摘要
,BOB &u ]J5[ZVz
V-O 49 Apa)qRJd 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
9IN=m 5 y? )v-YGu 设计任务
Tf21K9+`L Pb+oV
1CFrV=d @@'zMV% 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
4~ZQsw` 0F0V JE 扫描参数空间以获取初始解
A5F< < f(|qE(
f&7SivS# L7wl3zG 初始解#1的参数优化
`IFt;Ja\6 :_p3nb[r
"n7rbh3VW QKE$>G
最终设计#1的性能分析
F2AM/m^!q Op~sR ^ez
Qh? E*9 j/#kO? 初始解#2的参数优化
>O9j},X DN&ZRA
RR75ke[Hs /49PF:$? 最终设计#1的性能分析
}Xrs"u, !})/x~~e
7$8z}2 *jTr VirtualLab Fusion一瞥
JihI1C ;=5V)1~i1;
Ty*ec%U9F `[jQn; VirtualLab Fusion中的工作流程
3wX{U8mrg (=QaAn,,R 构建
光栅结构
{iYu
x;( ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
Q7N4@w;e ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
ig")bt3s5 分析光栅
衍射效率
pyT+ba# ─ Grating Order Analyzer
HvKueTQ 使用参数运算寻找初始解
N`8!h:yL ─ Usage of the Parameter Run Document
ga4 gH>4 使用参数优化确定最终解
rPaD#GA[7 [{}9"zB$x0 VirtualLab Fusion技术
5y(irbk7 SR*%-JbA
=<O{t#] it&c
,+8 文件信息
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j+Y4>fL$ { )'D<:T QQ:2987619807
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