摘要
b3VS\[p vEn4L0D 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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0c#/hFn C7O6qpO 建模任务
-(b kr+N b2FO$Os
+j4"!:N}B 光栅特性与参数的严格分析
.e3+s* .AU)*7Gh 不同光栅周期下的衍射效率
pn^ d]rou? /7YF mI/0
B9J&=6`) T|6a("RL 关于光栅周期选择的考虑
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O1yV ~b2wBs)r 偏振相关的衍射特性
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icgSe:Ci XSZ k%_ 通过参数优化进行光栅设计
bv*,#Qm yiA<,!;4P 固定周期的2D参数优化
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eh5gjSqx 2D参数优化–设计1
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)44/ 2D参数优化–设计2
HF.^ysI >:|q&|x-
d8x \ PxS8 n?y 制造
公差分析–设计2
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c*@E_}C# `WH"%V:"Q 变化光栅周期的3D参数优化
#"5 Dk#@ 9^p;UA
UQI]>#_/v n;T7= 1_" 制造公差分析
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~7zGI\=P@ Sh8"F@P8 走进VirtualLab Fusion
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+| LmnymcH VirtualLab Fusion中的工作流程
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mA=i)Ga /x1![$oC0 •构造光栅
结构 U b* wuI −
通过使用界面来配置光栅结构 /Bm( `T [用例]
*N<&GH(j •分析光栅衍射效率
jyZWVL:_ −
光栅级次分析器[用例]
]&pds\ •使用参数运行搜索初始解决方案
p ObX42 −
参数运行文档的使用[用例]
O6G0 •通过参数优化找到最终设计
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S :<Nc{C VirtualLab Fusion技术
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Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers :1bWVM) -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block YS *9t
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings vz7J-CH q;][5 (来源:讯技光电)