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摘要 b^WTX xaQO=[ 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 fO6i >)E{Hs [T|_J$
; Tf[o'=2 设计任务 hzG+s# Mi+<|5is ;JQ:S~K9 v?\Z4Z|f 1级参数优化 CKoRq|QG_ qX,TX
3 5,H,OZ} 6|h~pH 结果-容差分析 O7& |