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1.Horos—光学粗糙度传感器。 b]#d04] 2.测量样本。 ,-Nk-g 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 l7!)#^`2_ 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 N=wy)+ I}IW!K 系统简介 6S[D"Q94
Dg+d=I? 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 [1^wy# Vb 9N~v 特征及技术参数 D s_
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G9inNz*Cx - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 j i
-1yX - 灵敏度R_q<0.5 nm # :w2Hf6Q - 测量时间： < 1 s。 5qSZ>DZ - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 l| em E
^ SqF.DB~ a&"*UJk<? 传感器： f {Z%:H
E_1 I|$ Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 ](:FW '- Q5n : f+ 应用： >o#wP
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： ,GU/l)os` - 平面或复杂（自由形状）表面。 oK:P@V6! - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。
r;X0 B - 机械零件。 _C,@eu"9V - 汽车工业。 ;OU>AnWr(& 8V hck-wF
AWXpA1( QQ:1824712522 xevP2pYG:
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