|
|
qg v g
MWj
1.Horos—光学粗糙度传感器。 Vz!W(+ 2.测量样本。 @Nn9- #iW 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 :[ m; #b 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 '^'vafs-/@ M2(+}gv;7p 系统简介 ^rMkCA@;TZ
`@b+'L 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 qYBoo]}a +N: K V}K 特征及技术参数 BK]bSj
1hw1AJ}(F - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 A,{X<mLFb - 灵敏度R_q<0.5 nm 2--" @@ - 测量时间： < 1 s。 a ?/GEfd - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 %| }obiV) R"EX$Zj^E ^6bU4bA 传感器： Q"n*`#Yt'
Jp= eh Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 OW- [#r
X}Bo[YoY$ 应用： :3M2zV
cf
Fd*)1FQKT
可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： x+x 6F - 平面或复杂（自由形状）表面。 {O9 CYP: - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 v*SSc5gFG - 机械零件。 yT%"<m6Y*\ - 汽车工业。 tT'*Uu5 U:ggZ`.
%Sr/'7 K QQ:1824712522 @,F 8gv*
|
