摘要
nU6WT | pOz4>R 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
Gw;[maM!%` /h!Y/\ kI
tUp'cG B9-Nb 4 建模任务
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_#nP->0) 光栅特性与参数的严格分析
Y.<&phv
A`D^}F6 不同光栅周期下的衍射效率
i7m=V T Dn#GoDMJ[
nO d'$q vX'@we7Q{ 关于光栅周期选择的考虑
bLHj<AX#>| mN9Uyz5G
t[.wx.y&0 y+C.2 ca 偏振相关的衍射特性
p=U/l#xO A|D]e)/6+B
N9M''H*VS iSZiJ4AUq
DB^"iof 8-wW?YTG
x*9CK8o= ^lP_{c 通过参数优化进行光栅设计
wM^_pah#Y5 &y}nd
7o 固定周期的2D参数优化
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5G\CT&cQR
&dino 2D参数优化–设计1
Vo\RtM/6{ %>cl0W3x
2nQrCdRC ?`nF"u> 2D参数优化–设计2
g 36\%L }Ot
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=!G3YZ @R|Gz/ 制造
公差分析–设计2
e*Gm()Vu, NdS6j'%B@7
Y]5\%JR btfjmR<Tp 变化光栅周期的3D参数优化
JYbE(&l%de EzDj,!!<w
Dm=Em-ST6 C6XTId=y#_ 制造公差分析
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pX:FXzYQ OZF^w[ `w 走进VirtualLab Fusion
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[I;5V= bKW %0PdN@I VirtualLab Fusion中的工作流程
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n.{+\M6k ?
[?{X~uq •构造光栅
结构 gz K"'4` −
通过使用界面来配置光栅结构 'JBf*p". [用例]
EBY=ccGE{ •分析光栅衍射效率
IX7|_ci −
光栅级次分析器[用例]
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h}
$ •使用参数运行搜索初始解决方案
r@xMb,!H −
参数运行文档的使用[用例]
# $:ddOY •通过参数优化找到最终设计
8?GS :+ uv++Kj! VirtualLab Fusion技术
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!af35WF <}RU37,W 更多阅览
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