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1.Horos—光学粗糙度传感器。 1O].v&{ 2.测量样本。 xtPLR/Z 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 +_XmlX A3Z 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 M/x >51< h )~=Dm 系统简介 j!7`]
<YA&Dr3OD 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 ,+`61J3W .@
xF6UZ 特征及技术参数 x21dku<6K[
Kv sh - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 s9dO,FMs0t - 灵敏度R_q<0.5 nm :o:e,WKxb - 测量时间： < 1 s。 dz~co Z9 - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 iA T)VQ& 2G$Spfe Iu #%J5\+ua 传感器：
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Oj<S.fi Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 2[0JO.K
4 iU6Gp-<M , 应用： |ZodlYF
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： -{^}"N - 平面或复杂（自由形状）表面。 TO%dw^{_` - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 Kwc6mlw~M - 机械零件。 s2j[ 'g5 - 汽车工业。 .]aF
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FU=w(< R; QQ:1824712522 lL]y~u
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