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1.Horos—光学粗糙度传感器。 .LbAR
u 2.测量样本。 $6 4 {Ff 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 F'JT7# eX 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 cyh ;1Q 8>x d 系统简介 CdtCxy5
5'<a,,RKu 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 vN~joQ=d R0bg t2J 特征及技术参数 ZkNet>9
Zcg-i:@ - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 k?1e + \ - 灵敏度R_q<0.5 nm v] m`rV8S[ - 测量时间： < 1 s。 Jid_&\ - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 +"|TPKas 2Zg%4/u,Zp Ylgr]?Db* 传感器： 7|o}m}yVx
qc a=a } Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 czB),vooz xqauSW 应用： :8N{;aui
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： n B/`~_9 - 平面或复杂（自由形状）表面。 M'T[L%AP - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 D r"PS
>. - 机械零件。 V >~\~H2Y - 汽车工业。 k ,ezB+ 2(P<TP._E
ME.!l6lm\ QQ:1824712522 g!z &lQnZ
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