摘要
U>]$a71 SxOC1+Oy 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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iiT"5`KY ,{M^-3C 建模任务
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6 :b!F 光栅特性与参数的严格分析
`uOT+B%R K2TcOFQ 不同光栅周期下的衍射效率
B2>H_dmQ 'u *DA|HC
z@!`:'ak U{2BVqM 关于光栅周期选择的考虑
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X{5vXT\/y eD,.~Y#?= 偏振相关的衍射特性
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7''??X &XIt5<$~R 通过参数优化进行光栅设计
t<#TJ>Le uaT!(Y6 固定周期的2D参数优化
+ieY:H[ xN5)
*=8JIs A>! 2D参数优化–设计1
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UQ BF\XEm?!
/sx@$cvW |cK*~ 2D参数优化–设计2
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lx CyJEY- 制造
公差分析–设计2
Oxm>c[R `` ,fodA8
h}[-'>{ ]OM"ZG/^ 变化光栅周期的3D参数优化
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5 h-@|t 2M.fLQ? 制造公差分析
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_GV:HOBi ?^7t'`zk 走进VirtualLab Fusion
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Z_$%. "H7dft/ VirtualLab Fusion中的工作流程
h{CL{>d = I:.X ;
s]HOGJJz MV5 _L3M •构造光栅
结构 =m!-m\B/ −
通过使用界面来配置光栅结构 U_Vs.M.p [用例]
C_(
*>!Z% •分析光栅衍射效率
E%yNa]\P −
光栅级次分析器[用例]
@Pm>sY}d<I •使用参数运行搜索初始解决方案
qB~rQPa −
参数运行文档的使用[用例]
+NeOSQSj •通过参数优化找到最终设计
x6Bu F_. d?ex,f. VirtualLab Fusion技术
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