切换到宽版

Zemax光学设计从入门到精通	Zemax光学设计从基础到实践	Zemax光学设计实践基础(陈家璧)	ZEMAX光学系统设计实战
讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商	微小光学与微透镜阵列	光学设计与光学元件	计算光学带来的成像革命

12 3 4

6906阅读
30回复

[原创]如何分析部分干涉成像系统（光刻机成像系统） [复制链接]

上一主题下一主题

离线markborn

发帖: 205

光币: 218

光券: 0

只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2020-06-28

如何分析部分干涉成像系统（光刻机系统）

在光刻应用中，所使用的光源不是完全相干的，如何在晶片上分析部分相干成像系统中的掩模?
在这里给大家分享一个案例，希望可以帮到大家。


这里是一步一步的如何在ZEMAX 中操作：https://sot.com.sg/coherent-imaging/

这里是案例的ZEMAX 文件：备注：我用的ZEMAX 是20年版本，如果您版本过低，可能无法正常打开，请谅解！

如果不能打开文件，请告知我，我转发给你。

回帖是对我分享的一个鼓励，谢谢回帖！

附件设置隐藏，需要回复后才能看到

共3条评分，光币+7

光学辉	光币 +1	优秀文章，支持！	2022-07-31
sxwpdpd	光币 +1	优秀资料，加分！	2020-08-03
天蓝色3230	光币 +5	-	2020-06-29

分享到

离线天蓝色3230

发帖: 1093

光币: 3531

光券: 0

只看该作者 1楼发表于: 2020-06-29

感谢分享！

在线vurtne_000

高级工程师

发帖: 1506

光币: 5191

光券: 0

只看该作者 2楼发表于: 2020-06-30

感谢分享！

离线17310581236

发帖: 37

光币: 316

光券: 0

只看该作者 3楼发表于: 2020-07-03

感谢分享

离线huangyang

发帖: 405

光币: 0

光券: 0

只看该作者 4楼发表于: 2020-07-08

呦西呦西

离线woshiyiyun

助理工程师

发帖: 687

光币: 3

光券: 0

只看该作者 5楼发表于: 2020-07-20

好东西谢谢

离线xxma94

发帖: 9

光币: 86

光券: 0

只看该作者 6楼发表于: 2020-07-27

谢谢分享学习学习

离线木子示羊

高级工程师

发帖: 838

光币: 6922

光券: 0

只看该作者 7楼发表于: 2020-07-27

感谢分享

离线bluelalal

发帖: 27

光币: 1

光券: 0

只看该作者 8楼发表于: 2020-07-28

哇偶，正好需要

离线sxwpdpd

发帖: 20

光币: 25

光券: 0

只看该作者 9楼发表于: 2020-08-03

学习一下，学做尚光人。

12 3 4