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摘要 <UO'&?G x-s]3'!L 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 e@crM'R7Lo ]1n
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0N*~"j;r#M #s^~'2^%4 建模任务 VSa#X |z ,Tc598D
@phb5 V@Fj!/ 正弦光栅—效率与高度(TEA) bIahjxd: 3)+}2
seEG~/U< ^<O=<tN\ 正弦光栅—透射相位曲线 0 lsX~d'W jO#5ZhG
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\vvV=iw X!%CYmIRb 正弦光栅—衍射效率 `Al( AT(p ki[Yu+';}
{m/h3hjFa E/</ 正弦光栅—效率与周期 _Hn-bp[?> t
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 ir%?J&C+t :NJ(QkTZv
e-dpk^- ~a^"VQ5]ac 闪耀光栅—效率与高度(TEA) Q^qdm5}UkW GDgq
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:eIu<_,} Ne)H*DT 闪耀光栅—透射相位曲线 n:-:LSa+3 k/&~8l.$
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06FBI?;|= 2nL[P#r 闪耀光栅—效率与周期 Gy+/P6 "w#jC~J<W
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7Cr K'6dlwn). VirtualLab Fusion一瞥 z@Klj qN 21b
:T62_cFG @+OX1-dd/w VirtualLab Fusion工作流程 q97Z .o cO]_5@#f'8 5%+M:B
• 设置光栅结构 {tq.c9+!d −使用界面配置光栅结构[用户案例] o5NV4= • 分析光栅衍射效率 1{TmK9U −光栅阶次分析器[用户案例] |\PI"rW • 通过参数运行检查不同参数的影响 R^DZ@[\iV − 利用参数运行文档[用户案例] *]
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