摘要 m<fA|9 F# {$TZ }z"DA 薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
cgNt_8qC X!0kK8v 
;mJkqbVol 29O ]S8 建模任务 ], ?pe
nu 7lh6o=
p5SX1PPQ tyXl}$)y 正弦光栅—效率与高度（TEA） U1^l+G^,~ w#{l 4{X| 
;nf& c;D /VtlG+dLl 正弦光栅—透射相位曲线 ^('cbl
)<LI%dQ:'l
(@?eLJlT 6:RMU 正弦光栅—透射相位曲线 z_(eQP])
V
[4n'LcE
y*KC*/'" 4hNwKe"Ki 正弦光栅—衍射效率 /W9
& Ke
|F~8 8j{VN
8m7ea Z Zi3T~:0p: 正弦光栅—效率与周期 ("F)
&
>b+loF
|B|@G F?: nhT;b,G.Z 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 o>K &D$J;O
#L1>dHhat
HwW6tQ 8}K"IW 闪耀光栅—效率与高度（TEA） !Ud:?U
d
q p gf@
Z%;)@0~f 9i[4"&K 闪耀光栅—透射相位曲线 uri*lC
^cb)f_90
$/.<z(F 4zX=3iBt 闪耀光栅—衍射效率 0&B : \
{0fz9"|U
:Fo4O'UC -=>U
=| 闪耀光栅—效率与周期 B{=00 9.
l< n5gfJ
$"1pws?d
x~Pvh +O 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 $Br>KJ%'g p~FQcW'a~ 
5 R"2Wd RCCv>o VirtualLab Fusion一瞥 c G*(C
:F 9q>
m6eFXP1U "kU> ~~y, VirtualLab Fusion工作流程 B MY>a To"> DOt • 设置光栅
结构 V 1*Ad −使用界面配置光栅结构[用户案例]
>KKeV(Ur • 分析光栅衍射效率
v*vn<nPAQ> −光栅阶次分析器[用户案例]
Q;Q%SI`yT • 通过
参数运行检查不同参数的影响
[E k42% − 利用参数运行文档[用户案例]
hRRkFz/0&
_2#zeT5 
OZa 88& A1=_nt )5 VirtualLab Fusion技术 %`eJ66T
qj`,qm
P
PqVW'FYe KjBOjD'I 文件信息 P3 i^ S_ 8s~\iuk 
k06xz#pL =MCNCV/< 进一步阅读 %N>\:8 5? - 用于光导耦合的倾斜光栅分析
)tScc*=8 - 光栅级次分析器
!e&rVoA rAM *\= （来源：讯技光电）
