摘要
NWb,$/7T v=9:N/sW 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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/,GDG=ra +<8r?d2 建模任务
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o!\Vk~Vi& 光栅特性与参数的严格分析
R9fM9 5wiU4-{ 不同光栅周期下的衍射效率
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o}Dy\UfU /m.6NVu7 关于光栅周期选择的考虑
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vMj"% V.\do"m 偏振相关的衍射特性
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$(.[b][S yH@W6' . 通过参数优化进行光栅设计
|f?tyQ 0rjxWPc 固定周期的2D参数优化
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![{> f6{J 2D参数优化–设计1
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QJ-6aB '-S^z"ZrI 2D参数优化–设计2
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!imm17XQ\ yzgDdAM 制造
公差分析–设计2
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_;L9&>!p6 /mo4Q?^ 变化光栅周期的3D参数优化
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9JJ(KY =Y?M#3P.I 制造公差分析
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7%V2 ^<.mUaP 走进VirtualLab Fusion
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Jp=ur)Dj BD\xUjd?)Q VirtualLab Fusion中的工作流程
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0ua.aL' 9~SfZ,( •构造光栅
结构 &C`t(e −
通过使用界面来配置光栅结构 Gp6|M2Vu_5 [用例]
cX9
!a, •分析光栅衍射效率
4S`2")V −
光栅级次分析器[用例]
7D@O:yO •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
^%VMp>s •通过参数优化找到最终设计
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