摘要
9d!mGnl *dsI>4%m 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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4Ofkagg C3(h j 建模任务
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\[ 4y 光栅特性与参数的严格分析
b|\dHi2FT f{P?|8u 不同光栅周期下的衍射效率
4`")aM CW]Th-xc
NB-%Tp*d (ki= s+W- 关于光栅周期选择的考虑
J
:KU~`r h,,B"vPS
"|V}[ 2 V~do6[( 偏振相关的衍射特性
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we.r 通过参数优化进行光栅设计
3jHg9M23[^ '~1Zr uO 固定周期的2D参数优化
*eI {g M4% 3a j
E0+~c1P- 2D参数优化–设计1
0?O_]SD MZ~N}y
m7i(0jd
+ : t/0 2D参数优化–设计2
D]N)
k$pND,Ws
oA@c.%& '%o^#gJ p 制造
公差分析–设计2
ln8es{q A;o({9VH`Z
"<^n@=g'q }w8yYI 变化光栅周期的3D参数优化
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1/K1e$r PWkSl 制造公差分析
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o 走进VirtualLab Fusion
2b-g`60< S\!vDtD@
VN'\c3; KVUub'k VirtualLab Fusion中的工作流程
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2 )3oX kE|x'(x •构造光栅
结构 p1(" −
通过使用界面来配置光栅结构 _x^rHADp [用例]
I5`>XfO) •分析光栅衍射效率
bbDm6, −
光栅级次分析器[用例]
oK$Krrs0& •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
@u:` •通过参数优化找到最终设计
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