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摘要 /6h(6 *JI '*?WU_L(g 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 DBCK2PlJ >&p0d0
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D*YM[sN` ^>N]H>0'S VirtualLab Fusion一瞥 [g Z"a* d R]Q$CJ
mBG=jI "xh 3neIR@W VirtualLab Fusion中的工作流程 qg}O/K ^+m+zd_ 构建光栅结构 `p7&>
BOA −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] _!?Hu/zo −倾斜光栅高级设定[用例] Sf,R^9#| •光栅衍射效率分析 )h8\u_U −光栅阶序分析器[用例] U=o"32n+ •使用参数优化进行光栅参数优化 +ke1Cn'[ •使用参数运行的容差分析 }Iz7l{al ~2zMkVH ,+
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1 VirtualLab Fusion技术 yGsz2T;w pOrWg@<\L
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