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摘要 dr"@2=Z .+ic6 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 =NRiro fL&e^Q
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z-kB!~r X5P1wxk' VirtualLab Fusion中的工作流程 `?(9Bl `]l[p+DO 构建光栅结构 VZU@G)rd −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] {y>Kcfc/?E −倾斜光栅高级设定[用例] /gLi(Uw •光栅衍射效率分析 p-%m/d? −光栅阶序分析器[用例] @0%^\Qf2 •使用参数优化进行光栅参数优化 kc"SUiy/ •使用参数运行的容差分析 Ktf lbI! G^w:c] `S/;S<'; gG46hO-M%x VirtualLab Fusion技术 R<8!lQ4s -<n]Sv;V
qH*Fv:qnM iD!]I$ 文件信息 nnnq6Z} q6N6QI8/
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