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摘要 dsA::jR0P6 LQ4 F/[1} 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 [`=:uUf3 O] \eMM&
 Axx{G~n! [ *G;D u `; 建模任务 \t]aBT,
pqxBu 5fud:k 仿真干涉条纹 +ZeK,Y+Xy nokMS }7/Ob)O 走进VirtualLab Fusion ?=\_U v*EErQML8b  YX 19Q G% Fs1ms) VirtualLab Fusion中的工作流程 QNCG^ub p|R]/C0f •设置输入场 DqlspT
−基本光源模型[教程视频] {$^Lb4O[V
•使用导入的数据自定义表面轮廓 wq`\p['Q,
•定义元件的位置和方向 wvg>SfV,e
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 s h^&3} •正确设置通道以进行非序列追迹 J|[`8 *8 −非序列追迹的通道设置[用例] xm}`6B^f
•使用参数运行检查影响/变化 aW#_"Y}v'
−参数运行文档的使用[用例] ?c# v'c^=h
K iG/XnS  1 F }mlyS Nyo ,6 AA VirtualLab Fusion技术 &|)
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