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摘要 Bi|-KS.9 r?}L^bK 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 VL2ACv( =' &TqiIv"
EHda S<>u 本用例展示了...... VE*&t>I •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: ;_E][m - 矩形光栅界面 c:,K{ZR - 过渡点列表界面 J-W8wCq` - 锯齿光栅界面 Y 016Xg5 - 正弦光栅界面 a]=j •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 I ka
V g L 02q*z>:^ 光栅工具箱初始化 j,v2(e5: •初始化 )P9&I.a8 - 开始 J>^KQ 光栅 ^i6`w_ / 通用光栅光路图 `W{y •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, 6mC% zXR5 可直接选择特定的光路图。 A#CG D0T 6Lz:J:Q)
y])z,#%ED kx07Ium 光栅结构设置 %-3wR@ •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 z5 :53,`D'
g BV66L •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 }bYk#6KX •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 )Q c>NF0 ef]60OtP
-4t!k
Aw` yA^+<uz} •例如,选择第一个界面上的堆栈。 V,>uM
>$ ~%u;lr 堆栈编辑器 %$zX a%A •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 z+X DN: •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 kcZz WG|n S3&lkN5
Fes/8*- RyZy2^0< 矩形光栅界面 7=pJ)4;ZA Q#sLIZ8= •一种可能的界面是矩形光栅界面。 kqp*o+Oz', •此类界面适用于简单二元结构的配置。 _rfGn,@BH •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 A9ru]|? •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 ;09U*S$eK •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 I]0
D*z ,B$m8wlI|
NEcE-7aT /PgcW 矩形光栅界面 PVX23y; •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 >kG: MJj •所选界面在视图中以红色突出显示。 o7t#yw3
nVv=smVOt •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 ec"+Il •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 75RQ\_zDu 1|3{.Ed •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 S '%!KGVe •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 [qQ~\] •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 "D.`:9sk0 D|X@aUp8} !&@!:=X, mNnt9F3Eq
GB`
G(a nZ~J&QK- 矩形光栅界面参数 -aF\
u[b •矩形光栅界面由以下参数定义 Evb %<`gd - 狭缝宽度(绝对或相对) 3NxwQ,~ - 光栅周期 ff.;6R\ - 调制深度 !;COFR •可以选择设置横向移位和旋转。 Yb Dz{m /Q2{w>^DK
Q*l_QnfG ,[|4{qli\ 高级选项和信息 .lIkJQ3d •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 +N>&b% •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 zIh`Vw ,t0 •可以设置总级次数或衰逝波级次数 <jHo2U8/"s (evanescent orders)。 o%$'-N •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 rT{+ h}vO •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 Tq`rc"&7u */E5<DO Uh8c!CA8:\ E6mwvrm8 •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 R[_UbN 28 •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 Qlgii_?#@ •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 3( `NHS~h •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 )%=oJ!) GV(@(bI* 9#ZR0t.cY k\`~v$R3 过渡点列表界面 )TV{n#n •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 X!ad~bt •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 S6bW?8` •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 i\z ,)xp mu#
a Qg' {RAV8 过渡点列表参数 l~i&r?,]^ •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 FCMV1, •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 !e0~|8 'Z=8no`< qZ|>{^a* d-sK{ZC"y •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 CAvyS •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 tNbZ{=I> •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 n#lZRwhq m C&*K
K|g+Wt^tQ tj=l! 高级选项及信息 v"N%w1`.e •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 lay)I11-> wtpz ef=
:Lze8oY(D} `X ;2lgL 正弦光栅界面 mcFJ__3MAV •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 6o!Y^^/U •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 iR(jCD?) Y •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: !w}cKm - 脊的材料:基板的材料 /a:sWmxMT - 凹槽材料:光栅前面的材料 _BP!{~&; WfF~\DlrD TowRY=#jiS 1L\\](^
3 正弦光栅界面参数 [c_o.`S_\ - 正弦光栅界面也由以下参数定义: MX\v2["FoV •光栅周期 C`LHFqv •调制深度 aS,M=uqqK - 可以选择设置横向移位和旋转。 ;+-M+9"?O - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 mxQPOu *8?0vkZZ2 m^M sp:T, ym~ 高级选项和信息 0v/}W( •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 9yt)9f B(TE?[ #
jj$D6f/mOG RAps`)OR? 高级选项及信息 VA^yv1We •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 _2N7E#m" S y>YQx\mK mOQN$d [ 锯齿光栅界面 ^< |