摘要
.F'Fk=N |Wi$@sWO 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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ra_`NsKF} )I.[@#- 建模任务
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O'$0K0k3 光栅特性与参数的严格分析
hb_YdnG Eq~&d.j 不同光栅周期下的衍射效率
l: 1Zq_?v; +)L
'qbCSM
-.ha\ t0J ]/bf#&@g`k 关于光栅周期选择的考虑
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!;zacw A5!f# 偏振相关的衍射特性
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,%v %I&Hx<Hj
0K@s_C=n# cDm_QYQ
A4Q8^^byY h1FM)n[E7 通过参数优化进行光栅设计
My,ki:V?g6 z"=#<C 固定周期的2D参数优化
6@ToPbj4 qZ6P(5X
najd~%?Rs 2D参数优化–设计1
H2E!A2\m %RdCSQ9~
tm#T8iF TL1pv l 2D参数优化–设计2
[ -{L@ =HQH;c"
;ZFn~!V HZkC3$ 制造
公差分析–设计2
`~(KbH=] do+HPnfDzU
5m=3{lBi :PY~Cws 变化光栅周期的3D参数优化
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O-U_Zx0zd Tm.(gK 制造公差分析
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Fwm{oypg% PHyS^J` 走进VirtualLab Fusion
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kbI:}b7H ;Tvy)*{ VirtualLab Fusion中的工作流程
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l$}h1&V7 TMhUo#`I|
•构造光栅
结构 B=(m;A#G −
通过使用界面来配置光栅结构 Om\?<aul [用例]
zEl@jK,{$ •分析光栅衍射效率
!BIq>pO%Ui −
光栅级次分析器[用例]
so9h6K{qcp •使用参数运行搜索初始解决方案
MV-fDqA( −
参数运行文档的使用[用例]
D`o*OlU •通过参数优化找到最终设计
N*|Mfpf b*n o.eB VirtualLab Fusion技术
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings L%# #U'e3 1mz;4xb (来源:讯技光电)