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摘要 BJI}gm2y 7^|oO~x6 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 Nz `4q %+ O>)<w
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bxQ_x ! 8q +W`{ 建模任务 _6a+" p I@VhxJh '=!@s1;{[; 仿真干涉条纹 e)dPv: oK3 yT Pi/=G ^06f\7A 走进VirtualLab Fusion 8d9&LP v 8'Dp3x^W>  B .p&,K %c%0pGn8- VirtualLab Fusion中的工作流程 y2k '^zE V5y8VT=I
•设置输入场 iOpMU
−基本光源模型[教程视频] ,-PzUR4_Kj
•使用导入的数据自定义表面轮廓 ;Ee!vqD2
•定义元件的位置和方向 T9r"vw
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 Dm=t`_DL8 •正确设置通道以进行非序列追迹 #L}Y Z −非序列追迹的通道设置[用例] mA|& K8H
•使用参数运行检查影响/变化 %4#,y(dO
−参数运行文档的使用[用例] NvH9?Ek"
+]|aACt]  " , c1z\ 74YMFI VirtualLab Fusion技术 UW7*,B q &V5[Zj|] 文件信息 q[4{Xh z -|gw.y .<zW(PW
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