摘要
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M_O$]^I3w A._CCou 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
`+=Zq :0 ^uX"04>; 设计任务
)^UqB0C6^ yO-2.2h
\*PE#RB#6 /XG7M=A$o 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
<F`9;WX TaF*ZT2 扫描参数空间以获取初始解
(9bU\4F\ 5hqXMs
DKo6lP` W)`>'X` 初始解#1的参数优化
|yNyk7~ 4JBfA,
oCwep^P(v $_% 最终设计#1的性能分析
?:q"qwt$F gISA13
H/f}tw x8z6 < 初始解#2的参数优化
c[1{>z{G HJr*\%D}1
=5:vKL j 2!f'l'} 最终设计#1的性能分析
6
y"r' E.'6p \
57 Vn- <)cmI .J3 VirtualLab Fusion一瞥
&xj40IZ u 'ng'j'
?h7[^sxJ ,0L< wa VirtualLab Fusion中的工作流程
EZ Q!~ PzjIM!> 构建
光栅结构
T~>&m~} + ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
*nM.`7g*[ ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
B_r:da CS: 分析光栅
衍射效率
^[HX#JJ~ ─ Grating Order Analyzer
_qit$#wK; 使用参数运算寻找初始解
k \t6b1.M ─ Usage of the Parameter Run Document
.<P@6Jq 使用参数优化确定最终解
rI:]''PR ' ]Km%uwL VirtualLab Fusion技术
(ds*$] XF4NRs
7")&njQ/x ?!34qh 文件信息
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