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摘要 qyAnq%B} $o0.oY#
当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 ~%2yDhdQ i&8|@CACb
O c.fvP^ZD puLgc$? 1. 建模任务 1]9w9!j -k@1#c+z
EDuH+/:n w5^k84vye 2. 结果 +hKs ,
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"h #/b}/ 93Zij<bH?e 3. 文件和技术信息 ^BM !TQ%! ' <xE0<
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