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摘要 s(2/]f$ ,0pCc< 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 (u_?#PjX \]:}lVtxS
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JmP[ 9" _8z gaA VirtualLab Fusion一瞥 sC}p_'L TXWYQ~]3w
swTur kq4ii`zi8 VirtualLab Fusion中的工作流程 u3k{s f,
iHM 构建光栅结构 W'xJh0o −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] `;c{E%qeq −倾斜光栅高级设定[用例] ):L ; P) •光栅衍射效率分析 c e\|eN[ −光栅阶序分析器[用例] f(*ygI •使用参数优化进行光栅参数优化 a5dc#f
Kf •使用参数运行的容差分析 E9bc pup AZ7m=Q97 J$>9UCk7B r7zS4;b VirtualLab Fusion技术 >qL-a*w:a vmGGdj5aI
V4CL%i MXP3ZN' 文件信息 EpCT !e DkA@KS1Dq
xm*6I GF/!@N - %'ys QQ:2987619807 #wS/QrRE
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