摘要
98}l`J=i Mt4`~`6 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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j"0TAYmXwu =+e;BYD#! 建模任务
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FN0<iL 光栅特性与参数的严格分析
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\LS!N m7,"M~\pX 不同光栅周期下的衍射效率
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X+j$ 关于光栅周期选择的考虑
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1
RyvPP Kn+B):OY+ 偏振相关的衍射特性
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~:A=o?V2 X{5(i3?S 通过参数优化进行光栅设计
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' <B0' %tz foiJ%P 固定周期的2D参数优化
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LZpqv~av 2D参数优化–设计1
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/vPcg gDsb~>rb| 2D参数优化–设计2
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gM#]o QOGE !vSj1w 制造
公差分析–设计2
f,Dj@?3+ yFqB2(Dv
v+2t;PJd2 #.W<[KZf 变化光栅周期的3D参数优化
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[lAZ)6E~= |NWo.j>4- 制造公差分析
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}Ias7d?re r`CsR0[ 走进VirtualLab Fusion
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Y]{~ogsn$: -Fs<{^E3j VirtualLab Fusion中的工作流程
DlbNW& V 4Q(GX.5
>a2i%j/T 3,-xk!W$L •构造光栅
结构 ]PjJy/vkjj −
通过使用界面来配置光栅结构 iwnFCZVS [用例]
3N 5b3F •分析光栅衍射效率
-eoXaP{[ −
光栅级次分析器[用例]
qm=N@@R& •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
\B~}s } •通过参数优化找到最终设计
>hmBV7nR Mu]1e5^] VirtualLab Fusion技术
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