《薄膜光学与薄膜技术基础》

发布:cyqdesign 2020-06-01 23:03 阅读:6726
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 8khIy-9-'  
KBa0  
&Qq|  
目录 4+MaV<!tU^  
第一篇 薄膜元学基本理抢 O]KQ]zN  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 b-RuUfUn0  
1.1 麦克斯韦方程 1 1p8hn!V  
1.2 平面电磁波 6 Z1{>"o:@  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 I.it4~]H  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 OoQLR  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 51xf.iB  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 73JrK_h  
1.4 电磁波谱、光谱 10 tac\Ki?  
习题 12 xqfIm%9i}  
参考文献 12 C8D`:k  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14  Z>pZ|  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 zbjV>5  
2.1.1 S波反射与透射 14 AF>t{rw=/  
2.1.2 P波反射与透射 16 /@&#U bN\  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 F?t;bV  
2.2.1 S 波反射与透射 18 0~ o,^AW  
2.2.2 P 波反射与透射 20 )KOIf{  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 $g),|[ x+(  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 L%+mD$@u  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 Nh\o39=  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 L_o/fTz4  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 ""*g\  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 BZ(I]:oDL  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 ij1YV2v  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 tG~[E,/`  
2.5.2 全透射 37 fk!9` p'  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 +.Xi7x+#O  
2.6 反射率和透射率 39 u<4bOJn({  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 <v=s:^;C0  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 ]^,!;do  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 Hbn78,~ .  
习题 44 e;2A{VsD8  
参考文献 44 s6'=4gM  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 #qW#>0U  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 |a %Wd  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 HiBI0)N}  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 g>l+oH[Tv|  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 wB&5q!{!  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 `3`.usw  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 &x;n^W;#  
3.4.1 一阶近似 62 20}w . V  
3.4.2 二阶近似 63 )j\_*SoH  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 J4@-?xj=\q  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 ;e< TEs  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 ".2d{B  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 Y[H769  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 IR#BSfBZ  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 JW )f'r_f  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 (L yKo  
习题 79 #2Iag' 4T  
参考文献 79 {e q378d  
第4章 膜系设计图示法 81 q^?a|l  
4.1 矢量法 81 #sxv?r  
4.2 导纳图解法 87 dMCoN8W  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 jw`05rw:  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 a=`] L`|N  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 w)B ?j  
4.3 金属膜导纳圆图 97 sN2m?`?"G  
4.4 膜系层间电场分布 99 BC\W`K  
习题 100 1vxQ`)a  
参考文献 101 j=Izwt>   
第二篇 光学等膜分类反应用 @$'pMg  
第5章 增透膜 102 :HwdXhA6  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 >239SyC-,  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 n1PBpM9!  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 H5 V>d  
5.4 均匀介质增透膜 107 `( w"{8laB  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 xVgm 9s$"c  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 iJZNSRQJ}r  
5.5 非均匀介质增透膜 113 5-y*]:g(  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 +I3O/=)  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 ?c+$9  
习题 118 jM @N<k  
参考文献 118 .g1x$cQ1<  
第6章 高反射膜 120 ^;rjs|`K#  
6.1 反射镜组合的反射率 120 t 7o4 aBl"  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 ,.}%\GhY  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 wc. =`Me  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 '&dT   
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 &0tW{-Hv"  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 W`NF40)  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 @d^Z^H*Y v  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 8A.7q  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 ^m&I^ \  
6.8 金属反射镜 134 wDGb h=  
6.8.1 常用金属反射镜 134 gPT_}#_GxM  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 =&,T@5&-=  
6.9 影响反射特性的因素 137 vSC1n8 /  
6.10 高反射镜应用实例 143 y_w  <3  
6.10.1 激光高反射镜 143 I:G8B5{J  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 '4<o&b^yQ  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 k sXQ}BE  
习题 146 /I!62?)-*  
参考文献 146 6<$.Z-,  
第7章 带通滤光片 149 JJ%@m;~  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 0<a|=kZ  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 ~!qnKM>[  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 iC/*d  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 _ +NjfF|  
7.3.2 膜系透射定理 153 r)>3YM5  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 At?|[%< `  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 Yj/ o17  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 yF? O+9R A  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 PfRA\  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 @uCi0Pt  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 1n[)({OQ  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 Nr~!5XO  
7.5 超窄带带通滤光片 183 z!O;s ep?/  
7.6 宽带带通滤光片 185 HI 1T  
7.7 带通滤光片的角特性 186 _,)_(R ,h  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 d"06 gp  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 iD G&Muc  
习题 193 H-+U^@w  
参考文献 193 'z AvQm  
第8章 截止滤光片 196 k6&~)7 -f  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 $wp>2  
8.2 吸收型截止滤光片 197 2[ofz}k]r)  
8.3 干涉型截止滤光片 198 R6od{#5H$  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 "aF2:E'  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 gac31,gH  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 QK[^G6TI  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 ^tGAJ_b 79  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 cZ|*Zpk  
8.3.6 截止带的展宽 210 $cHU,  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 oI/_WY[t  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 7PMz6  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 Rw{' O]Q*  
习题 221 [0y,K{8t  
参考文献 221 Zf3(! a[  
第9章 带阻滤光片 223 *3`R W<Z  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 :_6o|9J\t  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 Os'E7;:1h  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 iYgVSVNg  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 cM'MgX9  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 hdx_Tduue  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 t3Gy *B  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 hS8M|_  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 &uRT/+18W3  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 JxtzI2  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 o #\L4P(J  
习题 241 R9R~$@~G  
参考文献 241 iKE&yO3  
第10章 分光镜 243 )/@KdEA:  
10.1 中性分光镜 243 ^UJIDg7zS  
10.1.1 金属膜中性分光 244 W ,6q1  
10.1.2 介质膜中性分光 245 Rf8Obk<  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 ]pBEoktp  
10.2 双色分光镜 249 81x/ bx@L%  
10.3 偏振分光 254 e:nByzdH0[  
10.3.1 偏振特性的描述 254 hRX9Du`$  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 y,`n9[$K\  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 #~nXAs]Q  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 Ve%ua]qA  
10.4 消偏振分光 262 ~ Ze!F"  
10.4.1 偏振分离的描述 263 /)J]ItJlz  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 >8I~i:hn  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 %C,zR&]F  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 4AJT)I.  
10.5 分光中的消色差问题 280 g4=1['wW  
习题 281 [;,E cw^  
参考文献 282 1?H; c5?d&  
第二篇 薄膜扶术基础 rtz-kQ38R  
第11章 薄膜制备技术 283  VQH48{X  
11.1 真空技术简介 283 Y+Z+Y)K  
11.1.1 真空的基本知识 283 b'+Wf#.]f0  
11.1.2 真空的获得 284 KBtqtE'(L  
11.1.3 真空的测量 286 !9 kNL  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 51|s2+GG  
11.2.1 蒸镀法 289 7QTS@o-  
11.2.2 溅射法 300 ,= ApnNUgX  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 F]6G<6T[  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 I\6C0x  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 4bGvkxZo`$  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 eK1l~W%  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 A+M4=  
11.3.5 光化学气相沉积 310 )u Hat#  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 4'#=_J  
11.3.7 原子层沉积 312 p1niS:}j  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 ?GNR ab  
11.4.1 化学镀 313 @JhkUGG]p  
11.4.2 阳极氧化法 314 Tdh.U {Nz  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 Z72%Bv  
11.4.4 电镀 315 =@4 ,szLO  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 -{OJM|W+  
11.5 光刻蚀 316 i=n;rT  
11.5.1 光刻工艺 316 PU.j(0  
11.5.2 光刻胶 317 8/R$}b><  
11.5.3 掩模 318 3l~7  
11.5.4 曝光 318 h/\ Zq  
11.5.5 刻蚀方法 318 <Nrtkf4-O  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 kYkA^Aq  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 6/wC StZ  
习题 323 E]~ #EFc  
参考文献 324 GPh;r7xg6  
第12章 光学薄膜检测技术 326 Vbp@n  
12.1 光谱分析技术基础 326 F-:AT$Ok  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 ?SYmsaSr5  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 U~yPQ8jD  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 igTs[q=Ak  
12.2.1 透射率测量 333 }o!b3*#  
12.2.2 反射率测量 334 vqT) =ZC1  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 <ndY6n3  
12.3.1 吸收测量 338 \ky oA Z  
12.3.2 散射测量 342 apJXRH`  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 W7|nc,i0\  
12.4 光学薄膜常数测量 347 a U.3  
12.4.1 光度法 348 sqhIKw@  
12.4.2 全反射衰减法 354 a+v.(mCG  
12.4.3 椭圆偏振法 357 3:WHC3}W  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 z[[qrR  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 8hww({S2  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 3; z1Hp2X  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 lQ^"-zO4  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 9 AD*  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 P*;[&Nn4  
12.6.1 薄膜微结构 368 Fg p|gw4  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 ImB5F'HI$  
12.6.3 雕塑薄膜 372 MX#LtCG#V  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 5,4" CF$  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 ;8MQ'#  
~FAk4z=Ed  
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最新评论

cyqdesign 2020-06-28 22:28
shancjb:有没有电子版呀可以下载? (2020-06-28 22:24)  \v{HjqVkC  
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苍氓一 2021-04-20 13:18
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华丽的转身 2021-09-15 09:19
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春风依旧 2021-10-11 11:50
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1250288535 2021-10-11 14:54
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18961721564 2022-04-26 21:46
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viavi1109 2022-08-09 13:24
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轩zjw哥 2022-09-29 22:07
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12
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