摘要
"KSdC8MS THB[(3q 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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UUa@7|x oel?w e6 建模任务
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de[NIDA;` 光栅特性与参数的严格分析
JbMp / kuq&; uk$Q 不同光栅周期下的衍射效率
g>`D!n::n 1]vDM&9
gvL*]U7 G>jC+0nkry 关于光栅周期选择的考虑
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AJ3Byb=. Og?GYe^_ 偏振相关的衍射特性
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I1s$\NZ~] ?sR( 通过参数优化进行光栅设计
2MW7nIEs n</Rd= 固定周期的2D参数优化
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8-cuaa 2D参数优化–设计1
c `.BN( 9E4^hkD&
\'|t>|zhp g1]bI$; 2D参数优化–设计2
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a:4!z;2
| aSgKh 制造
公差分析–设计2
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ml!c0< &5G@YQD1e 变化光栅周期的3D参数优化
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)5y"T0] :h!'\9 制造公差分析
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nwqA\ h-SKw=n 走进VirtualLab Fusion
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T21?~jS 1TF S2R n VirtualLab Fusion中的工作流程
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BN&}g}N ;:>q;% •构造光栅
结构 '$J M2 u −
通过使用界面来配置光栅结构 FJxb!-0& [用例]
nHp(,'R/ •分析光栅衍射效率
Ttp%U8-LJR −
光栅级次分析器[用例]
]KG.-o30 •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
H<P d& •通过参数优化找到最终设计
yNU}1_oK S/RChg_L5 VirtualLab Fusion技术
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