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摘要 R:IS4AaS hA,rSq 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 Zz)oMw lRATrp#T
Mevyj;1t 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) U9p.Dh~)vG agxSb^ 8tF 建模任务 NK#"qK""k @8M2'R\
b{|/J <Fe }zS&H-8K 单次FMM仿真结果 dG~B3xg;5i |3T|F3uEX
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"1`i]Y\' PN^1 参数扫描(2D) v/00LR !e\R;bYM twHM~cTS bb:|1D 文件信息 BM$tywC $*)(8C l
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