摘要
??&<k 5Wx~ZQZ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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jM)C4ii.-$ #I*QX%(H# 建模任务
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iEyeX0nm 光栅特性与参数的严格分析
R:aa+MX(1 muON>^MbC 不同光栅周期下的衍射效率
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q8P.,%
*iA4:EIP 关于光栅周期选择的考虑
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#dxgB:l)%l NQHz<3S[ 偏振相关的衍射特性
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s"KJiQKGM nAJdr*`a,5
7r#ymQ 1 T<+d5[C 通过参数优化进行光栅设计
dq;|?ESP }n:?7 固定周期的2D参数优化
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l\0w;:N3 2D参数优化–设计1
Elj_,z x\e;+ubt}
uP $Cj g^Yl TB 2D参数优化–设计2
qFX~[h8i+ K kW;-{c
9LnN$e rf:XRJ<4 制造
公差分析–设计2
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_n8GWBi ~T7B$$ 变化光栅周期的3D参数优化
WS8+7O'1\ PC$CYW5
u|#>32kV AI vXb\wL 制造公差分析
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%VJ85^B3 [&[^G25 走进VirtualLab Fusion
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<:>SGSE9 wFh8?Z3u_ VirtualLab Fusion中的工作流程
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o{b=9-V )4U>!KrY •构造光栅
结构 rPNb\Ri −
通过使用界面来配置光栅结构 thi1kJ`L [用例]
:AdDLpk3j •分析光栅衍射效率
>>b3ZE|5 −
光栅级次分析器[用例]
5vAf7\* •使用参数运行搜索初始解决方案
u=F+(NE" −
参数运行文档的使用[用例]
hf/2vt
m •通过参数优化找到最终设计
AUVgPXOwd k#Of]mXXz VirtualLab Fusion技术
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