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1.Horos—光学粗糙度传感器。 3<:m;F*# 2.测量样本。 l`V^d 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 (G#QRSXc\ 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 1|Q-|jq` \c .^^8r 系统简介 Q=} U
`;\<Fr 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 \0'0)@uziQ ky^u.+cZ 特征及技术参数 -h|YS/$f
/z(;1$Ld6{ - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 ^j)0&}fB - 灵敏度R_q<0.5 nm FKVf_Ncf% - 测量时间： < 1 s。 4^>FN"Ve`B - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 T=- $ok`G 2(%C :TTZ@ q 传感器： !92 zC._
Ic,V ,#my Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 $ Lf-Gi &nXa /XIZ_ 应用： u,f$cR
5Y}=,v*h}
可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： u&7c2|Q - 平面或复杂（自由形状）表面。 KgCQ4w9 - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 {B d 0 - 机械零件。 PRpW*#"EI - 汽车工业。 hOTqbd} {rE]y C^
E5EAk6 QQ:1824712522 017(I:V?(:
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