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摘要 L[voouaqm
.4J7 ^l 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 rL,kDSLs
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 MX"M2>" pT 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） G){A&F
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-Optimization of Lightguide Coupling Grating for Single Incidence Direction 8CUl |I ~ ] u\-_PP QQ：1824712522
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