摘要
Z?=o(hkd j}/).O 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
B[7,Hy,R j5:4/vD
xYv;l\20. ,9I-3**W 建模任务
$G)HU6hF* oLX[!0M^
)SZ#%OE* 光栅特性与参数的严格分析
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ynudO 不同光栅周期下的衍射效率
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x7b $)KODI>|
N3\RXXY sm{0o$\Z 关于光栅周期选择的考虑
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fDW:|%{Y, D4hT Hh 偏振相关的衍射特性
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3ww\Z8UeK z(%tu 通过参数优化进行光栅设计
wY%t# [T3 6[R6P:v&'G 固定周期的2D参数优化
8`)* ?Q9~ }xBO;
j<BRaT 2D参数优化–设计1
' ,]Aj!q ey9hrRMR
VR1]CN"G CC3i@ 2D参数优化–设计2
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~ 制造
公差分析–设计2
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<{;'0> ToM r9M3rj] 变化光栅周期的3D参数优化
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hPG@iX|V o(?9vU 制造公差分析
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] Ro 走进VirtualLab Fusion
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#Q["[}flVv >}NnzZ VirtualLab Fusion中的工作流程
>+;}"J ,/V~T<FI
Z{l`X#': D'ZUbAh! •构造光栅
结构 }Ptv[{q]GE −
通过使用界面来配置光栅结构 ~(tt.l# [用例]
2g5 4<G*e •分析光栅衍射效率
8q6Le{G −
光栅级次分析器[用例]
FwB xag:u •使用参数运行搜索初始解决方案
)Kl@dj −
参数运行文档的使用[用例]
v)|a}5={ •通过参数优化找到最终设计
| ~>7_: 3"my!}03 VirtualLab Fusion技术
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