摘要 ,)@njC?J X|y(B%: 薄元近似（TEA）是一种广泛使用的方法，例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而，众所周知，相对较小的光栅周期，该近似变得不准确。 在此示例中，我们选择两种类型的透射光栅：正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM（也称为RWCA，是严格算法）来分析具有不同周期的此类光栅，并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
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Pm&h v*D 正弦光栅—效率与高度（TEA） =H Ma<"-8 ' Dp;fEU$ 
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dq,j?~ _} B6=?Qp/f 正弦光栅—衍射效率
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J0V`sK v5>A1\ 正弦光栅—效率与周期 <Pzy '9
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KpA1Ac)T m/z,MT74*J 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 mG"xo^1_H
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CYRZ2Yrk?" _j +!Fd 闪耀光栅—效率与高度（TEA） $=iw<B r
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^M{,{bG sUF9_W5z 闪耀光栅—透射相位曲线 ` 78Bv>[A
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!_vxbfZO )adV`V%=> 闪耀光栅—衍射效率 AdVc1v&>
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D"rbQXR7$ MB !9tju 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 ;-6-DEL N+'j on}U 
L RV cf (J[Xryub VirtualLab Fusion一瞥 [% C ,&h5
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12a`,~ i|J %jA VirtualLab Fusion工作流程 4q E95THB @(Y!$><Is • 设置光栅
结构 @^xtxtjzux −使用界面配置光栅结构[用户案例]
VGmvfhf#" • 分析光栅衍射效率
<%HRs>4 −光栅阶次分析器[用户案例]
,;_+o] • 通过
参数运行检查不同参数的影响
0?<#! − 利用参数运行文档[用户案例]
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D7;9D*o\ JVYH b 60Z 进一步阅读 } o%^
Mu B - 用于光导耦合的倾斜光栅分析
BDT L5N - 光栅级次分析器
9 3>4n\ d ~Z\%4 （来源：讯技光电）
