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摘要 Mvh_>-i @&W?e?O ~G 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 [Bh]\I' +J4t0x
j&pgq2Kl mN*P2* 设计任务 7| T:TbY> 'x0t,
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iPOZ{'Z [mPdT^h VirtualLab Fusion一瞥 Sv@p!-m ]EnaZWyO]
zFr} $ pQ Y> VirtualLab Fusion中的工作流程 0mh8. uLM_KZ 构建光栅结构 RX1{?*r]Z −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] @;}H<&" −倾斜光栅高级设定[用例] 1znV>PO! •光栅衍射效率分析 ,9qB}HG −光栅阶序分析器[用例] 0?xiG SZV •使用参数优化进行光栅参数优化 @RIEO%S •使用参数运行的容差分析 YMTA`T(+ YoJ'=z,e |mmG
s 9VE;I:NO3 VirtualLab Fusion技术 ELF`uWGE %},G(>
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