摘要
.xl.P7@JJ ul@3
Bt 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
(~&w-w3 26.)U r<F
s]Gd-j zb :kanb- 建模任务
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k][h9' 光栅特性与参数的严格分析
PNpu*#Z` uE`r /=4 不同光栅周期下的衍射效率
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Blk}I N*_"8LIfi_ 关于光栅周期选择的考虑
Xwq]f:@V .'j29 6[u
#!})3_Qc(y JoJukoy}F 偏振相关的衍射特性
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w"8V0z BvK QlT
8sg|MWSU ?3q@f\fZ
'#D8*OP^ !D:Jbt@R<n 通过参数优化进行光栅设计
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jxS 固定周期的2D参数优化
"3}<8c 3-|3`(
Ur!~<4GO 2D参数优化–设计1
]Blf9h7 J,5+47b1}R
fu4!t31 z%sy$^v@vD 2D参数优化–设计2
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"0Q1qZ q3h'l, 制造
公差分析–设计2
(3;@^S4&w BStk&b
K_ke2{4Jm }k7'"`#?" 变化光栅周期的3D参数优化
gXy-Mpzp VkZ.6kV
!SxG(*u O0huqF$K 制造公差分析
JOD/Raq.1k +Xy*?5E;C
mLyBm 8P2 J2IU 走进VirtualLab Fusion
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Hd &{d+B FvdeQsc! VirtualLab Fusion中的工作流程
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v }\,o%t^ [[+ pMI •构造光栅
结构 |E3X −
通过使用界面来配置光栅结构 X+82[Y,mB. [用例]
k)7{Y9_No •分析光栅衍射效率
09h.1/ −
光栅级次分析器[用例]
W?Ww2Lo%Y •使用参数运行搜索初始解决方案
=,V|OfW −
参数运行文档的使用[用例]
!{%&=tIZ •通过参数优化找到最终设计
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b,i^W VirtualLab Fusion技术
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