摘要
QhV!%}7 ,-,BtfE3 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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qo{2 CYG\+ ~Mu=,OT 建模任务
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l{OU\ 光栅特性与参数的严格分析
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` ~&) 不同光栅周期下的衍射效率
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m E<n=g= 5T]GyftFV 关于光栅周期选择的考虑
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v l 偏振相关的衍射特性
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#IH7WaN F=}-ngx8&
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)'\pa2 X2ShxD| 通过参数优化进行光栅设计
}*0OLUFFJ cQj{[Wt4 固定周期的2D参数优化
qSj$0Hq5XI Q)pm3Wi
?FC6NEu}8 2D参数优化–设计1
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Id->F0x0 C/nzlp~ 2D参数优化–设计2
bvM\Qzc!<3 6wV{}K^0
tg%U2+.q P(N$U^pj 制造
公差分析–设计2
?<@yo&) G4Y]fzC
j\t"4=,n \W73W_P&g 变化光栅周期的3D参数优化
pfCNFF*" dL9QYIfP
gwFHp.mE h#p1wK;N 制造公差分析
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_SS6@`X >icK]W 走进VirtualLab Fusion
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z1oikg:?4 "WKE%f VirtualLab Fusion中的工作流程
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{ZK"K+;h ebF},Q(48 •构造光栅
结构 wg? :jK −
通过使用界面来配置光栅结构 $ohg?B; [用例]
8'+XR`g:ax •分析光栅衍射效率
x
Hw$ −
光栅级次分析器[用例]
qx! NU}6 •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
maANxSzi •通过参数优化找到最终设计
@nN+F,phx G7lC'~} VirtualLab Fusion技术
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