摘要
1gA9h-'w zJH#J=O 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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zT\nj&7 oV)#s! 建模任务
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U.fLuKt 光栅特性与参数的严格分析
*?2aIz" <}G*/ z?/ 不同光栅周期下的衍射效率
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zz)[4G k$kOp *X 关于光栅周期选择的考虑
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lo1<t<w` _(U|Kpi 偏振相关的衍射特性
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m| /?((s iI!MF1 通过参数优化进行光栅设计
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公差分析–设计2
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-p-<mC@<&S z#( `H6n: VirtualLab Fusion中的工作流程
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,rU>)X 7 {n>0@_ •构造光栅
结构 RT~6 #Caf −
通过使用界面来配置光栅结构 (6Y.|u]bq [用例]
>jBa •分析光栅衍射效率
-~|E(ys −
光栅级次分析器[用例]
'QP~uK •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
< %t$0' •通过参数优化找到最终设计
NbyXi3@v Lj,!025 VirtualLab Fusion技术
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