摘要 3 D\ I#g %=GnGgu 薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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^ ef *V s VirtualLab Fusion一瞥 o)GLh^g_I'
`2.[8%6
W^v3pH-y # B}Qpqa=_c VirtualLab Fusion工作流程 E>NRC \^@ Ahv %Q%m%2 • 设置光栅
结构 68
vu −使用界面配置光栅结构[用户案例]
m:_'r"o • 分析光栅衍射效率
]rY:C "# −光栅阶次分析器[用户案例]
/?C}PM • 通过
参数运行检查不同参数的影响
Te_%r9P|2 − 利用参数运行文档[用户案例]
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] vM& - 用于光导耦合的倾斜光栅分析
QPr 29 - 光栅级次分析器
_ x8gEK8 ^E-BB 6D （来源：讯技光电）
