《薄膜光学与薄膜技术基础》

发布:cyqdesign 2020-06-01 23:03 阅读:6715
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 6vp *9  
b1gaj"]  
g ^!C  
目录 j}BHj.YuP  
第一篇 薄膜元学基本理抢 +&X%<S W  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 !PMU O\y  
1.1 麦克斯韦方程 1 Nrah;i+H\o  
1.2 平面电磁波 6 !Oj)B1gc6&  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 @v}B6j b;  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 jSOS}!=  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 dLvJh#`o  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 @)>D))+  
1.4 电磁波谱、光谱 10 f`8OM}un&  
习题 12 F( Ak  
参考文献 12 j}F-Xs+  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 v[TYc:L=  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 ?sBh=Ds  
2.1.1 S波反射与透射 14 dl5=q\1=  
2.1.2 P波反射与透射 16 nx:KoB"ny  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 rVtw-[p  
2.2.1 S 波反射与透射 18 7l."b$U4yv  
2.2.2 P 波反射与透射 20 X 6 lH|R  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 '~ 4pl0TWc  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 tu>{  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 `p0ypi3hn  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 KtB!"yy#  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 a`E*\O'd  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 wQ+dJ3b$  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 HPQ/~0$  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 kvGCbRC  
2.5.2 全透射 37  :Pq.,s  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 Fl{WAg  
2.6 反射率和透射率 39 D -IR!js ]  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 ?X9]HlH  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 H]\Zn%.#  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 ' )-M\'S$E  
习题 44 8ga_pNe  
参考文献 44 _P,^_%}V06  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 s$DrR  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 9Bdt(}0A  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 JI|6B  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 V (rr"K+  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 "PH6e bm  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 ~%ozgzr^  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 ~vgA7E/XV  
3.4.1 一阶近似 62 !umEyd@ "  
3.4.2 二阶近似 63 0_yP\m  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 PfG`C5 d  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 }:z5t,u6  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 6<Hu8$G|  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 k_GP> b\"k  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 la$%H<,7  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 7m9 " 8   
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 ?Qqd "=k4  
习题 79 Gzt=u"FV  
参考文献 79 b!$}ma;B  
第4章 膜系设计图示法 81 mzD^ Y<LTd  
4.1 矢量法 81 ~^N]y b  
4.2 导纳图解法 87 b^`AJK  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 kII7z;<^`  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 -s__ E  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 :Gh~fm3}  
4.3 金属膜导纳圆图 97 I<h=Cj[[  
4.4 膜系层间电场分布 99 /&Jv,[2kV  
习题 100 cs_}&!c{  
参考文献 101 uD>z@J-v  
第二篇 光学等膜分类反应用 beZ(o?uK  
第5章 增透膜 102 t7F.[uWD  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 vz`@x45K  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 N dR ]  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 lQ*eH10H  
5.4 均匀介质增透膜 107 ?\H.S9CZ^  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 rOl6lQW  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 A8?[6^%O|  
5.5 非均匀介质增透膜 113 X)uDSI~  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 ]UNZd/hIL  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 \gccQig1CJ  
习题 118 0jB X5  
参考文献 118 }qC SS<a  
第6章 高反射膜 120 \&A+s4c")  
6.1 反射镜组合的反射率 120 :kw0y  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 h(xP_Svj>  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 tLX,+P2|  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 Q e1oT)  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 "S(X[Y'  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 C|z%P}u#p  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 !Qu PG/=X  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 y7zkAXhJ  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 <fM>Yi5  
6.8 金属反射镜 134  Iao[Pyk  
6.8.1 常用金属反射镜 134 f =_^>>.  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 RfbdBsL  
6.9 影响反射特性的因素 137 DBbc|I/[l  
6.10 高反射镜应用实例 143 VEh]p5D  
6.10.1 激光高反射镜 143 (:$9%,x  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 aIGn9:\  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 UR>_)*  
习题 146 gM_:l  
参考文献 146 IUhp;iH  
第7章 带通滤光片 149 *Wyl2op6  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 Xt(! a  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 6$B'Q30}r  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 ~8Sqa%F>  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 l L2-.!]R  
7.3.2 膜系透射定理 153 kfpm=dKL  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 QTh0 SL  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 Ysk, w,K  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 sX'U|)/pD  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 5upShtC  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 '\4fU%  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 ABWb>EZ8  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 2oNV=b[  
7.5 超窄带带通滤光片 183 r%!FmS<  
7.6 宽带带通滤光片 185 z<QIuq  
7.7 带通滤光片的角特性 186 w~v<v&  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 8xo;E=`   
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 sQ(1/"gb  
习题 193 j6X LyeG7  
参考文献 193 Qg>L,ZO  
第8章 截止滤光片 196 ]I XAucI]  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 X\G)81Q.S  
8.2 吸收型截止滤光片 197 M'|)dM|  
8.3 干涉型截止滤光片 198 O|(o8 VS  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 CveWl$T12  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 GEi MmH?  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 ^fZGX<fH   
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 j&llrN  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 | M _%QM.  
8.3.6 截止带的展宽 210 zg0%>iqO  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 '^lUL) R  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 \6c8z/O7   
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 :xN8R^(  
习题 221 Uf[T_  
参考文献 221 U$@83?O{iM  
第9章 带阻滤光片 223 b60[({A\s&  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 G* Ib^;$u  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 09x+Tko9;*  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 vu>YH)N_h  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 |?|K\UF(Y  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 wjg}[R@!  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 g?$e^ls  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 !a)s`  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 |3"NwM>  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 1[[TB .xF  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 7n [12:  
习题 241 lSs^A@s  
参考文献 241 ?V6 %>RU  
第10章 分光镜 243 '@S,V/jy0z  
10.1 中性分光镜 243 ylT6h_z1[Y  
10.1.1 金属膜中性分光 244 dRM5urR6,  
10.1.2 介质膜中性分光 245 F42TKPN^uu  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 ax;{MfsK  
10.2 双色分光镜 249 _p$"NNFN  
10.3 偏振分光 254 XzN-slu!  
10.3.1 偏振特性的描述 254 &KOO&,  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 kYmo7  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 b3P9Yoj-  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 Yo@m50s$  
10.4 消偏振分光 262 f^ywW[dF  
10.4.1 偏振分离的描述 263 7s$6XO!  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 )fy <P;g  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 Y+OYoI  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 n8 GF8a  
10.5 分光中的消色差问题 280 A/ hpY a  
习题 281 e%'z=%(  
参考文献 282 okVp\RC  
第二篇 薄膜扶术基础 .O;!W<Ef$  
第11章 薄膜制备技术 283 EI%M Azj}  
11.1 真空技术简介 283 KuU3DTS85Z  
11.1.1 真空的基本知识 283 e2q pJ4i  
11.1.2 真空的获得 284 %f>X-*}NI-  
11.1.3 真空的测量 286 8Yo-~,Gb  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 DXt]b,  
11.2.1 蒸镀法 289 )#)nBM2\  
11.2.2 溅射法 300 <8g *O2  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 2Ti" s-  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 J& n ^y  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 Z={D0`  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 >~.Zr3P6kC  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 (QA-"9v#i,  
11.3.5 光化学气相沉积 310 D9e+  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 ],H1  
11.3.7 原子层沉积 312 Wk0>1 rlu  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 &NlS  =  
11.4.1 化学镀 313 rsd2v9  
11.4.2 阳极氧化法 314 FGV}5L  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 >cBGw'S  
11.4.4 电镀 315 m]{<Ux  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 ZTN:|IKT  
11.5 光刻蚀 316 YJ &lB&xH  
11.5.1 光刻工艺 316 .vCY%0oE  
11.5.2 光刻胶 317 dM$N1DB{U+  
11.5.3 掩模 318 ;"d?_{>7  
11.5.4 曝光 318 bbE bf !E  
11.5.5 刻蚀方法 318 g5lmUKlQ$0  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 ?ZSXoy-kr  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 [K"U_b}w  
习题 323 bd@*vu}?}  
参考文献 324 ?/o2#iJx  
第12章 光学薄膜检测技术 326 KK&<Vw|O\  
12.1 光谱分析技术基础 326 EX+={U|ua$  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 Vy?R/ Uu  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 g;u<[>'I  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 NqQM! B]  
12.2.1 透射率测量 333 d~togTs1  
12.2.2 反射率测量 334 ak~=[7Nv  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 Z;|0"K  
12.3.1 吸收测量 338 cq'}2pob  
12.3.2 散射测量 342 mB{&7Rb0  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 $|`t9-EA/  
12.4 光学薄膜常数测量 347 z5|e\Z  
12.4.1 光度法 348 3i@ "D  
12.4.2 全反射衰减法 354 7yq7a[Ra  
12.4.3 椭圆偏振法 357 h|(Z XCH  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 M<SbVP|V "  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 3s+<    
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 1q}u?7nnSG  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 rX|y/0)F  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 b0~H>cnA  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 zIAu3  
12.6.1 薄膜微结构 368 BCj`WF@8l{  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 jc%{a*n"vr  
12.6.3 雕塑薄膜 372 d- Z+fz  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 t%]^5<+X58  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 cJ7{4YK_#/  
@);!x41f  
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最新评论

cyqdesign 2020-06-28 22:28
shancjb:有没有电子版呀可以下载? (2020-06-28 22:24)  4xAlaOw5M  
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暂时没有,有兴趣的话,可以买一本实体书,便于学习。
苍氓一 2021-04-20 13:18
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华丽的转身 2021-09-15 09:19
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春风依旧 2021-10-11 11:50
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1250288535 2021-10-11 14:54
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18961721564 2022-04-26 21:46
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viavi1109 2022-08-09 13:24
看看看 O/^w! :z'  
轩zjw哥 2022-09-29 22:07
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12
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