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摘要 p)Q=' 9%Ftln6 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 <
uzDuBN o@\q 6xl.
|w^nCsv 8>^O]5Wo`X 本用例展示了...... PsMCs|* •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: i3y>@$fRL\ - 矩形光栅界面 5@Lz4 ` - 过渡点列表界面 oY%NDTVN - 锯齿光栅界面 a
U*cwR - 正弦光栅界面 Yg7C"3;Vt •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 (OK;*ZH+T@ W[W}:@KZ 光栅工具箱初始化 ;-sF%c
•初始化 b{d@:" - 开始 [318Q%W& 光栅 4~{q=-]V 通用光栅光路图 yX8$LOjE •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, V-iY2YiR 可直接选择特定的光路图。 Z4Qq#iHZR ZgI1Byf
bjJ212J n.xW"omN 光栅结构设置 g)k::k)<e •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 -z4pI=
UYb:q •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 &P{[22dQ •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 {o[*S%Z" n P4DHb&5
S2fBZ=V8 #}!Ge •例如,选择第一个界面上的堆栈。 toCT5E_0= Fn!kest 堆栈编辑器 3v%V\kO=F •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 +O@0gl •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 wg=ge]E5 }A%Sx!7~
#Hr>KQ5mJQ 4`7:gfrO, 矩形光栅界面 @nS+!t{ ?8Hr
9 •一种可能的界面是矩形光栅界面。 !1}A\S •此类界面适用于简单二元结构的配置。 /u8m|S< •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 Rx 4
;X •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 i7w>Nvj] •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 Z;QbqMj IPoNAi<b
&pD6Qq{ n15F4DnP 矩形光栅界面 Vn6 g(:\w •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 PI#xRKt •所选界面在视图中以红色突出显示。 y-93 >Y
=:zmF]j9 •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 t .&YD x •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 Q!:J.J ~%QVjzMC •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 I7hE(2!$ •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 [s4lSGh •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 .ns1;8 TC4W7}} XOzd{ pN"d~Z8
jLf. qf8qm #s)Wzv%OX 矩形光栅界面参数 K_4}N%P/)) •矩形光栅界面由以下参数定义 hSq3LoHV - 狭缝宽度(绝对或相对) &oTUj'$ - 光栅周期 %W=S*"e- - 调制深度 !52]'yub •可以选择设置横向移位和旋转。 >v9 (" 1O0o18'
5uuZ t0V\ wPYz&&W 高级选项和信息 POQRq%w •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 p*8LS7UT •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 Lmx95[#@a •可以设置总级次数或衰逝波级次数 F`;oe[wfk (evanescent orders)。 T<"Hh.h •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 #=@(
m.k:s •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 WUSkN;idVG `g&<7~\=A ,mR$YT8 'Jww}^h1 •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 QXnL(z •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 V^WR(Q} •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 vd>X4e^j •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 G%w hOIFRq qr[H0f] hmv"|1Sa!~ pmR6(/B# 过渡点列表界面 ][1*.7- •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 ~{hcJ:bI •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 q$Z.5EN •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 <o8j+G)K# 6C>"H 5"=qVmT) 过渡点列表参数 1-4iy_d •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 gf()NfUvRH •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 ^T83E} e#MEDjm/)g YoV^Y&:9< Ai&-W •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 dHV3d'.P •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 :<l(l\MC •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 y#Je%tAe
2 :!a'N3o>
5T)qn`% FMCX->}$ 高级选项及信息 c=iv\hn •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 I;]Q}SUsm e)kN%JqW
,"~#s( ?z>7& 正弦光栅界面 Zi5d"V[}T •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 O`_!G`E •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 1Uz sw •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: L P?E - 脊的材料:基板的材料 T2-n;8t - 凹槽材料:光栅前面的材料 WV]%llj^ <u2rb6 4<b=;8 >h+[#3vD 正弦光栅界面参数 #flOaRl. - 正弦光栅界面也由以下参数定义: >CtT_yhx •光栅周期 )&R^J;W$M1 •调制深度
II;fBcXF - 可以选择设置横向移位和旋转。 Enu/Nj 2 - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 q 65mR!) 56 k89o o";5@NH 0Q^ -d+! 高级选项和信息 ]PQ] f*Ik> •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 f;1DhAS 3T)GUzt`
>\=~2>FCD !;'#fxW[ 高级选项及信息 =WFn+#&^ •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 Ig9yd S-. %Q9
iR5? kigq(a 锯齿光栅界面 $2u^z=`b!% •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 /5 rWcX •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 "/ G^+u •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: Jj=0{(X - 脊的材料:基板的材料 &?\'Z~B4 - 凹槽材料:光栅前面的材料 ~Q7)6% ] .Mr&@
wfr+- 5fpBzn$ 锯齿光栅界面参数 x2gnB@t •锯齿光栅界面也由以下参数定义: sU>!sxW - 光栅周期 cR.[4rG' - 调制深度 e!cZW.B=`f •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 VO"f=gFg •可以选择设置横向移位和旋转。 =Kdd+g! •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 A#&Q(g\YE ~9#nC`%2j o(iv=(o %si5cc? 高级选项和信息 '^Kmfc •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 Gt{'` P,&9 -~z]ut<Z 探测器位置的注释 Fa]fSqy@; 关于探测器位置的注释 TUeW-'/1 •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 S,&tKDJn •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 c-S_{~~ •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 rN3i5.*/t •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 0fc]RkHs" •可以避免这些干涉效应的不良影响。 4
I}xygV _ PC}`Y'& [5&zyIi 文件信息 y?BzZ16\bL
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Zkn$D: G/tah@N[7 4{2)ZI# QQ:2987619807 b}P5*}$:9"
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