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摘要 Q5ao2-\ }=)"uv 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 '?4[w]0J< 2/WXdo
 Rh ^$0Q*2 {QJ`.6Kt 建模任务 N9Vcp~; 0U~JSmj:2K B5S1F4 仿真干涉条纹 U[u6UG !Zx>)V6. )/w2]d/9 走进VirtualLab Fusion `WL*Jb ,kI1"@Tu  To95WG7G =n&83MYX
VirtualLab Fusion中的工作流程 1owoh,V6 &v 88x s •设置输入场 \zU R9h
−基本光源模型[教程视频] FUqiP(A
•使用导入的数据自定义表面轮廓 vF 1$$7 k
•定义元件的位置和方向 uNDkK o<M
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 T9 1Iz+j •正确设置通道以进行非序列追迹 Q=E6ZxH5; −非序列追迹的通道设置[用例] |,crQ'N'
•使用参数运行检查影响/变化 yDrJn*
r^
−参数运行文档的使用[用例] K(Nk|gQ
M~4!gKs  7dRU7p> X; 0@41t' VirtualLab Fusion技术
aY~IS?! ; IG\\RYr 文件信息 {zcjTJ=Zt8 #;)7 ~ 69 xYq8\9Qb
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