聚焦离子束显微镜FIB/SEM/EDX技术指标

聚焦离子束显微镜FIB/SEM/EDX FEI Scios 2 DualBeam技术指标 (qNco8QKu3  
一、技术指标 zNNzsT8na  
1、电子束电流范围：1 pA - 400 nA； luJ{Iq  
2、电子束电压：200eV-30 keV，具有减速模式 7yo|ie@S  
3、电子束分辨率：0.7 nm (30 keV)、1.4 nm(1 keV) .a ~s_E  
4、大束流Sidewinder离子镜筒； ;5&k/CB1  
5、离子束加速电压500V-30kV（分辨率：3.0 nm）； (k7;  
6、离子束束流1.5pA-65nA，15孔光阑。 j:3A;r\  
OI)&vQ5k  
二、配置情况 h<PYE]?l  
1、GIS气体注入：Pt沉积 [{hLF9yPx  
2、ETD SE、T1（筒内低位）、T（高位）探头 =YS!soO  
3、Nav-camTM：样品室内光学导航相机 *O"%tp6  
4、AutoTEM4、Autoslice、Map for3D自动拼图、NanoBuilder纳米加工软件。 =g{_^^n  
U)&H.^@r$  
三、适用样品 nEjo,   
半导体、金属、陶瓷材料微纳加工及观察分析，成分分析 O JZ!|J8?  
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四、检测内容 9$B)hrJo  
1、IC芯片电路修改 GM34-GH+  
2、Cross-Section 截面分析 4<=eK7;XR  
3、Probing Pad r< d?  
4、FIB微纳加工 >=Rd3dgDG  
5、材料鉴定 842Mydom  
6、EDX成分分析 !?tu! M<1?  
)W_ Y3M,  
五、设备简介 RW|UQY#  
FEI Scios 2 DualBeam系统在Scios系统的基础上进行了升级，更加适用于金属、复合材料和涂层，特点是适用磁性样品、借助漂移抑制对不导电的样品可以进行操作、Trinity检测套件可同步检测材料、形态和边缘对比对度，大大提高效率、软件可以实现三维数据立方体分析金属中夹杂物大小和分布、独有的工作流模式，可以设定程序，降低操作员的难度。在超大样品仓中集成了大尺寸的五轴电动样品台，XY轴具有110mm移动范围，Z方向具有85mm升降空间。