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1.Horos—光学粗糙度传感器。 x 8M#t(hw 2.测量样本。 yTj p- 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 qa;EI ;8 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 5:_~mlfi
~FNPD'`t 系统简介 Jmy)J!ib*
ZpTi:3> 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 "?+ UI _X?y , # 特征及技术参数 rJp?d9B
:%>oe> _" - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 5D-BIPn=JV - 灵敏度R_q<0.5 nm >+f'!*%7He - 测量时间： < 1 s。 =_pmy>_z - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 gm}C\q9 &BTfDsxAK !y k7HaP 传感器： jiOf')d5
\hu':@} Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 M +\rX1T TA<hj [-8 应用： @u<0_r
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： LP8o7%sv! - 平面或复杂（自由形状）表面。 JH-nvv - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 6J]~A0vsi} - 机械零件。 0rGj|@+; - 汽车工业。 ,&4zKm )m)h/_
QM7[ O]@ QQ:1824712522 0.3^
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