摘要
6no&2a|D LOEiV 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
]<BT+6L cK1 Fv6V#
[9C{\t YXLZ2-%ohZ 建模任务
;S?ei>Q e9;5.m
zq'KX/o 光栅特性与参数的严格分析
vnx+1T M,vCAZ 不同光栅周期下的衍射效率
nu `R(2/ 2{xf{)hO?
4*&2D-8<K #|QA_5 关于光栅周期选择的考虑
U?xa^QVhj "=Cjm`9~j
v05$"Ig {U)q) 偏振相关的衍射特性
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$}t;c62 pS~=T}o
?s@=DDB\u ?$6(@>`f&t
%$&_! Ys>Z=Eky 通过参数优化进行光栅设计
.k"unclT0 J(5#fo{Q.g 固定周期的2D参数优化
gs(ZJO1 /L 4C }#lW9
S@@#L 2D参数优化–设计1
]Jnrs 0V+v)\4FE
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?Cb 'd]t@[# 2D参数优化–设计2
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K2gF;( hO2W!68 制造
公差分析–设计2
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6eQa@[.Q D$Ao-6QE
W 变化光栅周期的3D参数优化
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{/g 9z+ZFIf7d 制造公差分析
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|`pDOd ;NF:98 走进VirtualLab Fusion
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Ry40:;MYN ;( (|0Xa VirtualLab Fusion中的工作流程
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F{E`MK~f_ C8O<fwNM
•构造光栅
结构 RBpv40n0 −
通过使用界面来配置光栅结构 IM_SZs [用例]
sZ0)f!aH:_ •分析光栅衍射效率
9?uU%9r5P −
光栅级次分析器[用例]
Z fd `Fu •使用参数运行搜索初始解决方案
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O|}R −
参数运行文档的使用[用例]
XHm6K1mGZ •通过参数优化找到最终设计
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