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1.Horos—光学粗糙度传感器。 vnk"0d. 2.测量样本。 KK(x)( 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 s.1(- "DU 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 zVxiCyU x?:WR*5w 系统简介 qw%4j9}
"M7ry9dDH 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 >G'
NI?$ <^R\N# 特征及技术参数 hrZ~7 0r
\VHi - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 (S5'iks x - 灵敏度R_q<0.5 nm q*DR~Ov - 测量时间： < 1 s。 R{!s%K& - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 G8QJM0VpS gD=s~DgN) @ )< uQ S 传感器： z9h` s Y~
}-zx4<4BH Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 w#Nn(!VR A6lf-8nc x 应用： v &H&+:<
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： WH bvb3' - 平面或复杂（自由形状）表面。 SnQ $ - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 8k_,Hni - 机械零件。 En5Bsz ! - 汽车工业。 bRNE:))r_ H1 \ ~T
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