摘要
*/|lJm'R CBOi`bEf 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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;WM"cJo9 L z!,kwg 建模任务
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{QZUDPPR 光栅特性与参数的严格分析
d`nVc50 RwPN gRF 不同光栅周期下的衍射效率
P 8>d6;o($ 9:,\gw>F
e8]\U/ ng:9 l3x 关于光栅周期选择的考虑
L %K\C S\5bmvqP"
04'~ta(t (TwnkXrR, 偏振相关的衍射特性
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U,gti,IX^ x2z;6) 通过参数优化进行光栅设计
Y"Ql!5= zG9Y!SY\- 固定周期的2D参数优化
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4!" 2D参数优化–设计1
!{)tSipd 8J~1-;
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HwX dBe`p5Z 2D参数优化–设计2
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1~ t{aLPz >teOm?@U 制造
公差分析–设计2
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I_%a{$Gjl [],1lRYI9_ 变化光栅周期的3D参数优化
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~L_hZso4 ;VNMD 6H 制造公差分析
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/K{9OT@> *B\H-lp? VirtualLab Fusion中的工作流程
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!\#_Jw%y <[J[idY1he •构造光栅
结构 @~"anqT` −
通过使用界面来配置光栅结构 P<2+L|X?} [用例]
7kK #\dI •分析光栅衍射效率
"zY](P −
光栅级次分析器[用例]
1>Dl\czn •使用参数运行搜索初始解决方案
hj$e|arB −
参数运行文档的使用[用例]
U{$1[,f •通过参数优化找到最终设计
c.f"Gv }KK Y6D|d> VirtualLab Fusion技术
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Za7q$7F7Bc 3bd5FsI^pU 文件信息
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