摘要
MY]<^/Q 'zg; *)x1/ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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C=&rPUX{ 25zmde~ w 建模任务
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g$N/pg2>cT 光栅特性与参数的严格分析
knsTy0] jrKRXS 不同光栅周期下的衍射效率
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\[57Dmo 关于光栅周期选择的考虑
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g p!OCF]r 偏振相关的衍射特性
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fQkfU;5 1_of;=9V 通过参数优化进行光栅设计
Mkj` XDt MFig 固定周期的2D参数优化
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e@ mjh, 2D参数优化–设计1
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D["~G v RI[=N:C^ 2D参数优化–设计2
.T63: 'BiR ,M$mY
.yF@Ow U{JD\G8m 制造
公差分析–设计2
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2lc NR6wNz&81 变化光栅周期的3D参数优化
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]VCVV!G_=n i0TbsoKh: 制造公差分析
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XYh)59oM% aob+_9o 走进VirtualLab Fusion
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Pss$[ % IW{}l=D/ VirtualLab Fusion中的工作流程
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sP'U9l AbExJ~JV\g •构造光栅
结构 _ g8CvH)?! −
通过使用界面来配置光栅结构 HVHd@#pDZ [用例]
P2!+ZJ& •分析光栅衍射效率
;}dvc7 −
光栅级次分析器[用例]
q?*
z<)# •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
Img$D*BM •通过参数优化找到最终设计
wU5.t-|` [KMNMg VirtualLab Fusion技术
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