摘要
=^M/{51j ;`0%t$@- 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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b n(1l}TJy 建模任务
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PxvyN_B#> 光栅特性与参数的严格分析
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dm\F 不同光栅周期下的衍射效率
ha]VWt%} zu_8># i-
o_izl\ Ri<u/ ]oR" 关于光栅周期选择的考虑
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|mZxfI I ce~oz) 偏振相关的衍射特性
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SDl(<@; ?g_3 [Fk 通过参数优化进行光栅设计
OIGY` .73X3`P25 固定周期的2D参数优化
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S,88*F(<^q 2D参数优化–设计1
?qb}?&1 g@d*\ P)
l0|5t)jF- y6g&Y.:o 2D参数优化–设计2
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%Hu5K>ZNYp `aOFs+<) 制造
公差分析–设计2
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sU=H&D99 =O~_Q- 变化光栅周期的3D参数优化
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esJ~;~[@(r l|u>Tb|V 制造公差分析
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Z3Og=XHR 0-B5`=yU 走进VirtualLab Fusion
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!hm]fh_j [CY9^N VirtualLab Fusion中的工作流程
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#I:
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dq 2_>N/Z4T •构造光栅
结构 ~?l |
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通过使用界面来配置光栅结构 b]e"1Y)D- [用例]
QRw"H 8nW •分析光栅衍射效率
."g`3tVK −
光栅级次分析器[用例]
Z*F3G#A •使用参数运行搜索初始解决方案
Lw1Yvtn −
参数运行文档的使用[用例]
G0Iw-vf •通过参数优化找到最终设计
s9mx hWjc<9 VirtualLab Fusion技术
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