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)Q 2IYCj{ 1.Horos—光学粗糙度传感器。 &8$v~ 2.测量样本。 \<{a=@_k9 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 QjTSbHtH 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 ibkB>n{( ifDWN*k6 系统简介 "6B@V=d V}y]< 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 Qs1p ocGrB)7eD 特征及技术参数 D$l!lRu8+L }3
xkA - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 M7=,J;@ - 灵敏度R_q<0.5 nm WvfP9(- - 测量时间: < 1 s。 8~Cmn% - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 $Q*R/MY [)"\Aq =gVMt 传感器: j
iKHx_9P Xm#W}Y' Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 ZJDV'mC} nxZz{& 应用: Kd:l8%+ 3x~7N 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: e,%|sAs[ - 平面或复杂(自由形状)表面。 r8 9o - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 qPDNDkjDD - 机械零件。 =u2 z3$ - 汽车工业。 9pLe8D r#zcl)rbU UT;%I_i!' QQ:1824712522 ;\K]~
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