摘要
1G0U}-6RH T <hS 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时，具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
_GoV\wGKl 9Q ~9C9{+ 
gRnn}LL^ S>-x<'Os 建模任务
VH.m H< a'T8U1 
2
L>;M 光栅特性与参数的严格分析
a.n;ika]- UlG8c~p 不同光栅周期下的衍射效率
"!ZQ`yl ^#|Sl D] 
f<1 4-R= !cLdoX 关于光栅周期选择的考虑
n~1F[ * Q]JWWKt6rV 
:]Nn(}, r8.`W\SKX 偏振相关的衍射特性
1V\tKDM ~4 ~c+^PF 
I~^t\iujs jGg,)~)Y 
N\,[(LbA& v r=va5 
0}'x oYv
f ;P S V3Zh 通过参数优化进行光栅设计
oO0dN1/ Wq5 }SM 固定周期的2D参数优化
xRX2u_f$< S!Alno 
#x?Ku\ts 2D参数优化–设计1
Y FJw<5& C+0MzfLgf 
l}bAwJ? sf([8YU d 2D参数优化–设计2
)j/2Z-Ev:W 3WVH8S b 
Bi.,@7| > I P LKOT~ 制造
公差分析–设计2
W E{fu{x - w{`/ 
0N|l1Sn b<\2j5 变化光栅周期的3D参数优化
i/C`]1R/
Wbq0K6X 
z4qc)-
{L z#[PTqD-_ 制造公差分析
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"t.Jv%0= 0P 5s'2w 走进VirtualLab Fusion
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6 
9-W3} 4'e i _c'E;| VirtualLab Fusion中的工作流程
K7 J RCLA &G|^{!p/G 
Ybk ydc 7es<%H •构造光栅
结构 VLfc6:Yg −
通过使用界面来配置光栅结构 g@O H,h / [用例]
{;L,|(o^ •分析光栅衍射效率
[n2+`A −
光栅级次分析器[用例]
Ke;eI+P[ •使用参数运行搜索初始解决方案
gkM Q=;Nn −
参数运行文档的使用[用例]
b9xvL R8 •通过参数优化找到最终设计
7D KTd^^M Ud_7>P$a VirtualLab Fusion技术
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u@,P mDXG~*1 文件信息
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h+ms%tNT *mJ\Tzc) 更多阅览
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Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers 4;bc!>
sfC -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block @<jm+f"MP -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings .iC!Ttr Y3 \EX （来源：讯技光电）
