摘要
N5oao'7|A qW7S<ouh 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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ZFG`'/ HM--`RJ
YMJjO0 {]|};E[}m 建模任务
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3pq&TYQU 光栅特性与参数的严格分析
T`f9jD |4wVWJ7 不同光栅周期下的衍射效率
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TQbhK^] >dZ x+7 关于光栅周期选择的考虑
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#CVD:p tjO||]I 偏振相关的衍射特性
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QJ pUk%Wj 1kTJMtZG~
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f,PFvT$5e 8M:;9a8fh 通过参数优化进行光栅设计
nG{jx_{` [YJP 固定周期的2D参数优化
3P'.)=} CWt,cwFW
bxEb2D 2D参数优化–设计1
t~X wF("; )SUT+x(DU
r"J1C fl+
[(x< 2D参数优化–设计2
v@"xEf1n[ lXL\e(ow
!^G+@~U }q27M 制造
公差分析–设计2
$eRxCX?b2 lHz:Iibt
WynHcxC "D8xHHb 变化光栅周期的3D参数优化
[-1Nn} ]@M$.msg@
luLm:NWUM #Rjm3#gc 制造公差分析
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%=\h=\wt HIi"zo=V 走进VirtualLab Fusion
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3D:w{l <}N0y*m
A
CJmy2 <F>\Vl: VirtualLab Fusion中的工作流程
$fuFx8`2W |5$9l#e
k/!Vv#8 O)&xT2'J •构造光栅
结构 eJ$?T7aUf −
通过使用界面来配置光栅结构 ^/mQo`[G [用例]
tCtR(mG=A •分析光栅衍射效率
Zdj~B1 −
光栅级次分析器[用例]
?i)-K?4Sb •使用参数运行搜索初始解决方案
:#I8Cf −
参数运行文档的使用[用例]
2%1g% •通过参数优化找到最终设计
QRw306 #=Q/<r.~G VirtualLab Fusion技术
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BAg*zYV7 @MAk/mb& 文件信息
SU2(XP]5 ]Fl+^aLS G-bG}9vc]
^ yH|k@y -!(3fO: 更多阅览
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Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers 8Tv;,a -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block 9"_qa q -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings DU]MMR $vlgiJ&f (来源:讯技光电)