摘要
u
OmtyX Jc&{`s^Nu 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
@muRxi n:I,PS0H<
q5J5> .O5Z8 p 建模任务
*2>&"B09` _P#|IAq*
wy<S; 光栅特性与参数的严格分析
)` Sr fGp8 q<x/Hat) 不同光栅周期下的衍射效率
Hs;4lSyUO :[.vM
,1.p%UE]> {K~ 'K+TPu 关于光栅周期选择的考虑
.Bl\Z M~Tuj1?
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c=5! 偏振相关的衍射特性
B{n,t}z 9d0@wq.
wyH[x!QX r(>@qGN
*?@?f&E/ NR$3%0 nC6
*nT<m\C6 { T/[cu< 通过参数优化进行光栅设计
OR P\b 9!ngy*\x 固定周期的2D参数优化
|"q5sym8Y_ /*(Kr'c
*P[hy 2D参数优化–设计1
f=+mIZ (fH#I tf
'0;l]/i. g i3F`
m 2D参数优化–设计2
>F|>cc>_E aL\PGdgO
&N$<e(K [Q~#82hBhY 制造
公差分析–设计2
MVpGWTH@F X;+sUj8
xJpA0_xfG B6+khuG( 变化光栅周期的3D参数优化
B B{$&Oh L?b~k=
ql Ax $j%'{)gK 制造公差分析
RXMISt3+{y tH@Erh|%
DaQ?\uq {S]}.7`l9( 走进VirtualLab Fusion
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/s&9SYF %@J.{@> VirtualLab Fusion中的工作流程
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4d4ZT?V[ d UE,U= •构造光栅
结构 [C 7^r3w −
通过使用界面来配置光栅结构 94`7a<&ZNL [用例]
)bL'[h •分析光栅衍射效率
R{`(c/%8 −
光栅级次分析器[用例]
*->W^1eGM •使用参数运行搜索初始解决方案
tPWLg), −
参数运行文档的使用[用例]
FW;?s+Uyx •通过参数优化找到最终设计
#b}Z`u?@ VOsRAn/N VirtualLab Fusion技术
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