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摘要 p%,:U8fOR *MW)APw= 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 >x@]wsj 84)$ CA+NX
:s+AIo6 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 2NAGXWE G/_#zIN`8M 建模任务 g 'c4&Do _CAWD;P
OGg9e z %{>d#rw 单次FMM仿真结果 KCJ zE> 5tHv'@
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lG>rf*ei~ QR2J;Oj_ 参数扫描(2D) -liVYI2s vmJ1-<G4* n|lXBCY7K w7p%6m 文件信息 X<\^*{ iq,qf)BY.|
~[Mk QJxe #9EpQc[4 拓展阅读 'cy35M _o~<f)E[9 -Grating Order Analyzer NZ9=hI;iM -Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction !vfjo[v
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