摘要
iITp**l 5lTD]d 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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t\r:E2
O .#fPw_i 建模任务
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We}lx{E 光栅特性与参数的严格分析
O"*`'D|hK Q>8pP \ho 不同光栅周期下的衍射效率
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[7 Vgs
R#(G%66
o2=A0ogz? 关于光栅周期选择的考虑
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F98i*K`" Y)XvlfJ,h? 偏振相关的衍射特性
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n.hElgkUOr kIvvEh<L=
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f:xWu- #Qbl=o4 通过参数优化进行光栅设计
NQ9Ojj{# d~*TIN8Ke~ 固定周期的2D参数优化
/smiopFcq Lw*]EG|?
Q_zr\RM> 2D参数优化–设计1
q0O&UE)6Y
/\=MBUN
[VSU"AJY R Fko>d 2D参数优化–设计2
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pS`M &mE?y%
cDV^8 R :0^s0l 制造
公差分析–设计2
2cf' ,cv@8 rt4Z;
sR=/%pVN cxP6-tV% 变化光栅周期的3D参数优化
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A0 G f h<*8w0H
x&=9P e( #cKqnk 制造公差分析
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x<B'.3y KhaYr)&~ 走进VirtualLab Fusion
.q;ED`G ^O6*e]C$
nr\q7 +F@_Es<6 VirtualLab Fusion中的工作流程
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ii4B?E IA*KaX2S< •构造光栅
结构 ?o[L7JI −
通过使用界面来配置光栅结构 MZv\ C [用例]
S~F` •分析光栅衍射效率
p!W[X%`) −
光栅级次分析器[用例]
)\ 0F7Z •使用参数运行搜索初始解决方案
9dKul,c −
参数运行文档的使用[用例]
,&]MOe4@> •通过参数优化找到最终设计
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dZ VirtualLab Fusion技术
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