摘要
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j 2fnkw/ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Krqtf +0nJ 建模任务
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\fz<.l] 光栅特性与参数的严格分析
@#T|Y& \`~Ly- 不同光栅周期下的衍射效率
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rWa2pO &^}1O:8e 关于光栅周期选择的考虑
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'YmIKIw K*K,}W&} 偏振相关的衍射特性
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bzBEX mC H1|?t+oP 通过参数优化进行光栅设计
IA8f*]? =Y{(%sn 固定周期的2D参数优化
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qeV fE_< 2D参数优化–设计1
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^oBtfN>4 N.,X<G.H 2D参数优化–设计2
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I| w"/"U n{n52][J] 制造
公差分析–设计2
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5E? Pr':51( 变化光栅周期的3D参数优化
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L$bf# 制造公差分析
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-;s| RIWxs Zt 走进VirtualLab Fusion
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u_w#gjiC DU0zez I9 VirtualLab Fusion中的工作流程
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.F4>p=r Ec3}_` •构造光栅
结构 }"nItcp.1 −
通过使用界面来配置光栅结构 CpUkCgg [用例]
? &o2st •分析光栅衍射效率
=MQoC:l −
光栅级次分析器[用例]
c,np2myd •使用参数运行搜索初始解决方案
1-8mFIK −
参数运行文档的使用[用例]
y`Wty@ •通过参数优化找到最终设计
~^NtO ,?J! VirtualLab Fusion技术
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