摘要
_|xO4{X 5C/W_H+9iK 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
zCT Wi w1/pwzn
p5c^dC{ 8*3<Erv 建模任务
5YaTE<G DPJ#Y -0
~AxA , 光栅特性与参数的严格分析
"W;GvI
&IM;Yl 不同光栅周期下的衍射效率
nnX,_5s v2:A 4Pd:+
Tm5]M$) FyX\S= 关于光栅周期选择的考虑
;sCf2TD,_ W~+
] 7<
Ln0rm9FV- WF<`CQ g[ 偏振相关的衍射特性
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yf+M *SQ hXTn
)f9f_^; VS<E?JnbFV
Zf}]sW$H ,qV8(`y_ 通过参数优化进行光栅设计
k/YEUC5 W}bed],l 固定周期的2D参数优化
^AK<]r<?L? -! Hn,93
\ Q<c Y< 2D参数优化–设计1
08{0i,Fs V #W,}+_Sz
l=U@j
T 5G cdz 2D参数优化–设计2
u
HqP b8 cq+|fg~Yy
%Kx:'m%U | ?3\xw 制造
公差分析–设计2
xtYX}u E&P'@'Yk
5mUHk]W ik)T>rYg0 变化光栅周期的3D参数优化
N|5J-fR& xGTVC=q
.)o<'u@Ri FjqoO. 制造公差分析
#L5H-6nz x zu)``?
|uId:^{ r$}M,! J 走进VirtualLab Fusion
z&[Rw<{Psb Ecp]fUQK
T%Xl(.Ft GZ,`? VirtualLab Fusion中的工作流程
u )PB@ YKKZRlQo
G#-t&gO3 b?eIFI&w^l •构造光栅
结构 ;X,|I) −
通过使用界面来配置光栅结构 t?f2*N: [用例]
3:Q5dr+1_ •分析光栅衍射效率
|;e K5(| −
光栅级次分析器[用例]
d\dh"/_$ •使用参数运行搜索初始解决方案
_SdO}AiG −
参数运行文档的使用[用例]
TeaP\a •通过参数优化找到最终设计
^N#B(F 6U5L>sQ VirtualLab Fusion技术
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AL@8v= / r6^]grg 文件信息
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