摘要
[VW;L l Q2NnpsA^6 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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h12wk2@P/] F/SsiUBS 建模任务
^^SfIK?p BfT,
{UBQ?7.jE 光栅特性与参数的严格分析
h.;CL#s l%(`<a]VIB 不同光栅周期下的衍射效率
ZD%_PgiT p8d n-4
i q:Q$z& %i>e 关于光栅周期选择的考虑
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vfUfrk@D~ \%Rta$O?S 偏振相关的衍射特性
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l<aNNx L1kM~M 通过参数优化进行光栅设计
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`^ ]p&< nK, 固定周期的2D参数优化
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04PoBv~g 2D参数优化–设计1
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gMBQtPNM 4^[}]'w 2D参数优化–设计2
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}d~wDg<# vDW&pF_eI> 制造
公差分析–设计2
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nGx ~)T h7EUIlh" 变化光栅周期的3D参数优化
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nOoKGT 8B *E+f0 制造公差分析
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{5QosC+o6Q M)"]$TM 走进VirtualLab Fusion
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>`hSye{ X)Dqeb6 VirtualLab Fusion中的工作流程
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_kn]#^ucCe Job/@> ; •构造光栅
结构 a3O nW\N −
通过使用界面来配置光栅结构 hz<|W5 [用例]
CV!;oB&
•分析光栅衍射效率
v[R_S −
光栅级次分析器[用例]
<TI3@9\qXE •使用参数运行搜索初始解决方案
4@DVc7\x$ −
参数运行文档的使用[用例]
T$H2'tK| •通过参数优化找到最终设计
LKqRvPnh C0\%QXu VirtualLab Fusion技术
Z,0O/RFJ.q 3hc#FmLr2b
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