摘要
nCj2N,mT !H irhDN 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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/U"CO 8Da NX/;+{ 建模任务
TT4./R: L.1_(3NG
lobGj8uxq 光栅特性与参数的严格分析
B,@c;K Qkd<sxL 不同光栅周期下的衍射效率
IS#FiH {jho&Ai
bV$)!]V 'F_8j; 关于光栅周期选择的考虑
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aP8H`^DFX> Rx);7j/5 偏振相关的衍射特性
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1!1beR] l*kPOyB 通过参数优化进行光栅设计
'eJ+JM<0% 1QU:?_\6@t 固定周期的2D参数优化
HN.3 &*7?)eI!i
Sk:ws&D1u 2D参数优化–设计1
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*hQTO=WF kRTwaNDOD 2D参数优化–设计2
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制造
公差分析–设计2
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|pmZ.r `xywho%/Y 变化光栅周期的3D参数优化
8&Oa_{1+Q &p}$J)q
#ceaZn|@m #DN0T' B 制造公差分析
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i%g#+Gw j8fpj {hp 走进VirtualLab Fusion
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Mnz!nWhk B';6r4I- VirtualLab Fusion中的工作流程
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?\ 7hi"6, •构造光栅
结构 c{&*w")J −
通过使用界面来配置光栅结构 8S<@"v [用例]
KM!k$;my •分析光栅衍射效率
2con[!U −
光栅级次分析器[用例]
d , Y#H0` •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
GD:4"$)[o •通过参数优化找到最终设计
kf;/c}} sL@U VirtualLab Fusion技术
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