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1.Horos—光学粗糙度传感器。 ~&~4{ 2.测量样本。 O/eZ1YAC 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 ]t<=a6 <P 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 8L[+$g` -'c
qepC{T 系统简介 Yo %U{/e
rl.K{Uad 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 3nA^s"#p L v+{@) 特征及技术参数 k _t|)
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C).\ J ! - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 [Fh YQI - 灵敏度R_q<0.5 nm .]>Tj^ 1 - 测量时间： < 1 s。 kw59`z Es - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 - UEi {^oohW - Pz50etJ 传感器： |0Z J[[2
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(m3"Xu6O Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 - O &>HA >|S@twy 应用： EUSM4djL
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： F,vkk{Z> - 平面或复杂（自由形状）表面。 X !h>13fW - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 [ w}- )&c - 机械零件。 K2*rqg - 汽车工业。 KY&Lv^1_| Kjbk
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[xGwqa03 QQ:1824712522 pwMA,X/{
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