摘要
HXSryjF? f"P866@oWn 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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cQBV &C+2p 建模任务
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Ca5#'3Eh 光栅特性与参数的严格分析
P.@dB.Ny (w)%2vZ^ 不同光栅周期下的衍射效率
=<3HOOC 8R!-,I"$
v$Fz^<Na gM>?w{!LBx 关于光栅周期选择的考虑
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K74
P@ew' JL% ^AaE$G&: 偏振相关的衍射特性
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&d2L9kTk CU\gx*=E
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5)T[ha77u SDO:Gma 通过参数优化进行光栅设计
$&Vba@v <i</pA 固定周期的2D参数优化
q9rm9#}[J# 9 ;p5z[jI
\ opM}qZ 2D参数优化–设计1
7WS$fUBi 5tpC$4m
yP+<kv4 }k-8PG = 2D参数优化–设计2
#0b:5.vy :cWU,V
/Tm+&Jd c86KDEF 制造
公差分析–设计2
[(x*!,= UzaAL9k
p4f9v:b[ 7:?\1a 变化光栅周期的3D参数优化
~9FL]qo :Q=y'<
o}:x-Y sk3 9[9 制造公差分析
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8bdO-LJ9 Jk>vn+q8P^ 走进VirtualLab Fusion
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2H.g!( Oza Q&r.wV| VirtualLab Fusion中的工作流程
V /2NIh ,Kj>F2{
JH]S'5X8K 6WZffB{-TK •构造光栅
结构 KF+r25uy[+ −
通过使用界面来配置光栅结构 WyatHC [用例]
%50)?J=zB •分析光栅衍射效率
r+C4<-dT −
光栅级次分析器[用例]
)m;*d7l~p •使用参数运行搜索初始解决方案
W..*!UGl −
参数运行文档的使用[用例]
3JQ7Cc> •通过参数优化找到最终设计
@ !su7 Wjl2S+Cc VirtualLab Fusion技术
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lM4 Z7mT / PF/K&&9} 文件信息
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