摘要 ZWuNl!l> (?,jnn ub 薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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zRau/1Y0 GapH^trm VirtualLab Fusion一瞥 A>:31C
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l( Q ')fIa2dO/ VirtualLab Fusion工作流程 4 T/ ~erc *Hh*!ePp • 设置光栅
结构 D9r ;Ys% −使用界面配置光栅结构[用户案例]
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J • 分析光栅衍射效率
$7Lcn9 ?G −光栅阶次分析器[用户案例]
T?-K}PUcQ • 通过
参数运行检查不同参数的影响
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<,nd]a - 光栅级次分析器
_ 1\H{x .noY[P 8i （来源：讯技光电）
