摘要
+#(GU9_i+M fmUrwI1 % Y( K`3?A |N
2r?b/g 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
vQ$"|8, BZXee>3" 设计任务
9O^~l2` O]F(vHK\ HyYJ"54 `(O#$n 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
I!K-*
AB d+ $:u 扫描参数空间以获取初始解
"15frr? LHA:frC .6bo NPa4I7`A 初始解#1的参数优化
%6M%PR~u Rx.5;2m k>!i
_lb
_ph1( !H$ 最终设计#1的性能分析
3qV\XC+ e-lc2$o7{ vJx( lU`Y uo|:n"v 初始解#2的参数优化
j*1MnP3/8Y mU||(;I Sb)} ^EmePkPI 最终设计#1的性能分析
65RD68a -h8Z@r~a/ u`!Dp$P !)}z{,Jx VirtualLab Fusion一瞥
,eqRI>,\ c+whpQ=01 CWd
& ;oVOq$ql VirtualLab Fusion中的工作流程
^R7X!tOq4 2)
2:KX 构建
光栅结构
PVmePgF
─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
gh^w
!tH3 ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
<l+hcYam 分析光栅
衍射效率
eOZ~p ─ Grating Order Analyzer
tWTC'Gx-J 使用参数运算寻找初始解
MdTu722 ─ Usage of the Parameter Run Document
7.kH="@ 使用参数优化确定最终解
r,L`@A=v KyqP@
{ VirtualLab Fusion技术
#9qX:*>h %[ o($a$ Vk76cV
D : 'pK 文件信息
Ngm/5Lc ]2[\E~^KU XuU>.T$] c Z 2$S'}F QQ:2987619807
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