摘要 3RTraF ; 'J{ylRQ 薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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*@q+A1P7@ d))(hk: VirtualLab Fusion工作流程 kN 4nRW9z o?f7_8fG • 设置光栅
结构 uw@z1'D[i" −使用界面配置光栅结构[用户案例]
+b.qzgH>r • 分析光栅衍射效率
]Ph~-O −光栅阶次分析器[用户案例]
_,i]ra{% • 通过
参数运行检查不同参数的影响
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fv !l { \`#;J?Y|`F 进一步阅读 5#.u A_Fov - 用于光导耦合的倾斜光栅分析
N 5rY*S - 光栅级次分析器
_F^k>Lq& d =z]&E 78Y （来源：讯技光电）
