摘要
[_%u5sc-y MH)V=xU|) 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Psf'^42(v
#C }+ 建模任务
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W5'6L=WG 光栅特性与参数的严格分析
*~GI-h >"IG\//I 不同光栅周期下的衍射效率
%Qz<Lk">. MOh&1]2j5
rZwSo]gp <ot`0 关于光栅周期选择的考虑
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@_"cMU! d#+Nef5 偏振相关的衍射特性
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j]&Qai~}Y C.ynOo,W 通过参数优化进行光栅设计
f_PH? ::{\O\w 固定周期的2D参数优化
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]e-QNI 2D参数优化–设计1
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M/Z$?nd_H 6<@+J 2D参数优化–设计2
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+? 制造
公差分析–设计2
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!BW!!/U |qguLab( 变化光栅周期的3D参数优化
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du}HTrsC CR.d3!&28 制造公差分析
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bxPa|s? @i'D)6sC 走进VirtualLab Fusion
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8IL5:7H8 [u*7( 4e VirtualLab Fusion中的工作流程
zqU$V~5;rG |FT.x9e-
Zjn1,\(t~u %4rlB$x •构造光栅
结构 yn+m,K/ −
通过使用界面来配置光栅结构 &FRf-6/ [用例]
U~sC%Ri-@U •分析光栅衍射效率
!7~4`D
c6U −
光栅级次分析器[用例]
`Ivt)T+n; •使用参数运行搜索初始解决方案
Z%ZOAu&p −
参数运行文档的使用[用例]
4e\w C •通过参数优化找到最终设计
Ow1+zltgj- ]3|h6KWq VirtualLab Fusion技术
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