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1.Horos—光学粗糙度传感器。 Mn>dI@/gM 2.测量样本。 Qu!\Cx@ 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 |rdG+ > 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 z(.$>O&6H G&D N'bp 系统简介 <B`}18x
-/x +M-X# 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 }S*6+4 ^ eM=h 特征及技术参数 qq w6p j
IS&`O= 7 - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 vlyq2>TfR - 灵敏度R_q<0.5 nm YtW#MG$f - 测量时间： < 1 s。 P|h <|Gcp - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 :m#vvH L!S-f4^5 Pdf_ {8 r 传感器： n/$Bd F H
b cM#KA Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 ~e{2 Y% Y D.3FTNGC 应用： qu[w _1%S
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： wB9IP{Pf - 平面或复杂（自由形状）表面。 FT|*~_@ - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 |]GEJUWtCd - 机械零件。 ++&F5'?g - 汽车工业。 'Dat.@j > 7;JZuVo
n:wn(BC3 QQ:1824712522 "3\RJ?eW:S
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