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摘要 QfHJZ7K.4 PH6!T/2[ 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 Jat|n97$ 'JA<q-Gn
{3s=U"\ =t,}I\_^c 设计任务 ?4G/f<ou S5a?KU
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0m`{m'B4n -pb>=@Yq 结果-容差分析 {`X O3 8ux?K5_
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SuorCp] !:zWhu, VirtualLab Fusion一瞥 _s(izc *=b#>//
;";#{B: iS/faXe5 VirtualLab Fusion中的工作流程 .|Ee,Un `X mT)C 构建光栅结构 klUW_d- −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] L("zS%qr −倾斜光栅高级设定[用例] G\\0N^v •光栅衍射效率分析 ?WD JWp% −光栅阶序分析器[用例] f&ZFG>)6 •使用参数优化进行光栅参数优化 :4HZ>!i •使用参数运行的容差分析 ggP#2I\ A7eF.V& M2{AaYgD |_ChK6Q?v VirtualLab Fusion技术 -n>JlfCd2 0q4E^}iR
*F_ dP FF} A_ZFY 文件信息 v"Z`#Bi vc r5
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