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摘要 R=D]:u<P Kl1v^3\{ 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 w_9^YO!! =~#mF<z5
fqNh\~kja z+"tAVB[i 设计任务 ?|nl93m DeO-@4+qKd
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O[@!1SKT0 9:j?Jvw$ 结果-容差分析 5E!C?dv(z <Xf6?nyZ(
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u[>"_!T ]\E"oZ VirtualLab Fusion一瞥 j3j?2#vR j\2Qe%d
&D,Iwq ]#tB[G VirtualLab Fusion中的工作流程 inP2y ?j 222 Y?3>@D 构建光栅结构 b--=GY))F −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] S?J!.( −倾斜光栅高级设定[用例] ,OE&e*1 •光栅衍射效率分析 C$[d~1t6 −光栅阶序分析器[用例] 8 Rx@_ •使用参数优化进行光栅参数优化 E^F"$Z"N •使用参数运行的容差分析 Z
3BwbH f|[7LIdh- bI):-2&s} pUIN`ya[[ VirtualLab Fusion技术 ,jU>V]YC qu=~\t1[6
1w,_D.1' ]so/AdT9hA 文件信息 l.Q i7x&[b
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