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摘要 qu?D`29 nF=h|rN 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 iKu5K0x{>I ,$*$w<
 >scEdeM \5Hfe;ny-~ 建模任务 VQ +Xh #fQ StO TtHqdKL 仿真干涉条纹 5WEF ^ 1 LcQ \ d* 3iDRt&y=. 走进VirtualLab Fusion }nkX-PG9 < d?O#(  ondF RK|C* TCnl VirtualLab Fusion中的工作流程 [-Dx)N ]2?t $"G8 •设置输入场 hS<+=3
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−基本光源模型[教程视频] leiP/D6s
•使用导入的数据自定义表面轮廓 pbJs3uIR
•定义元件的位置和方向 4jvgyi 9
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 %{ax oGd •正确设置通道以进行非序列追迹 iJU]|t −非序列追迹的通道设置[用例] $cnIsyKWY
•使用参数运行检查影响/变化 K"eW.$
−参数运行文档的使用[用例] oTZNW
@Kp2l<P  "Q ^Ck7 Y7 = *- VirtualLab Fusion技术 3#W> |* Hw6m 文件信息 woQYP, g$~ktr+% >A#]60w.
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