摘要
~U3Seo } dWUUxKC 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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5D
L,U(Y w,/6B&| 建模任务
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pZjpc#*9N 光栅特性与参数的严格分析
1fR P1 ]VDn'@uM 不同光栅周期下的衍射效率
C/)`<b( x9D/s`!
=+\$e1Mb* qX?[mdCHZ 关于光栅周期选择的考虑
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%N1"*</q fM2^MUp[=1 偏振相关的衍射特性
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y=7d , *uU4^E(
59Nd}wPO; +q-c8z 通过参数优化进行光栅设计
sG1BNb_ c=aO5(i0 固定周期的2D参数优化
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d"GDZ[6 2D参数优化–设计1
m9!DOL1pl }*Zo6{B-
D2]ZMDL. vpV$$=Qwp 2D参数优化–设计2
Cm410 =b C`EY5"N r
N iISJWk6' $Elkhe]O % 制造
公差分析–设计2
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HU9p!I. ,5.
<oDH 变化光栅周期的3D参数优化
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z<h|#@\ p&O8qAaO 制造公差分析
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> Y]_K PkO!'X 走进VirtualLab Fusion
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f~R[&q+ ofK='G. VirtualLab Fusion中的工作流程
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:*cHA Y$+QNi •构造光栅
结构 eo ?Oir) −
通过使用界面来配置光栅结构 ^9=4iXd [用例]
:~erh}~ps •分析光栅衍射效率
"/!'9na{QL −
光栅级次分析器[用例]
03F3q4" •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
bs P6\'\4 •通过参数优化找到最终设计
B\/7^{i5 4i`S+`# VirtualLab Fusion技术
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;:?*t{r4# ki3 HcV 文件信息
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings vbedk+dd?A {KsVK4\r (来源:讯技光电)