《薄膜光学与薄膜技术基础》

发布:cyqdesign 2020-06-01 23:03 阅读:6719
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 g=*jKSZ  
4aW@c<-r?  
.3!Wr*o  
目录 @^{Hq6_`  
第一篇 薄膜元学基本理抢 ]hl*6  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 Fq9YhR  
1.1 麦克斯韦方程 1 h Yu6PWK  
1.2 平面电磁波 6 *S$v SDJCW  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 IwYeKN6s  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 \Mf>X\}  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8  Fr%#  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 M`MxdwR  
1.4 电磁波谱、光谱 10 p/H.bG!z  
习题 12 /y$Omc^  
参考文献 12 %#6@PQ[R.  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 =c8}^3L~7  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14  q+P@2FL  
2.1.1 S波反射与透射 14 f/Gx}x=  
2.1.2 P波反射与透射 16  Rr) 5 [  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 o)`PS w=  
2.2.1 S 波反射与透射 18 WI8}_){ d  
2.2.2 P 波反射与透射 20 WT *"V<Z  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 X.]I4O&_  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 oXPA<ef o  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 7DB_Z /uU  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 1S{Biqi+  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 j"W>fC/u  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 `e[S Zj\  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 C]^Ep  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 kY0HP a  
2.5.2 全透射 37 Hv,|XE@Y  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 7 qKz_O  
2.6 反射率和透射率 39 2e48L677-  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 Zxk~X}K\P  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 4GYi'  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 |vI*S5kn6A  
习题 44 ]a3$hAcj6"  
参考文献 44 qwTz7r  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 @"w4R6l+*  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 JWVV?~1  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 HC`0Ni1  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 X>(1fra4  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 _]:b@gXUw  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 }{0}$#z u  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 WM bkKC.{J  
3.4.1 一阶近似 62 _&KqmQ8$7  
3.4.2 二阶近似 63 8R~<$ xz  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 XF`2*:7  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 ,p2UshOmd  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 \;;M")$  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 2+]5}'M  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 !R{IEray  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 DE13x *2  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 #G9 W65f  
习题 79 |x[I!I7.F  
参考文献 79 3:nhZN/95T  
第4章 膜系设计图示法 81 ?0qVyK_1  
4.1 矢量法 81 @N'n>8Wn  
4.2 导纳图解法 87 _[:6.oNjIe  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 *,u3Wm|7  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 $QbJT`,mr  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 bpu`'Vx  
4.3 金属膜导纳圆图 97 d3%qYL_+a  
4.4 膜系层间电场分布 99 %-hSa~20  
习题 100 {X,%GI  
参考文献 101 8t+eu O  
第二篇 光学等膜分类反应用 /<[0o]  
第5章 增透膜 102 ixTjXl2g  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 "&(/bdah?&  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 <^S\&v1C_  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 _kKG%U.gbK  
5.4 均匀介质增透膜 107 O>`k@X@9/  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 >`QBN1 Y  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 ss^a=?~  
5.5 非均匀介质增透膜 113 dJuyJl$*  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 Jv~R/qaaD  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 _|~Dj)z  
习题 118 "&L8d(ZuA  
参考文献 118 KpN]9d   
第6章 高反射膜 120 @52#ZWy  
6.1 反射镜组合的反射率 120 ` w;Wud'*<  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 Lg4|6.Ez|P  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 *F$@!ByV  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 jN6V`Wh_  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 p.:651b  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 \((MoQ9Qk  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 hs6pp/h>  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 rgy I:F.  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 a)|y0w)vV  
6.8 金属反射镜 134 4*_jGw  
6.8.1 常用金属反射镜 134 4Kqo>|C  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 We6eAP/Z  
6.9 影响反射特性的因素 137 !vX4_!%  
6.10 高反射镜应用实例 143 XtCIUC{r,  
6.10.1 激光高反射镜 143 MqJTRBs%  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 n7> |$2Y  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 . 0dGS  
习题 146 <B@NSj  
参考文献 146 `2>p#`  
第7章 带通滤光片 149 |E~c#lV  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 ?N4FB*x  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 *eg0^ByeD  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 Xg~9<BGsi  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 Jp jHbG  
7.3.2 膜系透射定理 153 w|dfl *  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 >H+t ZV  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 y;o - @]  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 e5mu-  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 y\v#qFVOZ  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 R*GBxJaw  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 &JX<)JEB=<  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 Z/,R{Jgt"  
7.5 超窄带带通滤光片 183 )qx;/=D  
7.6 宽带带通滤光片 185 y)zZ:lyIq  
7.7 带通滤光片的角特性 186 kA=5Kc  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 aOvqk ^  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 GVhqNy   
习题 193 -1Tr!I:1  
参考文献 193 B}[CU='P*  
第8章 截止滤光片 196 vom3 C9o  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 )>2L(~W  
8.2 吸收型截止滤光片 197 J4+WF#xI2  
8.3 干涉型截止滤光片 198 x[mz`0  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 ;PaU"z+Je~  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 qu^g~"s  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 `h'+4  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 RB4n>&Y  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 ;6@sC[  
8.3.6 截止带的展宽 210 brp3xgQ`]  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 he(K   
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 S ,F[74K  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 '( I0VJJ   
习题 221  Gd A!8  
参考文献 221 -] wEk%j  
第9章 带阻滤光片 223 3;buC|ky  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 Q u2 ~wp<  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 e-*@R#x8+  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 {9(0s| pr  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 gcnX^[`S  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 .@): Uh  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 tN<X3$aN  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 M(L6PyEa!Y  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 A|LO!P,w  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 n UmyPQ~  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 I?Iz5e-  
习题 241 -E1-(TS  
参考文献 241 WzstO}?P(  
第10章 分光镜 243 |8f}3R 9  
10.1 中性分光镜 243 ,c:NdY(,)  
10.1.1 金属膜中性分光 244 )!v"(i.5Xo  
10.1.2 介质膜中性分光 245 ~*bfS}F8I  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 7d R?70Sz  
10.2 双色分光镜 249 P@PF" {S  
10.3 偏振分光 254 O:#YLmbCN  
10.3.1 偏振特性的描述 254 |K_%]1*riC  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 i{m!v6j:  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 7f+@6jqD\)  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 $F^VtCx2&  
10.4 消偏振分光 262 H?O5 "4a  
10.4.1 偏振分离的描述 263 t$du|q(  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 7LU^Xm8  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 KANR=G   
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 A:ts_*  
10.5 分光中的消色差问题 280 pMT7/y-  
习题 281 ~-Kx^3(#  
参考文献 282 27 XM&ZrZ  
第二篇 薄膜扶术基础 fD@d.8nXd  
第11章 薄膜制备技术 283 K@*+;6y@  
11.1 真空技术简介 283 ^+Nd\tp  
11.1.1 真空的基本知识 283 9vP;i= fr  
11.1.2 真空的获得 284 v4hrS\M  
11.1.3 真空的测量 286 r'Wf4p^Xd  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 ( 0/M?YQF  
11.2.1 蒸镀法 289 ^7 \kvW  
11.2.2 溅射法 300 1iY4|j;ahV  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 Soq#cl'll-  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 t3<8n;'y:  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 #1U>  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 \_O#M   
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 tkZUjQIX  
11.3.5 光化学气相沉积 310 D&F{0  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 R/x3+_.f  
11.3.7 原子层沉积 312 yVnG+R&  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 AE>W$x8P  
11.4.1 化学镀 313 F/ZFO5C%  
11.4.2 阳极氧化法 314 4ams~  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 n[0u&m8  
11.4.4 电镀 315 xgMh@@e  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 rmzzbLTu  
11.5 光刻蚀 316 `$Rgn3  
11.5.1 光刻工艺 316 :0:Tl/))  
11.5.2 光刻胶 317 ,2$<Pt;  
11.5.3 掩模 318 LUD .  
11.5.4 曝光 318 SI~jM:S}  
11.5.5 刻蚀方法 318 4 9N.P;b  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 lS,Jo/T@  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 'y; Kj  
习题 323 N<i5X.X  
参考文献 324 @\w}p E  
第12章 光学薄膜检测技术 326 pDlrK&;\z  
12.1 光谱分析技术基础 326 h"+7cc@  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 y:98}gW`n  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 uCr& `  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 P 9yMf~  
12.2.1 透射率测量 333 0#OyT'~V%  
12.2.2 反射率测量 334 .2c/V  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 l+@;f(8}  
12.3.1 吸收测量 338 AwNr}9`  
12.3.2 散射测量 342 dvjj"F'Bf  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 BzS4:e<  
12.4 光学薄膜常数测量 347 Qwpni^D8j  
12.4.1 光度法 348 OUUV8K  
12.4.2 全反射衰减法 354 J{b#X"i  
12.4.3 椭圆偏振法 357 PolJo?HZ  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 W"Y)a|rG%  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 IWu=z!mO  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 A9b(P[!]T:  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 SM8N*WdiU  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 v|(]u3=1_  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 iY/2 `R  
12.6.1 薄膜微结构 368 RJ@79L *#  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 @CzFzVmF"  
12.6.3 雕塑薄膜 372 0YFXF  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 12U]=  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 O8 .xt|  
I}bu  
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最新评论

cyqdesign 2020-06-28 22:28
shancjb:有没有电子版呀可以下载? (2020-06-28 22:24)  1oO(;--u_  
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苍氓一 2021-04-20 13:18
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华丽的转身 2021-09-15 09:19
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春风依旧 2021-10-11 11:50
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1250288535 2021-10-11 14:54
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轩zjw哥 2022-09-29 22:07
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12
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