摘要
3+uCTn0% Osk'zFiL< 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
CC~:z/4,N kgl7l?|O
jI;iTKjB( |n/qJIE6 建模任务
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"gQ-{ W 光栅特性与参数的严格分析
-"9&YkN T!F0_< 不同光栅周期下的衍射效率
zF([{5r[!) iLIv<VK/d
2|re4 V:Lq>rs#
关于光栅周期选择的考虑
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)/vse5EG+ xk/osbKn 偏振相关的衍射特性
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?\.DG`Zxc PCkQ hR
)b7 ;w#%q /]@1IC{Lk 通过参数优化进行光栅设计
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固定周期的2D参数优化
\}p!S$` O`rKxP
Q&k1' nT5 2D参数优化–设计1
;NJx9)7< {Y7dE?!`7
y~'h/tjM@= [(kC/W)! 2D参数优化–设计2
,|lDR@ t"Tv(W?_
"R5! VV J4l\ 制造
公差分析–设计2
"WfVZBWG$ U1y8Y/
M!D&a)\ 50='>|b 变化光栅周期的3D参数优化
3X>x` RO!em~{D*
h|Ah\P?o ,l )7]p*X 制造公差分析
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ygo4. ~C31=\$ VirtualLab Fusion中的工作流程
Zjq( ]y g=)OcTd#
h( V:-D CxbGL •构造光栅
结构 HD~o]l=H −
通过使用界面来配置光栅结构 !+H)N [用例]
/JGET •分析光栅衍射效率
d$}!x[g$Z −
光栅级次分析器[用例]
}|9!|Q •使用参数运行搜索初始解决方案
{4^NZTjd@ −
参数运行文档的使用[用例]
$TZjSZ1w •通过参数优化找到最终设计
|EZ\+!8N:{ x;@wtd*QB VirtualLab Fusion技术
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