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1.Horos—光学粗糙度传感器。 EMwS1~3dD 2.测量样本。 }vxw*8d? 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 :W!7mna 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 I`-8Air5f x+ Ttl4 系统简介 Q sZx)
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` Q|*1 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 6&
e3Nt <"{qk2LS1 特征及技术参数 j9eTCJqB
0b+Wc43}K - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 & ?h#Z! - 灵敏度R_q<0.5 nm }\tdcTMgS - 测量时间： < 1 s。 QdT}wkX - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 =mS\i6 63 `Nz/O h7 0
HGM4[)= 传感器： hn5h\M?
R Q vft Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 Sj]T
> 80;8\ 应用： ii[F]sR\
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： xSktg]u Se - 平面或复杂（自由形状）表面。 qaiNz S@q - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 Rp .Sj{<2 - 机械零件。 mg^I=kpk - 汽车工业。 UtPLI al \Jx04[=
aC$B2 QQ:1824712522 m? eiIrMW
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