AOR
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k92X)/ll' /~
V"v"7E 矩形光栅界面 7)_0jp~2 Nb]qY>K •一种可能的界面是矩形光栅界面。 XkdNWR0 •此类界面适用于简单二元结构的配置。 te:"1:e •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 Tm3$|+}$f •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 UdL`.D, •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 =C#,aoa! O=mGL
>Q5 SJZ/ ^@[[,1"K 矩形光栅界面 })!n1kt •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 N(1jm F •所选界面在视图中以红色突出显示。 mDV 2vg
bjQfZT( •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 u5R^++ •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 |{oKhC^yG lsio\ $ •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 9m6w.:S •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 DK)qBxc8 •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 *"e[au^8*b 5utj$ha2 #4cuNX5m% },f7I^s|
Rf%ver ~Kb(`Px@ 矩形光栅界面参数 slQKkx \Dn •矩形光栅界面由以下参数定义 n.A[Z - 狭缝宽度(绝对或相对) cL1cBWd - 光栅周期 k8*=1kl" - 调制深度 BC4u,4S •可以选择设置横向移位和旋转。 &12aI|u^< HE(U0<9c
Hss{Sb( dR=SW0Oa{ 高级选项和信息 ?$s2]}v •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 KR522YW •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 j:sac*6m •可以设置总级次数或衰逝波级次数 ;w6\r!O, (evanescent orders)。 VUt
6[~? •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 <XLATS8Y •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 }'X}!_9w> ]\3dJ^q|% k2;8~LqF <N`rcKE%~P •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 Bo~wD|E2 •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 Jhut>8 •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 Dl"y| •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 ?ke C yNN2}\[. _@RW7iP> t(_XB|AKm 过渡点列表界面 Y5n pz^i •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 CRqa[boU* •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 X G^
•同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 YWdlE7 y |ow hF [Q$"+@jw 过渡点列表参数 ipyO&v •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 dm 2_Fj •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 $jntT(V z1:au odI@ 4^i*1&" +V7p?iEY •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 LvA IAknc •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 x)GoxH~# •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 (<<eHf,@ M1g|m|H7
8t7hN?,t *Js<VR 高级选项及信息 -+4$W{OK*0 •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 `}=Fw0 sy#Gb#=#
L NE]#8ue |Y99s)2&N 正弦光栅界面 0GG;o[< •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 UU !I@ •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 AKWw36lm •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: uL= \t= - 脊的材料:基板的材料 0FW=8hFp, - 凹槽材料:光栅前面的材料 );*GOLka {:dE_tqo dG|\geD %8-S>'g' 正弦光栅界面参数 3 (<!pA - 正弦光栅界面也由以下参数定义: md2kZ.5u •光栅周期 :kUH>O •调制深度
KA< - 可以选择设置横向移位和旋转。 Ay_<?F+& - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 un/R7" [v&_MQ pp-Ur?PM ae<KUThm. 高级选项和信息 !XicX9n •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 N" 8o0> l&yR-FJ7KY
/bb4nM_E/ LRI_s>7 高级选项及信息 ML]?`qv ' •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 0O:TKgb&C. b9v Kux W%wS+3Q/ 锯齿光栅界面 X >**M •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 z/ i3 •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 2<O
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^ •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: 1ERz:\ - 脊的材料:基板的材料 y^XwJX-f - 凹槽材料:光栅前面的材料 _]4cY%s
FJ!>3V;}
Pf!K()<uJ [ wROIvV 锯齿光栅界面参数 Gmwn: •锯齿光栅界面也由以下参数定义: byMO&Lb* - 光栅周期 6lhVwgy3A - 调制深度 e (f)?H •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 h>n;A>k@N •可以选择设置横向移位和旋转。 [Cs2H8=# •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 a[u8x mH N8vWwN[3 V*AG0@&! ;EJ6C#}
>7 高级选项和信息 {L+?n*;CA •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 s)N1@RBR OO$<Wgh 探测器位置的注释 ;aF / <r 关于探测器位置的注释 9-@w(kMu •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 dV5$L
e#y •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 QL)UPf>Kp •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 JE j+> •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 _3E7|drIX •可以避免这些干涉效应的不良影响。 G ;z2}Ei ecFI"g *<UQ/)\ 文件信息 ]EK"AuEz` @#V{@@3$
o1Xk\R{ *n*OVI8L tSm|U<
QQ:2987619807 $'&5gFr9
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