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摘要 Pk`3sfz PeJIa
%iE 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 WIw*//nw
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L fZF f7&9IW`7F^ 正弦光栅—透射相位曲线 #j)"#1IE2W D"&Sd@a{
)Cd.1X8 +.QJZo_ 正弦光栅—透射相位曲线 FzG>iC} XmN8S_M>v
s133N? `pqTiV 正弦光栅—衍射效率 :a9 .Gb!mG
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Zr[B*1,ZV |mcc?*%t8 闪耀光栅—效率与高度(TEA) ]88qjKL >~_)2_j
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HEw&' "<LWz&e^^ 闪耀光栅—衍射效率
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*D.Ajd.G &0xM 2J 闪耀光栅—效率与周期 M~~)tJYsu 8{_lB#<[E
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'.k'*=cq0 (>NZYPw^3 VirtualLab Fusion工作流程 ;a| ~YM2I bc3`x1)\^ +wxsAGy_j • 设置光栅结构 5lM2nhlf'b −使用界面配置光栅结构[用户案例] Sa
kew • 分析光栅衍射效率 jcb&h@T8kv −光栅阶次分析器[用户案例] -&=dl_m • 通过参数运行检查不同参数的影响 N1B$z3E* − 利用参数运行文档[用户案例] U_l9CZ dqs~K7O^E
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