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摘要 *&b~cyC -[cl]H)V b(lC7Xm >&0)d7Nu8m 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 $z-zscco (UDR=7w) 建模任务 =='~g~ Zh?1+Sz& k<xiP@b{y $V$|"KRcs 由于组件倾斜引起的干涉条纹 n3, ?klK ~ {sRK 6~Y-bn"%D5 JzA`*X[ 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 |fXwH> 'sw -G<$wh9~3 Sb=cWn P $:I~y|
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