摘要
#cdrobJ n)xLEx, 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时，具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Kg>ehn4S@ P tj[9R 建模任务
&w"1VOV< 2(5<W j" 
;(I')[R " 光栅特性与参数的严格分析
Vq>$ZlvS 5wgeA^HE2y 不同光栅周期下的衍射效率
'7;b+Vbl# guc[du 
>u R0 Xs;V LUN"p#1 关于光栅周期选择的考虑
jS c!"Trl] 5@&{%99 
^P p2T BfUM+RC%5 偏振相关的衍射特性
>.4mA O CYFi_6MFl 
]R?{9H|jwE "Di8MMGOY 
p^>_VE[S pN?geF~t| 
9qcA+gz:| ?CU6RC n 通过参数优化进行光栅设计
'2X6 >6`w ExKjH*gn 固定周期的2D参数优化
#|R#/Yc@Bv 4SDUTRo a 
~>-MVp 2D参数优化–设计1
&'KJh+jJ
ckhU@C|=* 
NcMohpkq 6)j4- 2D参数优化–设计2
b;k3B7< PqDffZ^z 
;%W]b ~dz,eB 制造
公差分析–设计2
Q!*}^W rU!QXg]uD 
ta+MH, F :p9y_W 变化光栅周期的3D参数优化
R!Lh ~~@{( |9'`;4W 
1X XuFa& [Rxbb+,U 制造公差分析
k3yA*Ec 1O ,:fTG< 
;eY.4/*R K6d2}!5 走进VirtualLab Fusion
W{W8 \ dYxX%"J 
z&KrG v1O 1-aM VirtualLab Fusion中的工作流程
UI%Z`. & rHaj~s 4 
XDQ 5qfE| ic;M=dsh: •构造光栅
结构 Cno+rmsfT −
通过使用界面来配置光栅结构 YM r2|VEU[ [用例]
euiP<[|h= •分析光栅衍射效率
HE|XDcYO −
光栅级次分析器[用例]
h
]6: `5- •使用参数运行搜索初始解决方案
D8 BmC −
参数运行文档的使用[用例]
u8Ak2:
•通过参数优化找到最终设计
$H8B%rT] J:Id t}@z VirtualLab Fusion技术
AEd]nVV Q vN9R. R 
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H ]z83:Z 文件信息
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0?k （来源：讯技光电）
