摘要
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!CVuw 24#bMt#^ 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
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u]?{v k@#5$Ejc2 设计任务
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aCi Mr-DGLJ 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
K&*iw` |+>uA[6# 扫描参数空间以获取初始解
))!Bg?t- N;uUx#z
KkEv#2n dd]?9 初始解#1的参数优化
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}.p<wCPy6 (ab{F5 最终设计#1的性能分析
Bs[nV}c>> 9Gca6e3
/RGNAHtIi g?B3!,!9 初始解#2的参数优化
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[]|;qHhC~( wJgX/W 最终设计#1的性能分析
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SyO79e*t Ir5WN_EaS VirtualLab Fusion一瞥
~4\,&HH -T7xK/
9}5K6aQ 9IA$z\<<w VirtualLab Fusion中的工作流程
ZPHXzi3j )t:7_M3 构建
光栅结构
n 6{2]&sd ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
h>alGLN> ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
w5*Z! 分析光栅
衍射效率
UNDi_6Dy ─ Grating Order Analyzer
LvJGvj 使用参数运算寻找初始解
l?/Y ─ Usage of the Parameter Run Document
c8{]] 使用参数优化确定最终解
JS2nXs1 C)Jn[/BD VirtualLab Fusion技术
+R6a}d/K >E:<E'L
MAqLIf<G Rrg8{DZhv 文件信息
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