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摘要 79M`?xm `+WQ^dP@ 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 pkA(\0E8 ZpU4"x>
b=Q%Jxz? 5kj=Y]9\I 设计任务 lN::veD SjU0Xb)[
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j}DG +M j&=!F3[ VirtualLab Fusion一瞥 k%ckV`y
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|Ns[{/ s$OnQc2/ VirtualLab Fusion中的工作流程 J$i5A9IUr p%y|w 构建光栅结构 ;(9q, ) −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ucC'SS −倾斜光栅高级设定[用例] cH\.-5NQ •光栅衍射效率分析 =wX(a −光栅阶序分析器[用例] 5?4jD]Z •使用参数优化进行光栅参数优化 Z&0*\.6S~ •使用参数运行的容差分析 UPJ3YpK Ja#ti y FFqqAT5 }Z}4_/E VirtualLab Fusion技术 rQPV@J]: XQL]I$?
elm]e2)F ?i7}d@636 文件信息 ibskce{H *J] }bX
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