摘要
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} 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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ITU^v !(gSXe)* 建模任务
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dsH*9t:z 光栅特性与参数的严格分析
5vJxhBm/ ~/XDA:nfL: 不同光栅周期下的衍射效率
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RhC|x,E 2$v8{Y& 关于光栅周期选择的考虑
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)j\_*SoH ;#9ioGx 偏振相关的衍射特性
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U`5/tNx i<):%[Q)> 通过参数优化进行光栅设计
Io[NN aF| g> ~+M 固定周期的2D参数优化
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k1ja ([Q 2D参数优化–设计1
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Y%( zWH)\>X59
-m@PqJF^ WIuYSt)h 2D参数优化–设计2
tP"6H-)X& v1Q78P
b%vIaP|]B boHbiE 制造
公差分析–设计2
+vxOCN4}v *C<;yPVc
lfre-pS+ !zllvtK4 变化光栅周期的3D参数优化
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\P")Eh =d U| VL+9#hd 制造公差分析
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E GC' e 走进VirtualLab Fusion
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z;F HZb9t, 9x|`XAB VirtualLab Fusion中的工作流程
UoKVl- {L~dER
)Jdku}Pf :8hI3]9 •构造光栅
结构 %y|pVN!U −
通过使用界面来配置光栅结构 _> x}MW+ [用例]
#o7)eKeQ •分析光栅衍射效率
m#Z&05^ −
光栅级次分析器[用例]
d9BFeq8 •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
E #B$.K •通过参数优化找到最终设计
6u lx0$[ Z\xnPhV VirtualLab Fusion技术
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