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摘要 ;j1
SSHZ F3(SbM- 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 +TqrvI. `\VtTS
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q<3La(^/ [w<_Wj 正弦光栅—透射相位曲线 S~:uOm2t\ WS[Z[O
X8m-5(uW [4#HuO@h 正弦光栅—透射相位曲线 ~4+Y BN _fk}d[q0
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~OX\R"aZBW a%c <3' 正弦光栅—效率与周期 By6O@ .\V _}[WX[Le{
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3(K.:376 `=pA;R9 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 8 !:2: 0#Gm# =F
H2|'JA#v >x%HqP#_V VirtualLab Fusion一瞥 @BLB.= ~roNe|P
;iYCeL( H HX q_-V VirtualLab Fusion工作流程 *2/qm:gB Qa/1*Mb aJv+BX_, • 设置光栅结构 $yU}56(z~ −使用界面配置光栅结构[用户案例] ;g8v7>p • 分析光栅衍射效率 *\#<2 QAe −光栅阶次分析器[用户案例] Z0H_l/g • 通过参数运行检查不同参数的影响
5q@s6_"{ − 利用参数运行文档[用户案例] G)YmaHeI;[ ncadVheKt
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{8X@ 2V;{@k e~*tQ4 进一步阅读 Ys_LGfK - 用于光导耦合的倾斜光栅分析 G"3KYBN> - 光栅级次分析器 vK/`or3U D]fgBW- 购买与软件试用请联系QQ:1824712522
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