摘要
BQq,,i8H I?nj_ as 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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c|OIUc O *^= 建模任务
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C50&SrnBU1 光栅特性与参数的严格分析
H)tnxD0) \,| Xz|?C 不同光栅周期下的衍射效率
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}GX[N\$N pcwkO 关于光栅周期选择的考虑
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ENW>bS8e` h$7rEs 偏振相关的衍射特性
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通过参数优化进行光栅设计
wG6@.;3 ;O` \rP5w 固定周期的2D参数优化
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2D参数优化–设计1
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ww9fT 2D参数优化–设计2
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\z>Re$: v"'Co6fw 制造
公差分析–设计2
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za{z2#aJ $B6CLWB 变化光栅周期的3D参数优化
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O%RkU?ME Exir?G} \ 制造公差分析
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.KiJq:$H Q(@/,%EF 走进VirtualLab Fusion
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QP/6N9/ :B(F?9qK VirtualLab Fusion中的工作流程
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8\,|T2w,X !<9sOvka{ •构造光栅
结构 1 o<l;: −
通过使用界面来配置光栅结构 CNwYQe-i [用例]
,Qvclu8r •分析光栅衍射效率
-dX{ R_* −
光栅级次分析器[用例]
scmn-4j'{ •使用参数运行搜索初始解决方案
mmk]Doy?# −
参数运行文档的使用[用例]
dD6I @N)X •通过参数优化找到最终设计
a& >(*PQ (_&W@:"z VirtualLab Fusion技术
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R#j-Z#/" gucd]VH 文件信息
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