摘要
;e~Z:;AR my+y<C-o` M->/vi V^Gz7`^ 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
"p]bsJG L%4[,Rsw 设计任务
N$#518 %tx~CD -) *]uo/g 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
K5X,J/n Vf?+->-?{ 扫描参数空间以获取初始解
nT
UKA Hj&mwn] c6zghP3dR <?|v-(E 初始解#1的参数优化
cH$zDm1 0Vu&UD A4!IbJD,0 GJlkEWs 最终设计#1的性能分析
}~gBnq_DDU L0ZgxG3:g ~~J xw ] UuDT=_1Sh 初始解#2的参数优化
WSA;p=_ \)H} T(UdV]~]" +RIG8w] 最终设计#1的性能分析
9rhIDA(wc c,WRgXL 9Z! j {P'TtlEp VirtualLab Fusion一瞥
;^QG>OP$ XL@Y! |Ld/{&Qr [Yt!uhww VirtualLab Fusion中的工作流程
:4o08M% KIt:ytFx 构建
光栅结构
\9[_* ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
+h!OdWD9 ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
I%dFVt@ 分析光栅
衍射效率
V*an0@ ─ Grating Order Analyzer
WJH)>4M# 使用参数运算寻找初始解
:\
%.x3T' ─ Usage of the Parameter Run Document
?QzA;8H 使用参数优化确定最终解
K \?b6;ea j8lWra\y VirtualLab Fusion技术
,,*i!%Adw 5k&tRg `1I@tz| gQpF(P 文件信息
7"L`|O?8) Vq7L:,N9 Q~/TqG
U FScE3~R QQ:2987619807
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