|
|
2 Y+:,ud\
1.Horos—光学粗糙度传感器。 OZ Ob1D 2.测量样本。 %l|\of7P2} 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 T*+A.G@L" 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 D^?_"wjW (0C &z/ 系统简介 fp;a5||5
!y*oF{RZ 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 sE9Ckc5 BS2?!;,8 特征及技术参数 -J?~U2
CDCC1B G" - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 8Q(8b@ZO, - 灵敏度R_q<0.5 nm 6+PGwCS - 测量时间： < 1 s。 Gru ALx7 - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 %\I.DEYH WQKj]:qk0 z_l. V /G) 传感器： 'n4u-pM(nB
q-IWRb0j%a Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 VMHC/jlX@r T|bZ9_?+2 应用： 6N3@!xtpi
MZ ~.(&
可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： o^GC=Aca` - 平面或复杂（自由形状）表面。 .'l N4x - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 Dl A Z"C - 机械零件。 'C~9]Y]. - 汽车工业。 mHs:t{q GAp!nix6h
#U@| J}a QQ:1824712522 ym%o}( v-
|
