摘要
Z91GM1lrf8 K:3u/C` 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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"-U`E)]w*[ ]3/_?n-"` 建模任务
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G7yR&x^ 光栅特性与参数的严格分析
3{j&J- "dN4EA&QJ 不同光栅周期下的衍射效率
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)A6 eD K~I%"r|l 关于光栅周期选择的考虑
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%JsCw8C6? ;*Z.|?3MM 偏振相关的衍射特性
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@-ms_Z t;?TXAA 通过参数优化进行光栅设计
/>EH]-| "iC*Eoz#. 固定周期的2D参数优化
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F.%g_Xvk: 2D参数优化–设计1
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MBO3y&\S4 _?+gfi+ 2D参数优化–设计2
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Z^ e?V7q VX`E7Sf!} 制造
公差分析–设计2
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8!T6N2O6d =WYI|3~Cz 变化光栅周期的3D参数优化
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~G;lEp >C1**GQ 制造公差分析
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a%Eg9 "|\G[xLOaW VirtualLab Fusion中的工作流程
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wTL&m+xr %pR:.u| •构造光栅
结构 _"Bh
3 7 −
通过使用界面来配置光栅结构 =xa:>Vh# [用例]
QNk\y@yKw •分析光栅衍射效率
8l, R|$RKP −
光栅级次分析器[用例]
mo$`a6[h< •使用参数运行搜索初始解决方案
\}:&Hl+ −
参数运行文档的使用[用例]
4}4K6y<q •通过参数优化找到最终设计
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VirtualLab Fusion技术
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