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摘要 )0#j\ B gi6g"~%@q1 对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ]} 61vV
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 M!1U@6n!=) lT2 4JhJ# VirtualLab Fusion一瞥 f-;$0mTQ
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 w OI^Q~ `@[l\.Vt: VirtualLab Fusion中的工作流程 Nln`fE/Ht ~ 9GOk;{~& 构建光栅结构 s~*}0-lS
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] HPrq1QpK
−倾斜光栅高级设定[用例] :0$a.8Y\++
•光栅衍射效率分析 XZ`:wmc|
−光栅阶序分析器[用例] ^/H W$8wEi
•使用参数优化进行光栅参数优化 >M]6uf
•使用参数运行的容差分析 {C3U6kKs;R S,)d(g3>  62) d22 E@-ta) :
VirtualLab Fusion技术 OS -sk!
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