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1.Horos—光学粗糙度传感器。 %EVV-n@ 2.测量样本。 hVipr hC 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 o[6vxTH 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 Q k;Kn cbh#E)[ ' 系统简介 8yE%X!E
AFINm%\/0 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 KcmDF4C2 4C,kA+P 特征及技术参数 Z[})40[M
'"xL}8HX} - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 <;z[+6T - 灵敏度R_q<0.5 nm Esz1uty - 测量时间： < 1 s。 >
h,y\uV1 - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 49xp2{ rb *C-NutE CQBT:: 传感器： ! [a/kj
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i&" Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 5?3Isw`v2 L ,b|Iq 应用： ;w+:8<mM}a
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： !cN?SGafZI - 平面或复杂（自由形状）表面。 QIij>!c4 - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 u\()E|?p - 机械零件。 &Rt+LN0qB0 - 汽车工业。 QmH/yy3.% i!SW?\
;OQ'B=uK QQ:1824712522 I;kf
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