摘要
v> LIvi|] ^h(ew1: 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
R6` WN m(r,Acy6
%|s; C HZ aV7dOZ8 建模任务
l.q&D< _ Ot4 Z{mA
hr#M-K 光栅特性与参数的严格分析
\T4v|Pw\ OV1_|##LC 不同光栅周期下的衍射效率
Eq% } H9'$C/w
cq,S P&T~ wg9t)1k{e 关于光栅周期选择的考虑
vNyf64) m]'#t)B_m
7BE>RE=) C'>|J9~Gz 偏振相关的衍射特性
;;!yC GA$V0YQX
OSRp0G20k\ Y4J3-wK5
h=W:^@G h1j!IG
,1y@Z 5wy 1auIR/=- 通过参数优化进行光栅设计
rlML W w^\52 固定周期的2D参数优化
|tKsgj bHY=x}Hv
W/=.@JjI 2D参数优化–设计1
_('=b/ 9e<.lb^tP
ts,ZvY] %41m~Wh2 2D参数优化–设计2
zG }@0 e6`Jbu+J<f
=J18eH!] E@z<:pG{ 制造
公差分析–设计2
`XJG(Oas\ Q$a{\*[:+
;!>rnxB?4 @bi}W` 变化光栅周期的3D参数优化
TtJH7 6O7'!@@
eVEV}`X g&^quZ"H 制造公差分析
.r|tSfm6 _mj,u64
-Fi`Z$ kI,yU}<Fq 走进VirtualLab Fusion
~Zun&b)S OyStq i
8f_l}k$Eg /,BD#| VirtualLab Fusion中的工作流程
^a/gBC82x sG(~^hJ_
2A']yD o$wEEz*4 •构造光栅
结构 ^+*N%yr −
通过使用界面来配置光栅结构 $|zX| [用例]
`vU%*g&R •分析光栅衍射效率
Y@NNrGDkT* −
光栅级次分析器[用例]
Rm2yPuOU}A •使用参数运行搜索初始解决方案
im${3 >26 −
参数运行文档的使用[用例]
SU MrFd~ •通过参数优化找到最终设计
E7WK
( U2ohHJ`` VirtualLab Fusion技术
N&.H|5 df*#!D7oz
OstQqV%@ 0XOp3 文件信息
nB_?ckj, Hf%@3X mbKZJ{|4s
[NF'oRRD9s :W"~
{~#? 更多阅览
aKJwofD -
Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers V"[g.%%Y -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block bc7/V#W -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings 2\)xpOj EW}Bz h>b (来源:讯技光电)