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摘要 YpAg
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薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 ?<&O0'Q
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 Oz| K8p &t5 {J53 VirtualLab Fusion工作流程 yNm:[bOER Ngb(F84H? 2tROT][J%
• 设置光栅结构 Rwr 2gMt7
−使用界面配置光栅结构[用户案例] f84:hXo6
• 分析光栅衍射效率 )}TLC 2%
−光栅阶次分析器[用户案例] h._ nK\
• 通过参数运行检查不同参数的影响 Q'k\8'x
− 利用参数运行文档[用户案例] pV6d
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- 用于光导耦合的倾斜光栅分析 b$k&dT\o - 光栅级次分析器 .1 %T
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