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1.Horos—光学粗糙度传感器。 F +SqJSa 2.测量样本。 SYd6D@^2j 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 }ip3d m 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 YW2h#PV6_ rQD^O4j R 系统简介 sx n{uRF
~Jh1$O,9o 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 aJ"m`5]=% kK|D&Xy` 特征及技术参数 6Qk[TL)t
g.*DlD%% - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 ^~;"$=Wf - 灵敏度R_q<0.5 nm i ctV7) - 测量时间： < 1 s。 eBWgAf. k - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 ]Zz.n5c }0Ie Kpu5 x']Fe7nv
传感器： E 1`TQA
b +CJRB1 Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 #,9s\T t$e' [;w 应用： c`@";+|r
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： tE#;$Ss - 平面或复杂（自由形状）表面。 T I|h - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 DF>3)o TF - 机械零件。 w>o /)TTJL - 汽车工业。 *M ^ <oG 7^7Jh&b)/
PX*}.L *x QQ:1824712522 ~1&WR `U
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