|
|
Md9b_&'
1.Horos—光学粗糙度传感器。 nw k66o:| 2.测量样本。 ps#+i 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 P< +5So0 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 *^XfEO 8#OcrJzC 系统简介 F)we^'X
6B)3SC 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 h)EHaaf ~R V>V*l 特征及技术参数
=v4;t'_^
EK^B=)q6:W - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 lF]cUp#< - 灵敏度R_q<0.5 nm <Mh jvHg - 测量时间： < 1 s。 JJHr<| K - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 U!E
oyG O!j M
<o y 传感器： #On EQ:
y$VYWcFE Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 I$K? ,
3:Aw.-,i\ 应用： OW (45
wD}ojA&DU
可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： <$#b3F"I - 平面或复杂（自由形状）表面。 ;2||g8' - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 z~TG ~_s - 机械零件。 {*VCR - 汽车工业。 :` >|N| i (9_~R^='y
{shf\pm!o QQ:1824712522 > uS?Nz5/
|
