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摘要 !m-`~3P#l, gzat!>* 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 -K8F$\W
#QcRN?s
Dic|n@_Fy {dRZ2U3 本用例展示了...... I
2OQ •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: '
i5KRFy- - 矩形光栅界面 tk h
*su - 过渡点列表界面 0QfDg DX - 锯齿光栅界面 -}!mi V - 正弦光栅界面 iOb7g@= •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 8qw{e`c 1t^9.!$@y 光栅工具箱初始化 ErJ@$&7 •初始化 P*|=Z>%[0 - 开始 LdNpb;* 光栅 %t!S 7UD 通用光栅光路图 m||9,z- •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, (>x05nh 可直接选择特定的光路图。 ^^B_z|;Aa ,1Z([R*
>!']w{G -+Yark 光栅结构设置 &s?uMWR •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 |%F4`gz8KP
X?< L<:. •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 SVn@q|N •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 kb/BEJ HOPy&Fp
5%fWX'mS GU@#\3 •例如,选择第一个界面上的堆栈。 yx4pQL7 N#e9w3Rli 堆栈编辑器 h qjjd-S0 •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 G![4K#~NM •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 jg{2Sxf!c u'_}4qhCC;
zP2X}VLMo !|u?z% 矩形光栅界面 ##xvuLy-6 <Y1Plc •一种可能的界面是矩形光栅界面。 ;i?2^xe^~c •此类界面适用于简单二元结构的配置。 ?{`7W>G •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 4Nt4(3Kf •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 ;sAGTq •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 v;;3 K*c> 2;
,8 u
J!5b~8`v _<sN54 矩形光栅界面 o}/|"(K •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 DQXcf*R •所选界面在视图中以红色突出显示。 .f-=gZ* *
#Mk:4 •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 v3M$UiN,: •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 ^5TVm>F@3 g\.$4N •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 ~ *"iLf@, •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 vWeY[>oGur •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 kI@<H< gSw<C+ ]|,}hsN v)_FiY QQ6
nC%qdzT Z/?{{}H+ 矩形光栅界面参数 {xov8M •矩形光栅界面由以下参数定义 +M_ _\7 - 狭缝宽度(绝对或相对) S-gO - 光栅周期 J9]cs?`) - 调制深度 Rky]F+J •可以选择设置横向移位和旋转。 a4 N f\7 HNBmq>XDc
-wg}X-'z0 >|kD(}Axf 高级选项和信息 u|Mx} •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 1eshuL •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 (,QWK08 •可以设置总级次数或衰逝波级次数 LFHJj-nk (evanescent orders)。 #*_!Xc9f •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 -XCs?@8EQ •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 Y01!D"{\ $'Mf$h \#dacQ2E@ LAxN?ok9gD •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 t&{;6MiE •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 |H_WY# •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 J({D~ •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 I(pq3_9$ Qm[s"pM `DgK$ QM wv{ Qx^ 过渡点列表界面 HV/:OCK •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 AK&>3D •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 V27RK-.N! •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 U[?_|=~7 E;C{i %wOkp`1- 过渡点列表参数 b1 w@toc •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 =ejU(1 g •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 wT": Y&O2;q/B 6 V0Ayxg7 q q&U)-` •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 C){Q;`M-< •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 9_:"`)]3B •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 bT2G
G (wZ!OLY%}
A[;deHg= <.4(#Ebd 高级选项及信息 qD>^aEd@4 •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 LPt9+sauf1 [q[37;ZEQ
[C6ba{9B g3NUw/]# 正弦光栅界面 (=7"zECq# •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 5>f" •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 ANu>* •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: m-
<y|3 - 脊的材料:基板的材料 aHW34e@ebL - 凹槽材料:光栅前面的材料 gUx}vE- VM\R-[ d%'#-w' lY
tt|J 正弦光栅界面参数 BkXv4|UE - 正弦光栅界面也由以下参数定义: {HEWU<5 •光栅周期 AtCT •调制深度 ftPps- - 可以选择设置横向移位和旋转。 Yt(FSb31H - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 !s=$UC 15j5F5P %BkE %ZcZ L4/ns@e 高级选项和信息 (X"5x]7] •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 a4^hC[a KUZi3\p9W>
<9fXf* $oQOOa@;i) 高级选项及信息 3/n?g7B •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 MZh.Xo GE!nf6>Km \T_ZcV 锯齿光栅界面 w ea •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 -6- sI •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 8+oc4~!A@n •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: # atq7tX - 脊的材料:基板的材料 ESV./~K - 凹槽材料:光栅前面的材料 G^)]FwTs ,Lp"Ia
9abUh3 ZSQiQ2\) 锯齿光栅界面参数 yg}O9!M J •锯齿光栅界面也由以下参数定义: |9S8sfw - 光栅周期 " C0[JdZ - 调制深度 fW2NYQP$: •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 7Fo^:" •可以选择设置横向移位和旋转。 C:Rs~@tl
•由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 U!|)M uZn_*_J! @QmN= X5 1w7tRw 高级选项和信息 qA7,txQ: •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 C%yH}T\s TzaeE
探测器位置的注释 GqCBD-@4v. 关于探测器位置的注释 Zt9G[[] •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 K@1gK<,a •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 |"LHo
H •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 =_k •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 SzpUCr" •可以避免这些干涉效应的不良影响。 @~hy'6/ $||WI}k3V Y[7prjd 文件信息 ),N,!15j, 4Y59^
xW) 8+w*,Ry` 9~~NxWY%x QQ:2987619807 fu\j
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