摘要 S [! -M\b H f
P2o5- 薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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Dph% & kh7|:{j VirtualLab Fusion一瞥 a-\\A[E
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9{bG @g K 2PV^Y VirtualLab Fusion工作流程 yN VuSj @cNBY7= • 设置光栅
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= −使用界面配置光栅结构[用户案例]
}Th":sin}, • 分析光栅衍射效率
Zp~2WJQ −光栅阶次分析器[用户案例]
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参数运行检查不同参数的影响
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sXm8KV (,$ H!qKy （来源：讯技光电）
