摘要 z>;$im \?D R
s 薄元近似(TEA)是一种广泛使用的方法,例如傅立叶
光学计算
光栅的
衍射效率。 然而,众所周知,相对较小的光栅周期,该近似变得不准确。 在此示例中,我们选择两种类型的透射光栅:正弦光栅和闪耀光栅。 我们同时使用TEA和FMM(也称为RWCA,是严格算法)来分析具有不同周期的此类光栅,并通过比较结果来研究这两种方法的特性。
f6!D L< P}V=*g
+R6a}d/K >E:<E'L 建模任务 3LDsxE=N:q
F[saP0
*
QK; T~
_k HSN8O@dy 正弦光栅—效率与高度(TEA) Sw8kIC y,=du
>xu[q\:" k6"KB 正弦光栅—透射相位曲线 NOt@M
~9=aT1S|
N
j4IQ<OV `TtXZ[gP} 正弦光栅—透射相位曲线 #z!^<,
}CDk9Xk
V-!"%fO.s rR,2UZR 正弦光栅—衍射效率 ifK%6o6
J:j<"uPm
j>Ag\@2ME %O%=rUD 正弦光栅—效率与周期 W`z 0"
'9?;"=6(
O7t(,uox3y )US:.7A[. 正弦光栅—特定周期下的相位曲线 N^w'Hw0
Q;u SWt<{
k(%QIJH 7v7G[n 闪耀光栅—效率与高度(TEA) 7@}$|u:JUF
|o<8}Nja6
sC"}8+[)S3 >dzsQ^Nj 闪耀光栅—透射相位曲线 RthT\%R
xJs;v
j'0r' "YU{Fkl#j 闪耀光栅—衍射效率 SC &~s$P;
:_kAl? eJ
N#C1-*[C %\$;(#h 闪耀光栅—效率与周期 *&Lq!rFS
BV`- =wRC
x]|+\1 ]aryV?!6 闪耀光栅—特定周期下的相位曲线 sZ<9A Xk-E } MbH3ufC
fV:4#j *i{Y 9f8 VirtualLab Fusion一瞥 k0-G$|QgIp
7OCwG~_^
$,>@o=)_ ,m<H-gwa VirtualLab Fusion工作流程 3jH \yXj evA/+F,& • 设置光栅
结构 k>jbcSY(z< −使用界面配置光栅结构[用户案例]
llV3ka^! • 分析光栅衍射效率
;6ecrQMw& −光栅阶次分析器[用户案例]
eM7Bc4V • 通过
参数运行检查不同参数的影响
6[E| − 利用参数运行文档[用户案例]
G rmzkNlN xVL5'y1g B
'})0!g<Y ?E%ELs_Dl VirtualLab Fusion技术 C:8_m1Y{
2`GE
l1U=f] D]a <4a18 文件信息 u]+~VT1C,3 ml|W~-6l
[YrHA~=U Rm1A>1a: 进一步阅读 ps
.]N
- 用于光导耦合的倾斜光栅分析
#rO8K f - 光栅级次分析器
&!aAO(g
[[d(jV=* (来源:讯技光电)