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摘要 R5QW4i9 >F^$
' b] 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 _YR#J%xa 0^Ldw)C"
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B> i^ w1 #q34>}O< O VirtualLab Fusion一瞥 Kg2@]J9m _d~GY,WTdO
</<z7V,{ tZ=|1lM VirtualLab Fusion中的工作流程 A|IPQ= Th,]nVsGs~ 构建光栅结构 .w\4Th# −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] y'f-4E< −倾斜光栅高级设定[用例] wAR:GO'n •光栅衍射效率分析 /-<]v3J −光栅阶序分析器[用例] Gg6cjc =dC •使用参数优化进行光栅参数优化 <5]_u: •使用参数运行的容差分析 9|>y[i $?: -A #9"lL1
KYcc jX VirtualLab Fusion技术 @AG=Eq9<o ) tV]h#4
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2 (ux 文件信息
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