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1.Horos—光学粗糙度传感器。 `,*5wBC 2.测量样本。 }?v )N).kW 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 ;@E$}*3[>V 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 0NX,QD ~2khgZ 系统简介 J`1rJ
g5r(>, vY 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 x.R4% Z ~gRf:VXX=_ 特征及技术参数 \mlqO[ S
R]*K:~DM - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 OY@ %p}l - 灵敏度R_q<0.5 nm `%WU8Yv - 测量时间： < 1 s。 R<N
]B - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 6<(.4a? :tv,]05t Vj>8a)"B5a 传感器： %sQ^.` 2
A1zjPG &] Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 [QT#Yf0 0'?L#K 应用： "OnGE$
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： TT3| /zwn - 平面或复杂（自由形状）表面。 %FI E\9 - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 f Iv* T[ - 机械零件。 0}q uG^%_ - 汽车工业。 Z!X0U7& U ;q6Ki.D
,{?%m6.l E QQ:1824712522 Bh]P{H%
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