摘要
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i6!w' 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
2w+w'Ag_R g-Vxl|hR
F7x]BeTM /*i[MB 建模任务
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RG0kOw0 光栅特性与参数的严格分析
2.qEy6 *3d+ !#;rG 不同光栅周期下的衍射效率
O,x[6P54P W 2&o'(P\
F}wy7s2i kZ>_m&g 关于光栅周期选择的考虑
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2Jo|]>nl}u [0qe ?aI 偏振相关的衍射特性
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_wH>h$E %PM&`c98z7 通过参数优化进行光栅设计
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Dcj\=8 固定周期的2D参数优化
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)0+6^[Tqq 2D参数优化–设计1
GZH{"_$ hz:h>Hwy
)Fon;/p sPX&XqWx 2D参数优化–设计2
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Znr@-=xZO* +`,;tz=? 制造
公差分析–设计2
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M8nfbc^ ysapvQN_6 变化光栅周期的3D参数优化
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eP/) 制造公差分析
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bTU[E w=pr?jt1: 走进VirtualLab Fusion
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?iZ2sRWR6 VirtualLab Fusion中的工作流程
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27k(`{K >-w(P/ •构造光栅
结构 o^XDG^35` −
通过使用界面来配置光栅结构 Kv<f<>|L [用例]
p^CTHk_| •分析光栅衍射效率
? D
_kQl −
光栅级次分析器[用例]
}R`Rqg-W •使用参数运行搜索初始解决方案
;z.L^V0 −
参数运行文档的使用[用例]
s1q8r!2\w •通过参数优化找到最终设计
q`,%L1c4 q.p.$) VirtualLab Fusion技术
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@/F61Ut |>yWkq 文件信息
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings ;I&VpAPx 7i*eKC`ZqK (来源:讯技光电)