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摘要 "akAGa!V+ mmy/YP)
6Xbf3So ,T;D33XV 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 F@zTz54t RF~G{wz 建模任务 vJS}_j]_@ DhD##5a
h.NCG96S 0f_A"K 由于组件倾斜引起的干涉条纹 f>3)}9?xc} U} w@,6
wc&D[M]-/ {SD%{ 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 ,Z}ST|$u r|i)
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