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摘要 ^lt2,x YoW)]n 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 /]^Y\U ^ fgeh;cD
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8/ VirtualLab Fusion一瞥 ~abyjM :CW^$Zvq
VC/-5'_6 [#mkTY VirtualLab Fusion中的工作流程 ;b*qunJ3L w~)tEN> 构建光栅结构 $BMXjXd} −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] iuGwc086 −倾斜光栅高级设定[用例] s{R,- \_ •光栅衍射效率分析 9D+k71"+ −光栅阶序分析器[用例] \OtreYi •使用参数优化进行光栅参数优化 `DF49YP"~ •使用参数运行的容差分析 %K4M`R|2] ,wes* G@#lf@M] D\&S { VirtualLab Fusion技术 V%s7*`U /nQuM05*Z
%]&$VVVh Lo1ySLo$G 文件信息 PXYLLX\3 tRJ5IX ##L
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