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摘要 b=V"$(Q }>)e~\Tdzb 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 BQ X 6Q< qG=?+em
 {VB n@^'s )Dg;W6 建模任务 1|]IWX| *$ U+ (#|CL/ & 仿真干涉条纹 ^,P#
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F{hFuHV 走进VirtualLab Fusion "c0I2wq Z%h _g-C  <>g X' te }}R?pU_ VirtualLab Fusion中的工作流程 Iq76JJuCb ' 7lHWqN< •设置输入场 x,CTB
−基本光源模型[教程视频] ].=~C"s,a
•使用导入的数据自定义表面轮廓 NNKI+!vg
•定义元件的位置和方向 :K:oH}4oh
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 bc+~g>o •正确设置通道以进行非序列追迹 W ^a-K −非序列追迹的通道设置[用例] goE \C
•使用参数运行检查影响/变化 s}
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−参数运行文档的使用[用例] G Ju[af
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