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摘要 :V1ttRW}52 _@I8B 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 C/Vs+aW
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/DOV/>@5% 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) *Ag</g@ h .?7u'%6x?{ 建模任务 ,|hM`<"? qfp,5@p
#/fh_S'Z L:$kd `v[ 单次FMM仿真结果 ~B!O
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6w (XtN3FTY 参数扫描(1D) -2NXQ+m ; SMHQo/c r
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