摘要
/(XtNtO* qL3*H\9N 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时，具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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!7Ta Vx}`( @@_f''f$ 建模任务
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mVW:]|!s 光栅特性与参数的严格分析
rsA K0R+ g)2}`} 不同光栅周期下的衍射效率
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fnwtD *`` pT.iQ J| 关于光栅周期选择的考虑
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vG69z& R/xeC [r 通过参数优化进行光栅设计
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3g`uLA X>u 1c8 J yp 制造
公差分析–设计2
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nm_]2z O ,|<2wn#q 走进VirtualLab Fusion
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? suNA B\G? dmo VirtualLab Fusion中的工作流程
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