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    [转载]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线飞跃小河
    技术员
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-04-26
    摘要 <P_B|Y4N/  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 #;hYJ Y  
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    建模任务 g_e_L39  
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    仿真干涉条纹 B qcFbY  
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    走进VirtualLab Fusion S3sxK:  
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    -op(26:W<  
    VirtualLab Fusion中的工作流程  lx&;?QQ  
    [ Mp8"  
    •设置输入场 b$N&sZ  
           −基本光源模型[教程视频] )BmO[AiOM  
           •使用导入的数据自定义表面轮廓 i| CAN,'  
           •定义元件的位置和方向 hw 0u?++  
           − LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522     _e$T'*q  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 CDT3&N1'R  
    −非序列追迹的通道设置[用例] H",q-.!  
           •使用参数运行检查影响/变化 "U*6?]f  
           −参数运行文档的使用[用例] F~x>\?iN  
     PLhlbzcf  
    et}%E9  
    E\vW>g*W  
    VirtualLab Fusion技术 Ax'o|RE)x  
    BL H~`N3U  
    文件信息 ehyCAp0oI  
    hi^t zpy  
     @"L*!  
    O_^t u?x  
     
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