摘要
Do7Tj s Y Qk 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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aeM+ d`f P}^W)@+3k VirtualLab Fusion工作流程 /7F:T[ vXZOy%$o • 设置光栅
结构 )F]]m#` −使用界面配置光栅结构[用户案例]
E]-/Zbvdv • 分析光栅衍射效率
=-n}[Y}A −光栅阶次分析器[用户案例]
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参数运行检查不同参数的影响
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BpPy& - 光栅级次分析器
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xVfi6 (来源:讯技光电)