《薄膜光学与薄膜技术基础》

发布:cyqdesign 2020-06-01 23:03 阅读:6864
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 %K>.lh@  
e_V O3"  
cOPB2\,  
目录  jcI&w#re  
第一篇 薄膜元学基本理抢 |i ZfYi&^  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 aBNZdX]vzO  
1.1 麦克斯韦方程 1 `&-Mi[1  
1.2 平面电磁波 6 7DIIx}A  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 v>Mnl  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 L5qwWvbT  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 [-)r5Dsdq  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 ' 4E R00  
1.4 电磁波谱、光谱 10 *X4PM\ck  
习题 12 xCYE B}o9r  
参考文献 12 i:Zm*+Gi  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 H)>@/"j;  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 $*kxTiG!7  
2.1.1 S波反射与透射 14 %zSuK8kxV  
2.1.2 P波反射与透射 16 8 O67  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 ;q:jl~  
2.2.1 S 波反射与透射 18 'w14sr%  
2.2.2 P 波反射与透射 20 @"o@}9=d  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 x3u4v~ "-  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 '&sE=.  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 E=cwq"  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 P1NJ^rX  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 P(;?kg}0  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 Wy ZL9K{?  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 ZvUC I8  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 <a[Yk 2  
2.5.2 全透射 37 Rcawc Y  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 F*.g;So  
2.6 反射率和透射率 39 bO&7-Z~:=  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 eYC^4g%l(  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 zLF?P3^  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 9 Rx s  
习题 44 a&k_=/X&  
参考文献 44 EaWS. eK  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 %%Qo2^-  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 ;r6jx"i  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 MCT'Nw@A  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 doB  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 fd#j Y}  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 '}rRzD:  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 #BQ.R,  
3.4.1 一阶近似 62 gN>2xnh'm  
3.4.2 二阶近似 63 @rHK( 25+d  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 ^::EikpF%  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 Vf`7V$sr  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 sO5?aB&  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 M gC:b-&5_  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 c5Q<$86  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 zz^F k&  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 93<:RV  
习题 79 8k^| G  
参考文献 79 gh>>Ibf  
第4章 膜系设计图示法 81  iL= m{  
4.1 矢量法 81 zSE<"(a  
4.2 导纳图解法 87 /1 RAAa  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 1RKW2RCaW_  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89 TyKWy0x-3  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 4HAp{a1  
4.3 金属膜导纳圆图 97 .@"q$\  
4.4 膜系层间电场分布 99 (n1Bh~R^  
习题 100 0oh]61g C  
参考文献 101 < F )_!0C  
第二篇 光学等膜分类反应用 $O{duJU  
第5章 增透膜 102 `y+-H|%?  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 #XnPsU<J  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 OgcHS?  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 n$aA)"A #  
5.4 均匀介质增透膜 107 [I:KpAd/  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 m>}8'N)  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 SSBg?H'T  
5.5 非均匀介质增透膜 113 Fxc)}i`   
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 TrdZJ21#M  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 ]hud4i~  
习题 118 Jd,)a#<j  
参考文献 118 efG6v  
第6章 高反射膜 120 x"4} isp<  
6.1 反射镜组合的反射率 120 S?{ /hy  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 9e U[*S  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 E1&b#TE 6O  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 `imWc "'Ej  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 Kd3?I5t  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 nJ?^?M'F%  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 dJ:MjQG`W  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 |xoF49  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 WS2os Bc  
6.8 金属反射镜 134 7B3w\  
6.8.1 常用金属反射镜 134 NA$zd(  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 ,uz ]V1  
6.9 影响反射特性的因素 137 }<jb vCeK  
6.10 高反射镜应用实例 143 "&Qctk`<P  
6.10.1 激光高反射镜 143 @mt0kV9  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 ZAuWx@}  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 )U:2z-X&e  
习题 146 K~RoUE<3[  
参考文献 146 }]UB;id'  
第7章 带通滤光片 149 L?Yoh<  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 Q>qFM9Z  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 _)$PKOzbb  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 x\s,= n3z  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 xKOq[d/8  
7.3.2 膜系透射定理 153 dz#5q-r  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 .7ayQp  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 Lh$dzHq  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 .r+hERcB  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 wyxGe<1  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 9^F2$+T[:  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 iO1nwl !#  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 i;PL\Er:tX  
7.5 超窄带带通滤光片 183 4y}"Hy  
7.6 宽带带通滤光片 185 MVCl.o  
7.7 带通滤光片的角特性 186 .wrL3z_  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 %ICglF R  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 3UUGblg`~  
习题 193 7@%'wy&A  
参考文献 193 /"qcl7F  
第8章 截止滤光片 196 $t rAC@3O@  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 N?4q  
8.2 吸收型截止滤光片 197 4YU/uQm  
8.3 干涉型截止滤光片 198 k /EDc533d  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 \'?#i @O  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 bzmr"/#D3  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 K_-d(  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 TB aVW  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 |-2}j2'  
8.3.6 截止带的展宽 210 s]B"qF A  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 T&"i _no*  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 dpN@#w  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 ^%oUmwP<$  
习题 221 K7vw3UwGN  
参考文献 221 vC/[^  
第9章 带阻滤光片 223 VU!w!GN]Y  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 m)?5}ZwAH  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 ~KIDv;HSb[  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 WN a0,  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 \X}8 q  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 >N`6;gn*l  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 %.x@gi q  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 (hZ:X)E>  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 d}0qJoH4  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 CVKnTEs  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 U :9=3A2$x  
习题 241 m24v@?*  
参考文献 241 !)H*r|*[  
第10章 分光镜 243 ,I*X) (  
10.1 中性分光镜 243 nTnRGf\T  
10.1.1 金属膜中性分光 244 9fVj 8G  
10.1.2 介质膜中性分光 245 =d20Xa  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 }N3`gCy9eN  
10.2 双色分光镜 249 0-e  
10.3 偏振分光 254 saK;[&I*  
10.3.1 偏振特性的描述 254 a>Re^GT+z  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 [QEwK|!L  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 d?Y-;-|8Qh  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 Sni=gZK  
10.4 消偏振分光 262 3XVk#)lw  
10.4.1 偏振分离的描述 263 V,4.$<e  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 ILG?r9 x  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 Kmry=`=A  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 QPg2Y<2  
10.5 分光中的消色差问题 280 ckwF|:e 7*  
习题 281 &6"P7X  
参考文献 282 Va9q`XbyO  
第二篇 薄膜扶术基础 Y1r ,2k  
第11章 薄膜制备技术 283 4]BJ0+|mT  
11.1 真空技术简介 283 l BiovT  
11.1.1 真空的基本知识 283 cF.mb*$K  
11.1.2 真空的获得 284 E%*AXkJ'dZ  
11.1.3 真空的测量 286 3q~Fl=|.o  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 jU$Y>S>l  
11.2.1 蒸镀法 289 ^CQ1I0  
11.2.2 溅射法 300 NWISS  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 m`9^.>]P  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 9.8,q  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 hAa[[%wPhU  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 4I ,o&TK  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 (t74a E pi  
11.3.5 光化学气相沉积 310 uX0 Bp8P  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 [:pl-_.C  
11.3.7 原子层沉积 312 ,kE=TR.|  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 x(6vh2#vD  
11.4.1 化学镀 313 h6FgS9H  
11.4.2 阳极氧化法 314 :0dfB&7  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 wb+<a  
11.4.4 电镀 315 0^iJlR2  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 .;Z.F7{q  
11.5 光刻蚀 316 $[Q cEk  
11.5.1 光刻工艺 316 51/sTx<Z}  
11.5.2 光刻胶 317 K{FhT9R'  
11.5.3 掩模 318 r /yHmEk&  
11.5.4 曝光 318 `r.N  
11.5.5 刻蚀方法 318  7kM4Ei  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 l'2H 4W_+  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 x~(y "^ph  
习题 323 X8.y4{5  
参考文献 324 ;(`e^IVf  
第12章 光学薄膜检测技术 326 f-]><z  
12.1 光谱分析技术基础 326 a(!3Afi  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 LH.%\TMN$  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 \!7*(&yly  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 r4S=I   
12.2.1 透射率测量 333 N4+g("  
12.2.2 反射率测量 334 R}.3|0  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 yjR)Z9t  
12.3.1 吸收测量 338 .]zw*t*  
12.3.2 散射测量 342 M)tv;!eQ  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 EFv4=OWB  
12.4 光学薄膜常数测量 347 AA_@\: w^  
12.4.1 光度法 348 +<B|qcT!  
12.4.2 全反射衰减法 354 U[Nosh)hu\  
12.4.3 椭圆偏振法 357 My0!=4Any  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358  mc~`  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 "$Y(NFb  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 jB/V{Y#y9@  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 cyHhy_~R  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 E6JV}`hSk  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 0ZT 0  
12.6.1 薄膜微结构 368 [{/$9k-aF?  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 Ba<#1p7_  
12.6.3 雕塑薄膜 372 iU,/!IQ  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 ,.q8Xf  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 pbFYiu+  
dGa@<hg  
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最新评论

cyqdesign 2020-06-28 22:28
shancjb:有没有电子版呀可以下载? (2020-06-28 22:24)  ' 2;Ny23  
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暂时没有,有兴趣的话,可以买一本实体书,便于学习。
苍氓一 2021-04-20 13:18
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华丽的转身 2021-09-15 09:19
受教了
春风依旧 2021-10-11 11:50
还不错,后续可能考虑买本
1250288535 2021-10-11 14:54
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1250288535 2021-10-11 14:54
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七七0 2021-11-08 11:06
学习一下,谢谢 !?us[f=g%  
18961721564 2022-04-26 21:46
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viavi1109 2022-08-09 13:24
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轩zjw哥 2022-09-29 22:07
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12
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