摘要
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nR(>d mSw?iL 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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=WRU<`\ u,9U0ua@; 建模任务
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3Ty{8oUs^ 光栅特性与参数的严格分析
tpzdYokh> m)2hl~o_ 不同光栅周期下的衍射效率
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-t#a*?"$w 4J|t} 关于光栅周期选择的考虑
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)@|Fh@| CP#MNNvgrw 偏振相关的衍射特性
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=9MH ^K[tO54 通过参数优化进行光栅设计
>{=RQgGy 1OeDWEcB 固定周期的2D参数优化
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Vs(Zs[ 2D参数优化–设计1
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FeRuZww._J ?bA]U: 2D参数优化–设计2
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m,q<R1 :|Ty 0>k 制造
公差分析–设计2
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:HQ/vVw'"9 xq*yZ5:5Jo 变化光栅周期的3D参数优化
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7!)%%K.z6 E/ )+hK& 制造公差分析
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$^>vJk< x{5*%}lX8 VirtualLab Fusion中的工作流程
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iMIY •构造光栅
结构 C(hg"_W ou −
通过使用界面来配置光栅结构 A/aQpEb% [用例]
#1k,t •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
v_h{_b8 •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
`6su_8Hno •通过参数优化找到最终设计
2Mp;/b! @su,w,xLS VirtualLab Fusion技术
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jRc#>;dN ~ .-'pdz% 更多阅览
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings P])O\<)J >{Q2S (来源:讯技光电)