摘要
X2i}vjkY <u:WlaS 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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S&Ee,((E( gzD@cx?V 建模任务
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dVo.Czyd 光栅特性与参数的严格分析
U*P. :BvG R$Tp8G>j 不同光栅周期下的衍射效率
3y~r72J P?]aWJ
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NpT}dj -TOI c% 关于光栅周期选择的考虑
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pdEiqLhH $4T2z- 偏振相关的衍射特性
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.ol'.t,S Z0>DNmH*
?kz+R' EmT`YNuc 通过参数优化进行光栅设计
y{a$y}7#X H<G4O02i_ 固定周期的2D参数优化
?[MsQQd~ iIGbHn,/
X*7\lf2 2D参数优化–设计1
Ep4Hqx $ C}*cx$.
oo$MWN8a>r [J0v&{)? 2D参数优化–设计2
D*Q.G8( e%>b+Sv
CCGV~e+ F("#^$ 制造
公差分析–设计2
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GBC*>Y }Y17*zp% 变化光栅周期的3D参数优化
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DBs*Fx[ [!VOw@uz 制造公差分析
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j` /&r*zNq Ij'NC C 走进VirtualLab Fusion
JkA|Qdj~Mr zK+52jhi
pNE(n4v Z2bcCIq4 VirtualLab Fusion中的工作流程
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^ 2u/n 2_t=P|Uo •构造光栅
结构 \ U-vI:J_ −
通过使用界面来配置光栅结构 >uI$^y1D [用例]
O;]?gj 1@ •分析光栅衍射效率
qUF1XJZ}z −
光栅级次分析器[用例]
0%;146.p •使用参数运行搜索初始解决方案
@)8]e
S7 −
参数运行文档的使用[用例]
Y#01o&f0n •通过参数优化找到最终设计
jec:i-, '7im VirtualLab Fusion技术
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s-VSH mi2o1"Jd$` 文件信息
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