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摘要 E67XPvo1+@ D-pX<0 -y 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 Ukc'?p,* 1i3V!! r
 gLD{1-v Ff<) 4`J 建模任务 "y$ qrN- MqdB\OW& , ]7XMU3 仿真干涉条纹 6.'$EtH y"-{$ N
IBET'!j4" 走进VirtualLab Fusion = /Wu'gG) dF
e4K"  ,eXFN?CB | ]# + v@ VirtualLab Fusion中的工作流程 4%7s259% +9zA^0 •设置输入场 /UHp [yod
−基本光源模型[教程视频] BFh$.+D
•使用导入的数据自定义表面轮廓 U
Du~2%
•定义元件的位置和方向 $)*xC!@6X
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 Lm|al.Z •正确设置通道以进行非序列追迹 6vobta^w −非序列追迹的通道设置[用例] sJ~P:g
•使用参数运行检查影响/变化 &$#99\ /
−参数运行文档的使用[用例] B+46 .bIH
t 7 7'fm  K]<u8eF F7T E|LZ VirtualLab Fusion技术 76u{!\Jo/{ F ;kv H 文件信息 ao$):,2* 7|Dn+ = N09KVz2Q
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