摘要
~ekV*,R" <nJ8%aY, 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
1? Im" XX'mM v
C/YjMYwKgv wqAj=1M\ 建模任务
dCO)"] 9Bi{X_.9
]SG(YrF 光栅特性与参数的严格分析
tjbI*Pw7( b2XUZ5 不同光栅周期下的衍射效率
p]x9hZ GI)eq:K_U8
wg=-&- Iz9b5 关于光栅周期选择的考虑
G'(8/os{ *V?p&/>MT
/>dYk Iv aS&,$sR 偏振相关的衍射特性
,Kwtp)EX Kq;s${ |G
ab^>_xD< NH;.!xq:
8'o6: qORRpWyx&
-HUlB|Q8r iDV.C@ 通过参数优化进行光栅设计
*#7]PA Qw tlcNGPa 固定周期的2D参数优化
#9(L/)^ [)t1"
4x2,X`pe3 2D参数优化–设计1
MT{ovDA]. wMU}EoGS?
]OLe&VRix PEPf=sm 2D参数优化–设计2
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/!@ Rv)>xw
/eY}0q% LyG&FOf? 制造
公差分析–设计2
rA[wC%% .?)gn]#
XY!0yAK(! Yqb3g(0 变化光栅周期的3D参数优化
h+j{;evN t>JPK_b0
>wf.C% i2X%xYv ^ 制造公差分析
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N'~l,{ ;-6 走进VirtualLab Fusion
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]La~Bh6;m +MyXIWmD VirtualLab Fusion中的工作流程
6D/K=- M6XpauR-
!dGSZ|YZ ' ?uwUBi •构造光栅
结构 jP}Ix8vc= −
通过使用界面来配置光栅结构 GL'l "L [用例]
]i
Yp •分析光栅衍射效率
THY=8&x) −
光栅级次分析器[用例]
tO+Lf2Ni+ •使用参数运行搜索初始解决方案
36UUt!}p −
参数运行文档的使用[用例]
\^x`GsVy •通过参数优化找到最终设计
D|D)782 0[.T`tpN' VirtualLab Fusion技术
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