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摘要 Uz,P^\8^$ 9&=%shOc+x 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 d+v|&yN JUA%l
r9u'+$vmF 4y+hr 设计任务 ;kZD>G8 Gdb0e]Vt+
Y=<ABtertS nbP}a?XC 1级参数优化 p gLhxc: OfBWf6b
6x(b/`VW X%-hTl 结果-容差分析 Q+K]:c hlV(jz
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结果-容差分析 2& Hl
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2 N &B Et*LbU VirtualLab Fusion一瞥 E#m^.B-} uv$5MwKU
1@~%LV CpN*1s})d VirtualLab Fusion中的工作流程 @]X!#&2> ~!TrC<ft 构建光栅结构 bupW*fD: −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] Bq~S=bAB>R −倾斜光栅高级设定[用例] !lEV^SQJs •光栅衍射效率分析 K6B6@ −光栅阶序分析器[用例] AX@bM •使用参数优化进行光栅参数优化 !$iwU3~< •使用参数运行的容差分析 aRWj+[[7y 4xs>X7 L67yL( d6a C|FI4/-e VirtualLab Fusion技术 u{WI 4n? FN sSJU3ld
L~|_)4 u5qaLHoEP 文件信息 p|;#frj p,8:(|(
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