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摘要 l{.PyU5) E$4H;SN \ 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 T"3LO[j+ 5wh(Qdib
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-V@ST9` QjJlVlp VirtualLab Fusion中的工作流程 j!Ys/D Bs`='w%7 构建光栅结构 rk,64( −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 2++$ Ql/ −倾斜光栅高级设定[用例] >2}*L"YC •光栅衍射效率分析 r
z@%rOWV −光栅阶序分析器[用例] h<?I?ZR0$ •使用参数优化进行光栅参数优化 Ue,eEer •使用参数运行的容差分析 m |+zMf& d@cyQFX "Ya;&F.' AlrUfSBB VirtualLab Fusion技术 Ssa/;O2 n
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