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摘要 reNf?7G+m - U\'Emu4 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 s2<[@@@q P%H Dz
 xQ7U$QF|] " :vEWp+g 建模任务 .izq}q*P co3\1[q"b ZOM Yo ] 仿真干涉条纹 Mn/@?K?y O$}.b=N9 $XTtD UP@
走进VirtualLab Fusion f*B-aj# m./PRV1$x  ,oh;(|= C l,vBjl h VirtualLab Fusion中的工作流程 '5 ~cd fggs
;Le •设置输入场 gFKJbjT|
−基本光源模型[教程视频] W>i"p~!
•使用导入的数据自定义表面轮廓 -YAtM-VL
•定义元件的位置和方向 5QLK
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 ($kw*H{Ah^ •正确设置通道以进行非序列追迹 ) S(Ly. −非序列追迹的通道设置[用例] ,!b<SQ5M
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