摘要
i6#]$ B 7Ljj#!`lUp 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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a<wQzgxG I
cR;A\z 建模任务
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s7nX\:Bw: 光栅特性与参数的严格分析
795Jwv ,o@~OTja* 不同光栅周期下的衍射效率
u@_!mjXQ =Cy>$/H64
tG2OVRx8u k3>ur>aW 关于光栅周期选择的考虑
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f./m7TZ zP(=,)d 偏振相关的衍射特性
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^/C$L8# CI!Eq&D, 通过参数优化进行光栅设计
v=.z|QD^1 $TA6S+ 固定周期的2D参数优化
8S1P&+iKs -M:hlwha
J(EaE2 2D参数优化–设计1
EN-H4F
y^!E "
?wLdW1&PpX _D>as\dP 2D参数优化–设计2
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JXL9Gge oT|P1t. 制造
公差分析–设计2
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C,{F0-D y^X\^Kq
变化光栅周期的3D参数优化
X%a;i6pq e|b~[|;*=
{}g %"mi# bvipbf[m< 制造公差分析
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oNuPP5d[] egI{!bZg'\ VirtualLab Fusion中的工作流程
6wb^*dD92 Mhe|eD#)
I%}L@fZ Vl{~@G, @ •构造光栅
结构 |jahpji6 −
通过使用界面来配置光栅结构 7_Ba3+9jpa [用例]
6_R\l@a •分析光栅衍射效率
`E} p77 −
光栅级次分析器[用例]
(px*R~} •使用参数运行搜索初始解决方案
X~v4"|a −
参数运行文档的使用[用例]
,4H;P/xsb •通过参数优化找到最终设计
=5y`(0 I`U lo+xo;Nd VirtualLab Fusion技术
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