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1.Horos—光学粗糙度传感器。 rhvsd2 zi 2.测量样本。 (tP^F)}e5 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 -^7n+
QX 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 Q /\ Hc ZCV N+::Y 系统简介 ]7{-HuQ8>}
v|mZcAz 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 bwh.ekf8 tMy@'nj 特征及技术参数 b%,`;hy{
V]9 ?9-r - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 jVu3 !{} - 灵敏度R_q<0.5 nm U9B|u`72 - 测量时间： < 1 s。 lq!l{[ Xp - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 !xK`:[B =
8%+$vX x_5H_! \# 传感器： vd <"
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#VEHyz 6P Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 1cd M^k <kmn3w,vi 应用： SSF4P&
Oj0/[(D-
可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： [e'Ts#($A - 平面或复杂（自由形状）表面。 up7]Yy;o= - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 b=+'i - 机械零件。 kSw.Q2 ao - 汽车工业。 [ nlW}1)46 FiqcM-Af4
6]^}GyM! QQ:1824712522 Pw '3ya8
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