《薄膜光学与薄膜技术基础》

发布:cyqdesign 2020-06-01 23:03 阅读:6717
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 CwCo"%E8}  
nKZRq&~^E  
RY'\mt"W2  
目录 1W6n[Xg  
第一篇 薄膜元学基本理抢 U_zpLpm^  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 OFPd6,(E  
1.1 麦克斯韦方程 1 b`;b}ug  
1.2 平面电磁波 6 h} b^o*  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 _UbR8  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 o^.s!C%j  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 TF ([yZO'  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 Z?G 3d(YT  
1.4 电磁波谱、光谱 10 X\^3,k."  
习题 12 \:f}X?:  
参考文献 12 w4&v( m  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 ,2:L{8_L  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 XTn{1[.O  
2.1.1 S波反射与透射 14 ,_X,V!  
2.1.2 P波反射与透射 16 A.'`FtV  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 !Z9ikn4A  
2.2.1 S 波反射与透射 18 2Dwt4V  
2.2.2 P 波反射与透射 20 Nr*ibtz|D  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 ">4[+'  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 c9_4 ohB  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 qLktMp_  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 *b7 ^s,?  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 <?`e9o  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 #ui%=ja[:~  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 uJAB)ti2I  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 ^!s}2GcS`  
2.5.2 全透射 37 |H|eH~.yg&  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 TJGKQyG$L  
2.6 反射率和透射率 39 {<V|Gr  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 ,:Y=,[n  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 8aM% 9OU  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 mrB hvp""  
习题 44 EXM/>PG  
参考文献 44 ^SL}wC x  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 TY{?4  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 %L=h}U13  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 o@V/37!  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 0a;F X0S&  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 GmWQJYX\  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 ~'YSVx& )  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 FK,r<+h  
3.4.1 一阶近似 62 \=: g$_l  
3.4.2 二阶近似 63 qm&53  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 Q,LWZw~"  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 7*8nUq  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 &wWGZ~T  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 fVe-esAw  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 =P+wp{?AN|  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 '1T v1  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 s_e#y{ {C2  
习题 79 MyR\_)P?  
参考文献 79 t"@|;uPAu  
第4章 膜系设计图示法 81 %Zi,nHg8  
4.1 矢量法 81 #cg@Z  
4.2 导纳图解法 87 ri.|EmH2:D  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 O8}s*}]  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 C3`.-/{D"  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 Lm2cW$s  
4.3 金属膜导纳圆图 97 dL Py%q  
4.4 膜系层间电场分布 99 ViC76aJ  
习题 100 :zk.^q  
参考文献 101 {>qrf:  
第二篇 光学等膜分类反应用 u=N;P  
第5章 增透膜 102 HrcnyQ`Q0  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 \VzQ1B>k  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 Sf8Xj |u  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 ,PtR^" Mf4  
5.4 均匀介质增透膜 107 YH6 K-}  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 cyn]>1ZM  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 $7ME a"a  
5.5 非均匀介质增透膜 113 =$`")3y3  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 ,wy:RVv@e  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 @n y{.s+  
习题 118 1JY90l$ME  
参考文献 118 >?\ !k c  
第6章 高反射膜 120 ?q8g<-?  
6.1 反射镜组合的反射率 120 %x)U8  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 ~wV98u-N  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 2+rao2  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 (W6\%H2u  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 5_T>HHR 6  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 HCCp<2D"C  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 Hqy>!1 !  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 )4O`%9=M&  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 o ieLh"$  
6.8 金属反射镜 134 NWX%0PGZ  
6.8.1 常用金属反射镜 134 {nWtNyJpS  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 `9)2nkJk'z  
6.9 影响反射特性的因素 137 Fgq*3t  
6.10 高反射镜应用实例 143 w'j]Y%  
6.10.1 激光高反射镜 143 d:ajD  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 \YyU5f7';  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 gI$`d?[0{  
习题 146 ZjID<5#  
参考文献 146 ) x $Vy=  
第7章 带通滤光片 149 DxG'/5jQ[  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 aYX'&k `  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 ` R-np_  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 v2<gkCK^  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 MO+0]uh:  
7.3.2 膜系透射定理 153 .=<pU k 3G  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 BuO J0$  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 e=$xn3)McY  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 h(K4AiGE  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 |#,W3Ik(l  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 |/ 7's'  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 R9HS%O6b6  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 TuR?r`P%  
7.5 超窄带带通滤光片 183 ^W*)3;5  
7.6 宽带带通滤光片 185 3hjwwLKG$  
7.7 带通滤光片的角特性 186 4IpFT;`q  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 {x$#5 PW  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 f4^_FK&  
习题 193 1a4$. {  
参考文献 193 :O=Vr]Y8K  
第8章 截止滤光片 196 'KrkC A  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 k}7)pJNj  
8.2 吸收型截止滤光片 197 mjc:0hH  
8.3 干涉型截止滤光片 198 p =O1aM  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 {[iQRYD0|  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 !7|9r$  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 b8Sl3F?-~  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 Sv",E@!f  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 uQ)]g  
8.3.6 截止带的展宽 210 LZ$!=vg4  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 =v;@w$#  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 )^3655mb  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 l0)6[yXK  
习题 221 breVTY7 S  
参考文献 221 6f1Y:qK'@  
第9章 带阻滤光片 223 cVi CWc2  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 WVFy ZpB  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 A}O9e  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 U{m:{'np(H  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 ;trR' ~  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 Nzt1JHRS  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 o^J&c_U\3'  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 kv2:rmv  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 o$;x[US  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 ".=EAXVU  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 =uEhxs j)S  
习题 241 'JVvL  
参考文献 241 ^hJ ,1{o  
第10章 分光镜 243 s4*,ocyBP  
10.1 中性分光镜 243  }2"k:-g  
10.1.1 金属膜中性分光 244 G3n7x?4m  
10.1.2 介质膜中性分光 245 P@ u%{  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 p5ihuV,   
10.2 双色分光镜 249 \U8Vsx1tl  
10.3 偏振分光 254 ^%.<(:k[L  
10.3.1 偏振特性的描述 254 igCtq!.a  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 w0SgF/"@  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 2sH5<5G'  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 |\ L2q/u  
10.4 消偏振分光 262 wq#3f#3V  
10.4.1 偏振分离的描述 263 1:8: yFV  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 HF:PF"|3  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 it@s(1EO#  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 FB`HwE<  
10.5 分光中的消色差问题 280 Q2uE_w`B  
习题 281 1-fz564  
参考文献 282 TUt)]"h<  
第二篇 薄膜扶术基础 =T`-h"E~@  
第11章 薄膜制备技术 283 jXQ_7  
11.1 真空技术简介 283 OX2\H  
11.1.1 真空的基本知识 283 9#7z jrB  
11.1.2 真空的获得 284 >F v8 -  
11.1.3 真空的测量 286 6fiJ' j@  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 kp|reKM/  
11.2.1 蒸镀法 289 <Lt$qV-#  
11.2.2 溅射法 300 # ,Y}  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 Z:{Z&HQC  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 W*2SlS7  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 Pa*yo:U'h  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 ~Q0}>m,S  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 ObUQB+  
11.3.5 光化学气相沉积 310 Q2o:wXvj  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 B(5g&+{Lq~  
11.3.7 原子层沉积 312 iGIaZ!j aW  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 QK\z-'&n  
11.4.1 化学镀 313 KK}&4^q  
11.4.2 阳极氧化法 314 l;ugrAo?  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 gQ[4{+DSf  
11.4.4 电镀 315 0NGokaD)H  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 4{_5z7ody  
11.5 光刻蚀 316 7pNh|#Uv'  
11.5.1 光刻工艺 316 ur|2FS7  
11.5.2 光刻胶 317 #"|Ey6&  
11.5.3 掩模 318 _1 a2Z\  
11.5.4 曝光 318 }z[se)s  
11.5.5 刻蚀方法 318 E4Sp^,  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 R?(j#bk  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 Z,z^[Jz  
习题 323 !Kis,e  
参考文献 324 S/4k fsN  
第12章 光学薄膜检测技术 326 f"Z2&Y@  
12.1 光谱分析技术基础 326 \n5,!,A  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 8dv1#F|  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 mEGMe@37  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 _> *"6  
12.2.1 透射率测量 333 E4{8 $:q=  
12.2.2 反射率测量 334 z K&`&("4C  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 t?s1@}G^  
12.3.1 吸收测量 338 ci!c7 ,'c  
12.3.2 散射测量 342 y~\z_') <>  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 C-(&zwj?!  
12.4 光学薄膜常数测量 347 fu`oDi  
12.4.1 光度法 348 xn-n{U"  
12.4.2 全反射衰减法 354 sG3%~  
12.4.3 椭圆偏振法 357 |qBo*OcO  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 p(v.sP4w  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 lr1i DwZV  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 uJ[dO}  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 #q\C"N5ip  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 vXc<#X9  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 7"gy\_M  
12.6.1 薄膜微结构 368 k,?k37%T]  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 y,aASy!Q  
12.6.3 雕塑薄膜 372 j8lbn|.  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 6 R!0v8  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 wDsEx!\#  
$ZA71TzMV  
分享到:

最新评论

cyqdesign 2020-06-28 22:28
shancjb:有没有电子版呀可以下载? (2020-06-28 22:24)  5yuR[ VU  
 ^~?VD  
暂时没有,有兴趣的话,可以买一本实体书,便于学习。
苍氓一 2021-04-20 13:18
学习学习
华丽的转身 2021-09-15 09:19
受教了
春风依旧 2021-10-11 11:50
还不错,后续可能考虑买本
1250288535 2021-10-11 14:54
还不错,后续可能考虑买本
1250288535 2021-10-11 14:54
还不错
七七0 2021-11-08 11:06
学习一下,谢谢 G:7HL5u  
18961721564 2022-04-26 21:46
我有一本,购买的二手
viavi1109 2022-08-09 13:24
看看看 n,/eT,48`  
轩zjw哥 2022-09-29 22:07
学习学习
12
我要发表 我要评论
限 50000 字节
关于我们
网站介绍
免责声明
加入我们
赞助我们
服务项目
稿件投递
广告投放
人才招聘
团购天下
帮助中心
新手入门
发帖回帖
充值VIP
其它功能
站内工具
清除Cookies
无图版
手机浏览
网站统计
交流方式
联系邮箱:广告合作 站务处理
微信公众号:opticsky 微信号:cyqdesign
新浪微博:光行天下OPTICSKY
QQ号:9652202
主办方:成都光行天下科技有限公司
Copyright © 2005-2025 光行天下 蜀ICP备06003254号-1