聚焦离子束显微镜FIB/SEM/EDX技术指标

聚焦离子束显微镜FIB/SEM/EDX FEI Scios 2 DualBeam技术指标 2hu;N  
一、技术指标 fWF\V[  
1、电子束电流范围：1 pA - 400 nA； (hdP(U77  
2、电子束电压：200eV-30 keV，具有减速模式 [u/g =^+u  
3、电子束分辨率：0.7 nm (30 keV)、1.4 nm(1 keV) mu|#(u  
4、大束流Sidewinder离子镜筒； (<2PhJ|  
5、离子束加速电压500V-30kV（分辨率：3.0 nm）； xZbm,.v  
6、离子束束流1.5pA-65nA，15孔光阑。 G^j/8e  
Vcc/  
二、配置情况 wrw~J  
1、GIS气体注入：Pt沉积 O_(/uLH  
2、ETD SE、T1（筒内低位）、T（高位）探头 6z!?U:bT  
3、Nav-camTM：样品室内光学导航相机 B9Y "J  
4、AutoTEM4、Autoslice、Map for3D自动拼图、NanoBuilder纳米加工软件。 #ZF|5r +  
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三、适用样品
g]z,*d  
半导体、金属、陶瓷材料微纳加工及观察分析，成分分析 uiM*!ge  
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四、检测内容 vsHY;[  
1、IC芯片电路修改 )!){4c/  
2、Cross-Section 截面分析 'mG[#M/Y  
3、Probing Pad w6v P a  
4、FIB微纳加工 RcMW%q$dG  
5、材料鉴定 B,,f$h!  
6、EDX成分分析 ep>S$a*|  
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五、设备简介 ^|-xmUC  
FEI Scios 2 DualBeam系统在Scios系统的基础上进行了升级，更加适用于金属、复合材料和涂层，特点是适用磁性样品、借助漂移抑制对不导电的样品可以进行操作、Trinity检测套件可同步检测材料、形态和边缘对比对度，大大提高效率、软件可以实现三维数据立方体分析金属中夹杂物大小和分布、独有的工作流模式，可以设定程序，降低操作员的难度。在超大样品仓中集成了大尺寸的五轴电动样品台，XY轴具有110mm移动范围，Z方向具有85mm升降空间。