摘要
&l!T2PX! arRU` 6? 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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r>i95u82' o)n)Z~ 建模任务
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[^bq?w 光栅特性与参数的严格分析
\=[j9'N> -*~
@? 不同光栅周期下的衍射效率
Rg\4#9S JF ~e]B[>PT
Y'bz>@1( K/*"U*9Kv 关于光栅周期选择的考虑
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SdYbT)y %n8CK-> 偏振相关的衍射特性
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]jn1T^D' #Ha"rr46p
-sZ'<(3 vM!2?8bEFd
/]j{P4 b]Kb ~y| 通过参数优化进行光栅设计
iM;Btv[|
-u<F>C 固定周期的2D参数优化
]B3+&g S5, u| H
M*D_pn& 2D参数优化–设计1
%t!r
pyD o#1Ta7Ro
y6-P6T *{j;LA.BR# 2D参数优化–设计2
T+zhj++ aXQAm$/
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f? GD
d'{qE6 制造
公差分析–设计2
LklE,W z;2& d<h
?I?~BWu l;A '^ 变化光栅周期的3D参数优化
V9}\0joM rr\9HA
%mU$]^Tw( y=f.; 制造公差分析
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4|I;z Mt`LOdiC_ 走进VirtualLab Fusion
)4s7,R :@P6ibcX
`$FX%p KU{zzn;g VirtualLab Fusion中的工作流程
KWD{_h{ R $kHXt]fU
SFtcO 9W\"A$;+& •构造光栅
结构 r#1W$~?> −
通过使用界面来配置光栅结构 a?GXVQ [用例]
66
R= •分析光栅衍射效率
btnD+O66< −
光栅级次分析器[用例]
l/B+k •使用参数运行搜索初始解决方案
J(!=Dno −
参数运行文档的使用[用例]
a3w6&e` •通过参数优化找到最终设计
"q= ss:( oMLs22Do? VirtualLab Fusion技术
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+aM[!pW(e 7BwR ]. 文件信息
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] ~8(Xn2 更多阅览
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