摘要 Wh&Z *J cyn]>1Z M 薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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\Fjq|3`<l 09i[2n;O VirtualLab Fusion一瞥 NX/)Z& Fx:
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BE;iC.r W u>@G:kt8 VirtualLab Fusion工作流程 nr6U>
KR^ jl7-"V>j?; • 设置光栅
结构 ?`i Bp+iBv −使用界面配置光栅结构[用户案例]
<FLc0s • 分析光栅衍射效率
nQ MN2j M −光栅阶次分析器[用户案例]
_ 3JTHf<+ • 通过
参数运行检查不同参数的影响
EPfV S − 利用参数运行文档[用户案例]
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; # =2 5 "q Jr 进一步阅读 n`1i k'x? - 用于光导耦合的倾斜光栅分析
b9jm= U - 光栅级次分析器
cQb%bmBc5 / GNYv* （来源：讯技光电）
