摘要
cpL7!>^= EMY/~bQW 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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e7^mmm aS{|uE] 建模任务
[w0QZyUn g%sluT[#
8EW_V$>R 光栅特性与参数的严格分析
~ksi</s uxXBEq; 不同光栅周期下的衍射效率
azCf /)YNs7gR
2;k*@k-t JZ)RGSG i 关于光栅周期选择的考虑
vx>b^tJKC 4w*Skl=F}
a!a-b~#cx 5x5@t
: 偏振相关的衍射特性
,)0H3t ;Y00TGU
uZNTHD v\c>b:AofD
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<CS(c|7 5 h-@|t 通过参数优化进行光栅设计
2M.fLQ? bGN:=Y' 固定周期的2D参数优化
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yMG1XEhuG 2D参数优化–设计1
$Ipg&`S" `ZU($!(
.CL[_;} Y1OCLnK~ 2D参数优化–设计2
z6U\axO6 v&9y4\j
i`(XLi}k '}9x\3E 制造
公差分析–设计2
Lb!Fcf|h |z9*GY6RU
1a?!@g) C].iCxn 变化光栅周期的3D参数优化
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T xe]y]
.8@$\ZRP IoxgjUa 制造公差分析
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B~6&{7xc% ;ic3).H 走进VirtualLab Fusion
g,Lq)'N;O w{Ivmdto
2a-w%
(K EMh7z7}Rr VirtualLab Fusion中的工作流程
C;;Sih5 'KP@W9j
.7Dtm<K# 6hw=
•构造光栅
结构 oQLq&zRH`f −
通过使用界面来配置光栅结构 &TnS4O [用例]
s(5Y •分析光栅衍射效率
]%hn`ZJ −
光栅级次分析器[用例]
lsgh#x •使用参数运行搜索初始解决方案
,g%0`SO −
参数运行文档的使用[用例]
$ZUdT •通过参数优化找到最终设计
J28M@cn QCD.YFM VirtualLab Fusion技术
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings 8Ry3`ct ++bf#qS<8D (来源:讯技光电)