摘要
4"=pcHNV Bqgw%_ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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qeGOSGc_ }N!8i'suz9 建模任务
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f& *E;l0 光栅特性与参数的严格分析
AkC\CdmA ~!u94_: 不同光栅周期下的衍射效率
t|_g O!w8 !4fL|0
c+VUk*c3 Ce emR>\t 关于光栅周期选择的考虑
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lPP7w`[PA (Zkt2[E` 偏振相关的衍射特性
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vzPrG%Uu7g %/p5C
W'yICt(#G ZN/") 通过参数优化进行光栅设计
BZsxf'eN'
6zSN?0c 固定周期的2D参数优化
\WEC1+@ NKN!X/P
14O/R3+ 2D参数优化–设计1
,P]{*uqGiB |/ Z4lcI
E.brQx#} ygG9ht 2D参数优化–设计2
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UlR7_ XCY4[2*a> 制造
公差分析–设计2
NaIVKo +=v|kd
?/D#ql7 O4{&B@! 变化光栅周期的3D参数优化
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|tkmO: [iz 制造公差分析
D!CGbP( 0td;Ag
qW9|&GuZ$ 2q>4nN 走进VirtualLab Fusion
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l"64w>,
2]l*{l^ Bl @%K 8oYK VirtualLab Fusion中的工作流程
49yN|h;c! >ObpOFb%
7u; B[qH =KMck=#B •构造光栅
结构 7G(X:! −
通过使用界面来配置光栅结构 i*3_ivc) [用例]
G{<wXxq% •分析光栅衍射效率
=0A{z#6 −
光栅级次分析器[用例]
}[|"db
•使用参数运行搜索初始解决方案
R_ csKj −
参数运行文档的使用[用例]
+KZc"0? •通过参数优化找到最终设计
+oc}kv,h] 6
J#C VirtualLab Fusion技术
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