摘要
JHxcHh Z",0 $Gxu 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
G_F_TNO /TMVPnvz.
3f`Uoh+ G*=HjLmZg 建模任务
V IzIl\<aM T<uX[BO-a
~VsN\! G 光栅特性与参数的严格分析
dn h qg3Y )z7CT|h7S 不同光栅周期下的衍射效率
@K"$M>n$Z :` SIuu~@
4e#g{, 59.$;Ip;g 关于光栅周期选择的考虑
zJX Z0yRT +L 09^I
02]HwsvZ 5RT#H0/+ 偏振相关的衍射特性
AF:_&gF 7J9<B5U
E2zL-ft. s)\PY
\n}%RD-Ce .U{}N%S
~BI`{/O= =d;a1AO{& 通过参数优化进行光栅设计
)v(rEY (cVIjo+:: 固定周期的2D参数优化
-c>3|bo 4zs0+d+
pW[TufTa 2D参数优化–设计1
Wps^wY T>'w]wi
61_PSScSY IR"C? 2D参数优化–设计2
`C4(C4u |21VOPBS
+P))*0(c_ remc_}`w 制造
公差分析–设计2
zeGWM,! /%g@ ;
PVi;h%>Y dsX"S;`v 变化光栅周期的3D参数优化
z^wod O=K0KOj
13@emb =o~mZ/ 7=M 制造公差分析
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}>iNT.Lvd 1#L%Q(G VirtualLab Fusion中的工作流程
U^}7DJ q"269W:
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c8 •构造光栅
结构 x'-gvbj! −
通过使用界面来配置光栅结构 _gH$
,.j/ [用例]
Lt~&K$t7~ •分析光栅衍射效率
JV,h1/a(" −
光栅级次分析器[用例]
{*;K>%r\o •使用参数运行搜索初始解决方案
+L=Xc^ −
参数运行文档的使用[用例]
$J4)z&%dr •通过参数优化找到最终设计
iYiTkq SDbkPx VirtualLab Fusion技术
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