摘要
_Li.}g@Bd )m8Gbkj< 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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0<uLQVoR2n .o]I^3tfc 建模任务
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u$zRm(!RB 光栅特性与参数的严格分析
L>E;cDB e&:%Rr]x 不同光栅周期下的衍射效率
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+cYDz#3% 'U ZzH$h 关于光栅周期选择的考虑
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Zos.WS# ;/wH/!b 偏振相关的衍射特性
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u*5}c7)uId -:'%YHxX 通过参数优化进行光栅设计
Hf1b&8&:K I9aiAD0s 固定周期的2D参数优化
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re*~ " 2D参数优化–设计2
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g$"x,:2x{ "+qZv( 制造
公差分析–设计2
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U,T#{ "M2WK6?O5 变化光栅周期的3D参数优化
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mC\<fo-u HN/YuP03[ 制造公差分析
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}2*qv4},! IDqUiN VirtualLab Fusion中的工作流程
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hSAI G Q hRj*, •构造光栅
结构 N.]~%)K:{ −
通过使用界面来配置光栅结构 aL;zN%Tw [用例]
Ge?DD,ac •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
fU%Ys9:wU •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
=^*EM<WG) •通过参数优化找到最终设计
H=WB6~8) iK1{SgXrFI VirtualLab Fusion技术
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings 3^q9ll7Op .),9a, (来源:讯技光电)