摘要
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lbN0v :IKp7BS 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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'_#?%3^ W:( Usy 建模任务
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?*5l}y= 光栅特性与参数的严格分析
ez9M]! 8Lt F^v{ Jqc 不同光栅周期下的衍射效率
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<YNPhu~5 0QSi\: 1f 关于光栅周期选择的考虑
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(#Kvm 6h*bcb#C 偏振相关的衍射特性
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U`4Zj1y ;+Kewi;< 通过参数优化进行光栅设计
"_}D{ws1 AhZ 固定周期的2D参数优化
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)8>f 2D参数优化–设计1
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G7{:d Jg6[/7*m 2D参数优化–设计2
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\!Oe[i 制造
公差分析–设计2
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@Oay$gP{T JKbB, 变化光栅周期的3D参数优化
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2|o$eq3t ~ZC=!|Q# 制造公差分析
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~bOP^' {vlh,0~ 走进VirtualLab Fusion
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i kiy>W8 ,i.P= o VirtualLab Fusion中的工作流程
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sVnuSm E6)mBAE •构造光栅
结构 nClU5 −
通过使用界面来配置光栅结构 +rX,Sl`/
[用例]
FZ/&[;E! •分析光栅衍射效率
@/iLC6QF −
光栅级次分析器[用例]
Or|LyQU •使用参数运行搜索初始解决方案
%s yBm −
参数运行文档的使用[用例]
Cu7iHh Y5 •通过参数优化找到最终设计
R6Lr]H ?xs0J VirtualLab Fusion技术
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