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1.Horos—光学粗糙度传感器。 N~ -N Q 2.测量样本。 /hue]ZaQq 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 %$
^yot 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 ms=I lz ?Rl?Pp=> 系统简介 /tno`su;
n_@YKz;8 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 f 8E
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GU 1rV?^5 特征及技术参数 (U/ xpj}
lqOv_ q - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 P X](hc= - 灵敏度R_q<0.5 nm " [=Ee[/ - 测量时间： < 1 s。 cI3uH1;# - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 nTSGcMI B @ ]( , S:] w@$ 传感器： E' LkoyI
#jV6w=I Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 T7YzO,b/
r+HJ_R,5A 应用： J#CF S G
Mg95us
可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： kTG}>I - 平面或复杂（自由形状）表面。 |pr~Oh z - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 |B4dFI? - 机械零件。 ;w?zmj<Dm - 汽车工业。 hHoc7 WKp Hb:H
aO'$}rDf$ QQ:1824712522 WJ\YKXG
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