摘要
5Lm ? jJ|O]v$N 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
>(~;V; U*[/F)!
au0)yg*V1 1_XdL?h#o 建模任务
mhT3 Fwc LT#*nr
<:>a51HBX 光栅特性与参数的严格分析
DkQy. ze!7qeW 不同光栅周期下的衍射效率
b.;F)( ~{RXc+
zcP_-q]1 V
mKMj' 关于光栅周期选择的考虑
U1J?o#( QTtcGU
W}a&L /m.6NVu7 偏振相关的衍射特性
),dXaP[ J?u@' "u
o;_v' 5A:b
\
|c dQJW ^Shz[=fd
f{k2sU*uBE V 7%rKK 通过参数优化进行光栅设计
D]Bvjh |V%Qp5 XJ 固定周期的2D参数优化
hJ+>Xm@@! Lc0^I<Y
O .m;a_ 2D参数优化–设计1
|4ONGU*`E gKn"e|A
[bH6>{3u 2c_#q1/Z/ 2D参数优化–设计2
?psvhB{O (lTM^3
}
.K XpB7: '-S^z"ZrI 制造
公差分析–设计2
yA
\C3r' 50Pz+:
!imm17XQ\ yzgDdAM 变化光栅周期的3D参数优化
shjS^CP ORyFE:p$
]k
"
j W6
f *> 制造公差分析
wh[XJ_xY mp+
%@n.;
uiP fAPZ jf~/x>Q 走进VirtualLab Fusion
^ejU=0+cN 3a"4Fn
7rbl+:y2 E[)`+:G] VirtualLab Fusion中的工作流程
q}U^H BXnSkT7
aS-rRL|\L v<HhB.t. •构造光栅
结构 Vf`1'GY −
通过使用界面来配置光栅结构 D42Bm&JocO [用例]
E#Smi507p •分析光栅衍射效率
Z)~.OqRw] −
光栅级次分析器[用例]
)apqL{u:= •使用参数运行搜索初始解决方案
Pp*|EW 1 −
参数运行文档的使用[用例]
=3_I;Lw •通过参数优化找到最终设计
,mx>)}l95 wm%9>mA% VirtualLab Fusion技术
hg/G7Ur" /608P:U
z
v*hA/ C C;T[b& 文件信息
Ugp[Ugr "\Zsr6y hl(M0cxEWP
cz~Fz;)2{N _{_ybXG| 更多阅览
uosFpa -
Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers r n"'tvhm -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block BA4qQCS;5 -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings @{_[bKg 3P2H!r (来源:讯技光电)