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摘要 `J
l/@bE= Mp-hNO}.Z 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 vRI0fDu BmhIKXE{* n[E/O}3& / |~]@hs~ 设计任务 br3r!Vuz/- u%24%
Q R!z32 <5k
!5^&?plC@ 1级参数优化 !+o`,K TYp jCK 0+,; A7enC,Ey :k/Z| 结果-容差分析 Y'U]!c9 7*>(C*q= GOU>j"5}2 HceZT e@ 结果-容差分析 2t}^8 H[J5A2b ?'/#Gt` u"5
hlccH VirtualLab Fusion一瞥 2]'cj
`)n/J+g 78h!D[6 g!I0UAm VirtualLab Fusion中的工作流程 qBF}-N_ Lg2z `uv 构建光栅结构 :TRhk. −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] +2JC**)I −倾斜光栅高级设定[用例] <7*d2 •光栅衍射效率分析 COFCa&m9c −光栅阶序分析器[用例] %d^ =$Q •使用参数优化进行光栅参数优化 p"|0PlW •使用参数运行的容差分析 V2o1~R~ !n`Y^ !f01.Tq8 !)HB+yr VirtualLab Fusion技术 il~A(`+YO 2@>#?c7 }~!KjFbs LNOz.2fr> 文件信息 HImQ.y!B 4|/=]w KA{JSi r#\Lq;+-B .*{0[ QQ:2987619807 d_)VeuE2
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