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摘要 0jefV*3qpB vi.q]$ohbV 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 oxqD/fY j\@|oW0
$0E_4#kwB A832z` 设计任务 nr9cG/" QW%BKF!
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5/{gY{ uO`YA] 结果-容差分析 F{aM6I Ax+q/nvnb
u>-!5=D8 t[L'}ig!q VirtualLab Fusion一瞥 n\y%5J+ lN^} qg><
[HhdeLOX DPsf] VirtualLab Fusion中的工作流程 _-I 0f##. @=[SsS 构建光栅结构 ]LhNP}c −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] I806I@ix −倾斜光栅高级设定[用例] Q:B : •光栅衍射效率分析 q[SUYb;, −光栅阶序分析器[用例] N^.!l_ •使用参数优化进行光栅参数优化 xcYYo'U •使用参数运行的容差分析 [0e}%!%M L);kwx7{LW P}QuGy[ =' cr@[~i VirtualLab Fusion技术 cx8H.L u{ .UZTn
NN W* |f0KIb}d 文件信息 \/9uS.Kw ^4yFLqrC
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