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摘要 9Dd/ g7 3Nw9o6` U 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 Ssaf RK$ XaD}J:X q
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*< 建模任务 vVKiE 6^ \J0gzi. lbg!B4, 仿真干涉条纹 GVY_u@6 <s-_ieW' $|z8WCJ 走进VirtualLab Fusion H"I|dK : g9I2SdaJ  Czb@:l%sc W ;Iv R VirtualLab Fusion中的工作流程 ~z> 2`^Z" y{K~g<VL •设置输入场 2hf]XV\
−基本光源模型[教程视频] )0PUK9
•使用导入的数据自定义表面轮廓 nb22 b Xt
•定义元件的位置和方向 I2|iqbX40Q
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 H@__%KBw •正确设置通道以进行非序列追迹 Pp3tEZfE −非序列追迹的通道设置[用例] ^ fS~va
•使用参数运行检查影响/变化 WABq6q !
−参数运行文档的使用[用例] ]=q?= %H
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