《薄膜光学与薄膜技术基础》

发布:cyqdesign 2020-06-01 23:03 阅读:6712
薄膜光学与薄膜技术基础》是作者多年来从事薄膜光学与薄膜技术课程教学研究成果的总结。《薄膜光学与薄膜技术基础》共分三篇13章:第一篇分为4章,讲述薄膜光学基本理论,内容包括各向同性均匀和非均匀、各向异性均匀和非均匀、吸收和导电层状介质薄膜反射和透射特性计算;第二篇分为6章,分类讲述增透膜、高反射膜、带通滤光片、截止滤光片、带阻滤光片和分光镜的膜系构成、特性描述及其应用;第三篇分为3章,比较全面地介绍了物理气相沉积、化学气相沉积和液相沉积薄膜制备方法原理、光学薄膜检测技术,以及一些金属薄膜、半导体薄膜和介质薄膜制备实例。鉴于薄膜光学与薄膜技术的飞速发展,《薄膜光学与薄膜技术基础》在取材的深度和广度上充分考虑到现代前沿科学领域的知识内容。 5& *zY)UL  
_NT[ ~M_Q  
K%PxA #P}  
目录 6g|#ho1Bbs  
第一篇 薄膜元学基本理抢 `VXZ khm  
第1章 薄膜光学的电磁理论基础 1 Of#K:`1@  
1.1 麦克斯韦方程 1 6qDfcs  
1.2 平面电磁波 6 _k|g@"  
1.2.1 复矢量波动方程一一齐次矢量亥姆霍兹方程 6 Efvq?cG&  
1.2.2 理想介质中的平面波解 7 hb<k]-'!  
1.2.3 吸收介质中的平面波解 8 ig$jKou F  
1.3 平均电磁能流密度光强 9 obYn&\6  
1.4 电磁波谱、光谱 10 niQcvnT4b  
习题 12 <N-=fad]  
参考文献 12 m r2S!  
第2章 平面光波在两介质分界平面上的反射与透射 14 _ .!aBy%xf  
2.1 各向同性理想介质界面的反射与透射 14 Oj-r;Tt_G}  
2.1.1 S波反射与透射 14 }1F6?do3&  
2.1.2 P波反射与透射 16 5}7ISNP;f  
2.2 各向同性吸收介质界面的反射与透射 18 ,02w@we5  
2.2.1 S 波反射与透射 18 P{Lg{I_w.B  
2.2.2 P 波反射与透射 20 c>rKgx  
2.3 非均匀介质界面的反射与透射 21 AI~9m-,mE  
2.3.1 几何光学近似条件下非均匀介质中的波传播 21 >fg4x+0%  
2.3.2 任意非均匀介质界面的反射系数方程 24 T*R{L  
2.4 各向异性介质界面的反射与透射 30 ?DRR+n _  
2.4.1 平面对称各向异性介质中麦克斯韦方程的分量形式 31 W6M jQ%f  
2.4.2 平面对称各向异性介质界面的反射与透射 31 |mvM@V;^8{  
2.5 反射系数和透射系数随入射角的变化 36 C rfRLsN]  
2.5.1 全反射与倏逝波 36 L&'l3|  
2.5.2 全透射 37 M=6G:HHY  
2.5.3 反射系数、透射系数振幅和相位随入射角变化 38 *7_@7=W,  
2.6 反射率和透射率 39 @sdS 0pC  
2.6.1 理想介质分界面的反射率和透射率 40 EP(Eq  
2.6.2 吸收介质分界面的反射率和透射率 41 F0&O/-w&u  
2.6.3 空气与金属导体表面的反射率 43 Y.X4*B  
习题 44 /L$NE$D} "  
参考文献 44 8 #Fh>  
第3章 平面光波在平界面层状介质薄膜中的反射与透射 45 A'`P2Am  
3.1 法向阻扰和光学有效导纳的概念 45 ivD^HhG  
3.2 平面分界面单层均匀介质薄膜的反射与透射 47 hRLKb}  
3.3 平面分界面多层均匀介质薄膜的反射与透射 53 9ClF<5?M  
3.3.1 平面分界面多层均匀介质薄膜反射系数和透射系数计算的矩阵方法 53 58PKx5`D  
3.3.2 多层增透膜和高反射膜的基本构成特点 55 H<XlUCr_~+  
3.4 非均匀介质膜层的特征短阵 61 8lpzSJP4k  
3.4.1 一阶近似 62 l<Lz{)OR  
3.4.2 二阶近似 63 5Fh8*8u6hL  
3.5 各向异性介质薄膜的分层矩阵计算方法 64 2$3kKY6$e  
3.5.1 各向异性介质中的矩阵波动方程 64 &#Wkww&Y  
3.5.2 各向异性介质薄膜的矩阵波动方程 66 GeVc\$K-  
3.5.3 均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的解 70 p KnIQa[c  
3.5.4 单轴各向异性介质薄膜的特征矩阵 72 x.o3iN[=  
3.5.5 非均匀各向异性介质薄膜矩阵波动方程的数值解 74 7G2vYKC'  
3.5.6 单层各向异性介质薄膜的反射与透射 75 [*t U}9  
习题 79 j 37:  
参考文献 79 I0(8Z]x  
第4章 膜系设计图示法 81 O[L\T  
4.1 矢量法 81 /XN*)m  
4.2 导纳图解法 87 $M-NR||k  
4.2.1 单一等效界面等反射率导纳圆图和等相位导纳圆图 87 RpjSTV8Tkm  
4.2.2 单层膜系等折射率导纳圆图和等相位导纳圆图 89  J(^ >?d'  
4.2.3 多层膜系等折射率导纳圆图 92 p#z;cjfSt  
4.3 金属膜导纳圆图 97 }pt-q[s>  
4.4 膜系层间电场分布 99 y6\ [1nZ  
习题 100 \3M1.Q4$Gr  
参考文献 101 +*<K"H|,  
第二篇 光学等膜分类反应用 tfsh!)u?  
第5章 增透膜 102 98=XG1sQ@  
5.1 表面反射对光学系统性能的影响 102 C_C$5[~-:  
5.2 基底介质非相干叠加的透射率 104 [1mIdwS  
5.3 透射滤光片组合透射率 106 BJ"Ay@D*  
5.4 均匀介质增透膜 107 VGfD;8]z  
5.4.1 单层均匀介质增透膜 107 f7S^yA[[  
5.4.2 多层均匀介质增透膜 108 tG_-;03<`4  
5.5 非均匀介质增透膜 113 ?$2q P`-  
5.6 入射角变化对透射率的影响 115 C9GU6Ao  
5.7 增透膜应用实例液晶显示增透膜 117 +B](5z4  
习题 118 UJ O]sD`i  
参考文献 118 A7.JFf>  
第6章 高反射膜 120 cK/PQsMP  
6.1 反射镜组合的反射率 120 k-io$  
6.2 周期多层膜系的反射率 121 s!NisF  
6.2.1 周期多层膜系的特征矩阵 121 "i}Z(_7yr  
6.2.2 周期多层膜系的反射率和透射率 122 B{^`8Htrn  
6.3 [HL]m类型的周期多层膜 123 X4XFu  
6.4 (0.5L) H(0.5L)m类型的对称周期多层膜 126 #%;<FFu\  
6.5 周期多层膜构成的宽带高反射膜 128 0@:Y>qVa  
6.6 中远红外区域的多层高反射膜 129 P"2Q&M_ /  
6.7 软X 射线区域的多层高反射膜 131 2n _T2{  
6.8 金属反射镜 134 >\RDQ%z  
6.8.1 常用金属反射镜 134 H7y&N5.V  
6.8.2 金属一介质反射镜 136 1k*n1t):  
6.9 影响反射特性的因素 137 kqQphKkL  
6.10 高反射镜应用实例 143 :~-)Sm+^  
6.10.1 激光高反射镜 143 R%qX_m\0  
6.10.2 光刻机系统193nm 高反射膜 144 kbD*=d}3{  
6.10.3 DLP/LCoS 技影薄膜宽角度高反射镜 145 _,11EeW@  
习题 146 F fZ{%E  
参考文献 146 wVlSjk  
第7章 带通滤光片 149 m9v"v:Pw  
7.1 带通滤光片的特性描述 149 Xqc'R5C w  
7.2 带通滤光片的基本构型一一法布里一咱罗干涉仪及其变形 150 :v|r=#OI  
7.3 法布里一咱罗干涉仪透射率计算 151 *;>V2!N=U  
7.3.1 单层薄膜反射与透射计算的有效界面法 151 O_qu;Dx!  
7.3.2 膜系透射定理 153 D >psh- ,1  
7.3.3 法布里一躏罗干涉仪的透射率计算 155 TJeou# =/  
7.3.4 法布里础罗干涉仪透射特性分析 156 QJ[(Y@ O6a  
7.3.5 特殊带通滤光片信噪比的计算 164 07~pf}  
7.4 窄带和中等带宽滤光片 164 kyp U&F  
7.4.1 法布里踊罗干涉滤光片 164 /e;e\k_}'  
7.4.2 窄带平顶多腔带通滤光片 172 |`N$>9qN  
7.4.3 诱导带通滤光片 174 Sn_z  
7.5 超窄带带通滤光片 183 U` ? zC~  
7.6 宽带带通滤光片 185 2<p5_4"-U*  
7.7 带通滤光片的角特性 186 e);bF>.~  
7.8 极远紫外及软X 射线区域带通滤光片 190 ;LwFbkOuU  
7.9 多通道窄带带通滤光片 192 f hVbJU  
习题 193 MoC*tImWR  
参考文献 193 ?6_"nT*}  
第8章 截止滤光片 196 6R3"L]J  
8.1 截止滤光片的特性描述 196 S7@ZtFf  
8.2 吸收型截止滤光片 197 t;Fbt("]:  
8.3 干涉型截止滤光片 198 O('i*o4!}  
8.3.1 1/4波长周期膜系的透射特性 198 IMl9\U  
8.3.2 周期对称膜系的光学等效导纳和等效相位 199 'vqj5YTj  
8.3.3 [(0.5H)L(0.5H)]和[ (0.5L) H(0.5L)]类型对称膜系的光学等效导纳和等效相位 201 zav*  
8.3.4 [(0.5H)L(0.5H)Jm 和[(0.5L) H(0.5L)]m类型周期对称膜系的透射率 203 f\U?:8 3  
8.3.5 透射带内波纹的压缩 208 )Tyky%P+iI  
8.3.6 截止带的展宽 210 G2U5[\  
8.3.7 透射带的展宽和压缩 212 z7NGpA(  
8.4 金属介质膜截止滤光片 218 ; 'b!7sMO~  
8.5 热反射镜、冷反射镜和太阳能电池覆盖膜 218 +?4*,8Tmmz  
习题 221 * K0j5dx  
参考文献 221 F^/~@^{P  
第9章 带阻滤光片 223 E.5*Jr=J  
9.1 带阻滤光片的特性描述 223 w>/pQ6=OFR  
9.2 周期对称膜系构成的带阻滤光片 223 $1Q3Y'Q9  
9.2.1 单个周期对称膜层的等效导纳和等效相位 224 j SUAU}u!M  
9.2.2 多层膜透射率的不变特性 224 ]4LT#  
9.2.3 周期对称多层膜通带内波纹的压缩 227 nr<}Hc^f-  
9.2.4 四种介质周期对称膜系构成的带阻滤光片 230 l^!0|/Vw  
9.3 非周期对称多层膜构成的带阻滤光片 231 "-~D! {rS  
9.4 正弦周期折射率带阻滤光片 232 e+d6R[`M  
9.4.1 正弦周期折射率带阻滤光片的基本构成特点 233 J pCZq #  
9.4.2 正弦周期折射率带阻滤光片设计的傅里叶变换方法 234 _oMs `"4K  
习题 241 @w.b |  
参考文献 241 9.MGH2^ L?  
第10章 分光镜 243 `uaD.m$EJ  
10.1 中性分光镜 243 "63zc 1  
10.1.1 金属膜中性分光 244 mcP{-oJ0W  
10.1.2 介质膜中性分光 245 ?,+C!R?  
10.1.3 金属介质膜中性分光 247 &VZmP5Gv  
10.2 双色分光镜 249 g 'd*TBnk  
10.3 偏振分光 254 :yFTaniJ'.  
10.3.1 偏振特性的描述 254 eEg1-  
10.3.2 平板偏振分光镜 255 HNkZ1+P {  
10.3.3 棱镜偏振分光 258 '<{oYXZW3  
10.3.4 宽角宽带偏振分光 259 LB64W ;#h  
10.4 消偏振分光 262 a|] %/[G@  
10.4.1 偏振分离的描述 263 3^iQe"P%a@  
10.4.2 介质膜消偏振分光设计实例 267 -x3tx7%  
10.4.3 金属一介质膜消偏振分光设计实例 271 mBD!:V'  
10.4.4 其他消偏振分光设计方法 273 )N%1%bg^-  
10.5 分光中的消色差问题 280 tnKpn-LPA  
习题 281 l/y Kc8^<  
参考文献 282 J?qcRg`1E  
第二篇 薄膜扶术基础 C[87f-g  
第11章 薄膜制备技术 283 TGt1d  
11.1 真空技术简介 283 c?V*X-   
11.1.1 真空的基本知识 283 C&d"#I  
11.1.2 真空的获得 284 FRJ:ym=E  
11.1.3 真空的测量 286 cQ8$,fo  
11.2 薄膜制备方法物理气相沉积 289 q!9v}R3(  
11.2.1 蒸镀法 289 \4`saM /x  
11.2.2 溅射法 300 &d|VH y+  
11.3 薄膜制备方法化学气相沉积 306 )T$f k  
11.3.1 化学气相沉积的原理 307 {TxVRpiP{Z  
11.3.2 常压化学气相沉积 308 9B?t3:  
11.3.3 低压化学气相沉积 308 '#An+;x{  
11.3.4 等离子体增强化学气相沉积 309 tr9_bl&z  
11.3.5 光化学气相沉积 310 v[3hnLN%  
11.3.6 金属有机化学气相沉积 311 -XDP-Trk  
11.3.7 原子层沉积 312 * F%ol;|Q  
11.4 薄膜制备方法一一液相沉积 313 <>5:u  
11.4.1 化学镀 313 /PB3^d>Q2  
11.4.2 阳极氧化法 314 j O5:{%  
11.4.3 溶胶一凝胶法 314 ~jRk10T(B  
11.4.4 电镀 315 A86lyBDQ*  
11.4.5 LB 膜制备技术 315 E't G5,/m  
11.5 光刻蚀 316 b1 ['uJF  
11.5.1 光刻工艺 316 ^?S@v1~7d  
11.5.2 光刻胶 317 L_zmU_zD  
11.5.3 掩模 318 Zy+QA>d|  
11.5.4 曝光 318 i&s=!`  
11.5.5 刻蚀方法 318 2I(@aB+  
11.5.6 无掩模刻蚀 321 #3:'lGBIK  
11.5.7 刻蚀图形及折射率 323 J^+$L"K  
习题 323 S1^Mw;?P  
参考文献 324 |uBot#K|  
第12章 光学薄膜检测技术 326 @!O&b%8X%  
12.1 光谱分析技术基础 326 C[<\ufclD  
12.1.1 光度计和光谱仪的基本构成 326 G4J6  
12.1.2 紫外一可见光分光光度计和傅里叶变换红外光谱仪 330 rEpKX  
12.2 薄膜透射率和反射率测量 333 .X=M !  
12.2.1 透射率测量 333 p7=^m>Z6  
12.2.2 反射率测量 334 B| 0s4E  
12.3 薄膜吸收和散射测量 338 $>rfAs!  
12.3.1 吸收测量 338 ka9v2tE\  
12.3.2 散射测量 342 ht74h  
12.3.3 薄膜表面轮廓及粗糙度测量 344 l<MCmKuYp  
12.4 光学薄膜常数测量 347 d(B;vL@R2V  
12.4.1 光度法 348 *,XJN_DKj  
12.4.2 全反射衰减法 354 Y*X6lo  
12.4.3 椭圆偏振法 357 b Ho?Rw!.  
12.5 光学薄膜激光损伤阔值检测 358 u1|Y;*  
12.5.1 光学薄膜激光损伤机理 359 ZWe$(?  
12.5.2 影响光学薄膜激光损伤阔值的因素 360 $O</akn;  
12.5.3 激光损伤阂值测量方法 362 BaHg c 4zI  
12.5.4 提高光学薄膜损伤阂值的途径 366 =smY/q^3  
12.6 薄膜微结构和化学成分检测 368 uY%3X/^j  
12.6.1 薄膜微结构 368 ]O(HZD%  
12.6.2 薄膜微结构检测 371 }d*sWSPu(  
12.6.3 雕塑薄膜 372 rJ~(Xu>,s  
12.6.4 薄膜化学成分检测 373 Kmf-l*7}  
12.7 薄膜非光学特性测量 375 _<~Vxz9  
xfV2/A#h  
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最新评论

cyqdesign 2020-06-28 22:28
shancjb:有没有电子版呀可以下载? (2020-06-28 22:24)  LJ#P- `!{&  
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苍氓一 2021-04-20 13:18
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华丽的转身 2021-09-15 09:19
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春风依旧 2021-10-11 11:50
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1250288535 2021-10-11 14:54
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轩zjw哥 2022-09-29 22:07
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