摘要 RX cfd-us - h`[w: 薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
F DQP|, tT` { xM 
*`WD/fG j}F ;Bfq! 建模任务 EjjW%"C,
5W4Tp% Lda
l2ww3)Z |j w{7\+ 正弦光栅—效率与高度（TEA） i[r>^U8O rWS],q=c 
8oxYgj&~X ~ ]S%b3> 正弦光栅—透射相位曲线 yq]/r=e!k
R GC DC*\
U_oei3QP *3s,~<''% 正弦光栅—透射相位曲线 eZ`x[g%1
)>+J`NFa
N&Y QZ^o d xk~ 正弦光栅—衍射效率 i^_?C5
dkI(&/
^sb+|b - D^.I 正弦光栅—效率与周期 UkzLUok]U
me `|i-
=Dc9|WuHN 227 Z6#CF! 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 /vrjg)fer
;: 4PT~\*
a$2 WL g, &:}}T=@M1 闪耀光栅—效率与高度（TEA） 97-=Vb
^^ +vt8|
daN#6e4Z+; *R8qnvE\() 闪耀光栅—透射相位曲线 w hb,2=gIE
E*]%@6tH
FtmI\, =qy{8MsjA 闪耀光栅—衍射效率 -h1FrDBt
Ua\<oD79]
c,FhI~>R P d)<Iw^< 闪耀光栅—效率与周期 l~j{i/>
!^_G~`r$2J
OaCp3No T*v@hb J 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 %o4HCz Id< n}!D)Gx 
n.tJ-l 5[ r}~|,O3bc' VirtualLab Fusion一瞥 kp >AZVk
+8eW/Bs@2
~h@<14c{X 3X]\p}] z VirtualLab Fusion工作流程 n1 +,Pe*) jSMs<ox • 设置光栅
结构 3E`poE −使用界面配置光栅结构[用户案例]
y
jQpdO • 分析光栅衍射效率
= }6 l.9 −光栅阶次分析器[用户案例]
8 1&5g' • 通过
参数运行检查不同参数的影响
EWn\ ]f| − 利用参数运行文档[用户案例]
m~ U2 L XJ9l, :c, 
,.PW
qfb ~G#^kNme VirtualLab Fusion技术 zy F[I6Gs
#M5[TN!
{nyVC%@Y qw mZOR# 文件信息 Z2soy- }2 i3 
itmQH\9 8 q[T='!Z\ 进一步阅读 RBM(> lU: - 用于光导耦合的倾斜光栅分析
wD' LX - 光栅级次分析器
"i3Q)$"S T .R( （来源：讯技光电）
