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摘要 <+-Yh_D `\F%l?aY 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 <\d|=>; )y/DGSd
]O7.ss/2 AXh3LA 本用例展示了...... (4/]dTb •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: yg+IkQDf4U - 矩形光栅界面 }EedHS - 过渡点列表界面 NB
W%.z - 锯齿光栅界面 =yTa,PY - 正弦光栅界面 Y!=
k •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 XHZ:
mLf a?,[w'7FU 光栅工具箱初始化 yXTK(<' •初始化 S\3AW,c]w - 开始 i2FD1*=/? 光栅 ;]&~D
+XH 通用光栅光路图 u3*NO
)O •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, txml*/zL 可直接选择特定的光路图。 ^YG7dd_ Hw?2XDv j
K(Q]&&< ia^%Wg7 光栅结构设置 T}t E/ •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 =CKuiO.j
iF [?uF •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 ."IJmv •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 `*" H/QG ljYpMv.>xG
YA"Ti9-EV >d{dZD} •例如,选择第一个界面上的堆栈。 ws>WA{]gq r:c@17 堆栈编辑器 *^@#X-NG •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 <Qcex3 •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 RG l=7^M b46[fa
ePq13!FC/ -t@y\vZF, 矩形光栅界面 cPq Dsl3 <G~}N •一种可能的界面是矩形光栅界面。 +}7Ea:K •此类界面适用于简单二元结构的配置。 4{;8:ax&w •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 (odR'# •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 PTbA1.B •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 SZ5O89 0%xR<<gir
yn/?=
?0 GOy=p3mQ 矩形光栅界面 ?$|uT •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 HzRX$IKB3( •所选界面在视图中以红色突出显示。
""1#bs{n
aO.\Qe+j •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 R^J.?>0 •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 TL},Unq RzA2*]%a •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 4M @oj •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 $!YKZ0)B'0 •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 -{X<*P4p kmm .i {>Z <<
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a<I
DtzA$|Q} p?+lAbe6H 矩形光栅界面参数 xS6(K •矩形光栅界面由以下参数定义 #ZG3|#Q=L - 狭缝宽度(绝对或相对) x9 &-(kBU - 光栅周期 9=t#5J#O - 调制深度
<^lJr82 •可以选择设置横向移位和旋转。 %55@3)V8Rf 9$7&URwSDI
Lw*;tL<, (k%GY<
b P 高级选项和信息 hi!L\yi •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 :GU,EDps •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 9$Ig~W) •可以设置总级次数或衰逝波级次数 .z=U= _e (evanescent orders)。 3gb|x? •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 U'tE^W •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。
w3^NL(> q=|R89 $o]r]#B+ 7#QLtU •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 IQ ){(Y •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 t?gJNOV •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 YiD-F7hf.* •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 _p\629` z0#-)AeS h }<0 / 3pvYi<<D' 过渡点列表界面 ]b 3/Es+ •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 >A-<ZS*N •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 M70c{s`w5 •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 /\ytr%7 ,' 6yY.!HRkr g %f*ofb 过渡点列表参数 l
:/&E 6 9 •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 pD"YNlB^ •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 X*i/A<Y`= W+_ R hJ >ajuk MhNFW'_ •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 q# MM •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 d')-7C •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 /D<"wF }@J dm6~
$[g_=Z @5WgqB 高级选项及信息 BPqk"HG]T •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 {@gAv! d{f@K71*
D3`}4 A Z%m-HE:k 正弦光栅界面 p~K9
B-D •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 "
Ya9~6 •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 h{k_6ym •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: 3 t)v%S|k - 脊的材料:基板的材料 P"1 S$oc - 凹槽材料:光栅前面的材料 UfO7+_2 Cp#)wxi6[y .x!T+`l>8I $6T3y8 正弦光栅界面参数 ,_D"?o - 正弦光栅界面也由以下参数定义: Zk&h:c •光栅周期 ,w{m3;]_% •调制深度 1j0 -9Kg' - 可以选择设置横向移位和旋转。 9XX>A* - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 9AHSs,.t _tAQ=eBO pQMtj0(y a8$kNtA 高级选项和信息 ubYG •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 ;
dd Q/ \hlR]m!C
fTqC:r|st ]u#JuX 高级选项及信息 Q$ri=uB;+ •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 F2 ~%zNe cX:HD+wO [I l~K 锯齿光栅界面 R^*K6Ad •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 Wkzs<y" •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 ~ttY(wCV •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: hXn3,3f3oZ - 脊的材料:基板的材料 -"Q-H/qh - 凹槽材料:光栅前面的材料 -?6MU~"GK @
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_q?<at}y 0)!Ll*L!p 锯齿光栅界面参数 `zpbnxOL$T •锯齿光栅界面也由以下参数定义: (*\jbK - 光栅周期 kforu!C - 调制深度 in-C/m# •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 }-@4vl
x$ •可以选择设置横向移位和旋转。 1l8Etp&< •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 'b/< |