摘要 tf IUH'Ez> PjE%_M< 薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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JuDadIrd{ eNDc2 20b 正弦光栅—透射相位曲线
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Lvb'qZ6n &ox5eX ( 正弦光栅—效率与周期 AzMX~cd
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R^6]v`j; 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 W~& QcSWqD
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S[ y? > `G2!{ 3UD VirtualLab Fusion一瞥 o(YF`;OhvS
P G*FIRDb
-:Jn|= ui&^ m, VirtualLab Fusion工作流程 n ==+NL Es&'c1$^s • 设置光栅
结构 U=N]XwjVK< −使用界面配置光栅结构[用户案例]
W;T (q~XK • 分析光栅衍射效率
d[&Ah~, −光栅阶次分析器[用户案例]
i&Me7=~ • 通过
参数运行检查不同参数的影响
XBos ^Q − 利用参数运行文档[用户案例]
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q 文件信息 QW>(LG G= PF] Vt 
XaYgl&x'!x ; Rd\yAG 进一步阅读 pjNH 0mZ - 用于光导耦合的倾斜光栅分析
N4wMAT:h - 光栅级次分析器
2"B3Q:0he| (Ek=0;Cr （来源：讯技光电）
