摘要
('z=/"(l Za@\=}Tt 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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建模任务
Zo=,!@q( MfQ0O?oBp
st w@@GQ 光栅特性与参数的严格分析
oiyvKMHz7 #aqnj+ 不同光栅周期下的衍射效率
@[^ 3yC# X_PzK'#m
|r@;ulO x.1=QF{! 关于光栅周期选择的考虑
d!I%AlV WyV4p
r6S qZ<n\Mt 偏振相关的衍射特性
YdI6|o@vc +:Zwo+\kSN
@5Z|e R&uPoY,f
HG7Qdw2+O ~D5
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*RY}e RY5e%/bg~U 通过参数优化进行光栅设计
k7Nx#%xx ei2?H;H; 固定周期的2D参数优化
2?,lr2 q~qz^E\T
(s'xO~p 2D参数优化–设计1
v=^^Mr"Z^ >D=X
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RlfI]uCDM !KV!Tkx h 2D参数优化–设计2
+HE,Q6-A CX#d
puOMtCI %Vo'\| 制造
公差分析–设计2
Qz`evvH 1=]#=)+
3\2&?VAjR ^(Gl$GC$Mu 变化光栅周期的3D参数优化
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.Z7tE? /: !sn-( 制造公差分析
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=YM ,,FhE VirtualLab Fusion中的工作流程
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jhT/}"v E2hML •构造光栅
结构 m<Gd 6V5 −
通过使用界面来配置光栅结构 Jn(|.eT| [用例]
; <- f •分析光栅衍射效率
B{#Fm6 −
光栅级次分析器[用例]
kb-XEJ}L •使用参数运行搜索初始解决方案
i{g~u<DH)Q −
参数运行文档的使用[用例]
FkaQVT •通过参数优化找到最终设计
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