摘要
iSax-Mc 6ns_4,
e 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
247>+:7z (\_d'Js(;
w|e i*L S]{Z_|h*j 建模任务
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O2B$c\pw 光栅特性与参数的严格分析
C<)&qx3 Sn,z$-;h; 不同光栅周期下的衍射效率
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vudeaup G
0 yt%qHE
sa?;D mLqm83 关于光栅周期选择的考虑
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4]R3*F :-8u*5QK]` 偏振相关的衍射特性
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NI)nf;C F'!}$oT"
tIw4V^'| o%iTYR:x 通过参数优化进行光栅设计
b"V-!.02 `.XU|J*z, 固定周期的2D参数优化
|@F<ajlV R(fR1
$+j) 2D参数优化–设计1
r+crE %- vC1 `m
fQh!1 R C0wq 2D参数优化–设计2
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rjzRH M9nYt~vHX 制造
公差分析–设计2
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uNjy&I: c"r( l~fc 变化光栅周期的3D参数优化
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YDJc@*D [o6d]i! 制造公差分析
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(J;<&v}Gad O #"O.GX< 走进VirtualLab Fusion
z!tHn# O B:G5B`
&%<G2x$ W=drp>Uj VirtualLab Fusion中的工作流程
hO8B]4=&* fsu'W]f
W-MQMHQ C|+5F,D •构造光栅
结构 9ZwhCsO −
通过使用界面来配置光栅结构 9S}PCAA; [用例]
dJk.J9Z •分析光栅衍射效率
/$E1!9J −
光栅级次分析器[用例]
/>$kDe •使用参数运行搜索初始解决方案
H)Yv_gT −
参数运行文档的使用[用例]
d{Z •通过参数优化找到最终设计
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MlW TX;|g1K VirtualLab Fusion技术
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