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摘要 6u xF< e^UUR-K% 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 a0's6C AI-ZZ6lzR
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p4P"U VirtualLab Fusion中的工作流程 .g_^! t Gz2\&rmN 构建光栅结构 Rp>%umDyL −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 0>
QqsQ −倾斜光栅高级设定[用例] \"d\b><R •光栅衍射效率分析 lU`t~|>r+ −光栅阶序分析器[用例] uEkGo5 •使用参数优化进行光栅参数优化 f]2;s#cu •使用参数运行的容差分析 /< Dtu UM QiaBZAol rj/nn)vv; I0G[K~gb VirtualLab Fusion技术 M$} AJS%8 TXqtE("BDl
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