摘要
!Q<8c =f <x.]OZgO 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Q'>_59 4'd;'SvF 建模任务
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D, 光栅特性与参数的严格分析
\H"/2o%l") WW,r9D:/ 不同光栅周期下的衍射效率
x`/m>~_ bw<~R2[
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J2x Y2ah zB 关于光栅周期选择的考虑
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zEA{%)W ~7eUt^SD; 偏振相关的衍射特性
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zo~^o p~k`Z^xY$
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7Vof7Y < PN)TX~} 通过参数优化进行光栅设计
m+G0<E% A~%g" 固定周期的2D参数优化
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b;t}7.V'% 2D参数优化–设计1
F".IB^}$ 1)c=15^
ES2d9/]p- p-i]l.mT5 2D参数优化–设计2
^ZViQ$a"h; L_CEY
D%";!7u tMs|UC 制造
公差分析–设计2
P.2.Ge| {)dEO0 p
CI3_lWax% Fw8X$SE" 变化光栅周期的3D参数优化
crOtQ Ee?K|_\${
e]y=]}A3{ :_[cT,3 制造公差分析
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VL,?91qwe i?s&\3--Y 走进VirtualLab Fusion
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E/Gs',Y Gpp}Jpj VirtualLab Fusion中的工作流程
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7-0twq
#z54/T •构造光栅
结构 LRlk9:QD> −
通过使用界面来配置光栅结构 U JRT4>G [用例]
VlXy&oZ •分析光栅衍射效率
-<^Q2]PE; −
光栅级次分析器[用例]
KVe'2Q< •使用参数运行搜索初始解决方案
RBojT −
参数运行文档的使用[用例]
MicVNs •通过参数优化找到最终设计
[tw<TV"\ vWU4ZBT8G VirtualLab Fusion技术
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Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block b4OR`dd*J -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings
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