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1.Horos—光学粗糙度传感器。 $~\qoW< 2.测量样本。 L zy|<:K+$ 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 6g&nn A 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 （样本：1.-Mo/Si-镜子，2-Ti-膜，3-钻石旋转法下Al-表面）。 Q&;qFv5-l @~ HD<K 系统简介 S-dV
c *no H[ 随着光学技术不断地发展，对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量，快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 Fj e%hcV r4zS, J;, 特征及技术参数 Kj 5f:{Ur
?uv%E*TU - 可测量参数：粗糙度相关一系列值 （例如PSD，倾斜度等等），3D下散射光分布，检测是否各项同性等。 \`x'g)z(i - 灵敏度R_q<0.5 nm `Nr7N#g+u - 测量时间： < 1 s。 6<6_W# - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 +r"$?bw ' 6dlPS{H# U D.f=!rT7E7 传感器： B&D
z(Bs
#nz$RJsX Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的，便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础，用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 J ASn\z !ZdUW] 应用： aKZD4;
g#*N@83C
可在下列领域中进行快速，不受周围环境干扰的质量检测： !9NAm?Fw - 平面或复杂（自由形状）表面。 ij^!TY[0 - 光学加工（表面加工，镀膜，制作模具等）。 } U .B$4Q - 机械零件。 >i<-rO>kN - 汽车工业。 l{g( z ! #U6qM(J
[5-5tipvWp QQ:1824712522 '@P[fS Q
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