摘要
9rB3h`AVF %lKw+D 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
Z0|5VLk,<{ 6fwNlC/9
yUoR6w 0'q4=!l 建模任务
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Q
G)s 光栅特性与参数的严格分析
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Zi; 不同光栅周期下的衍射效率
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W5jwD YMGy-]!o 关于光栅周期选择的考虑
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wG3L+[, F)P:lvp<r 偏振相关的衍射特性
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SH*'< 9~p;iiKGG 通过参数优化进行光栅设计
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I 固定周期的2D参数优化
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z:'m50' 2D参数优化–设计1
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XY0kd&N8 gI:g/ R 2D参数优化–设计2
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2[
sY?C L F?/60 制造
公差分析–设计2
G<Z}G8FW^ Nr4Fp`b8
@Z]0c=-+ ]0i[= 变化光栅周期的3D参数优化
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5nPvEN/ >N3X/8KL% 制造公差分析
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走进VirtualLab Fusion
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sbvP1|P8% DVQr7tQf VirtualLab Fusion中的工作流程
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GtRpgM HB9"T5Pd* •构造光栅
结构 t%@iF
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通过使用界面来配置光栅结构 pbzt8 P[ [用例]
Y58H.P •分析光栅衍射效率
;LS. −
光栅级次分析器[用例]
WO>A55Xya •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
rEr=Mi2 •通过参数优化找到最终设计
^%oH LsY9 33`bKKO} VirtualLab Fusion技术
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