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摘要 l,FK\ ~ vD7BO` 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 1<hj3 IR*g>q
C4Pi6.wf F_8nxQ- 设计任务 (kpn"]^' ML6V,V/e
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R|PFGhi6"A yZf+*j/a7 VirtualLab Fusion一瞥 ?b',kN,( /0(2PVf
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l~.}#$P] #u8|cs! VirtualLab Fusion中的工作流程 )|>LSKTEl {I s?>m4 构建光栅结构 zV)Ob0M7U −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] lk $S"OH! −倾斜光栅高级设定[用例] nQ\ +Za== •光栅衍射效率分析 bP;cDQ(g −光栅阶序分析器[用例] w H&Rjn •使用参数优化进行光栅参数优化 M[5zn •使用参数运行的容差分析 vF, !8e'v w$J0/eX{A TGxspmY6 iE}jilU VirtualLab Fusion技术 uVoM2n?D%^ hw`+,_ g
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