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摘要 79_MP aT #|mk=\ 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 ` 0F
IJT '-=?lyKv rv:O|wZ $)!Z"2T 建模任务 "?SnA +) T*m_rDDt vCM'nkXY h>?OWI 正弦光栅—效率与高度(TEA) , fn=%tiUk }{J8U2])k oLoa71Q} g,nE iL 正弦光栅—透射相位曲线 ~4 ab\hq lRb)Tz6SE `Ec+i -5K/ cK 正弦光栅—透射相位曲线 ~WSC6Bh@9 cf9y0 "2J;~ Wj&s5;2a 正弦光栅—衍射效率 .PgkHb=l@ ;<\*(rUe UpILr\3U &BkNkb 0 正弦光栅—效率与周期 dq2v[?*R 7+"X^$ q2y:bqLWl {+;8dtZ)x 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 Tb^9J7] F+GQ l !k:j+h/ jolCR-FDu 闪耀光栅—效率与高度(TEA) rYl37.QE Vq\6c ~X/T6(n$ 15COwc*k 闪耀光栅—透射相位曲线 l-&f81W vjpe'zx 0:*$i(2 <qBPN{'a" 闪耀光栅—衍射效率 =LR UasF yAOC<d9 E V4 7Fp e042`&9=Ic 闪耀光栅—效率与周期 Nn$$yUkMX g!$
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o*= 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 .#X0P= f5N~K> 2.6,c$2tB U+KbvkX wj VirtualLab Fusion一瞥 B~^\jRd" gU`QW_{ &+\wYa, *G9;d0 VirtualLab Fusion工作流程 ^/c|s!U^ , Le_PJY) z, OMR`W • 设置光栅结构 Y, P-@( −使用界面配置光栅结构[用户案例] &c]x;#-y • 分析光栅衍射效率 <,m}TTq −光栅阶次分析器[用户案例] ,GK>|gNsb • 通过参数运行检查不同参数的影响 G
5)?! − 利用参数运行文档[用户案例] vjHbg#0 % kz#DBh!& r
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