摘要
Yc}b& \kx9V|A' 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
$6N.ykJ ;uy/Vc5,Y
l3,|r QD !*;)]j 建模任务
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X9J^Olq 光栅特性与参数的严格分析
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不同光栅周期下的衍射效率
c<=1,TB"-_ "F&uk~ b$
(DU{o\= ofJ@\xS 关于光栅周期选择的考虑
,aeFEsi y<
84Gw_
%/7`G-a.B j,Y=GjfGM 偏振相关的衍射特性
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N.]8qzW YAO0>T<F
X!m/I
i$q F9hCT)
f`Nu]#i OP@PB| 通过参数优化进行光栅设计
Z`D#L[z$ TUT>* 固定周期的2D参数优化
}.#C9<"} xGqZ8v`v
<H.Ml>q:r 2D参数优化–设计1
^J327 BkcOsJIz
8p5u1 ;2 IzG7!K 2D参数优化–设计2
Ky+TgR ,,?t>|3
vR -/c $ysC)5q. 制造
公差分析–设计2
qhogcAvE B!:(*lF
u{si \ZA%"F){ 变化光栅周期的3D参数优化
[bAv|; {2,V3*NF
(+_Amw!W Kh27[@s 制造公差分析
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yY!jkRq%w {pVD`#Tl[ 走进VirtualLab Fusion
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DY1o!thz) $Uzc VirtualLab Fusion中的工作流程
X{)M}WO+r 46*?hA7@r(
JV@>dK8 [Ga9^e$Zv •构造光栅
结构 doG&qXw −
通过使用界面来配置光栅结构 )J0'We [用例]
;yH/GN#O •分析光栅衍射效率
X/?3ifP6I −
光栅级次分析器[用例]
2lQ'rnqS) •使用参数运行搜索初始解决方案
|XeuqZa −
参数运行文档的使用[用例]
Q?vGg{> •通过参数优化找到最终设计
x
ha!.&DO JTVCaL3Z VirtualLab Fusion技术
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