摘要
]a=l^Pc(xN B]i+,u
*5^ze+: sI$:V7/! 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
F=VoFmF@ ONNW.xHp 设计任务
9 #:ue@) X!m;uJZp
kr6:{\DU:B N]*!8 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
>H8^0n)? IG>>j} 扫描参数空间以获取初始解
+Z]y #= S~}$Ly@
C>M6&= wAPO{3 初始解#1的参数优化
%bN"bxv^ |O2|`"7
r!>es;R8 %uF:) 最终设计#1的性能分析
aL{EkiR E#m76]vkCU
V.+DP \A~4\um 初始解#2的参数优化
cS+?s=d Af$0 o=".
+h9`I/R f.sPE8#3= 最终设计#1的性能分析
/]P%b K6B 6CCZda@
e$gaE</ bXk:~LE VirtualLab Fusion一瞥
54bF)<+ [qq`cT@
oVAOGHE &0?DL VirtualLab Fusion中的工作流程
Z(#XFXd zaQ$ Ht 构建
光栅结构
X*(gT1"t ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
'Wd3`4V$ ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
9(V=Ubj 分析光栅
衍射效率
}Z<D^Z~w ─ Grating Order Analyzer
T
"ZQPLg 使用参数运算寻找初始解
@w+WLeJ$40 ─ Usage of the Parameter Run Document
8s\8`2= 使用参数优化确定最终解
PL9zNCr-[ Aigcq38 VirtualLab Fusion技术
RRK^~JQI.2 }//8$Z<(
t"jIfU>'a/ 2X
qPZ]2g 文件信息
;2+FgOj d{vc
wZQ
N4[B:n sASAsGk< QQ:2987619807
qen44;\L