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1.Horos—光学粗糙度传感器。 p{H0dj ^| 2.测量样本。 G1_Nd2w 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 k EAhTh&g* 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 q+/l"&j. 6F5,3& 系统简介 KS! iL=i
l P0k: 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 z> :U{!5k KM5 JZZP 特征及技术参数 b>=7B6 Aw
y&rY0bm - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 M.k|bh8 - 灵敏度R_q<0.5 nm T +\ B'" - 测量时间： < 1 s。 7\/u& - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 ;eR{tH / 4 FW^.m?}| |Y{PO&-?r 传感器： qBiyGlu4
D=9}|b/ Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 ;Uk!jQh W?PWJkIw 应用： |uQ[W17^N
]PVt o\B=
可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： TolrEcI - 平面或复杂（自由形状）表面。 Ut;' Gk - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 ohTd' +Lm - 机械零件。 '?k' 6R$'\ - 汽车工业。 p,s&61] T{;=#rG <
|$Xf;N37t QQ:1824712522 P' FK k<
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