摘要
.N><yQ-j3' ToXFMkwY 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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kd4*Zab 0}C}\1 建模任务
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X qva&/- 光栅特性与参数的严格分析
r_<i*l. Hf]}OvT>Z 不同光栅周期下的衍射效率
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5OqsnL_V 3bL2fsn5 关于光栅周期选择的考虑
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a|{<#<6n( @:&dOqQ 偏振相关的衍射特性
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,ui'^8{gK MZMv.OeYt, 通过参数优化进行光栅设计
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XW$ 固定周期的2D参数优化
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(=B7_jrl 2D参数优化–设计1
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UdgI<a~`k6 }nERQq&A 2D参数优化–设计2
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_^$b$4) d"uM7PMs7x 制造
公差分析–设计2
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}j@@ u+FftgA 变化光栅周期的3D参数优化
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5.UgJ/ *Z(C')7r 制造公差分析
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.y/?~+N^ "Z?":|%7 走进VirtualLab Fusion
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Q%d[U4@ U .jMK{ VirtualLab Fusion中的工作流程
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JH,bSb r/:'}os; •构造光栅
结构 Efd[ZJxS6 −
通过使用界面来配置光栅结构 780MSFV8 [用例]
Li$k<AM •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
%?wE/LU> •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
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•通过参数优化找到最终设计
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0=t9J i<![i5uAI VirtualLab Fusion技术
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c(JO;=,@9 ZS;kCdL 文件信息
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^jC0S[csw2 qA[}\8}h 更多阅览
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Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block pp _ddk -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings %%u4('= >?xVr (来源:讯技光电)