摘要
va{#RnU B(HT.%r^A 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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YDK $ 32XS`Z 建模任务
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A[/I#Im7 光栅特性与参数的严格分析
?F$6;N6x E)YVfM 不同光栅周期下的衍射效率
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8:g!w:$x V7<eQ0;m
关于光栅周期选择的考虑
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v|+5:jFOqb ZCiY,;c 偏振相关的衍射特性
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#\FT EY! *6*-WV6 通过参数优化进行光栅设计
P W[6/7 YF[$Q=7. 固定周期的2D参数优化
!$kR ;Q"/ .hz2&9Ow
/7p>7q9g 2D参数优化–设计1
O~'FR[J %Y',|+Arx
z\Ui8jo:; c f*zejbw 2D参数优化–设计2
dB)[O9K) 84`rbL!M
L+R>%d
s !C`20,U 制造
公差分析–设计2
V*qY"[ vgk9b!Xd
euZ(}+N& zh?4K*>.k 变化光栅周期的3D参数优化
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;c'V$. T|+$@o
gM, &Spn 8ui=2k( 制造公差分析
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aL)Hv k: 22vq=RO7Z 走进VirtualLab Fusion
$c9=mjwH l\aUresm
FfXZ|o$; ak2dn]]D VirtualLab Fusion中的工作流程
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_80ns&q +S0u=u65 •构造光栅
结构 C1ZyB"{
−
通过使用界面来配置光栅结构 b7v dk [用例]
?#ihJt, •分析光栅衍射效率
u:5IjOb2^ −
光栅级次分析器[用例]
y< ud('D •使用参数运行搜索初始解决方案
>)sqh ~P −
参数运行文档的使用[用例]
UT;4U;a,m •通过参数优化找到最终设计
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pVr VirtualLab Fusion技术
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O\JD, w m+7`\|`jQ 文件信息
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