摘要
vG:S(/\> LKgo(&mY 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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vi]cl=S qwq5yt? 建模任务
M'JCT'(X yCwe:58
O-!Q~;3][ 光栅特性与参数的严格分析
[e o= K"zRj L+ 不同光栅周期下的衍射效率
&aPR" X =7F?'&LC
?8FJMFv;4% vs@u*4.Ut< 关于光栅周期选择的考虑
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[WI'oy ,z#S=I 偏振相关的衍射特性
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!Y 9V1oVf" vj|#M/3>
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zU'7x U- 55/)2B2J 通过参数优化进行光栅设计
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%;mi,M tAkv'. 固定周期的2D参数优化
mV+9*or o.V
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e ^ZY 2D参数优化–设计1
Hc-up.?v'v 4I#@xm8)
@}pcj2K# j /@<= 2D参数优化–设计2
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'(-H#D.oy' R ^ZOcONd- 制造
公差分析–设计2
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Gd$!xN%O sFHqLG{/ 变化光栅周期的3D参数优化
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yCuLo` t{,e{oZx 制造公差分析
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V+r&Z<& nJ$2RN
a^_W}gzzd nm_4E8&X VirtualLab Fusion中的工作流程
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n5)ml)m EMpq+LrN •构造光栅
结构 D&i,`j −
通过使用界面来配置光栅结构 |oSqy [用例]
3i\Np = •分析光栅衍射效率
F'CJN$6Mw/ −
光栅级次分析器[用例]
nM *}VI •使用参数运行搜索初始解决方案
}^VikT]>1 −
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KzQFG)q , •通过参数优化找到最终设计
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