摘要
0 g?z&? ]Ccg`AR{ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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R]RZq+2^ 7r~~Y%=C| 建模任务
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fR*q?, 光栅特性与参数的严格分析
WZ*ws[dVI f]\CD<g3|E 不同光栅周期下的衍射效率
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WRrd'{sB &8g?4v 关于光栅周期选择的考虑
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d;>#Sxf `CgaS# 偏振相关的衍射特性
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gT#&"aP5S w[IE 通过参数优化进行光栅设计
S&b*rA02zp #nK>Z[ 固定周期的2D参数优化
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/#VhkC _ 2D参数优化–设计1
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LRb{hUt= }L# _\ 2D参数优化–设计2
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Ne!o8 制造
公差分析–设计2
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-/ g B|J G}:lzOlMH 变化光栅周期的3D参数优化
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D-4f > #7q7PYG4 制造公差分析
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1][S#H/? [`rba' VirtualLab Fusion中的工作流程
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-Ty*aov <\}KT*Xp •构造光栅
结构 w6W}"Uw −
通过使用界面来配置光栅结构 (KF=On;=Y [用例]
@)4]b+8Z •分析光栅衍射效率
MgNU`` −
光栅级次分析器[用例]
}`,t$NV` •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
+i2}/s@JJ •通过参数优化找到最终设计
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5E8/ bj"J' VirtualLab Fusion技术
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