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摘要 (t"YoWA#m @)M.u3{\ 当用近轴光照明时,亚波长光栅仅产生一个衍射级,因此在这种情况下无法成图像。为了克服这一问题,可以使用非傍轴照明。如在此示例中,采用高NA聚光透镜来为具有不同周期的光栅提供高度聚焦的照明,并且该衍射场将由另一个高NA物镜采集。VirtualLab可以模拟这样的成像过程,包括使用傅立叶模态法对亚波长光栅进行严格模拟。 F0o18k_" z<C~DH
iaq:5||, R.n`R|NOd 1. 建模任务 aX%g+6t2 rqG6Ll`=+
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scX.[ T J"{nB 2. 结果 Lh5+fk~i~8 0$dY;,Q .
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>+W?!9[p:2 &opH\wa 3. 文件和技术信息 =*O9)$b @o-evH;G
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