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摘要 p=F!)TnJN 0k]$ he;h 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 I'pOB NfG<!
*&$J.KM H CKD0xx 设计任务 ?y1']GAo p,_,o3@~
!|!k9~v! 0=N,y 1级参数优化 3r{3HaN(^' N?cvQR{r9
W+HiH`Qb] +NIq}fZn9 结果-容差分析 UQq,Xq "R8: s
ITcgpK6k 5u/d r9n 结果-容差分析 5%H(AaG*q <2b&AF{En
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VirtualLab Fusion一瞥 6T-h("t m|K"I3W$
xBba&A]= ,1xX`: VirtualLab Fusion中的工作流程 Be~__pd ?'RB)M=Og7 构建光栅结构 Q7<%_a −使用特殊材料的光栅结构设定[用例]
Xe ;Eu −倾斜光栅高级设定[用例] D~~"wos •光栅衍射效率分析 _=%F6}TE −光栅阶序分析器[用例] 4:umD*d 3E •使用参数优化进行光栅参数优化 ~_l@
_P5yz •使用参数运行的容差分析 ie<zc+*rW ?vA)F)MS
x/BtB"e*5 zL8Z8eh"> VirtualLab Fusion技术 G6W_)YL GvAP
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b |nOqy&B 文件信息 /l.:GH36f rV{:'"=y-
Whoqs_Mm{ \[\4= !v E[$"~|7|$ QQ:2987619807 #@pgB:~lB
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