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1.Horos—光学粗糙度传感器。 E(tBN]W. 2.测量样本。 /;rN/ot2o 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 )DmiN ^: 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 Hl;p>>n HD{`w1vcN 系统简介 'j_H{kQy
a<wZv-\Vau 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 H/k W
:k (U_Q7hj a? 特征及技术参数 qDM[7q3.
LJ wM M - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 rk/
c - 灵敏度R_q<0.5 nm _vdxxhJ=P3 - 测量时间： < 1 s。 )$B+ 3f - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 tb0E?&M N1~V +_mM ?@?a} 传感器：
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DME?kh>7 Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 o0G`Xn <j\;>3Q 应用： 4nH91Z9=
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： g/,Bx!'8p - 平面或复杂（自由形状）表面。 [
5W#1 & - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 aNC,ccm - 机械零件。 7J;~ &x - 汽车工业。 5 e k %d =Rx?6%
Bh,)5E^m QQ:1824712522 (?BgT i\
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