摘要
3y> .1 A<iF37. 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
cWgiFv yY*OAC BZ1@?3 xk86?2b{) 建模任务
+8[h& J{$C}8V %Ua*}C 光栅特性与参数的严格分析
3P/T`)V [8Ub#<]] 不同光栅周期下的衍射效率
tjOfekU <_MQC {AIP\ `e~/ 关于光栅周期选择的考虑
U*/ =,-80WNsX Y,WcHE 3z:
rUhA 偏振相关的衍射特性
%xLziF $${ebt UuT>qWxQ8 dT,X8 " JU<<,0 Rjo6Pd{d< gU>Y M6AQ8~z 通过参数优化进行光栅设计
}<FBcc(n 3-32q)8 固定周期的2D参数优化
~n]:f7?I uVDB;6 (5-"5<-@R 2D参数优化–设计1
N3vk<sr@ \I#lLP Xa<siA{ FO3!tJ\L 2D参数优化–设计2
8<)[+@$0 * _C6.%{ +?MjY[8j nT|fDD| 制造
公差分析–设计2
zfi{SO
l 4s`*o/it 0g]ABzTn HtY\!_Ea 变化光栅周期的3D参数优化
"5XD+qi !SiZA" TKoO\\ tDEpR 制造公差分析
sF_.9G)S0 Vize0fsD DKIDLf 0%FC;v0 走进VirtualLab Fusion
S)g5Tu) axU!o /m> zRvYN (jY.S|% VirtualLab Fusion中的工作流程
J_rCo4} UfcM2OmbK Duptles woR((K] #G •构造光栅
结构 ODv)-J −
通过使用界面来配置光栅结构 k qwS/s [用例]
.fo.mC@a •分析光栅衍射效率
.vpQ3m> −
光栅级次分析器[用例]
B TcxBh •使用参数运行搜索初始解决方案
/^/'9}7 −
参数运行文档的使用[用例]
4D\_[(P •通过参数优化找到最终设计
*#UDMoz< |C>Yd*E,C VirtualLab Fusion技术
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings b.Y[:R_9& 'Iu$4xo`[ (来源:讯技光电)