摘要
gbSt Ar. }o,z!_^PLQ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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9H]Lpi^OH NOK/<_/ 建模任务
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}2r+%V&4 光栅特性与参数的严格分析
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XfzVcap 不同光栅周期下的衍射效率
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B)h>8 { '7B"(dA&C 关于光栅周期选择的考虑
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0gF!!m 偏振相关的衍射特性
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i(wgB\9i4 AzpV4(:an. 通过参数优化进行光栅设计
d2ENm%q*PX }yEoEI` 固定周期的2D参数优化
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SHqyvF 2D参数优化–设计1
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#G,XDW2"w Hwe)Tsh e 2D参数优化–设计2
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*R`MMm z]$j7 dp 制造
公差分析–设计2
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kJ: 2;t= .1*DR]^` 变化光栅周期的3D参数优化
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*"G 8 VKLU0*2R 制造公差分析
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+~|AT+|iI >e8JK*Blz 走进VirtualLab Fusion
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uos VirtualLab Fusion中的工作流程
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j=.g:&r) qCJ=Z •构造光栅
结构 t,vTAq.)) −
通过使用界面来配置光栅结构 sdF3cX [用例]
:+kUkb-/ •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
d7bjbJwu •使用参数运行搜索初始解决方案
':;LrTc'K −
参数运行文档的使用[用例]
4IGxI7~27# •通过参数优化找到最终设计
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