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摘要 6J9^:gXW~ ng(STvSh: 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 2%y}El^+_ I'{-T=R-q
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F] J+r\EN^9 1级参数优化 6nV]Ec~3[ >T[1=;o]
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3e+ Ih2 7SO i9JU_ VirtualLab Fusion一瞥 A0Pg|M r9G}[#DO
[LDsn]{ &,/_"N"?D VirtualLab Fusion中的工作流程 Bj5_=oo+d sDA&U9; 构建光栅结构 OBp<A+a −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] V+myGsr` −倾斜光栅高级设定[用例] ~jWG U-m •光栅衍射效率分析 LxaR1E(Cc' −光栅阶序分析器[用例] 7~n<%q/6 •使用参数优化进行光栅参数优化 $Tci_(V=F •使用参数运行的容差分析 w7aC=B/{?i SC/|o
y,e#e` N) D;)ZH VirtualLab Fusion技术 |zhVl w9h`8pt
&qKJN#NM@ :%-xiv 文件信息 QS.t_5<U Y~@@{zP
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