摘要
w 0= w s!~MSIy 薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
t&{;6MiE |H_WY# 
0: hv6 Ge^ 8/dMvAB1So 建模任务 h L [ eA
b=:u d[h
Q9O_>mZy ^-k"gLg 正弦光栅—效率与高度（TEA） -X$EE$: |w{Qwf!2 
|> ]@w\] @g5y_G{SP 正弦光栅—透射相位曲线 j`RG Moq
yFDe Y PZP
1s =Q~*f~d T Q4L~ 8 正弦光栅—透射相位曲线 ]Rxo}A
Uz! 3){E
<O'U-.
Gc IV. })8 正弦光栅—衍射效率 3_XLx{["'
H2R3I<j
#vV]nI<MF. A[;deHg= 正弦光栅—效率与周期 A3_p*n@
NC-K`)
LPt9+sauf1 ~CnnN[g (_ 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 =+ j3E<w
>bZ-mX)j\0
Dbn 344s {j>a_]dTVX 闪耀光栅—效率与高度（TEA） ZJBb% d1;
^)>( <6
a&b/C*R_ zs#-E_^%M 闪耀光栅—透射相位曲线 (Fzy8
s
pPRX#3
P5_Ajb(@' )f:i4. M 闪耀光栅—衍射效率 JnBc@qnP6
{HEWU <5
gp`@dn'; `3T=z{HR9g 闪耀光栅—效率与周期 (y>N\xS9
K)Lo Z^x0)
*FC8=U2\X ,R`CAf%* 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 ,6g{-r-2 > U?\WgE$ 
St%x \[D X|hY ZR VirtualLab Fusion一瞥 ru eaP
)Ac,F6w
iiq
`:G
:V+rC]0 VirtualLab Fusion工作流程 ~3:hed7: Bzwll • 设置光栅
结构 N+c|0 −使用界面配置光栅结构[用户案例]
EZB0qZIp • 分析光栅衍射效率
F-|DZ?)k5 −光栅阶次分析器[用户案例]
U%:%. Bys • 通过
参数运行检查不同参数的影响
}NC$C e − 利用参数运行文档[用户案例]
2T2<I/")O 'W_NRt: 
/8qR7Z^HZ _ D4qnb@ VirtualLab Fusion技术 ' /HShS!d
L.@$rFhA
c2g[ w;0" Q ;3`T7 文件信息 n>.@@ WMtFXkf6" 
Gpxp8[ { ,V9qiu=m
进一步阅读 Lbz/M _G - 用于光导耦合的倾斜光栅分析
S,:!H@~B - 光栅级次分析器
wd *B 3 (}X5*BB& （来源：讯技光电）
