摘要
Y9/{0TArG .;cxhgU 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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TIKEg10I ~ }Kp 建模任务
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hw7~i 光栅特性与参数的严格分析
t.gq5Y.[ G!-7ic_4 不同光栅周期下的衍射效率
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5!ndu m`[oT\
`\nON ;,()wH 关于光栅周期选择的考虑
BJ_+z gf` Q|6Ls$'$
{/th`#o4b dw'<" +zO 偏振相关的衍射特性
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8 /5sv *vRNG 3D/
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tCd{G
c !5yRWMO9X~ 通过参数优化进行光栅设计
dcV,_ 'Wo?%n 固定周期的2D参数优化
:<'i-Ur8 Q$/V) 0
4Z<]4:o 2D参数优化–设计1
p} t{8j> Dlqn~
H={O13 H5 p}Le 2D参数优化–设计2
rTWh(8T @&!=m]D*
e|2vb
GQ 0BbiQXU 制造
公差分析–设计2
&/J.0d-*`` Y&K<{KA\4
_"R3N 4*@G&v?n 变化光栅周期的3D参数优化
BXQ\A~P\ Jdk3)
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Bt|9%o06l s9ju/+fv 制造公差分析
Fi,e}j=2f }1X11+/W
2)HxW}o &KOG[tv 走进VirtualLab Fusion
%J/fg<W1 JLFFh!J
j?d;xj knNhN=hG+ VirtualLab Fusion中的工作流程
97:t29N X~IRpzC
w~cq%% b@{%qh,C •构造光栅
结构 uMiD*6,$< −
通过使用界面来配置光栅结构 k"3Z@Px: [用例]
UY }9 •分析光栅衍射效率
Li c{'w& −
光栅级次分析器[用例]
[]6ShcqJ[v •使用参数运行搜索初始解决方案
FcA)RsMI* −
参数运行文档的使用[用例]
s/W!6JX4 •通过参数优化找到最终设计
!%Z)eO~Z =:CGl VirtualLab Fusion技术
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