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    [转载]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线飞跃小河
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-04-26
    摘要 G/cE2nD  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 BkZmE,  
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    走进VirtualLab Fusion fJjtrvNy)  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 m{~p(sQL  
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    •设置输入场 >Ei-Spy>Xl  
           −基本光源模型[教程视频] =|@%5&.P  
           •使用导入的数据自定义表面轮廓 W ix/Az  
           •定义元件的位置和方向 kO1.27D  
           − LPD II:位置和方向[教程视频]QQ1824712522
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    •正确设置通道以进行非序列追迹 ISp'4H7R+N  
    −非序列追迹的通道设置[用例] S6J7^'h  
           •使用参数运行检查影响/变化 +`@)87O  
           −参数运行文档的使用[用例] c(]NpH in  
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    VirtualLab Fusion技术 ;k<n}shD  
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