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1.Horos—光学粗糙度传感器。 N#6A> 2.测量样本。 Vp0 G mZ 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 ,LW%'tQ~" 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 dXcMysRc%& 8T1DcA* 系统简介 F|M L$
PXQ9P<m 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 NB yN}e %A[p!U 特征及技术参数 2g07wJ6x
dvdBRrf - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 b-=[(]_$h - 灵敏度R_q<0.5 nm `8 b 6
/ - 测量时间： < 1 s。 QCY{D@7T - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 .$x[!fuuR& 7!840 :a?+ (P! reYyM 传感器： qYrG e
_ JJ0pc9t Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 .j4ziRa- _"t.1 +-K 应用： BU? M RcHC
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可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： ?b' ' - 平面或复杂（自由形状）表面。 e~~k}2~ - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 Z*Hxrw\!0 - 机械零件。 s^X/
Om - 汽车工业。 q^+NhAMz u~T$F/]k>
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