摘要
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OXC7
m p%A(5DE 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
e!wS"[, d9XX^nY. 设计任务
y)W.xR !af35WF
<}RU37,W ()}B]? 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
l-yQ3/: Ve,_;<F]S 扫描参数空间以获取初始解
P!C!E/Jf5 &z-f,`yG
\o^M ,yI ,Ty>sZ#/fz 初始解#1的参数优化
yA%(!v5UT jfyV9)
D?rQQxb Y8I$JBO 最终设计#1的性能分析
% Ke:%##Y <^&NA<2
DT # 1*&- }Po&6^ 初始解#2的参数优化
q P@4KH}e NIDK:qdR
J!,5HJh1 W'\{8&:! 最终设计#1的性能分析
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[R j=k)aBm cO2
.gQo' VirtualLab Fusion一瞥
_9E7;ew XljiK8q;%
N}wi<P:*) J<:qzwh VirtualLab Fusion中的工作流程
m,3?*0BMp= 9hI4',(rE 构建
光栅结构
E9 QA<w ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
x%ZjGDF m ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
KIdlndGs 分析光栅
衍射效率
5gg_c?Vh/ ─ Grating Order Analyzer
H~+D2A 使用参数运算寻找初始解
hq/k}Y ─ Usage of the Parameter Run Document
]*pALT6 使用参数优化确定最终解
PA"xb3@I $Q1:>i@I|g VirtualLab Fusion技术
oUEpzv,J GmN} +(
KcVCA }U'fPYYi8 文件信息
h\KQ{-Bl &C3J6uCm+
)`Tny]M F ]\4< QQ:2987619807
GVZ/`^ndM