摘要
PTfN+ hlYS=cgY= 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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:..E:HdYO UtHmM,*I 建模任务
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*+4>iL*: 光栅特性与参数的严格分析
OgzGkc@A mH7CgI 不同光栅周期下的衍射效率
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tIg CF? KBUAdpU8 关于光栅周期选择的考虑
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@COP? J"a2
@S& 偏振相关的衍射特性
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[W8iM7D Rzn 0-cG 通过参数优化进行光栅设计
|tolgdj Xoa<r9 固定周期的2D参数优化
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^QHMN 7r/ 2D参数优化–设计1
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Hhce:E@K *Tlws 2D参数优化–设计2
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公差分析–设计2
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3\U,Kg nH3b<k;S 变化光栅周期的3D参数优化
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b3HTCO-,fC kod_ 1LD 制造公差分析
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n*8RYm)? 0_xcrM 走进VirtualLab Fusion
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-r2qIt *]UEF_ VirtualLab Fusion中的工作流程
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Zr •构造光栅
结构 R8W44I*R: −
通过使用界面来配置光栅结构 l?<z1Acd& [用例]
g1!L.
On •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
(w:ACJ[[ •使用参数运行搜索初始解决方案
M{kh=b)V −
参数运行文档的使用[用例]
g4qdm{BL •通过参数优化找到最终设计
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