摘要
-w"I :g|.x 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
fF0K]. HKJCiQ|k
SSF:PTeG> -KGJr 建模任务
M$EF 8 m-O*t$6
t`JT 光栅特性与参数的严格分析
PL=v,NB ^`yhN 不同光栅周期下的衍射效率
bDvGFSAH U^7hw(}me
~},H+A!? AJ/Hw>>$?m 关于光栅周期选择的考虑
%_E5B6xi{ pA .orx
6Mc&=}bV IMD^(k 2 偏振相关的衍射特性
6h/!,j0:t_ D/=05E%[81
P[ o"%NZ' !6|_`l>G,
2*D2jw m%J?5rR3
[6VM4l" c_qox 通过参数优化进行光栅设计
^IiA(?8 28^/By:J 固定周期的2D参数优化
h:pgN,W} z\tY A
IA0vSF: 2D参数优化–设计1
4}N+o+ BPkMw'a:
;*qXjv&
K uO1^Q;F 2D参数优化–设计2
? /!Fv/ R,D/:k'~k
{($m LfC4 Qf0P"s` 制造
公差分析–设计2
%t_'rv i-0
:Fs
Q%aF~ D?E
VzG 变化光栅周期的3D参数优化
g[i;>XyP T+XcEI6w
1W*Qc_5 v1 6T4"m 制造公差分析
_\4r~=`HQ 3SWDPy
K_U`T;Z\ iJ58RY 走进VirtualLab Fusion
u*l>)_HD 7Z]?a
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1 >%6j -:S VirtualLab Fusion中的工作流程
("A45\5 L`M{bRl+1
N/-(~r[ n\Is}Czl •构造光栅
结构 u^C\aujg −
通过使用界面来配置光栅结构 R5MN;xG^ [用例]
@ ~{TL •分析光栅衍射效率
~*h)`uM −
光栅级次分析器[用例]
2O(k@M5E? •使用参数运行搜索初始解决方案
1;./e&%% −
参数运行文档的使用[用例]
+
,]&& •通过参数优化找到最终设计
\l(}8;5} si%V63 ^lN VirtualLab Fusion技术
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