摘要
O/!bG~\Y D91e\|] 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时，具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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qBT. x,$ %.z,+Zz? 建模任务
HdLH2+|P;D Glpe/At 
DSj(]U~r 光栅特性与参数的严格分析
{H{X[p8 a<h1\ `H7 不同光栅周期下的衍射效率
N72Yq)( +z$pg 
" t0kAG +nT 'I!// 关于光栅周期选择的考虑
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Kn?lHH*w7 `w.AQ?p@ 偏振相关的衍射特性
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s<]&*e&}? 8x[YZ@iM- 通过参数优化进行光栅设计
aBzszp]l+ P(a.iu5 固定周期的2D参数优化
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q SejLh6 2D参数优化–设计1
ov\HsTeZ 8#&q$kE 
1LY8Ma]E W W@d:R 2D参数优化–设计2
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nL?oTze*p kHv[H]+v 制造
公差分析–设计2
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5`nmPO ,2]X}&{i 
[>|FB ' 4R8G&8b 变化光栅周期的3D参数优化
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]p!Gt,rYq 'r\ V. 4 制造公差分析
RJeSi`19T) _xLHrT! y 
<A.W 8b7D 5IKL#V `3a 走进VirtualLab Fusion
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\ sA*V%n mw^7oO# VirtualLab Fusion中的工作流程
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an •构造光栅
结构 Ac|5. ?|N −
通过使用界面来配置光栅结构 Xes|[ *Y!V [用例]
]P[%Mhg^ •分析光栅衍射效率
yE} dj)wd −
光栅级次分析器[用例]
%/.a ]j! •使用参数运行搜索初始解决方案
^ JR;epVJ
−
参数运行文档的使用[用例]
/b;K •通过参数优化找到最终设计
PNeh#PI 6) \ x >65; VirtualLab Fusion技术
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings Vc3mp;6" y/c%+ Ca/ （来源：讯技光电）
