摘要
n/h,Lr)Z ]niJGt 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
4T=u`3pD7l Op_RzZP`
G>q(iF' {6}eN|4~# 建模任务
.B\ 5OI,] K3=3~uY
g>J<%z,}2 光栅特性与参数的严格分析
J.8IwN1E ,dx3zBI 不同光栅周期下的衍射效率
C?2'+K RoyPrO [3
S*n@81Z d20gf:@BM 关于光栅周期选择的考虑
B`
k\ EL' X@f "-\
!U5Wr+83 Yc'kvj)_M 偏振相关的衍射特性
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zF`c8Tsx]) ]GRWnif
Y_QH&GZ 4!LCR}K
(x3.poSt WoBo9aR 通过参数优化进行光栅设计
AU$Uxwz4 D)d~3`=# 固定周期的2D参数优化
K5XK%Gl" ka3u&3"
u5Ftu?t 2D参数优化–设计1
/IM#.v ^Y
iJV7
`3hSLR uxzze~_+C 2D参数优化–设计2
E~_]Lfs) OdB?_.+$
T16{_ 4Z/Q=Mq2 制造
公差分析–设计2
zNIsf" z
d-Tv`L#
LH@j8YB5u !H}vu]R 变化光栅周期的3D参数优化
R@`y>X GNJ Q
!(pE&
<0PT"ij yd?x=| 制造公差分析
yfC^x%d7G k+DR]icv
zBe8,, e QJ7L7S 走进VirtualLab Fusion
G3{=@Z1 ?IGVErnJJC
a@0BBihz (bh95X VirtualLab Fusion中的工作流程
4`8< >z.<u|r2
Jyqc2IH |H!9fZO •构造光栅
结构 ^J\~XYg{7 −
通过使用界面来配置光栅结构
.fdL&z [用例]
6l4mS~/ •分析光栅衍射效率
b&5lY p"d −
光栅级次分析器[用例]
hjQ~uqbg •使用参数运行搜索初始解决方案
r{rQu-|. −
参数运行文档的使用[用例]
C|?o*fQ •通过参数优化找到最终设计
,-OCc!7K 3hK#'."`N VirtualLab Fusion技术
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zD?K>I = -^ C=]Medl 文件信息
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