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摘要 LU7)F,ok TaO;r=2 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 +Q]'kJ<s D2cIVx3:(
&b")`p&K 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) F1*rUsRKN m`q>_* 建模任务 LA %al @ CuO*>g^K[
9<c4y4#y v4~Xv5|w^F 单次FMM仿真结果 3Wxtxk._E `e|Lw
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h`rjD d v+bjC 参数扫描(2D) .p~;U|h" H[k3)r2 cP=mJ1 ioCkPj 文件信息 )stWr r& 8'Bl=C|0X
0BE^qe <OfzE5 拓展阅读 ,O{ 5
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