摘要
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w&}<b%l \ eba9i^ 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
5m@'( ]j ,d!@5d&Zi 设计任务
D0
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6|"VO IrRe6nf@K 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
:Eh}]_ ;9#W#/B 扫描参数空间以获取初始解
AW_ YlS 19% "F!^i
"tOm V_^pPBa 初始解#1的参数优化
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ZJFF4($qN 8)s0$64Ra 最终设计#1的性能分析
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1DU
l<&4 37IHn6r\ 初始解#2的参数优化
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U7fNA7#x" s LD Ea 最终设计#1的性能分析
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V\n!?1{kdF )_Hv9!U]e VirtualLab Fusion一瞥
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0%|)=T3Slu xHx_!
)7 VirtualLab Fusion中的工作流程
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7N5M=f.DS( 构建
光栅结构
a3:45[SO4e ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
4QPHT#e qX ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
HsRoiqo 分析光栅
衍射效率
Cnc=GTRi ─ Grating Order Analyzer
<JXHg,Q 使用参数运算寻找初始解
p_zVrlVb ─ Usage of the Parameter Run Document
lR
F5/ 使用参数优化确定最终解
]f`UflMO8 iYdg1 VirtualLab Fusion技术
'm<L}d 4__HH~j ?Q
Q?>*h xzoP 5>H&0> \ 文件信息
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WU/5i 8 64y9.PY QQ:2987619807
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