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摘要 4DsHUc6 b{}ao 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 IC+!XZqS $y,tR.5.)[
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?d8 1. 建模任务 f47dB_{5f. Or:P*l
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2*a5pFkb }70A>JBw 3. 文件和技术信息 Wv]ODEd fPq)Lx1'
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