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    [转载]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    离线飞跃小河
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-04-26
    摘要 $1v5*E  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 xv:?n^yt.[  
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    建模任务 a:fHTU=\p  
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    仿真干涉条纹 r)t^qhn  
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    走进VirtualLab Fusion r>Ln*R,9D  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 BUb(BzC  
    -  -G1H  
    •设置输入场 p{rS -`I  
           −基本光源模型[教程视频] p[b\x_0%c  
           •使用导入的数据自定义表面轮廓 "7HB3?2>W  
           •定义元件的位置和方向 }$-VI\96  
           − LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522     BGX@n#:  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 US4Um>j  
    −非序列追迹的通道设置[用例] 'm|m +K83  
           •使用参数运行检查影响/变化 OL rD4 e  
           −参数运行文档的使用[用例] +2SX4Kxu  
     >-P0wowL  
    q}5A^QX  
    qj&)w9RLJE  
    VirtualLab Fusion技术  sD8S2  
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    文件信息 X2cR+Ha0  
    g1~I*!p  
    u3vmC:bV  
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