摘要
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$Y0;v>}
q{n~s= mpK|I|- 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
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TJ K,+`td# 设计任务
&=@R,
p^\>{
mS!/>.1[ ~8}"X] 4 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
tJ2l_M^ vTU"c>] 扫描参数空间以获取初始解
' G)Wy|* "c1vW<;
LPewo AXO QBai;p{ 初始解#1的参数优化
B RD>q4w wz>j>e6k`
BYNOgB1 4>$>XL1 最终设计#1的性能分析
LOR$d^l @*A(#U8p3
vE6/B"b gHYYxhW$ 初始解#2的参数优化
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@ iao"& T~`m'4"+c 最终设计#1的性能分析
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5x4(5c5^ .CwMxuW VirtualLab Fusion一瞥
EQu M|4$ix HO&#Lv
#sAEIk/ zF\k*B VirtualLab Fusion中的工作流程
GJ{]}fl u_zp?Nc 构建
光栅结构
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[P", ─ Configuration of Grating Structures by Using Interfaces
YI&^j2 ─ Configuration of Grating Structures by Using Special Media
t6s#19g 分析光栅
衍射效率
*<s|WLMG ─ Grating Order Analyzer
MLId3#Q 使用参数运算寻找初始解
Tx],-
U ─ Usage of the Parameter Run Document
]e)<CE2
使用参数优化确定最终解
ECU:3KH>MF 8 :Z3Q VirtualLab Fusion技术
I9k o*f '0/t |V<
;`s/|v e9N"{kDs6 文件信息
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