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摘要 _r!''@B nLK%5C 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 Qx,?v|Xg 2`4'Y.Qf
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C6Qnn@waYb B ;Zsp 正弦光栅—效率与高度(TEA) kIS&! V Xh==F:
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fmT Hb&-pR@e\? 正弦光栅—透射相位曲线 I!bzvPJ]xc cVv>"oF;~*
E<]l]? .<JD'%?" 正弦光栅—透射相位曲线 R03V+t= {E!"^^0`
e-<fkU9^W YpQ/ )fSEV 正弦光栅—衍射效率 _2{i}L zRyZrt,%&
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6hKavzSi 正弦光栅—效率与周期 iN%\wkx*N V^Wo%e7#u[
;w1?EdaO uiq)?XUKv 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 k,0RpE xM85^B'
7NG^X"N{Ul w?kdM1T 闪耀光栅—效率与高度(TEA) :w_J/k5Zd mNw|S*C
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v oD_'8G} 闪耀光栅—透射相位曲线 "El$Sat` <~# ZtD$G
Y604peUF C`OdMM>D 闪耀光栅—衍射效率 JBQ,rX_Hw i}Ea>bi{N
]dk44,EL 2GECcx53 闪耀光栅—效率与周期 _QCspPT' c Q%4>okj,
vW6Pf^yJ *1iJa 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 7]a6dMh ==I:>+_^|
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R7cY$K{j Uj}iMw, VirtualLab Fusion工作流程 e#L/ QFIdp R. c_a*{L|c • 设置光栅结构 Md'd=Y_0 −使用界面配置光栅结构[用户案例] 5{qFKo"g@, • 分析光栅衍射效率 dix\hqZ −光栅阶次分析器[用户案例] c:"*MM RC • 通过参数运行检查不同参数的影响 @u3K.}i:g − 利用参数运行文档[用户案例] ]qL#/ ?1}1uJMj-
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