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1.Horos—光学粗糙度传感器。 S<_pGz$V 2.测量样本。 u}1vn} F{ 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 7S2F^,w 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 'U"3'jh lkZC?--H 系统简介 _cw^5 "J5Pwvs- 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 `fkrik tlERis 特征及技术参数 h<K;VpL6 JYr7;n'! - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 'c[LTpn4= - 灵敏度R_q<0.5 nm "|'`'W - 测量时间: < 1 s。 VQ?H:1R - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 />[6uvy#Q %9/) 02^(z6K'&? 传感器: s~$4bN>LD j$|C/E5? Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 0o|,& K -b)zira 应用: rgzI <M OL{jan 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: MJ9SsC1 - 平面或复杂(自由形状)表面。 IA`8ie+ - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 >.hGoT!_k - 机械零件。 ,Q#tA|:8j - 汽车工业。 p\_qHq\;j 56Y5kxmi aaugu.9 QQ:1824712522 PBs<8xBx^
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