《薄膜光学与薄膜技术基础》

发布:cyqdesign 2020-06-01 23:03 阅读:6966
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 ,Sg33N ?  
Q["t eo]DQ  
eFFc9'o  
目录 /:p8I6;  
第一篇 薄膜元学基本理抢 'N6 S}w7  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 3?`"  
1.1 麦克斯韦方程 1 5I' d PNf  
1.2 平面电磁波 6 ;#/0b{XFj  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 ^npJUa  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 af'@h:  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8  zF: j  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 ;GOz>pg  
1.4 电磁波谱、光谱 10 2d`c!  
习题 12 F8=nhn  
参考文献 12 2f,2rW^i  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 ~pz FZ7n4  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 XYfv(y  
2.1.1 S波反射与透射 14 u #~ ;&D*q  
2.1.2 P波反射与透射 16 Lh ap4:  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 FS@A8Bb  
2.2.1 S 波反射与透射 18 Eju~}:Lo  
2.2.2 P 波反射与透射 20  'Cc(3  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 >|*yh~  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 "b,%8  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 98=la,^$  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 | vu>;*K  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 |B^G:7c  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 =SBBvnPLI  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 GEe`ZhG,  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 6rX_-Mm6w  
2.5.2 全透射 37 Qh`:<KI  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 PDP[5q r  
2.6 反射率和透射率 39 ,t,wy37*D  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 FWY2s(5p  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 #YK5WTn5  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 \#,t O%D  
习题 44 kWW w<cA  
参考文献 44 Em^ (  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 CxF-Z7 '  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 ll<NIdf\r  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 ||eAE)  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 ]Pc^#=(R0  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 ;[$n=VX`  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 m,_d^  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 t"AzI8O  
3.4.1 一阶近似 62 HeA{3s  
3.4.2 二阶近似 63 glUo7^ay7  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 0 f/.>1M=  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 pq! %?m]  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 v:|( 8Y  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 %0-wpuHc(]  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 L%cVykWY"  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 Vpp&|n9^  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 J5yidymrpW  
习题 79 "!UVs+)]  
参考文献 79 BNucc']  
第4章 膜系设计图示法 81 +K$NAT  
4.1 矢量法 81 ,/,9j{|"j  
4.2 导纳图解法 87 buMq F-j  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 _GoVx=t   
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 7;}l\VXHm  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 9NpD!A&64<  
4.3 金属膜导纳圆图 97 \%A%s*1  
4.4 膜系层间电场分布 99 TprtE.mP  
习题 100 lmCZ8 j(FF  
参考文献 101 g:#d l\k  
第二篇 光学等膜分类反应用 /Cr/RG:OX  
第5章 增透膜 102 s8gU7pT49  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 pW?& J>\6  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 "ZMkL)'7-  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 s(2GFc  
5.4 均匀介质增透膜 107 5g ;ac~g  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 Iy7pt~DJ,  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 ;%!m<S|%k  
5.5 非均匀介质增透膜 113 k|E]YvnfG  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 G*}F5.>8(  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 1s7^uA$}6  
习题 118 @y|_d  
参考文献 118 ` %?9=h%  
第6章 高反射膜 120 D!LX?_cD1i  
6.1 反射镜组合的反射率 120 <,1 fkq>,  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 I!: z,t<  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 kCP$I732  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 W{"XJt_  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 bE\,}DTy  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 b"j|Bb  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 yJJ4~j){l  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 KLQ!b,=q  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 ]s1 YaNq  
6.8 金属反射镜 134 ((3}LQ  
6.8.1 常用金属反射镜 134 vK'?:}~  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 +Ov2`O8?  
6.9 影响反射特性的因素 137 C2F0tr|  
6.10 高反射镜应用实例 143 !.X.tc  
6.10.1 激光高反射镜 143 m}Y0xV9  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 y=sGe!^  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 {I1~-8  
习题 146 O>0VTW  
参考文献 146 / !xF?OmVd  
第7章 带通滤光片 149 *,WP,-0  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 UVu DQ  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 d]v+mVAyE  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 r0dDHj~F  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 <,%:   
7.3.2 膜系透射定理 153 Sfjje4R  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 QB{rVI>mI!  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 NY B[Zyp  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 2z0n<`  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 h 8 @  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 ,TC;{ $O5  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 C;B}3g&  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 y&J@?Hc>  
7.5 超窄带带通滤光片 183 {bNXedZ\  
7.6 宽带带通滤光片 185 7,$z;Lr0S  
7.7 带通滤光片的角特性 186 j . A6S`  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 |$lwkC)O  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 aw $L$7b}  
习题 193 tykB.2f  
参考文献 193 ZU2laqa_  
第8章 截止滤光片 196 '?*g%Yuz  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 O9h+Q\0\W  
8.2 吸收型截止滤光片 197 :VA.QrKW  
8.3 干涉型截止滤光片 198 qCMl!g'  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198  b`mj_b  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 B5am1y{P#  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 hP@(6X,"  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 D^F{u Dlb  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 u=+q$Q]  
8.3.6 截止带的展宽 210  t,%iL  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 b3qc_  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 'Pltn{iq[  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 |Rzy8j*  
习题 221 "E=j|q  
参考文献 221 I*[tMzE  
第9章 带阻滤光片 223 <g2_6C\j  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 -`c :}m  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 B7*}c]^6/  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 L):qu  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224  q" @  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 e_3CSx8Cc  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 w5C*L)l  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 mz7l'4']+  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 u62)QJE  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 Kf,-4)  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 VrP}#3I  
习题 241 pb;")Q'  
参考文献 241 ZFh+x@  
第10章 分光镜 243 @$@mqHI}  
10.1 中性分光镜 243 y>VcgLIB  
10.1.1 金属膜中性分光 244 /i|z.nNO  
10.1.2 介质膜中性分光 245 fp>.Owt%.  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 |PVt}*0"  
10.2 双色分光镜 249 3eIr{xs  
10.3 偏振分光 254 j0-McLc  
10.3.1 偏振特性的描述 254 D #2yIec  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 \&xl{64  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 PFSLyV*  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 %Q|eiXD  
10.4 消偏振分光 262 XFZ~ #DT&  
10.4.1 偏振分离的描述 263 h\[\\m O  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 0au)g!ti  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 P.WYTst=  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 "&YYO#YO  
10.5 分光中的消色差问题 280 MLVB^<qkeH  
习题 281 |KCOfVh?|.  
参考文献 282 f?fKhu2  
第二篇 薄膜扶术基础 6)RbPPeE  
第11章 薄膜制备技术 283 ;]D(33) (  
11.1 真空技术简介 283 Dma.r  
11.1.1 真空的基本知识 283 pR o s{Uq"  
11.1.2 真空的获得 284 QOFvsJ<s  
11.1.3 真空的测量 286 ~fN%WZ;_  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 [ .yJV`  
11.2.1 蒸镀法 289 $+= <(*  
11.2.2 溅射法 300 JyBp-ii  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 - Xupq/[,  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 !R{R??  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 *b(wVvz  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 ?2J?XS>  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 T`YwJ6N  
11.3.5 光化学气相沉积 310 Jn}n*t3  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 0NE{8O0;Fr  
11.3.7 原子层沉积 312 pgc3jP!  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 E$\~lcq  
11.4.1 化学镀 313 s'I)A^i+  
11.4.2 阳极氧化法 314 EYzg%\HH  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 :> -1'HC  
11.4.4 电镀 315 Ggm` ~fS  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 >wON\N0V_  
11.5 光刻蚀 316 |w&~g9   
11.5.1 光刻工艺 316 mX# "+X|  
11.5.2 光刻胶 317 y2Bh?>pg  
11.5.3 掩模 318 BNm4k7 ]M  
11.5.4 曝光 318 {ShgJ ;! Q  
11.5.5 刻蚀方法 318 i2,U,>.  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 Q s(Bnb;  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 Zc5 :]]  
习题 323 ; 2`sN   
参考文献 324 kEN#u  
第12章 光学薄膜检测技术 326 c$M%G)P  
12.1 光谱分析技术基础 326 6F0(aGs  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 A*]$v  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 I*)VZW  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 :- +4:S  
12.2.1 透射率测量 333 W:s@L#-  
12.2.2 反射率测量 334 Ww9;UP'G  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 .(Y6$[#@  
12.3.1 吸收测量 338 cnNOZ$)  
12.3.2 散射测量 342 htJuGfDx1  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 YcM;S  
12.4 光学薄膜常数测量 347 649 !=  
12.4.1 光度法 348 %_)zWlN  
12.4.2 全反射衰减法 354 Cnh|D^{s  
12.4.3 椭圆偏振法 357 *o?i:LE]  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 1 =GI&f2I  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 F9o6V|v  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 ~ 9M!)\~  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 {[#(w75R{  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 Q+[ .Y&  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 [1Dm<G u@  
12.6.1 薄膜微结构 368 a|qsQ'1,;  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 wq0aF"k  
12.6.3 雕塑薄膜 372 BSUPS+@+  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 POd/+e9d  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 Eu<r$6Q0}o  
$[CA&Y.  
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最新评论

cyqdesign 2020-06-28 22:28
shancjb:有没有电子版呀可以下载? (2020-06-28 22:24)  aL)$b  
yWuIu>VJ  
暂时没有,有兴趣的话,可以买一本实体书,便于学习。
苍氓一 2021-04-20 13:18
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华丽的转身 2021-09-15 09:19
受教了
春风依旧 2021-10-11 11:50
还不错,后续可能考虑买本
1250288535 2021-10-11 14:54
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1250288535 2021-10-11 14:54
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18961721564 2022-04-26 21:46
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viavi1109 2022-08-09 13:24
看看看 XpOCQyFnM  
轩zjw哥 2022-09-29 22:07
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12
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