摘要
Q?{^8?7 )EIT>u= 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
&[y+WrGG \MB$ Cwc
`]wk)50BVp 3?bTs = 建模任务
?=V;5H. kJ.0|l0
]q 3.^F 光栅特性与参数的严格分析
V ^hR%*i' )H[Pz.'ah0 不同光栅周期下的衍射效率
@k||gQqIB m,PiuR>
aQglA lHc9D 关于光栅周期选择的考虑
"*ww>0[ sk7]s7
2[g kDZ \U.js- 偏振相关的衍射特性
V3q[$~9 J1@skj4#\~
G]O5irsV gvoYyO#cm
p'\zL:3 _~O*V&
,#K{+1z: k[{ ~eN: 通过参数优化进行光栅设计
^JAp#?N^9 K#xL- 固定周期的2D参数优化
%`}nP3 DIx.a^LR
% !Ih=DZ 2D参数优化–设计1
S9dXkd t
{H{xd
du_~P"[ Y]bS=*q 2D参数优化–设计2
LpN3cy>U 2 :wgt
U;t1 K Ik-E_U2 制造
公差分析–设计2
-lm)xpp1 lESv
r0*Y~
KHw y+nX(@~f] 变化光栅周期的3D参数优化
@S1Z"%S +`uNO<$~f
63/a 0Yn k5)a| 制造公差分析
i@mS8%|l zZ;V9KM>v
q1Mt5O} *U +<Hv`C 走进VirtualLab Fusion
fGoJP[ae 5&qBG@Hw]
n0g8B $i%#fN VirtualLab Fusion中的工作流程
F ESl#.} m"!Q5[
kLc@U~M NuW6~PV •构造光栅
结构 |G_, 1$ −
通过使用界面来配置光栅结构 `R!Q(rePx [用例]
/}9)ZYMx •分析光栅衍射效率
O_L>We@3E −
光栅级次分析器[用例]
$$i
Gs6az •使用参数运行搜索初始解决方案
.q1y)l-^Z −
参数运行文档的使用[用例]
N5zx# g •通过参数优化找到最终设计
MV]`[^xQ5 U9jdb9 | VirtualLab Fusion技术
&