《薄膜光学与薄膜技术基础》

发布:cyqdesign 2020-06-01 23:03 阅读:6941
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 >QvqH 2  
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目录 'l<$H=ZUVG  
第一篇 薄膜元学基本理抢 0J'Cx&Rg  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 ~&p]kmwXSX  
1.1 麦克斯韦方程 1 1}|y^oB\-  
1.2 平面电磁波 6 *~6]IWN`  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 XchD3p+uB  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 hz;SDaBA  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 #aC&!Rei{  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 N?{Zrff2"O  
1.4 电磁波谱、光谱 10 89D`!`Ah]  
习题 12 CPNV\qCY  
参考文献 12 ,B/TqPP  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 /_cpS q  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 DL~! ^fx  
2.1.1 S波反射与透射 14 ?^!J:D?  
2.1.2 P波反射与透射 16  8q9 ^  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 V4"o.G3\o  
2.2.1 S 波反射与透射 18 teDRX13=;  
2.2.2 P 波反射与透射 20 `{"V(YMEV  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 !lEV^SQJs  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 Lp$&eROFVs  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 mXJG &EA  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 %`G}/"  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 H/x 9w[\+[  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 ]OKKR/:  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 nrpbQ(zI*  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 p |;#frj  
2.5.2 全透射 37 t x1TtWo  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 d<\X)-"  
2.6 反射率和透射率 39  5 YIk  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40  /*S6/#  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 P1TTaYu  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 o~:({  
习题 44 78Zb IL  
参考文献 44 %7TG>tc  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 [F *hjGLc}  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 gY-}!9kW]  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 R^ I4_ZA  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 fk5pPm|MiL  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 LGRhCOP:  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 ^?0WE   
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 +>mU4Fwp  
3.4.1 一阶近似 62 GV)DLHiyxX  
3.4.2 二阶近似 63 F+Hmp\rM#  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 NTM.Vj -_h  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 [QT H~  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 ;ahI}}  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 l=&Va+K  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 NzID [8`  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 Q@l.p-:^U  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 ~ln96*)M;  
习题 79 nfr..4,:  
参考文献 79 Wf$P+i*  
第4章 膜系设计图示法 81 6x_D0j%^]  
4.1 矢量法 81 pe`&zI_`?  
4.2 导纳图解法 87 %LdFS~  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 /u'M7R  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 pXxpEv  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 !='&#@7u  
4.3 金属膜导纳圆图 97 2`/p V0  
4.4 膜系层间电场分布 99 z 4`H<Pn  
习题 100 a<Pt m(,  
参考文献 101 (=i+{ 3`|  
第二篇 光学等膜分类反应用 3H/4$XJB  
第5章 增透膜 102 NA8$G|.?  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 \>XkK<ye  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 7(= 09z  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 . !;K5U  
5.4 均匀介质增透膜 107 GSu&Z/Jo  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 q ]o ^Y  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 _"%-=^_  
5.5 非均匀介质增透膜 113 4m$Xjj`vE  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 o]*#|4-  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 p8MPn>h<  
习题 118 6o/!H  
参考文献 118 <O?UC/$)7  
第6章 高反射膜 120 tO ^KCnL  
6.1 反射镜组合的反射率 120 u CNi&.  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 n$T'gX#5  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 9 nPc>O$  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 hzjEO2  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 1tQl^>r16  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 UjU*`}k3  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 S @'fmjA'  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 n++L =&Wd  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 gjVKk  
6.8 金属反射镜 134 jQiK of>  
6.8.1 常用金属反射镜 134 Yw\PmRL"p  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 hs"=>(P)  
6.9 影响反射特性的因素 137 ]%PQ3MT.  
6.10 高反射镜应用实例 143 vA*Ud;%R  
6.10.1 激光高反射镜 143 (ft8,^=4  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 T.sib&R  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 lklMdsIdj  
习题 146 5@6%/='I q  
参考文献 146 q >|:mXR  
第7章 带通滤光片 149 l25E!E-'b  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 /{';\?w  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 Ck|3DiRQ  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 lIg;>|'Z5&  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 z;_fO>u:  
7.3.2 膜系透射定理 153 32r2<QrX  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 u2SnL$A7  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 RY(\/W#$  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 n\#RI9#\  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 <303PPX^6  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 DL5`A?/  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 "0F =txduS  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 {jX h/`  
7.5 超窄带带通滤光片 183 p#9.lFSX  
7.6 宽带带通滤光片 185 P~V0<$C  
7.7 带通滤光片的角特性 186 dsKEWZ =  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 :h1-i  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 e5bRi0  
习题 193 )p&FDK#ob=  
参考文献 193 Kf<-PA  
第8章 截止滤光片 196 fA!uSqR$V  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 h2 2-v X  
8.2 吸收型截止滤光片 197 @;iW)a_M  
8.3 干涉型截止滤光片 198 }+K SZ,  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 _7(>0GY  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 Ctpr.  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 jg]_'^pVzr  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 gdupG  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 ?*I2?   
8.3.6 截止带的展宽 210 7]t$t3I`  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212  pei-R  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 ^uzJu(  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 g@!mV)c97  
习题 221 M),i4a?2  
参考文献 221 hr&&"d {s  
第9章 带阻滤光片 223 :-B,Q3d  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 bce>DLF  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 o}&TFhT  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 '!*,JG5_  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 1b:3'E.#w  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 (9hCO-r  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 8<UD#i@:C  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 T8& kxp  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 Q}p+/-U\  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 413,O~^  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 1Zc1CUMG  
习题 241 x8I=I"Sp  
参考文献 241 x8i;uH\8  
第10章 分光镜 243 }eUeADbC  
10.1 中性分光镜 243 t sdkpt  
10.1.1 金属膜中性分光 244 J%d\ 7  
10.1.2 介质膜中性分光 245 tu}AJ  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 %~ uMa  
10.2 双色分光镜 249 KE3/sw0  
10.3 偏振分光 254 G8%Q$  
10.3.1 偏振特性的描述 254 %?K1X^52d  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 mJT<  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 H Myw:?  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 ~^*IP1.3  
10.4 消偏振分光 262 c,%9Fh?(  
10.4.1 偏振分离的描述 263 &{${Fq  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 B. Rc s  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 5MsE oLg  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 d#yb($HAJ  
10.5 分光中的消色差问题 280 SE= 3`rVJ  
习题 281 V?U->0>Z4  
参考文献 282 .a._WZF  
第二篇 薄膜扶术基础 ?3bUE\p  
第11章 薄膜制备技术 283 #~J)?JL  
11.1 真空技术简介 283 vJ9 6qX  
11.1.1 真空的基本知识 283 LX{[9   
11.1.2 真空的获得 284 w'[lIEP 2$  
11.1.3 真空的测量 286 X;JptF^  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 a f[<[2pma  
11.2.1 蒸镀法 289 v;.7-9c*  
11.2.2 溅射法 300 ]k~k6#),;  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 bDI#'F  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 m89-rR:Kc  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 #$p&J1   
11.3.3 低压化学气相沉积 308 J6Uo+0S  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 j'Ry.8}  
11.3.5 光化学气相沉积 310 UFnz3vc  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 H^ _[IkuA%  
11.3.7 原子层沉积 312 #({0HFSC:j  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 39| W(,  
11.4.1 化学镀 313 YCvIB'  
11.4.2 阳极氧化法 314 ]`%}Q  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 !#0Lo->OO  
11.4.4 电镀 315 L{y%\:]  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 * SH5p  
11.5 光刻蚀 316 MY>mP  
11.5.1 光刻工艺 316 )cnH %6X  
11.5.2 光刻胶 317 ut8v&i1?  
11.5.3 掩模 318 E.V#Bk=  
11.5.4 曝光 318 R5M/Ho 4  
11.5.5 刻蚀方法 318 )}QtK+Rq  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 (> O'^W\3p  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 $#R@x.=  
习题 323 ;&mefaFlWp  
参考文献 324 M*M,Z  
第12章 光学薄膜检测技术 326 64]_o/u5W4  
12.1 光谱分析技术基础 326 bgD4;)?5b  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 Ox .6]W~  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 ~qFuS933  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 \09m ?;^  
12.2.1 透射率测量 333 38<!Dt+S(,  
12.2.2 反射率测量 334 fmqHWu*wG  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 NP }b   
12.3.1 吸收测量 338 \0gU)tVZ  
12.3.2 散射测量 342 3d<Z##`{4  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 R_? Q`+X  
12.4 光学薄膜常数测量 347 zfS0M  
12.4.1 光度法 348 D^]g`V*N  
12.4.2 全反射衰减法 354 ~kHWh8\b:  
12.4.3 椭圆偏振法 357 Y!!w*G9b  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 jL^3/0"o  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 gJ \CT'/  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 *@;Pns]L-  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 VsIDd}~C%  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 94uAt&&b(  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 ks3ydHe`  
12.6.1 薄膜微结构 368 Y)V)g9  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 =Oyn<  
12.6.3 雕塑薄膜 372 4$~A%JN3  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 E@.daUoB  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 qcVmt1"  
~<Eu @8+_  
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最新评论

cyqdesign 2020-06-28 22:28
shancjb:有没有电子版呀可以下载? (2020-06-28 22:24)  822jZ sb  
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苍氓一 2021-04-20 13:18
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华丽的转身 2021-09-15 09:19
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春风依旧 2021-10-11 11:50
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1250288535 2021-10-11 14:54
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18961721564 2022-04-26 21:46
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viavi1109 2022-08-09 13:24
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轩zjw哥 2022-09-29 22:07
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12
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