摘要
(%huWW
j /;t42
g9w 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
;&Q8xC2 )&"l3*x
uUUj?% :xitV]1.
建模任务
b]v.jgD qm-G=EX
fLj#+h-! 光栅特性与参数的严格分析
d&:ABI Iz/o|o]# 不同光栅周期下的衍射效率
iV!o)WvG,F G 2]/g
/ c1=`OJ wf!?'* 关于光栅周期选择的考虑
z116i?7EnV 7]t$t3I`
G 3HmLz uV r6tb1 偏振相关的衍射特性
| I_,;c kw8?::
<
Xqt3p6 &>UI {
^YddVp Y27x;U
-4|\,=j &ah!g!o3 通过参数优化进行光栅设计
:- B,Q3d QMoh<[3qu
固定周期的2D参数优化
zQJ9V\0 Az29?|e
H]V@Q~?e 2D参数优化–设计1
kB-%T66\ T^3_d93}d
gF(aYuk X}.y-X#v5J 2D参数优化–设计2
A;nrr1-0 rPVz!(;k
gPO,Z T8&
kxp 制造
公差分析–设计2
8RJXY:% 0|g|k7c{rF
-1Acprr RG [*:ReB9 变化光栅周期的3D参数优化
CV% AqJN Ek|#P{!
[5
Mt,skC: j(4BMk 制造公差分析
}J27Y;Zp9 BsV2Q`(gT
^&oa\7<' tz&'!n}
走进VirtualLab Fusion
\.+.VK xc[LbaBG
j4j %r( Ws"eF0,'Z VirtualLab Fusion中的工作流程
?N2/;u> ~kUdHne(
= h,6/cs fHTqLYd- •构造光栅
结构 tZlz0BY! −
通过使用界面来配置光栅结构 h|h-< G?> [用例]
LaL.C^K •分析光栅衍射效率
va \5
−
光栅级次分析器[用例]
iM;7V*u •使用参数运行搜索初始解决方案
?4%'6R −
参数运行文档的使用[用例]
Rg3 Lo ? •通过参数优化找到最终设计
|=H*" ( asT:/z0 VirtualLab Fusion技术
CR*R'KX D% B{'x2I#,
<fq?{z B. Rc s 文件信息
>[TB8 B9IqX zlC|Sp af
`9QvokD 44T>Yp09 更多阅览
8F|8zX& -
Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers `p`)D6 -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block "Ka2jw, -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings E-,/@4k R*~<?}Rr (来源:讯技光电)