摘要
l`uI K. 0G31Kou 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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-t 7u{V1_n1 C}#$wge
#c!rx%8I 建模任务
@R-11wP)M [~PR\qm 5(gWK{R)* 光栅特性与参数的严格分析
z&cM8w: lEgjv, 不同光栅周期下的衍射效率
t~7OtPF <UF0Xc&X' Xp] jF^5 nY7gST 关于光栅周期选择的考虑
QChncIqc Esu{c9, ta6>St7. 9: .m]QN 偏振相关的衍射特性
? cXW\A( /ej[oR j+fib} 8} W]oa7VAq iO&*WIbg OP<N!y ?[ O wuc9 %3O))Ug5 通过参数优化进行光栅设计
~`Rar2%B XUzOt_L5< 固定周期的2D参数优化
"={* 0P .%y'q!? HMC-^4\%[ 2D参数优化–设计1
Cdy,8* 9/!1J T60pw RyP MzxV 2D参数优化–设计2
PW|=IPS ]=VRct
" ~+j2a3rv-{ zz[fkH3 制造
公差分析–设计2
>s 6ye &e6UEG rf-yUH]&S r<vy6 变化光栅周期的3D参数优化
Xp_m=QQsm i(pHJP:a: [al$sCD]+ {aN pk,n 制造公差分析
/2zan} Cdib{y<ji 0Dna+V/jI $,2T~1tE 走进VirtualLab Fusion
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QhS5e &oMWs]0 [nZIV :IU7dpwDl VirtualLab Fusion中的工作流程
!b7"K| }04mJY[ BO#tn{(# vue^bn •构造光栅
结构 hiBsksZRnk −
通过使用界面来配置光栅结构 Lj(cCtb) [用例]
?WHf%Ie2( •分析光栅衍射效率
njf\fw_ −
光栅级次分析器[用例]
'St6a* •使用参数运行搜索初始解决方案
=V]0G,,\ −
参数运行文档的使用[用例]
(z>t 4(%\ •通过参数优化找到最终设计
>9rZVNMU Oo@o$\+v VirtualLab Fusion技术
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