摘要
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}$FZ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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o) )` "^ _imuyt".+ 建模任务
D"7}&Ry: RSX27fb4
6^`iuC5 光栅特性与参数的严格分析
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Kc+ 不同光栅周期下的衍射效率
X\^V{v^- W06aj ~7Z
_CwTe=K} -3K h
>b) 关于光栅周期选择的考虑
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j G8;p41 CPz<iU 偏振相关的衍射特性
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3#7>oQ 3>O|i2U 通过参数优化进行光栅设计
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ya dGKo!;7{ 固定周期的2D参数优化
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!~#zd]0x; 2D参数优化–设计1
U>S "@V yc6L
/\mtCa.O nrac)W 2D参数优化–设计2
1lw%RM zdN[Uc+1Bd
yRXML\Ge p2vN=[g9) 制造
公差分析–设计2
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C- .;m GJ9>i)+h; 变化光栅周期的3D参数优化
<4}m:
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dq 制造公差分析
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pz%s_g' ;(C<gt,r} 走进VirtualLab Fusion
*,\v|]fc X^\D"fmE.
'ZbWr*bo 3h7RQ:lUi VirtualLab Fusion中的工作流程
)/RG-L JR!-1tnc
=%<=Bn U5Hi9fe •构造光栅
结构
"*d6E}wG −
通过使用界面来配置光栅结构 <KMCNCU\+ [用例]
T$;S •分析光栅衍射效率
Q'OtXs 80 −
光栅级次分析器[用例]
ACRuDY •使用参数运行搜索初始解决方案
%"WENa/t −
参数运行文档的使用[用例]
{4J. •通过参数优化找到最终设计
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9 VirtualLab Fusion技术
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D$l!lRu8+L ?eS;Yc 文件信息
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