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摘要 vBUl6EmWu !U02>X 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ~;ink YK#
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VirtualLab Fusion一瞥 <$liWAGX\ `w Sg/
{d$S~ i_GE9A=h VirtualLab Fusion中的工作流程 /,v:!* @C=, >+D 构建光栅结构 *jWU8.W −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ADX} −倾斜光栅高级设定[用例] V,qZF=} S •光栅衍射效率分析 aMTY{ −光栅阶序分析器[用例] ^F*)Jq •使用参数优化进行光栅参数优化
Y6A]dk •使用参数运行的容差分析 C!w@Naj bcpH|}[F) ,IUMH]D /3%]Ggwe VirtualLab Fusion技术 *9^CgLF SX}GKu
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