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摘要 =i/Df? !_QI<=X 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 ^y+k6bE g4K+AK
i:lc]B 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) $)lkiA&; mm/\\my 建模任务 ]so/AdT9hA %~rEJB@{
i7x&[b n,N->t$i 单次FMM仿真结果 v{u3[c
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