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摘要 J%
B(4` C?Sy90f 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 LWb5C{ _Z:WgO].
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L, ]@W.5!5H VirtualLab Fusion中的工作流程 JDi|]JY m<>3GF,5bP 构建光栅结构
;zD1#dD −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] R=IZFwr −倾斜光栅高级设定[用例] ~+{OSx<S •光栅衍射效率分析 .0:twj −光栅阶序分析器[用例] ^D(N_va< •使用参数优化进行光栅参数优化 CT@JNG$<" •使用参数运行的容差分析 y!SElKj ?Sj3-*/? 0x Vue[ep I3QK~ V*j) VirtualLab Fusion技术 5!r?U (
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