摘要 [^A.$, 49bzHEqZ 薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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[zm&}$nnN MnO,Cd6{%d VirtualLab Fusion一瞥 ":"QsS#*"#
H:`W\CP7_
HyiuU` Xf:CGR8_ VirtualLab Fusion工作流程 X9 /V;! T73oW/.0X? • 设置光栅
结构 C0jmjZ%w@ −使用界面配置光栅结构[用户案例]
jm =E_86_ • 分析光栅衍射效率
V3$!`T}g4 −光栅阶次分析器[用户案例]
4(R O1VWsb • 通过
参数运行检查不同参数的影响
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` H - 用于光导耦合的倾斜光栅分析
~1S7\e7{ - 光栅级次分析器
37ll8 vPi\ v U{ （来源：讯技光电）
