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摘要 G/cE2nD ~c;D@.e\ 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 BkZmE, cwe@W PE2
Er 4P {9 PeBc 建模任务 /CXrxeo -~wGJM
VA Py}`k 1t*f 仿真干涉条纹 ,{KjVv< xKol ^+v6?%m 走进VirtualLab Fusion fJjtrvNy) bU(H2Fv ch^tq",1> pONBF3H8 VirtualLab Fusion中的工作流程 m{~p(sQL #<^ngoOj •设置输入场 >Ei-Spy>Xl −基本光源模型[教程视频] =|@%5&.P •使用导入的数据自定义表面轮廓 Wix/Az •定义元件的位置和方向 kO1.27D − LPD II:位置和方向[教程视频]QQ1824712522 ;PBybRW •正确设置通道以进行非序列追迹 ISp'4H7R+N −非序列追迹的通道设置[用例] S6J7^'h •使用参数运行检查影响/变化 +`@)87O −参数运行文档的使用[用例] c(]NpH
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