摘要
282+1X uwH)/BW)[ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
F)E7(Un`8 .kB3jfw0,
XZep7d} Wy^[4|6 建模任务
XC$+ `? ](9{}DHV
f1]AfH# 光栅特性与参数的严格分析
XY+aunLf
N}l]Ilm$34 不同光栅周期下的衍射效率
xPfnyAo?%z l9ifUhe
n6%jhv9H 3f:1D=f 关于光栅周期选择的考虑
<_sT]?N# *nsnX/e(-
2LxVt@_R!% ~kj(s>xP 偏振相关的衍射特性
:`>+f.) S"KTL *9D
,
R.+-X Z'>eT)
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>uPde5"ZF- X^
^?}>t[ 通过参数优化进行光栅设计
S)'q:`tZo #o"HD6e 固定周期的2D参数优化
q|
=q:4_L #Rm=Em}d
Q5Ghki 2D参数优化–设计1
S^Wqa:; Ji}IV
bF Y)o Z [q>i 2D参数优化–设计2
<R~~yW:H AXU!-er$
^cmP Etr8lm E 制造
公差分析–设计2
HyX4ob[X
DT(Zv2
%*Z2Gef?H Lx:9@3'7' 变化光栅周期的3D参数优化
f\F_?s)_y ik:)-GV;s
Q!+{MsZ
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Y9O 制造公差分析
9y|&T #L4Kwy
NX{-D}1X= tCCi|*P
G 走进VirtualLab Fusion
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mKFHT =3v
1]7X VirtualLab Fusion中的工作流程
hPXVPLm7I p|9ECdU>;
=|5bhwU] &CeF^ •构造光栅
结构 d7K17KiC −
通过使用界面来配置光栅结构 MoR-8vnJ [用例]
AGJ=de. •分析光栅衍射效率
HAUTCX −
光栅级次分析器[用例]
m2<
* •使用参数运行搜索初始解决方案
7F9g:r/^ −
参数运行文档的使用[用例]
gS<