摘要
$h1`-=\7 "3CQ0 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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(e HN,E+dQ
k&|L"N|w TV)bX 建模任务
6wH]W+A `` (D01<
i)fAm$8#G 光栅特性与参数的严格分析
Aat_5p u'cM}y& 不同光栅周期下的衍射效率
ecIxiv\ 1(0LX^%
P!yE{_% fiA_6 关于光栅周期选择的考虑
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)G6{JL-I Dp|y&x! 偏振相关的衍射特性
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o= VzVg 9`kxyh</
FbB^$ ]* ]kUF>Wp 通过参数优化进行光栅设计
c!l=09a~a+ JK:i- 固定周期的2D参数优化
!4zSE,1 gj{2"tE
1,,kU 2D参数优化–设计1
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Hq'mv_}qG M qq/k J 2D参数优化–设计2
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=Tv;?U C X5i?Bb. 制造
公差分析–设计2
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5tUp[/]pl &u)
R+7bl, 变化光栅周期的3D参数优化
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$<R\|_6J \FOoIY!.x 制造公差分析
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6qfL-( G n[$b k_S 走进VirtualLab Fusion
B:5\+_a! OxGKtnAjf
!DgN@P.o Pi|WOE2 VirtualLab Fusion中的工作流程
+[386 k=D_9_
M*ZR+pq, F*""n •构造光栅
结构 t){})nZ/4 −
通过使用界面来配置光栅结构 x'dU[f( [用例]
i\E}!Rwl+ •分析光栅衍射效率
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_aw&W}Z −
光栅级次分析器[用例]
La&?0P A •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
-Zs.4@GH •通过参数优化找到最终设计
UQZ<sp4v; M\4pTcz{ VirtualLab Fusion技术
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