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摘要 aSUsyOe x8Q~VVZr 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 NdZ)[f:2 VSh !4z1
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VirtualLab Fusion一瞥 [<yz)<< G;NB\3~X
2 l(Dee Y p'}lN|"{O VirtualLab Fusion中的工作流程 k52QaMKa~A (k8Z=/N~ 构建光栅结构 N+NK` −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] IP04l;p/ −倾斜光栅高级设定[用例] to'j2jP •光栅衍射效率分析 N`HSE=u> −光栅阶序分析器[用例] .U 39nd •使用参数优化进行光栅参数优化 )6=gooe] •使用参数运行的容差分析 X'@'/[? Oxv+1Ub<Dv =5ug\S 2SciB*5 VirtualLab Fusion技术 J?IC~5*2 VD/&%O8n
=:gjz4}_8 |<rfvsQ. 文件信息 iS Z(HZB
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