摘要
th$?#4SbR }#~DX!Sj 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
7)2Co[t XS L*e
4\cJ}p}LZ{ 6
J&_H(^ 建模任务
$50/wb6s |KV|x^fJ
pyW&`(]S 光栅特性与参数的严格分析
XZ8#8Di8 #6'x-Z_ 不同光栅周期下的衍射效率
!e+^}s *Zj2*e{Z9U
@w%{yzr% (}]ae* 关于光栅周期选择的考虑
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[&tN(K9* E{Tvjh+ 偏振相关的衍射特性
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%ut^ O 9kpCn.rJ 通过参数优化进行光栅设计
Y(qyuS3h~* pb\W7G 固定周期的2D参数优化
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Lk '@{'T LMCi
Ti{~ 2D参数优化–设计1
~{8X$xs 5._=m"Pl
Cwb}$=p' 55mDLiA 2D参数优化–设计2
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CH.~]
SR+<v=i ls^|j%$J 制造
公差分析–设计2
82EH'C H{XD>q.
lZt{L0 wDL dmrB 变化光栅周期的3D参数优化
xE[CNJ%t^, g[#4`Q<.
I^CKq?V?: rA"><pH 制造公差分析
B. J_(V+ !oJ226>WI
v0d<P2ix p^E}%0# 走进VirtualLab Fusion
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0Rme}&$ 53i7:1[uV VirtualLab Fusion中的工作流程
N?RJuDW T!iRg=<bz
M)<4|x ]tu:V,q •构造光栅
结构 MPn
6sf9M −
通过使用界面来配置光栅结构 'K"7Tex [用例]
GC<zL} •分析光栅衍射效率
U#7moS'r −
光栅级次分析器[用例]
o:.6{+|N •使用参数运行搜索初始解决方案
f19~B[a −
参数运行文档的使用[用例]
`;:zZ8* •通过参数优化找到最终设计
%+1;iuDL G;'=#c
^ VirtualLab Fusion技术
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!6d6b@Mv " iKX-VIl 文件信息
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