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摘要 xEe3,tb'e lMXLd91 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶光学计算光栅的衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。 I;?np JB!KOzw
M 0RVEhX rJcZ a# 建模任务 &-`a` th|TwD&mO
p!cNn7{; jX91=78d 正弦光栅—效率与高度(TEA) =xHzhh 4:XVu
C;rK16cn |f"1I4Kg 正弦光栅—透射相位曲线 T:EUI] %@[ ~s,6<
_VAX~Y] 1VO>Bh.Wm 正弦光栅—透射相位曲线 -gLU>I7wV zB)wYKwZ
I~U;M+n*y i.>d#S 正弦光栅—衍射效率 >`.$Tyw EoHrXv
IgtTYxI se]QEd7]7 正弦光栅—效率与周期 DP7B X^e ]Saw}agE[%
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正弦光栅—特定周期下的相位曲线 /hbdQm "Bbd[ZI8
wg 6 &+F}$8, 闪耀光栅—效率与高度(TEA) D,;6$Pvg^ ,zH\&D$>u
's6hCs&|NV _^u^@.Q'i< 闪耀光栅—透射相位曲线 Y^J/jA0\B
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_f~m&="T! Cr$8\{2OA7 闪耀光栅—衍射效率 BvV!?DY4 !3Me
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wZ =*ejo "?TKz:9r VirtualLab Fusion一瞥 7[u$!.4{*
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hO}nc$S 04cNi~@m VirtualLab Fusion工作流程 ZRo-=/1 fE/|U|5L[ &C7HG^;W9 • 设置光栅结构 rCdf*; −使用界面配置光栅结构[用户案例] 1$G'Kg/ • 分析光栅衍射效率 G`r*)pdm −光栅阶次分析器[用户案例] uA2-&smw • 通过参数运行检查不同参数的影响 nH^RQ'19 − 利用参数运行文档[用户案例] $*i"rlJC CHRO9
bZsg7[: C -6u#:pVpU VirtualLab Fusion技术 bkfk9P =c(3EI'w
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9 文件信息 vs~lyM/ CuD ^@ PC}m.tE #yVMC;J?W |]9Z#lv+I !%{s[eO\ 进一步阅读 k_<8SG+` - 用于光导耦合的倾斜光栅分析 hu+% X.F4 - 光栅级次分析器 pe1 _E
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