摘要
IT)3Et@Y *Hi}FI 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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/c7w- mYj)![ 建模任务
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x7Gf):,LK 光栅特性与参数的严格分析
6(BgnH8oc #@xB ?u-0q 不同光栅周期下的衍射效率
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2wDDVUwy B Mi{ns $B% 关于光栅周期选择的考虑
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[3I|MZ x(xi%?G 偏振相关的衍射特性
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cs?WE9N ><Zu+HX 通过参数优化进行光栅设计
lSW'qgh k].swvIi 固定周期的2D参数优化
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AWYlhH4c?t 2D参数优化–设计1
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,S 2D参数优化–设计2
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y(MB_B7j xOAq!,|V 制造
公差分析–设计2
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gwQMy$ <n 06(9BF 变化光栅周期的3D参数优化
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制造公差分析
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lTP#6zqfv 2dkWzx 走进VirtualLab Fusion
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/\# f@Sg pR93T+X VirtualLab Fusion中的工作流程
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g:a[N%[C 'JJKnE zQ •构造光栅
结构 hN6wp_ −
通过使用界面来配置光栅结构 qbfX(`nS [用例]
QfAmGDaYQ •分析光栅衍射效率
k|?[EWIi^ −
光栅级次分析器[用例]
?%UiW7}j'; •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
XLCqB|8`V •通过参数优化找到最终设计
4S~kNp$ CvE^t#Bok VirtualLab Fusion技术
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