摘要 SK;f #quUQ V *S|Qy!p 薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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PN\2 ^@>_ sjaG%f&h VirtualLab Fusion一瞥 aP"i_!\.aa
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](Sp0 t ipU"|{NK VirtualLab Fusion工作流程 8|J %IE 9k$uo_i' • 设置光栅
结构 +A:}5{ −使用界面配置光栅结构[用户案例]
E"w7/k#3}C • 分析光栅衍射效率
CdEJ/G: −光栅阶次分析器[用户案例]
):.]4n{L • 通过
参数运行检查不同参数的影响
yTZbJx?m − 利用参数运行文档[用户案例]
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43P?f+IYrk - 光栅级次分析器
g(<@r2p _{ ?1+ （来源：讯技光电）
