摘要 Wh&Z *J cyn]>1ZM 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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]5MRp7 )FiU1E 正弦光栅—效率与高度(TEA) Z-=7QK.\{ yOm6HA``hT
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~ 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 RB@gSHOc?
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\Fjq|3`<l 09i[2n;O VirtualLab Fusion一瞥 NX/)Z&Fx:
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BE;iC.rW u>@G:kt8 VirtualLab Fusion工作流程 nr6U>
KR^ jl7-"V>j?; • 设置光栅
结构 ?`iBp+iBv −使用界面配置光栅结构[用户案例]
<FLc0s • 分析光栅衍射效率
nQMN2j M −光栅阶次分析器[用户案例]
_3JTHf<+ • 通过
参数运行检查不同参数的影响
EPfVS − 利用参数运行文档[用户案例]
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<Z_`^~! /zAx`H 文件信息 H2-( W;yZ$k#q}(
;# =25"qJr 进一步阅读 n`1i k'x? - 用于光导耦合的倾斜光栅分析
b9jm=U - 光栅级次分析器
cQb%bmBc5 /GNYv* (来源:讯技光电)