摘要
D!TL~3d
1 @#ih;F 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
EKf"e*|(L b#|M-DmT
uY5 &93R Ps0'WRJnx 建模任务
|{]\n/M ]t]s/;9]K
&ZFsK c# 光栅特性与参数的严格分析
rixNz@p'% <pRb#G" 不同光栅周期下的衍射效率
+2`RvQN ihKnZcI$i
hRSRz5 J} D52ELr7 关于光栅周期选择的考虑
R<)7,i`F IZeWswz
UO8#8 NMmk, 偏振相关的衍射特性
dkJ+*L5 -uN5DJSW
I(ds]E
;_E $+zev$f
%v:9_nwO) )Z0pU\
n_sCZ6uXEQ k61Ot3 通过参数优化进行光栅设计
Ix !O&_6s JC}y{R8 固定周期的2D参数优化
SfQ,uD6 gO4`e(W
?%(8RQ 2D参数优化–设计1
5YMjvhr?W '>_'gR0O
6~V$0Y>] ~c,HE] B 2D参数优化–设计2
8a|p`)lT XJDp%B
=9 FY;9 $`x4|a8- 制造
公差分析–设计2
,*8}TIS(s QM`A74j0]\
a_w#,^/P jTaEaX8+ 变化光栅周期的3D参数优化
=l&7~ :CNWHF4$
!.H< dQS [2~Et+r6g 制造公差分析
z%(m:/N70 #g\O*oYaw
3|-)]^1O Eic/#j{4 走进VirtualLab Fusion
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}Zc.rk Ly/"da VirtualLab Fusion中的工作流程
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ir-srVoXy W'eF
| hu •构造光栅
结构 b;`gxXeL −
通过使用界面来配置光栅结构 '@i/?rNi%N [用例]
.&=nP?ZPC6 •分析光栅衍射效率
x6\EU=, −
光栅级次分析器[用例]
Zsc710_ •使用参数运行搜索初始解决方案
puA~}6C −
参数运行文档的使用[用例]
k?3NF:Yy7 •通过参数优化找到最终设计
$3zs?Fd` ='a[(C&Y VirtualLab Fusion技术
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