摘要
K]ds2Kp& NeniQeR 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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i[PksT#p |/!RN[< 建模任务
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/(Ryh6M 光栅特性与参数的严格分析
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0/,teJk Qz([\Xx: 不同光栅周期下的衍射效率
DC*6=m_ r%%<
\`8?=_ST R3E|seR 关于光栅周期选择的考虑
u{|^5%) [k7 ;^A5/
i{k v$ir! &(~"OD 偏振相关的衍射特性
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[)nU?l {e83 A/{
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0mI4hy WRN}>]NgQ 通过参数优化进行光栅设计
;f2<vp;U _sIr'sR~ 固定周期的2D参数优化
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C<N7zM wT 2D参数优化–设计1
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=}[m_rp& z2OXCZ*/ 2D参数优化–设计2
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eqmo Hu$JCB-% 制造
公差分析–设计2
9v76A~~ CpC6vA.R
10$:^ _)^`+{N< 变化光栅周期的3D参数优化
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$kn"S>jV T$s )aM 制造公差分析
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n|!O .+\b ^%Fn|U\u 走进VirtualLab Fusion
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VirtualLab Fusion中的工作流程
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wm/>_ <F+9#- •构造光栅
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通过使用界面来配置光栅结构 @wW)#!Mou [用例]
O]\eMM& •分析光栅衍射效率
E0"DHjR −
光栅级次分析器[用例]
f'B#h;` •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
(r$QQO)/ •通过参数优化找到最终设计
"'mr0G9X 3G-f+HN^E VirtualLab Fusion技术
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