摘要
e>UU/Ks U6F7dT 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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1j]vJ4R_\ pK"iTc#\X 建模任务
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6o1[fr 光栅特性与参数的严格分析
+V9 (4la b5#Jo2C`AJ 不同光栅周期下的衍射效率
z:8ieJ)C #h#_xh'
v"*c\, ><C9PS@ 关于光栅周期选择的考虑
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',1[rWyc t9.| i H 偏振相关的衍射特性
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+Mb}70^ vs{VRc
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_.v 通过参数优化进行光栅设计
5~OKKSUmT 4,&f#=Y 固定周期的2D参数优化
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l>6p')F! 2D参数优化–设计1
ctPT=i60 g)}q3-<AK>
It]GlxMX `[h&Q0Du6 2D参数优化–设计2
R*H-QH/H1 ]l"9B'XR
L lD=c K."W/A! 制造
公差分析–设计2
(/S6b +fHqGZ]
D|2lBU )1g\v8XT 变化光栅周期的3D参数优化
Qnx?5R-}ZU 39x
4(
'8LHX6FXK d>0 j!+s 制造公差分析
w6ck wn, 55Xfu/hQ
?z3|^oU~d W]D+[mpgK 走进VirtualLab Fusion
[KMS/'; ] Hn]6re
z3M6<.K ,nWZJ&B VirtualLab Fusion中的工作流程
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Gw#z:gX2 S-79uo •构造光栅
结构 Pa{bkr −
通过使用界面来配置光栅结构 aW#^@||B [用例]
{~V_6wY g •分析光栅衍射效率
[9Hrpo]tU: −
光栅级次分析器[用例]
;I>77gi`] •使用参数运行搜索初始解决方案
+$R%Vbd −
参数运行文档的使用[用例]
b(A;mt#N •通过参数优化找到最终设计
GPAz#0p p]6/1&t