摘要
(9]8r2|. e+TSjm 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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iAl.(j f>!H<4
] 建模任务
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x\i+MVR- 光栅特性与参数的严格分析
X21k7 Ls "9^OT 不同光栅周期下的衍射效率
~LfFLC P9W!xvV`w
K!<3|d w$evAPuz^ 关于光栅周期选择的考虑
O30eq 7( )w_hbU_Pb&
p=d,kY 59l9^<{A 偏振相关的衍射特性
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~_]i'ii8 B>kVJK`X
.',d*H))E7 GzN /0:b
.gJv})Vi <9/?+) 通过参数优化进行光栅设计
N0V`xrS i"h~QEE 固定周期的2D参数优化
03?7kAI W}iDT?Qi
i6FviZx 2D参数优化–设计1
tt0 3gU` mb?r{WCi
mD_sf_2> ] :. 2D参数优化–设计2
']:>Ww.S 3-T"[tCe
GTocN1,Z~a g@Z7f y7 制造
公差分析–设计2
E5X#9;U8E" ($X2SIZh
g/W&Ap;qVL #GfM!<q< 变化光栅周期的3D参数优化
U:fGIEz{ZY *?x[pqGq
}08Sv=XM
'h#>@v> } 制造公差分析
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[2.;gZj [+wLy3_ 走进VirtualLab Fusion
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5,#aN}v#? b~C^cM VirtualLab Fusion中的工作流程
N+zR7`AG8 c9ea%7o{0a
BMH?BRi !a7YM4D •构造光栅
结构 ?hOvY) −
通过使用界面来配置光栅结构 bqwn_=. [用例]
G7YBo4v •分析光栅衍射效率
We@wN: −
光栅级次分析器[用例]
>f:OU," •使用参数运行搜索初始解决方案
.F]"%RK[ −
参数运行文档的使用[用例]
qpX`ZY^ •通过参数优化找到最终设计
l}XnCOIT, eEX* \1Gg VirtualLab Fusion技术
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. 文件信息
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