摘要
wVs?E *'<AwG& 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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lvs
XL XE}gl&\ 建模任务
`fu_){ )r2Y@+.FN
8+zW:0"[ 光栅特性与参数的严格分析
]?eZDf~ &`"DG$N( 不同光栅周期下的衍射效率
g{8RPw] YG "Ta|@5
51#*8u+L ^9g$/8[^c_ 关于光栅周期选择的考虑
"g{q=[U} v, $r.g;
@IT[-d U<Pjn)M~B 偏振相关的衍射特性
F^i3e31*t +HK4sA2;
;FPx CWj_K2=d
K`4rUEf}V" p@<Q?
w+M/VsL jh5QIZf= 通过参数优化进行光栅设计
YB#fAU *FS8]!Qg 固定周期的2D参数优化
]g_VPx" DiC z%'N
%()d$.F 2D参数优化–设计1
aO6\e> o`U}uqrO
%pC<T*f !FEc:qH 2D参数优化–设计2
6x+ujUBkK i'>6Qo
3uL
f0D o3J#hQrl 制造
公差分析–设计2
-t`kb*O3` =u.@W98, K
mw@Pl\= 6FUW^dt 变化光栅周期的3D参数优化
]?9*Vr:P^ J2mHPVA3
5{c;I<0 Ayz*2N`% 制造公差分析
@Jt$92i5PS JGs:RD'
<2$vo Q@D7\<t 走进VirtualLab Fusion
vygzL U^ %I1@{>OxG
xc^@" 222 Y?3>@D VirtualLab Fusion中的工作流程
b--=GY))F S?J!.(
,OE&e*1 C$[d~1t6 •构造光栅
结构 ?
SFBUX(p −
通过使用界面来配置光栅结构 1\}vU [用例]
x|H`%Z •分析光栅衍射效率
<Ap_# −
光栅级次分析器[用例]
f|[7LIdh- •使用参数运行搜索初始解决方案
bI):-2&s} −
参数运行文档的使用[用例]
{u'szO}k •通过参数优化找到最终设计
[xS7ae l:HQ@FX VirtualLab Fusion技术
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Xp<q`w0I, 3efOgP=L 文件信息
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