摘要 F Xp_`9.zH c/-PEsk_TP 薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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8hZc #b; Nd**":i$ VirtualLab Fusion一瞥 c"NGE
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-z>m]YDH cp4~`X VirtualLab Fusion工作流程 a0hgF_O1 q `L} \}o • 设置光栅
结构 MG3xX; −使用界面配置光栅结构[用户案例]
VaTA|=[; • 分析光栅衍射效率
xhncQhf\ −光栅阶次分析器[用户案例]
c )SQ@B@q • 通过
参数运行检查不同参数的影响
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− 利用参数运行文档[用户案例]
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z O 6Sl[) %`]fZr A]# 进一步阅读 h]k1vp)Q y - 用于光导耦合的倾斜光栅分析
+e&Q<q!,q - 光栅级次分析器
>S:+&VN`M __ G=xf （来源：讯技光电）
