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摘要 JwNB)e
D d:!A`sk7 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 Q<O(Ix b haYbiX?
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?B['8ju :cA%lKg VirtualLab Fusion一瞥 3aUWQP2 $d\>^Q
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VI2f ,LodP%%UV VirtualLab Fusion中的工作流程 4apaUP=Jp 0^9%E61YR 构建光栅结构 0K'^g0G −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] <,+nS%a −倾斜光栅高级设定[用例] Op5S' •光栅衍射效率分析 | IB4-p −光栅阶序分析器[用例] yFY:D2 •使用参数优化进行光栅参数优化 {?RVw`g&f •使用参数运行的容差分析 jt`\n1q) uA;vW\fHr %3Tz%>n *Y`c.n" VirtualLab Fusion技术 0WI@BSHnM @Yj+u2!
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