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1.Horos—光学粗糙度传感器。 Hqh6:RuL 2.测量样本。 qNyzU @ 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 T !W~n
ZC 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 kqG0%WtQ vILy>QS) 系统简介 .k4W_9
|lH;Fq {\ 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 yk2 !8 >\ST-7[^L 特征及技术参数 midsnG+jnf
p1c3Q$>i - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 1xf=_F0`& - 灵敏度R_q<0.5 nm ENh!N4vbO - 测量时间： < 1 s。 |_ u8 mV - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 l:]Nn%U(> ^% Q|s#w. ~tB;@ e 传感器： AGA` fRVx
<ktz T&A Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 ]<DNo&fw ZV}X'qGaq 应用： _B2V " p
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： ac d:r%y - 平面或复杂（自由形状）表面。 TaJB4zB - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 9@ $,o M= - 机械零件。 $V6^G*Q - 汽车工业。 b=a!j=-D CBf7]n0H
K7I&sS^x QQ:1824712522 &$`hQgi
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