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摘要 1RRE{]2v# y{%0[x*N<m 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 D'g,<-ahl 7~Y\qJ4b
.XJ'2yKof 6 c_#"4 设计任务 UM oj9/- Q(bOar5
ytZ o0pad ^_WR) F'K 1级参数优化 7Sx|n}a-3 Jo5B mh0
0:$}~T9T tT}b_r7h(1 结果-容差分析 S,m( @^{`!>Vt
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5,"c1[`- RM;a]g* VirtualLab Fusion一瞥 Rx-\B$G yw^Pok5.
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n% VirtualLab Fusion中的工作流程 ?qgQ)#6 >q eDb0 构建光栅结构 n'~==2 −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] |Y7SP]/`gB −倾斜光栅高级设定[用例] 6"&cQ>$xh •光栅衍射效率分析 lLD#|T3 −光栅阶序分析器[用例] J p'^! •使用参数优化进行光栅参数优化 yf&g\ke •使用参数运行的容差分析 )DgXsT Ku(YTXtK dGUP|O G+zhL6]F
VirtualLab Fusion技术 EF0v!XW `3;EJDEdbi
)UzJ2Pa<+_ F&d!fEHU 文件信息 w!F>fcm Z-iU7 O
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\dn 8 v/H;65 B)0/kY7c QQ:2987619807 TRhM xH
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