摘要
m8fj\,X yl-:9|LT 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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yNns6 Ks%0!X?3q 建模任务
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{U=J>#@G 光栅特性与参数的严格分析
<K [y~9u 5%Qxx\q 不同光栅周期下的衍射效率
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N1~bp?$1 OMLU ;,4 关于光栅周期选择的考虑
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(TT=i x0<;Rm [u= 偏振相关的衍射特性
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]@$^Ju, yLC[-.H 通过参数优化进行光栅设计
K3!3[dR* 4zMvHe 固定周期的2D参数优化
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sq'm)g 2D参数优化–设计1
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+KTfGwKt *$eH3nn6g 2D参数优化–设计2
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公差分析–设计2
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c< O=o}uB-*6 变化光栅周期的3D参数优化
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pQa51 nc MLdwf}[ 制造公差分析
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X?_rD'3 Usf@kVQ 走进VirtualLab Fusion
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SP%X@~d s 4`-mIa VirtualLab Fusion中的工作流程
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i[26Qb •构造光栅
结构 m^ xTV-#l@ −
通过使用界面来配置光栅结构 H:(B^uH [用例]
)U\i7[k> •分析光栅衍射效率
oKn$g[,SJh −
光栅级次分析器[用例]
*Dg@fxCQ •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
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yJ!f"Y •通过参数优化找到最终设计
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