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1.Horos—光学粗糙度传感器。 %y96]e1 2.测量样本。 Z hqGUb 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 `O+}$wP 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 _3K ow{y\ o >wty3l: 系统简介 VQ}N& H)`
4d x4hBd 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 ]|m?pt +56N}MAs 特征及技术参数 91f{qq=#J{
ke2zxX2 f - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 .(J~:U - 灵敏度R_q<0.5 nm e1<9:h+ - 测量时间： < 1 s。 !
3 ;;6 - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 YCPU84f 1tZ7%0R\g] 'c7'iDM 传感器： nYsB^Nr6
*A&A V||q Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 p>ba6BDJT 3VZ}5 应用： Oj=g;iY
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： tDC?St1 - 平面或复杂（自由形状）表面。 $~3?nib"j - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 &0*7]Wo* - 机械零件。 V7 OhOLK8 - 汽车工业。 7v']wA r] (X?HuWTm
UuKW`(?^ QQ:1824712522 W{$J)iQ
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