摘要
AVXX\n\_ 9z5"y|$ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
M"=8O>NZ2 G1kaF/`O
kCima/+_ ''#p47$8<d 建模任务
rQ9*J jW-;4e*H=V
T)WZ_bR 光栅特性与参数的严格分析
S5i+vUI8C
s1X]RXX&j 不同光栅周期下的衍射效率
I2TD.wuIW rr |"r
28nmQ ,f}h} 关于光栅周期选择的考虑
=2^Vgc FE/$(7rM
>f&xJq \'n$&PFe 偏振相关的衍射特性
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3YOB 9*#$0Y=
B|cA[ hVMYB_<~
!8.En8Z<D- }qer
]]>nbgGn# :3JCvrq 通过参数优化进行光栅设计
Ci;h B;VH `*+X 固定周期的2D参数优化
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x. ($c`s8mp
$Axng
J c 2D参数优化–设计1
E@:Q 'g% [}z?1Gj;W(
,{?wKXJ}L! "37*A<+f 2D参数优化–设计2
Osnyd+dJY 4[`[mE18.
S|HY+Z6n' BsKbn@'uC 制造
公差分析–设计2
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xJ-*%'(KZ y =R
aJm 变化光栅周期的3D参数优化
:3v9h^|+ 8=:A/47=J
wTTRoeJ} L^lS^P 制造公差分析
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@8|Gh]\P 2xDQ:=ec 走进VirtualLab Fusion
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Yt{ji h6g:(3t6m VirtualLab Fusion中的工作流程
6#E7!-u(- ;d4y{
d<#p %$A4 *%X.ym' •构造光栅
结构 OZ^h\m4 −
通过使用界面来配置光栅结构 3Y`>6A= [用例]
ZW>o5x__b •分析光栅衍射效率
|) O): −
光栅级次分析器[用例]
H<,bq*@ •使用参数运行搜索初始解决方案
M+0x;53nz −
参数运行文档的使用[用例]
glx2I_y •通过参数优化找到最终设计
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tGiTzzp n'yl)HA~>` VirtualLab Fusion技术
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