摘要 JLnH&(O {_7 i8c<s= 薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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4Uphfzv3 D )6q,>whI] VirtualLab Fusion工作流程 !ePr5On qv]}$WU • 设置光栅
结构 F({HP)9b −使用界面配置光栅结构[用户案例]
D)j(,vt • 分析光栅衍射效率
>Db; yC& −光栅阶次分析器[用户案例]
A/u) # ^\ • 通过
参数运行检查不同参数的影响
Yzh"1 |O − 利用参数运行文档[用户案例]
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n?- }) - 光栅级次分析器
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