《薄膜光学与薄膜技术基础》

发布:cyqdesign 2020-06-01 23:03 阅读:6863
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 sh0O~%]g  
X/@Gx 4  
4X^0:.bT&  
目录 5ewQjwW0  
第一篇 薄膜元学基本理抢 }JI5,d  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 HG Pbx$!  
1.1 麦克斯韦方程 1 L)Kn8  
1.2 平面电磁波 6 (A1!)c  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 FrB19  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 LG;xZQx'  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 ?L_#AdK  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 2-8<uUy  
1.4 电磁波谱、光谱 10 ~!UxmYgO  
习题 12 ,Qp58u2V  
参考文献 12 #x'C  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 ^b&aDm~(7  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 Z#9{1sHEP  
2.1.1 S波反射与透射 14 7bTs+C_;7  
2.1.2 P波反射与透射 16  pxP7yJL`  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 8,%y`tUn>u  
2.2.1 S 波反射与透射 18 q+SDJ?v  
2.2.2 P 波反射与透射 20 M5D,YC3<  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21  Wkf)4!  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 >b/Yg:t  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 olh|.9Kdj}  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 :V`q;g  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 [j&>dE  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 @T1-0!TM')  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 )\t#e`3  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 !DLIIKO78  
2.5.2 全透射 37 *#~3\{  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 <>p\9rVp*^  
2.6 反射率和透射率 39 Q5baY\"9^  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 a}MOhM6T  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 {<&x9<f9  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 1&wLNZXH  
习题 44 <TDgv%eg0  
参考文献 44 Jzh_`jW0l  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 }Vg &9HY  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 c_%vD~6W-  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 oU67<jq  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 {DAwkJvb]  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 }(ot IqE  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 d[jxU/.p;  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 C#;}U51:t  
3.4.1 一阶近似 62 GN(PH/fO9  
3.4.2 二阶近似 63 z;1yZ4[G  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 %WdAI,  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 4_)@Nq  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 u6|P)8?`  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 ASPfzW2  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 2#ypM9  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 pl'n 0L<l  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 v"\Q/5p  
习题 79 -S Z^;t  
参考文献 79 u:<%!?  
第4章 膜系设计图示法 81 L7C!rS  
4.1 矢量法 81 `nn;E% n  
4.2 导纳图解法 87 !y `wAm>n  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 cl)%qIXj}H  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 s:,BcVLx^  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 "m(HQ5e)*  
4.3 金属膜导纳圆图 97 nTp?  
4.4 膜系层间电场分布 99 R 8?Xz5  
习题 100 rWAJL9M  
参考文献 101 >4b-NS/}0  
第二篇 光学等膜分类反应用 `TBau:ElI  
第5章 增透膜 102 LeXu Td  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 K%Jy?7 U  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 9Iy>oV  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 |'Z6M];8t  
5.4 均匀介质增透膜 107 e\tcP  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 Em %"] B  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 =X]$J@j  
5.5 非均匀介质增透膜 113 yIOoVi\m  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 WR%x4\,d#  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 rt^<=|Z  
习题 118 g;D [XBp  
参考文献 118 h1q?kA  
第6章 高反射膜 120 TlQu+w|  
6.1 反射镜组合的反射率 120 P]bI".A8  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 2y`rS _2  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 /2tgxm$}  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 f@]4udc e  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 $x)C_WZj?  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 s: ~3|D][  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 now\-XrS  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 m?`U;R[  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 E}00y%@*J  
6.8 金属反射镜 134 \J.PrE'(}  
6.8.1 常用金属反射镜 134 DfXXN  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 gR )xw)!  
6.9 影响反射特性的因素 137 37Q9goMov  
6.10 高反射镜应用实例 143 %lF}!  
6.10.1 激光高反射镜 143 ^`!5!|  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 'x$>h)t]  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 aq@/sMn  
习题 146 q$Gf9&ZO  
参考文献 146 :U$<h  
第7章 带通滤光片 149 0sD"Hu  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 0hp*(, L  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 tg_v\n  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 j,?>Q4G  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 xxLD8?@e7  
7.3.2 膜系透射定理 153 w)2X0ev"  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 (&npr96f  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 s G!SSRL@  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 _l<e>zj  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 KP(RK4F  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 p(g0+.?`~  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 tsaf|xe  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 Q& j:ai*  
7.5 超窄带带通滤光片 183 @doo2qqIe]  
7.6 宽带带通滤光片 185 6p|*H?|It  
7.7 带通滤光片的角特性 186 %9cu(yc*}  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 K; ,2ag  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 uQIa"u7  
习题 193 (,z0V+ !  
参考文献 193 y9kydu#q  
第8章 截止滤光片 196 ;'CWAJK  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 e@}zp  
8.2 吸收型截止滤光片 197 p~1!O]qLt  
8.3 干涉型截止滤光片 198 C]59@z;+bN  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 yqi=9NB  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 A2LqBirkl  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 E`]lr[  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 0.7* 2s-  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 Z#0hh%E"|y  
8.3.6 截止带的展宽 210 lv\C(^mGq  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 vs]#?3+  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 WP{!|d&  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 u2%/</]h  
习题 221 -L<''2t  
参考文献 221 f4eLnY  
第9章 带阻滤光片 223 Ss ;C1:  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 !#s1'x{o  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 YaI8hj@}  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 9U$n;uA  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 DG1C_hu i  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 9,g &EnvG  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 DY<Br;  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 g|L" |Q  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 M`^;h:DN^  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 H~y 7o_tg  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 OJ0Dw*K<  
习题 241 zfAHE {c  
参考文献 241 ,-,BtfE3  
第10章 分光镜 243 *tkbC2D  
10.1 中性分光镜 243 B^`'2$3  
10.1.1 金属膜中性分光 244 M8j%bmd(,  
10.1.2 介质膜中性分光 245 29#&q`J  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 XoI,m8A  
10.2 双色分光镜 249 Pt<lHfd  
10.3 偏振分光 254 G,,c,  
10.3.1 偏振特性的描述 254 MW&ww14  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 ,2hZtJ<A  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 d9@!se9&Z  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 2pa: 3O  
10.4 消偏振分光 262 wbg_%h:  
10.4.1 偏振分离的描述 263 =fy~-FN_  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 PW a!7n#A  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 P){F2&!P  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 0{u31#0j  
10.5 分光中的消色差问题 280 *oR`l32O0z  
习题 281 -UgD  
参考文献 282 O%:EPdoU  
第二篇 薄膜扶术基础 W '54g$T  
第11章 薄膜制备技术 283 7k beAJ+{  
11.1 真空技术简介 283 erG@8CG  
11.1.1 真空的基本知识 283 pC9Ed9uRK  
11.1.2 真空的获得 284 w783e  
11.1.3 真空的测量 286 49Sq)jd<  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 ){=2td$=$  
11.2.1 蒸镀法 289 Nc4e,>$]&  
11.2.2 溅射法 300 -26GOS_8z  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 6OeRBD&  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 |cZKj|0>  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 7vBB <\  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 +;nADl+Q  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 jU K0?S>  
11.3.5 光化学气相沉积 310 40VdT|n$$  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 9r@T"$V#c  
11.3.7 原子层沉积 312 X8U._/'N  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 'MEO?]Tf.^  
11.4.1 化学镀 313 /*B^@G|]'  
11.4.2 阳极氧化法 314 t-#Y6U}b+  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 [3":7bB 'E  
11.4.4 电镀 315 JvFU7`4@  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 UMe@[E=  
11.5 光刻蚀 316 {eR,a-D!7  
11.5.1 光刻工艺 316 rw*#ta O  
11.5.2 光刻胶 317 TRQX#))B  
11.5.3 掩模 318 nr/^HjMV  
11.5.4 曝光 318 71GLqn?  
11.5.5 刻蚀方法 318 g2 dvs  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 ?cQ  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 ,~@0IKIA Q  
习题 323 ,$ICv+7]  
参考文献 324 5x/q\p-{/  
第12章 光学薄膜检测技术 326 @C),-TM  
12.1 光谱分析技术基础 326 _J}vPm  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 eit>4xMu  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 R!7emc0T  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 WFBg3#p  
12.2.1 透射率测量 333 8.vPh  
12.2.2 反射率测量 334 L@rKG~{Xy  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 VK9I#   
12.3.1 吸收测量 338 @Bfwb?&  
12.3.2 散射测量 342 z_XI,u}  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 f#xqu +)Z  
12.4 光学薄膜常数测量 347 :z=/z!5:j  
12.4.1 光度法 348  5" U8|  
12.4.2 全反射衰减法 354 _"`wUMee  
12.4.3 椭圆偏振法 357 1a {~B#  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 D_E^%Ea&`  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 X/,4hjg  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 ~g2ColFhu  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 GiBq1U-Q  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 o5+N_5OE}E  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 htg+V-,  
12.6.1 薄膜微结构 368 rnxO2   
12.6.2 薄膜微结构检测 371 -0| '{  
12.6.3 雕塑薄膜 372 tYt/m6h  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 tR#uDE\wR  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 VHsNz WI  
AR\1w'  
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最新评论

cyqdesign 2020-06-28 22:28
shancjb:有没有电子版呀可以下载? (2020-06-28 22:24)  :'GTCo$3  
3 ;.{ O%bX  
暂时没有,有兴趣的话,可以买一本实体书,便于学习。
苍氓一 2021-04-20 13:18
学习学习
华丽的转身 2021-09-15 09:19
受教了
春风依旧 2021-10-11 11:50
还不错,后续可能考虑买本
1250288535 2021-10-11 14:54
还不错,后续可能考虑买本
1250288535 2021-10-11 14:54
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七七0 2021-11-08 11:06
学习一下,谢谢 /[EI0 ~P  
18961721564 2022-04-26 21:46
我有一本,购买的二手
viavi1109 2022-08-09 13:24
看看看  'Z&A5\~  
轩zjw哥 2022-09-29 22:07
学习学习
12
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