摘要
7'IIB1v.\ '|IcL1c=I 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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FU 建模任务
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~*iF`T6 光栅特性与参数的严格分析
Bg~]u+c* uE's&H 不同光栅周期下的衍射效率
d)AYY}pw KYpS4&Xh
gs'M^|e) NpH8=H9 关于光栅周期选择的考虑
9[.HWe, ^~H}N$W"-q
KOy{? i|^Q{3?o# 偏振相关的衍射特性
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~tp]a]yV K}l3t2uk
/whaY4__O\ ,sL'T[tuiU
59Pc:Gg; *igmi9A 通过参数优化进行光栅设计
Pm/<^z% _KH91$iW8m 固定周期的2D参数优化
"h+Z[h6T eI1zRoIl-
64/ZfXD 2D参数优化–设计1
D^[l~K A 6S0dX
6(8F4[D 0<m7:D
Gd 2D参数优化–设计2
]\M{Abqd{ _EMI%P&s
'##?PQ*u ly%^\jW 制造
公差分析–设计2
Z@Rm^g]o 5T;LWS
{xTq5`&gT ^N={4'G) 变化光栅周期的3D参数优化
f-F=!^. <j'K7We/tP
eQ>Ur2H8n ,XT,t[w 制造公差分析
JQM_96\ TUp\,T^2
7:UeE~uB: lM\dK)p21O 走进VirtualLab Fusion
}WsPu o /]U$OP*0
|xB`cSu( r)t[QoD1 VirtualLab Fusion中的工作流程
']nIa7 45JL{YRN
)g:5}+ d4b!
r •构造光栅
结构 -m`|S q −
通过使用界面来配置光栅结构 iWt%Boyi [用例]
pz^S3fy •分析光栅衍射效率
v^&HZk=( −
光栅级次分析器[用例]
K&[0`sH! •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
?AFb& •通过参数优化找到最终设计
li*S^uSF MD[hqshoh VirtualLab Fusion技术
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5p.rd0T]l3 V6merT79 文件信息
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