《薄膜光学与薄膜技术基础》

发布:cyqdesign 2020-06-01 23:03 阅读:7117
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 8uD8or  
Q5T(;u6  
t"jIfU>'a/  
目录 2X qPZ]2g  
第一篇 薄膜元学基本理抢 bf&.rJ0  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 d{vc wZQ  
1.1 麦克斯韦方程 1 |s)VjS4@  
1.2 平面电磁波 6 fq)Ohb  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 3uB=L 7.  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 7R% PVgS4x  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 f]O5V$!RuE  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 +-xSuR,  
1.4 电磁波谱、光谱 10 zzDNWPzsA  
习题 12 11^ {W F  
参考文献 12 ljaAB+  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 9u-M! $  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 S}XB |  
2.1.1 S波反射与透射 14 &VtWSq-)  
2.1.2 P波反射与透射 16 w yuJSB  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 *RUd!]bh  
2.2.1 S 波反射与透射 18 \rB/83[;u  
2.2.2 P 波反射与透射 20 4DG 9`5.  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 G~Q*:m  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 \{Ox@   
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 3"2<T^H]  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 ru(?a~lF8~  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 sWqPw}/3>  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 f D]An<  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 HZ[68T[8b  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 QBN=l\m+  
2.5.2 全透射 37 *;V2_fWJ@  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 .j+2x[`l  
2.6 反射率和透射率 39 o{ YW  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 NoSqzJyh  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 ~0Q\Lp);  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 Z]1z*dv  
习题 44 8Pnqmjjj  
参考文献 44 4`EvEv$i  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 @h z0:ezg:  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 ~]i]kU   
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 }(vOaD|k=  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 ` i^`Q  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 sbq44L)  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 R+@sHsZ@  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 i85+p2i7  
3.4.1 一阶近似 62  HC<BGIgL  
3.4.2 二阶近似 63 A+bu bH,  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 eF gb6dSh  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 F(J!dG5#  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 ?L ~=Z\H  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 JXI+k.fi  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 h\: tUEg#J  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 dKN3ZCw*gF  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 gP_d >p:b  
习题 79 w$<fSe7  
参考文献 79 p1`'1`.3  
第4章 膜系设计图示法 81 W0r5D9k  
4.1 矢量法 81 aS1P]&  
4.2 导纳图解法 87 (fLbg,  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 DlQ[}5STF  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 )4o=t.O\K  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 a\HtxR8L  
4.3 金属膜导纳圆图 97 1dgN10  
4.4 膜系层间电场分布 99 cvLcre% >A  
习题 100 7HR%rO?'  
参考文献 101 %]= 'Uv^x  
第二篇 光学等膜分类反应用 VHXR)}  
第5章 增透膜 102 "351s3ff  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 XH Zu>[  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 s'fcAh,c6  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 `- uZv  
5.4 均匀介质增透膜 107 :8GxcqvCWq  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 E)Zd{9A5)  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 nH3b<k;S  
5.5 非均匀介质增透膜 113 YQ[&h  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 R;,u >P "  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 %onAlf<$:^  
习题 118 ]qP}\+:  
参考文献 118 /\Y%DpG$  
第6章 高反射膜 120 kod_ 1LD  
6.1 反射镜组合的反射率 120 JcALFKLB  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 m#}{"d&J  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 J W yoh|  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 %+OPas8C  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 q'8@0FT0  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 0_xcrM  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 snk{u/0Xm  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 HI`A;G]  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 9QM"JEu@  
6.8 金属反射镜 134 0R!}}*Ee>q  
6.8.1 常用金属反射镜 134 $R#L@iL-  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 :@4>}k*  
6.9 影响反射特性的因素 137 x`|tT%q@l  
6.10 高反射镜应用实例 143 )^' B:ic  
6.10.1 激光高反射镜 143 p-03V"^&  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 W&re;?Z{ke  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 x jUH<LFxy  
习题 146 "OAZ<  
参考文献 146 DDCQAf  
第7章 带通滤光片 149 ?Dp^dR  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 ?~y(--.t;T  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 w!9WCl]9M  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 )cmLo0`$  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 36Y[7 m=  
7.3.2 膜系透射定理 153 N %/DN  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 _w,0wn9N$  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 \rnG 1o  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 !5 :[XvI#  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 #3[b|cL  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 Y,Zv0-"  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 9TN5|x  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 CH+&  
7.5 超窄带带通滤光片 183 7wEG<,D  
7.6 宽带带通滤光片 185 V4i%|vV  
7.7 带通滤光片的角特性 186 =Bqa <Js  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 HnY"6gTNK  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 Gbm_xEPC  
习题 193 \osQwGPV  
参考文献 193 ?{P6AF-xcf  
第8章 截止滤光片 196 J#Eh x|  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 '9Odw@tp  
8.2 吸收型截止滤光片 197 g~D6.OZU  
8.3 干涉型截止滤光片 198 cTx/Y&\9  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 [cAg'R6  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 b1^Yxe#L  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 *K^O oS  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 9F1stT0G%  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 M{RZ-)IC  
8.3.6 截止带的展宽 210 O!+5As  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 exKmK!FT  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 FAl6  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 1>{-wL4rc  
习题 221 17 iq  
参考文献 221 V xs`w  
第9章 带阻滤光片 223 z(68^-V=:  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 xyWdzc] (p  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 ^TuEp$Z=  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 E }j8p_p  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 F@K;A%us)  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 sBI%lrO  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 5kNs@FP  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 RYaof W  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 eE_XwLE  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 wo9f99  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 -)+DVG.t  
习题 241 <]qd9mj5  
参考文献 241 uL AXN  
第10章 分光镜 243 3m7V6##+  
10.1 中性分光镜 243 l;kZS  
10.1.1 金属膜中性分光 244 -s "$I:v  
10.1.2 介质膜中性分光 245 o_m.MMEU  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 -RDs{c`y%N  
10.2 双色分光镜 249 6+#cyKj  
10.3 偏振分光 254 *lO+^\HXD  
10.3.1 偏振特性的描述 254 hkI);M+@6  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 0 d]G  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 _oVA0@#n  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 74Wg@! P  
10.4 消偏振分光 262 [i#Gqx>'w  
10.4.1 偏振分离的描述 263 B`EgL/Wg[  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 [&V%rhi  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 ') y~d  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 7E)7sd  
10.5 分光中的消色差问题 280 EIm\!'R]  
习题 281 b<7 qmg3  
参考文献 282 e1Hx"7ew_  
第二篇 薄膜扶术基础 AE _~DZ:%c  
第11章 薄膜制备技术 283 +[`%b3Nk  
11.1 真空技术简介 283 0E1)&f  
11.1.1 真空的基本知识 283 1]`HX=cl  
11.1.2 真空的获得 284 ]~ UkD*Ct  
11.1.3 真空的测量 286 _3[BS9  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 tpK4 gjf  
11.2.1 蒸镀法 289 D<6k AGE  
11.2.2 溅射法 300 :h~!#;w_  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 vn0*KIrX  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 W7"sWaOhW  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 DL_\luh  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 o-= lHtR  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 Hm*#HT%#  
11.3.5 光化学气相沉积 310 RfRaWbn  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 ]Jq e)o  
11.3.7 原子层沉积 312 --sb ;QG  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 fh<G& E8 p  
11.4.1 化学镀 313 {jG`l$$  
11.4.2 阳极氧化法 314 YfKty0  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 $0t %}DE  
11.4.4 电镀 315 [Nc  Ok,  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 ;0gpS y$#  
11.5 光刻蚀 316 N/VIP0Kb  
11.5.1 光刻工艺 316 1[]cMyV  
11.5.2 光刻胶 317 rOT8!"  
11.5.3 掩模 318 FU3B;Fn^Z(  
11.5.4 曝光 318 M czWg  
11.5.5 刻蚀方法 318 K e8cfd~c  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 _: K\v8  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 cpVi9]  
习题 323 R&0l4g-4>  
参考文献 324 9n7d "XD2  
第12章 光学薄膜检测技术 326 a=dN.OB}F7  
12.1 光谱分析技术基础 326 cj *4 XYu  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 LAeXe!y  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 k_B^2=  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333  .@Cshj  
12.2.1 透射率测量 333  tS7u#YMh  
12.2.2 反射率测量 334 Jt8 v=<@  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 ./'n2$^3  
12.3.1 吸收测量 338  2Mda'T8  
12.3.2 散射测量 342 0*^Fk=>ej  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 :83" t-O8[  
12.4 光学薄膜常数测量 347 cw\a,>]H  
12.4.1 光度法 348 pxj"<q`nw8  
12.4.2 全反射衰减法 354 x3 S  
12.4.3 椭圆偏振法 357 n6f|,D!?  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 tDo0Q/`  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 f/ZE_MN2  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 KX`,7-  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 w6_}] &F  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 <4g^c&  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 #,56vVY  
12.6.1 薄膜微结构 368 iJBZnU:Mp  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 _c2#  
12.6.3 雕塑薄膜 372 PR+!CFi&  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 >. Y ~F(  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 ]!N5jbA@  
c z|IBsa*  
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最新评论

cyqdesign 2020-06-28 22:28
shancjb:有没有电子版呀可以下载? (2020-06-28 22:24)  & zG=  
8.,PgS  
暂时没有,有兴趣的话,可以买一本实体书,便于学习。
苍氓一 2021-04-20 13:18
学习学习
华丽的转身 2021-09-15 09:19
受教了
春风依旧 2021-10-11 11:50
还不错,后续可能考虑买本
1250288535 2021-10-11 14:54
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1250288535 2021-10-11 14:54
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七七0 2021-11-08 11:06
学习一下,谢谢 We" "/X  
18961721564 2022-04-26 21:46
我有一本,购买的二手
viavi1109 2022-08-09 13:24
看看看 cd:O@)i  
轩zjw哥 2022-09-29 22:07
学习学习
12
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