摘要
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AFt 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
Lr?4Y oD#<?h)(
+fP/|A8P @Gn?8Ur% 建模任务
8Z4?X% Cs[7% j
[X">vaa 光栅特性与参数的严格分析
q]i(CaKh <V:<x 不同光栅周期下的衍射效率
AXh3LA (4/]dTb
zdjM%l); :ONuWNY
N 关于光栅周期选择的考虑
Ueg N-n g#'fd/?Q
&J^4Y!gt Q%n{*py 偏振相关的衍射特性
=2nn "YVP v :+8U[x
#NN"(I xjK_zO*dLq
si^4<$Nr%j ;N$ 0)2w
1]
%W\RHxo ?bt`fzX{l 通过参数优化进行光栅设计
q
M_/ 'Uko^R)( 固定周期的2D参数优化
O@r.> XYb^Cs;
z
_O,Y 2D参数优化–设计1
7 7xq/c[) CP]S-o}yd
xI@$aTGq p2Dh3)& 2D参数优化–设计2
YA"Ti9-EV >d{dZD}
ws>WA{]gq b.R!2]T]i^ 制造
公差分析–设计2
g=FDm* +HOCVqx
<'}b*wUB n^iNo 变化光栅周期的3D参数优化
:Su #xI <?LfOSdMs^
*2,e=tY> #+K
Kvk 制造公差分析
&2io^AP >bfYy=/
j{{~Z M OU,PO2xX9 走进VirtualLab Fusion
n5Nan
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3XeXzPj ~K~b`|1 VirtualLab Fusion中的工作流程
'yPCZ`5H( eVw\v#gd
N5 SLF4R1 e2AN[Ar •构造光栅
结构 j+DE|Q&]I −
通过使用界面来配置光栅结构 cOSxg=~>u [用例]
Iv$:`7|crX •分析光栅衍射效率
&1z)fD2 −
光栅级次分析器[用例]
`fBG~NDw •使用参数运行搜索初始解决方案
V_&GYXx(J −
参数运行文档的使用[用例]
7FmbV/&c •通过参数优化找到最终设计
|SGgy|/a# nG"tO'J6 VirtualLab Fusion技术
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