摘要
\8Hs[H! ~m'8<B5+ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
sXi~cfFaE oj(st{,
2oF1do; j "s7P% 建模任务
[v+5|twxpU _-T^YeQ/
bZ>dr{%%e 光栅特性与参数的严格分析
O'Q,;s`uC {pc (b 不同光栅周期下的衍射效率
WfXwI 'y cy(4g-b]@e
wVq9t|V 8wrO64_NO 关于光栅周期选择的考虑
y9N6!M|'y &P,uK+C4
Yr*!T= z /iEQ} 偏振相关的衍射特性
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AHo }K\O?r :}R,a=N
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.Y0O. kTcW=AXu 通过参数优化进行光栅设计
)$GCur~ Ncr Bp( 固定周期的2D参数优化
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&Hyy .a 2D参数优化–设计1
}U(bMo@; H#uN&^+H
"L;@qCfhO ))dw[Xa 2D参数优化–设计2
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2rW9ja ;.Ld6JRunw 制造
公差分析–设计2
V!(7=ku!` Eg&:yF}?(
C}|.z lcLDCt? 变化光栅周期的3D参数优化
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m[%':^vSr 2$MoKOx8$ 制造公差分析
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Y<jX[ET! vS"h`pL 走进VirtualLab Fusion
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5Cs 3AglvGK7{
}]#z0'Aqsu Cn{v\Q~.4 VirtualLab Fusion中的工作流程
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z<p eEfGH •构造光栅
结构 Sa%%3_& −
通过使用界面来配置光栅结构 .jg@UAK [用例]
'sXrtl7{^ •分析光栅衍射效率
R?;mu^B −
光栅级次分析器[用例]
zy%0;% •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
mQ<4(qd) •通过参数优化找到最终设计
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H3*]}= VirtualLab Fusion技术
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