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摘要 C@i4[g){ i0-zGEMB. 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 lnoK.Vk9, _PeBV< 5w+X Q(Dp116 建模任务 ]Kb3'je Cp2$I<T }+8w 仿真干涉条纹 sOBy)vq?\ Z@I.socA J9
iQ W 走进VirtualLab Fusion FF"`F8-w>Z `kdP)lI
` 8UyYN$7V b{o%`B* VirtualLab Fusion中的工作流程 K2glkGK F(i@Gm=J] •设置输入场 GX+o A] −基本光源模型[教程视频] L-lDvc?5c •使用导入的数据自定义表面轮廓 P]4C/UDS-~ •定义元件的位置和方向 {b^JH2,
− LPD II:位置和方向[教程视频]QQ1824712522 v<z%\`y •正确设置通道以进行非序列追迹 OBCRZ −非序列追迹的通道设置[用例] v~N8H+!d •使用参数运行检查影响/变化 M#Vl{ b −参数运行文档的使用[用例] C1@6r%YD E}V8+f54S vq~btc.p{& mG!Rh VirtualLab Fusion技术 [D=3:B&f ?-P]m&nh| 文件信息 G#&R/Tc5N ?>V4pgGCE Ih]'OaE
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