《薄膜光学与薄膜技术基础》

发布:cyqdesign 2020-06-01 23:03 阅读:7000
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。  <n\`d  
5;TuVU.8Q  
}T0K^Oe+eS  
目录 7ji=E";.w  
第一篇 薄膜元学基本理抢 }5O>EXE0R  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 wj|x:YZ*  
1.1 麦克斯韦方程 1 Uo_tUp_Q  
1.2 平面电磁波 6 Bl1Z4` 3  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 ! sA_?2$  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 t.hm9}UQ  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 rt+..t\  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 ])#\_' fg  
1.4 电磁波谱、光谱 10 MuEy>dl  
习题 12 QldzQ%4c\  
参考文献 12 x q-$\#O  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 cQZ652F9  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 n1:v HBM@\  
2.1.1 S波反射与透射 14 AdoZs8Q  
2.1.2 P波反射与透射 16 =S]a&*M  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 N 6O8Wn  
2.2.1 S 波反射与透射 18 F X1ZG!  
2.2.2 P 波反射与透射 20 } i)$n(A)K  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 ]&i+!$N_  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21  QI!i  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 h#Ce_,o  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 4R) |->"  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 w3D]~&]  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 tllBCuAe  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 bYh9sO/l  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 g.#+z'l  
2.5.2 全透射 37 -05U%l1e  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 {lzG*4?  
2.6 反射率和透射率 39 a%J6f$A#  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 PG)_L.7rJ  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 eE/%6g  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 jlKGXD)Q[  
习题 44 9g?xlue#?  
参考文献 44 ]Bb7(JX  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 ._p""'Sa  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 R/<=mZ  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 "gNK><  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 N^elVu4 K  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 ~j,TVY  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 G\Q9IcJ0dY  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 K:qOoY  
3.4.1 一阶近似 62 n*qN 29sx  
3.4.2 二阶近似 63 mR":z|6  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 de-0?6  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 3BMS_,P  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 DB&SOe  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 ,bSVVT-b  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 BxX$5u  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 Wm6dQQ;Bj  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 5&4F,v[zp  
习题 79 ~2N-k1'-'  
参考文献 79 .~dEUt/|)  
第4章 膜系设计图示法 81 u2`xC4>c  
4.1 矢量法 81 3GmK3uM  
4.2 导纳图解法 87 135Par5v  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 l6B.6 '4)w  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 J7a-CI_Tf  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 6hbEO-(  
4.3 金属膜导纳圆图 97 &9ki O  
4.4 膜系层间电场分布 99 ye r> x  
习题 100 NFoZ4R1gy  
参考文献 101 5|WOBOh>`&  
第二篇 光学等膜分类反应用 -"Gl 4)  
第5章 增透膜 102 @]3*B %t  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 l/V&s<  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 HRRngk#lV  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 \3 KfD'L  
5.4 均匀介质增透膜 107 "<dN9l>  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 `03<0L   
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 -g2{68 1`r  
5.5 非均匀介质增透膜 113 6IF|3@yD  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 ._BB+G  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 @c"yAy^t  
习题 118 iy 3DX|]  
参考文献 118 A[Cg/ +Z  
第6章 高反射膜 120 Pt3[|4L  
6.1 反射镜组合的反射率 120 M]s[ "0O  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 zlX! xqHj  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 WRMz]|+}4  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 2<.Vv\ =  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 mSj76' L#  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 !`h~`-]O  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 F9D"kG;Dk  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 Fr/QW7B5  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 >#i $Tw  
6.8 金属反射镜 134 kOM-  
6.8.1 常用金属反射镜 134 \R;K>c7=  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 T.euoFU{Z  
6.9 影响反射特性的因素 137 s{%fi*  
6.10 高反射镜应用实例 143 wL|7mMM,  
6.10.1 激光高反射镜 143 "11j$E9#\n  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 0XQ-   
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 <\xQ7|e  
习题 146 >?Qxpqf2  
参考文献 146 h=wf>^l  
第7章 带通滤光片 149 NFM-)Z57  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 ^AH-+#5  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 )ldUayJ  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 {G]`1Q1DR  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 H.;yLL=  
7.3.2 膜系透射定理 153 z5I^0'  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 ;W4:#/~14  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 `i{4cT8:  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 dTgM"k  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 4jD\]Q="1  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 !%)L&W_  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 1o)=GV1  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 z+2u-jG  
7.5 超窄带带通滤光片 183 oYGUjI  
7.6 宽带带通滤光片 185 Cg?I'1]o6  
7.7 带通滤光片的角特性 186 FrgV@4'2G  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 | )S{(#k  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 qFGB'mIrFz  
习题 193 %`N&ti  
参考文献 193 vzQyE0T/  
第8章 截止滤光片 196 \c'%4Ao  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 TyyRj4>  
8.2 吸收型截止滤光片 197 K-ju,4A  
8.3 干涉型截止滤光片 198 pIrv$^  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 "Vq@bNtu+  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 |4LQ\'N&  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 ?RqTbT@~  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 !4!S{#<q  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 lP-kZA!  
8.3.6 截止带的展宽 210 jm~mhAE#  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 )SC`6(GW  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 TosPk(o(  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 P|yGx)'^P  
习题 221 7n$AkzO0  
参考文献 221 fa/P%9db  
第9章 带阻滤光片 223 W=(MsuirO  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 CrT2#h 1#  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 Ig='a"%  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 }b<87#Nb9R  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 1@s^$fvW  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 gA|!$ EAM  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 "o~N42DLB%  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 z;``g"dSw  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 /"g[Ay  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 |A2W8b {]  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 &8o  :  
习题 241 ]Sk#a-^~  
参考文献 241 | 3hT{  
第10章 分光镜 243 ,Uv{dG  
10.1 中性分光镜 243 )jp{*?^\  
10.1.1 金属膜中性分光 244 n+:m _2T  
10.1.2 介质膜中性分光 245  [ ((h<e  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 3m?@7F  
10.2 双色分光镜 249 1 yxZ  
10.3 偏振分光 254 :4Id7Ce  
10.3.1 偏振特性的描述 254 )<m=YI ;<  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 ^/ULh,w!fP  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 >}xAg7\^  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 d)pz  
10.4 消偏振分光 262 yd{Y}.  
10.4.1 偏振分离的描述 263 ~m009  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 OcyiL)tv5  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 `ja`#%^\u  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 )F=JkG  
10.5 分光中的消色差问题 280 5(mCBH  
习题 281 mdmZ1:PBM  
参考文献 282 rQ 9?N^&!%  
第二篇 薄膜扶术基础 Y#Sd2h,^X  
第11章 薄膜制备技术 283 '2Mjz6mBDA  
11.1 真空技术简介 283 8ItCfbqa6  
11.1.1 真空的基本知识 283 wC4AVJJ^>  
11.1.2 真空的获得 284 GF$rPY[  
11.1.3 真空的测量 286 %N?W]vbra  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 dM>j<JC=  
11.2.1 蒸镀法 289 Dohl,d  
11.2.2 溅射法 300 1( QWt  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 -&f]X u  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 :G6 xJlE|  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 o`JlXuG?o  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 {+9^PC_hm;  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 rH [+/&w5  
11.3.5 光化学气相沉积 310 +aXMHT"U  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 $\JQGic`  
11.3.7 原子层沉积 312 0%q{UW2  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 GA%"w=M\  
11.4.1 化学镀 313 >Rz#g*@E  
11.4.2 阳极氧化法 314 Wfi:wCqZG  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 E#&c]9QM75  
11.4.4 电镀 315 _7t|0aNo\  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 '>S8t/  
11.5 光刻蚀 316 Q KDb  
11.5.1 光刻工艺 316 TA-(_jm  
11.5.2 光刻胶 317 g9 grfN  
11.5.3 掩模 318 Ot4;,UZ  
11.5.4 曝光 318 =F!",a~  
11.5.5 刻蚀方法 318  !z "a_  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 ^bY^x+d  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 7#~m:K@  
习题 323 |P[D2R}  
参考文献 324 l{D,O?`Av  
第12章 光学薄膜检测技术 326 b> >=d)R  
12.1 光谱分析技术基础 326 NXV~[  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 sEgeS9a{  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 "\R@l Ux.Y  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 =km-` }I,  
12.2.1 透射率测量 333 I1}{~@  
12.2.2 反射率测量 334 L`VQ{|&3V  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 EnsNO_"e|  
12.3.1 吸收测量 338 <or>bo^  
12.3.2 散射测量 342 b|V4Fp  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 ,& pF:ql F  
12.4 光学薄膜常数测量 347 g)zn.]  
12.4.1 光度法 348 hjm .Ath  
12.4.2 全反射衰减法 354 x:&L?eOT  
12.4.3 椭圆偏振法 357 F%ylR^H>  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 !_/8!95  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 ck4T#g;=  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 Sv^'CpQ  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 1rvf\[  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 51FK~ 5  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 =+sIX3  
12.6.1 薄膜微结构 368 ^F{)&#4  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 59%f|.Z)  
12.6.3 雕塑薄膜 372 KWuj_.;  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 T\$^>@  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 si"mM>e  
QWQ6j#`  
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最新评论

cyqdesign 2020-06-28 22:28
shancjb:有没有电子版呀可以下载? (2020-06-28 22:24)  N#!1@!2BN  
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苍氓一 2021-04-20 13:18
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春风依旧 2021-10-11 11:50
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1250288535 2021-10-11 14:54
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18961721564 2022-04-26 21:46
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viavi1109 2022-08-09 13:24
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轩zjw哥 2022-09-29 22:07
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12
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