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摘要 G/cE2nD ~c;D@.e\ 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 BkZmE , cwe@W PE2
 Er 4P {9 PeBc 建模任务 /CXrxeo -~wGJM
VA Py}`k 1t*f 仿真干涉条纹 ,{KjVv< xKo l ^+v6?%m 走进VirtualLab Fusion fJj trvNy) bU(H2F v  ch^tq",1> pONBF3H8 VirtualLab Fusion中的工作流程 m{~p(sQL #<^ngoOj •设置输入场 >Ei-Spy>Xl
−基本光源模型[教程视频] =|@%5&.P
•使用导入的数据自定义表面轮廓 W ix/Az
•定义元件的位置和方向 kO1.27D
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 ;PBybR W •正确设置通道以进行非序列追迹 ISp'4H7R+N −非序列追迹的通道设置[用例] S6J7^'h
•使用参数运行检查影响/变化 +`@)87O
−参数运行文档的使用[用例] c(]NpH
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O{B[i y(C  .:<-E % <Z8I#IPl VirtualLab Fusion技术 ;k<n}shD 9`3%o9V9Y 文件信息 t1y
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