摘要
cXPpxRXBD e Ucbe33 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
R iLl\S# p^pd7)sBr M-nRhso EB}B75)x 建模任务
l+9RPJD/: ubM1Q r `;j1H<L 光栅特性与参数的严格分析
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不同光栅周期下的衍射效率
)#m{"rk[x, /o9it; h9QM
nH' ,D;8~llM 关于光栅周期选择的考虑
/x??J4r0 C}h(WOcr`X K1 "HJsj Mt4 偏振相关的衍射特性
46=E- Tq q-(~w!e t`8Jz~G` 2 nyK'k L<!h3n F_qApyU,7 th{f|fm62 nLm'a_ 通过参数优化进行光栅设计
4;6"I2;zfG y~+LzDV 固定周期的2D参数优化
M7/5e3 9
Zo s; |KhpF1/( 2D参数优化–设计1
bo=H-d| u&l;\w jA1S|gV >
SZ95@Oh 2D参数优化–设计2
{ 4j<X5V ?Z{/0X)]| c,r6+oX c +]r 制造
公差分析–设计2
R|RGoGE6g E:9RskI TgcCR:eL= x<l 5wh 变化光栅周期的3D参数优化
'l/l]26rO4 <#:iltO sccLP_#Z <sC(a7i1 制造公差分析
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Q,.dIPla oc"p5Y3,Os q?j7bp] 走进VirtualLab Fusion
&- p(3$jn7 | d*<4-: @g[ijs\ XIMh< VirtualLab Fusion中的工作流程
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# F7} yt CZzt=9 •构造光栅
结构 #sU>L= −
通过使用界面来配置光栅结构 :tV"uWZFU [用例]
Z%?>H iy'o •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
eV_",W •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
n'ZPB •通过参数优化找到最终设计
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VirtualLab Fusion技术
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