摘要
r\Yh'cRW{ cDE5/! 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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`|nCnT' v\@RwtP 建模任务
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U V*Ruy- 光栅特性与参数的严格分析
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k 不同光栅周期下的衍射效率
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o 7v)p\#- 关于光栅周期选择的考虑
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J p+'"a +A)>
zx 偏振相关的衍射特性
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0doJF@H O=(F46 M 通过参数优化进行光栅设计
&ah%^Z4um >7%T%2N 固定周期的2D参数优化
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gu[EYg 2D参数优化–设计1
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dnU-v7k,{ Br7q. 2D参数优化–设计2
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VYT/ 制造
公差分析–设计2
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}9fch9>Zr TnK<Wba 变化光栅周期的3D参数优化
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k'#3fz\ kaB|+U9^ 制造公差分析
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dB0#EJaE %\HPYnIe 走进VirtualLab Fusion
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m{ !$_z8: ~1wt=Ln> VirtualLab Fusion中的工作流程
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=-fM2oiI: f(D'qV T{ •构造光栅
结构 %bN{FKNN −
通过使用界面来配置光栅结构 hQm=9gS [用例]
vjx'yh| •分析光栅衍射效率
$Z#~wsw −
光栅级次分析器[用例]
D5@=#/?* •使用参数运行搜索初始解决方案
~rdS#f&R2 −
参数运行文档的使用[用例]
N'WTIM3W •通过参数优化找到最终设计
6dr'nP _Fa\y ZX VirtualLab Fusion技术
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i~]60M> =JzzrM|V* 文件信息
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