摘要
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>/1N#S#9 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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st(l85 =6imrRaaV 建模任务
EtJyI&7VK xf<D5 olZ
}kI-UEn$EP 光栅特性与参数的严格分析
|\2zw _o >|!F.W 不同光栅周期下的衍射效率
[wP;g'F ),0_ C\
~YOwg\w^ NY\q 关于光栅周期选择的考虑
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jZS6f*$ r]Bwp i% 偏振相关的衍射特性
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y$7Fq' ;$l!mv7 通过参数优化进行光栅设计
k'}}eu/ q r^-3( 77n 固定周期的2D参数优化
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7(^<Z5@ 2D参数优化–设计1
9+U%k(9 1@RctI_}
+Sv`23G@ qlD+[`=b 2D参数优化–设计2
F=yrqRS= |Y|{9Osus
#ebT$hf30 G*uy@s: 制造
公差分析–设计2
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N Dg%zN i2GS 变化光栅周期的3D参数优化
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x:b0G ViQxOUE 制造公差分析
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==`K$rM sh[Yu 走进VirtualLab Fusion
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j!GJ$yd=-6 hc2[,Hju{O VirtualLab Fusion中的工作流程
v' .:?9 96T.xT>&
~ ?m'; %/b?T]{ •构造光栅
结构 [5,aBf)X −
通过使用界面来配置光栅结构 |lOxRUf~ [用例]
&}@U#w]l •分析光栅衍射效率
i%+cPQ^o −
光栅级次分析器[用例]
SLpB$puS •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
[?iA`#^d •通过参数优化找到最终设计
&0SX*KyI z8{ kwz VirtualLab Fusion技术
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a_4Ny wO&`3Q3~$ 文件信息
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5p}Y6Lc\j I]bqle0M 更多阅览
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings rM#jxAb W76K/A<h> (来源:讯技光电)