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1.Horos—光学粗糙度传感器。 Y<jX[ET! 2.测量样本。 lU%oU&P/"S 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 y@,PTF 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 E=CA Wj\ aOw #]pB| 系统简介 ;5.<M<PH
/CH]'u^j 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 8AuE:=?,, $P#x>#+[A 特征及技术参数 $f _C~O
4 Y}Nu - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 .vctuy& - 灵敏度R_q<0.5 nm 4x&Dz0[[S - 测量时间： < 1 s。 nW*cqM%+ - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 " dG N0i '&hd^9]Lo oc]:Ty 传感器： ll 1N`ke
2@lGY_O!m Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 M> |ZBEK 0% <
hj 应用： O F={k[
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： k \qFWFR - 平面或复杂（自由形状）表面。 #rF`Hk: - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 3! \h'5{ - 机械零件。 c-5AI{%bl6 - 汽车工业。 z?Ok'LX [|YvVA
0;@>jo6,! QQ:1824712522 l*OR{!3H$
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