摘要
zxCxGT\; B @]( , 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Nr=M^Zn (r,RwWYm
>RxZ-.,a Rww"Z=F 建模任务
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5I{YsM 光栅特性与参数的严格分析
FuaGr0] YTq>K/ 不同光栅周期下的衍射效率
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hHoc7 B$Jn|J"/6 关于光栅周期选择的考虑
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R+Ke|C 9Dd/g7 偏振相关的衍射特性
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*< vVKiE 6^ 通过参数优化进行光栅设计
SR~~rD|V wmY6&^?uS 固定周期的2D参数优化
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Z8_(e0U 2D参数优化–设计1
Kd;|Z Q=~e|
$K\\8$Z Qd]-i3^0 2D参数优化–设计2
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M"Zq =g/K>B
!e.@Xk.P6 W32mAz; 制造
公差分析–设计2
uxVXnQQ )R{4"&&2
)y.J2_lI8 rtf>\j+ 变化光栅周期的3D参数优化
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^5u} _V6;`{$WK 制造公差分析
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(sO;etW Y.F:1<FAtf 走进VirtualLab Fusion
:(A]Bm3 lGjmw"/C
]O7I7K ^"l>;.w VirtualLab Fusion中的工作流程
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GRO[&;d` v2JC{XqrI •构造光栅
结构 04:^<n+{ −
通过使用界面来配置光栅结构 .0.Ha}{6b [用例]
z9&$Xao •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
gjL>FOe8u •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
o*I=6`j •通过参数优化找到最终设计
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Y7/ VirtualLab Fusion技术
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