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摘要 Zn=T#o I:bD~Fb3 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 tM-^<V& 7(M(7}EKA G+xt5n.% {t"+
3zy' 本用例展示了...... A[IL
H_w •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: /-bF$)vN - 矩形光栅界面 4(}J.-B - 过渡点列表界面 C51bc6V - 锯齿光栅界面 ^-mRP\5 - 正弦光栅界面 ah
@uUHB •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 a?|vQ*W g4`Kp;}&' 光栅工具箱初始化 iovfo2!hD •初始化 0]QRsVz+ - 开始 %75xr9yOP 光栅 E$9Ys 通用光栅光路图 Q9}dHIe1E •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, yR{x}DbG 可直接选择特定的光路图。 MuoF FvAA dm-pxE " l`kWz5[~ %ms'n 光栅结构设置 }X
GEX:1K •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 +3s%E{ M8H5K •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 JN^&S •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 j!7`] <YA&Dr3OD ,+`61J3W G}5 #l •例如,选择第一个界面上的堆栈。 ??TMSH i)#:qAtP* 堆栈编辑器 $^u}a •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 =@TQ>Qw%b •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 OD']: Oj<S.fi dU\%Cq-G) iU6Gp-<M, 矩形光栅界面 |ZodlYF K)TrZ 2 •一种可能的界面是矩形光栅界面。 -{^}"N •此类界面适用于简单二元结构的配置。 TO%dw^{_` •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 Kwc6mlw~M •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 GGhM;%H_99 •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 XeBP`\>Ve OL_{_K(w $}")1|U,X lL]y~u 矩形光栅界面 Y>jiXl?&
•请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 p ?wI9GY •所选界面在视图中以红色突出显示。 Z|RY2P>E O;7)Hjw t •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 Qt]Q:9I[ •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 q80S[au NEa>\K<\ •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 (C]o,7cYS •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 i#%aTRKHd6 •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 A(]H{>PMy 0Z{j>=$ sB69R:U; S*AERm "`6n6r42 ~
ihI_q" 矩形光栅界面参数 K'#E3={tt •矩形光栅界面由以下参数定义 tGB@$UmfU - 狭缝宽度(绝对或相对) :!zl^J; - 光栅周期
ccd8O{G.M - 调制深度 d
GP*O •可以选择设置横向移位和旋转。 !x'/9^i~v G\NPV' jY_T/233d ')GSAY7 高级选项和信息 VbBPB5 $q •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 %X9r_Hx •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 a~8[<F omj •可以设置总级次数或衰逝波级次数 y\{%\ $ (evanescent orders)。 d\|!Hg, •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 klUQkz |<a •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 A<;SnXm v@# b}N0n H4]Ul
eU h<~7"ONhV •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 [5Lz/ix= •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 G9JAcO1 •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 +MmHu6"1 •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 NY?;erX ws^4?O "fq{Y~F%` ZcYh) HD 过渡点列表界面 B7]MGXC •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 "Ky; a?Y •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。
^eoLAL •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 %\i9p]= Is+O "O(9 m.CZ 过渡点列表参数 @O[5M2|r •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 [LRLJ_~g5 •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 }-
Wa`t7U 6]-SK$ V\6]n2 '? jlH0; •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 Uk\Id~xLV •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 &?h,7
D;A •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 U#U]Pt MeUaTJFEB _SA5e3# 0
Us5 高级选项及信息 A2|Ud_ •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 R i^[i}
"9n3VX) @]ao"ui@/ /q5:p`4{J 正弦光栅界面 o;?/HE%,[ •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 'R_g">B. •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 ~}<DG1! •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: p ]d]QMu - 脊的材料:基板的材料 'e6WDC1Am( - 凹槽材料:光栅前面的材料 +a*tO@HG <qGu7y" q&d~
\{J KIWe@e 正弦光栅界面参数 4^URX>nx8 - 正弦光栅界面也由以下参数定义: aE2.L;Tk? •光栅周期 NQ6sGL •调制深度 NC38fiH_N - 可以选择设置横向移位和旋转。 >;[*!<pfK5 - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 tToTxf~ I(XOE$3 AF%@VLf L`24?Y{ 高级选项和信息 ^#sU*trr •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 )P+7PhE{J 8-O)Xx}cU S9#)A-> qT^I?g"! 高级选项及信息 uS^Ipxe\ •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 bcYF\@}; hvaSH69*m ukUGvK 锯齿光栅界面 @mfEKU! •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 /gG"v5] •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 JeE;V![ •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: yNTK . - 脊的材料:基板的材料 [W7CXZDd - 凹槽材料:光栅前面的材料 /~<@ *-' @/31IOIV]` m|G'K[8 &Udb9 锯齿光栅界面参数 Cid
;z •锯齿光栅界面也由以下参数定义: Z+=@<i'' - 光栅周期 UNBH - 调制深度 %ALwz[~] •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 d}4Y( •可以选择设置横向移位和旋转。
>=-(UA •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 J7g8D{4 )<tI!I][j Uw7h=UQh ^=-y%kp" 高级选项和信息 uu>Pkfo •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 AQwdw>I-FX RtM8yar+sn 探测器位置的注释 qO|R^De 关于探测器位置的注释 W}mn}gTQ •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 [wzb<"kW •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 Sxh]R+Xb •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 BNs@n"k •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 ~o~!+`@q •可以避免这些干涉效应的不良影响。 #*UN >X /PSd9N*=y JVSA&c%3 文件信息 SR|`! Vo'T!e- B LF& z yL-YzF2 Yz+ZY QQ:2987619807 .0`m\~ L
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