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摘要 "Bkfoi RHW]Z
Pr< 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 MpT8" /.]A 70?\ugxA
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UW={[h{.|@ =ZznFVJ`={ VirtualLab Fusion中的工作流程 /KaZHR. :`#d:.@]o@ 构建光栅结构 y-b%T|p9 −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 9.M4o[ −倾斜光栅高级设定[用例] rgQOj^xKv^ •光栅衍射效率分析 NN{?z! −光栅阶序分析器[用例] eb{nWP •使用参数优化进行光栅参数优化 )AtD}HEv •使用参数运行的容差分析 !PlEO 2at 2RX;Ob_ O`kl\K*R7 e2Pcm_Ahv* VirtualLab Fusion技术 {w O|)|
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