摘要
a[~[lk=7 )?[7}(4jI 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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x!GDS> ?{TWsuP7 建模任务
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n zaDO-2! 光栅特性与参数的严格分析
*x2!N$b BGibBF^ 不同光栅周期下的衍射效率
Qt4mg?X/ ]j7`3%4uK
F!#)l*OX; k(H]ILL 关于光栅周期选择的考虑
]"V_`i7Z <T[LugI
)'n@A% B 6Z#Nh@!+C 偏振相关的衍射特性
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tP|/Q5s Gn
9oInY1
Iz+%wAZ|B6 "7%jv[
/a32QuS M%ecWr!tj 通过参数优化进行光栅设计
`"CA$Se8 Q|o$^D, 固定周期的2D参数优化
x@43ZH_ Nut&g"u2
F?2UHcs 2D参数优化–设计1
D1y`J&A>Q 2EM6k|l5
A;rk4)lij I=&i &6v8G 2D参数优化–设计2
m@kLZimD vcQl0+&
~`BkCTT O1o>eDE5A 制造
公差分析–设计2
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` i=<;$+tW
V $I8iVGL %N&.B 变化光栅周期的3D参数优化
<MJU:m$3 eV}" L:bgJ
\l(J6Tu {?lndBP< 制造公差分析
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tUH?N/qn c?CfM> 走进VirtualLab Fusion
'8)kFR^9 \}h
{K+f&75 fWJpy#/^*K VirtualLab Fusion中的工作流程
b|.Cqsb L~/,;PHN
=_BHpgL A{\?]]/ •构造光栅
结构 j17h_ a; −
通过使用界面来配置光栅结构 h%F.h![* [用例]
(8m_ GfT •分析光栅衍射效率
O'(Us!aq −
光栅级次分析器[用例]
RgV3, z •使用参数运行搜索初始解决方案
(y;
6H −
参数运行文档的使用[用例]
,&@GxiU •通过参数优化找到最终设计
_ab8z]H \k=dqWBr7 VirtualLab Fusion技术
j"6|$Ze8 55s5(]`d
:AlvWf$d m2^vH+wD 文件信息
ORrZu$n`p + Fo^NT DqWy@7
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