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摘要
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f-hI 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 qF bj~ec g tMR/P:S
 ~v2(sR J &M?b 08 建模任务 LZ_VLW9w E e Fz$h2*B -9{N7H 仿真干涉条纹 |Sjy
9;7"S.7AV QlMLWi 走进VirtualLab Fusion fG>3gS6& 8TB|Y  Ij4q &i" -avxH?;?7 VirtualLab Fusion中的工作流程 Ss 5 @ n `H:`JBe=+[ •设置输入场 8o|C43Q_
−基本光源模型[教程视频] RDDA^U7y#
•使用导入的数据自定义表面轮廓 cb )7$S
•定义元件的位置和方向 @uRJl $3
− LPD II：位置和方向[教程视频]QQ1824712522 Xv!Gg6v6 •正确设置通道以进行非序列追迹 QjSWl,{
$D −非序列追迹的通道设置[用例] zKJQel5
•使用参数运行检查影响/变化 7M~ /
q.
−参数运行文档的使用[用例] MFa/%O_*
NCi~. I  2=K|kp5 /"La@M3 7 VirtualLab Fusion技术 -(
p%+` &)Qq%\EP4 文件信息 F5x*#/af F68e I%Y Ve" (}z
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