摘要
/o[?D s<oNE)xe 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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F8;dKyT?q xER\ZpA:, 建模任务
oo=Qt(# A8pIs
))&;}2{ 光栅特性与参数的严格分析
Hm$=h>rY9[ Aj2OkD 不同光栅周期下的衍射效率
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=Qgt${| hO';{Nl/$ 关于光栅周期选择的考虑
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2I&o69x? SQqD:{#g" 偏振相关的衍射特性
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{K9/HqH n84GZ5O>7 通过参数优化进行光栅设计
sO.`x* G.(mp<- 固定周期的2D参数优化
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,:??P1 2D参数优化–设计1
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!OT-b>*w nv0]05.4 制造
公差分析–设计2
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$dA-2e10 v@wb"jdFi$ 变化光栅周期的3D参数优化
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2D:fJ~|-[ C&6IU8l\ 制造公差分析
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?}m']4p 5cEcTJL[C 走进VirtualLab Fusion
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CYKr\DA _>v<(7 VirtualLab Fusion中的工作流程
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1c;6xc,ub 2KQoy; •构造光栅
结构 '&sE=. −
通过使用界面来配置光栅结构 E=cwq" [用例]
P1NJ^rX •分析光栅衍射效率
P(;?kg}0 −
光栅级次分析器[用例]
1ylk4@` •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
ixV0|P8,c •通过参数优化找到最终设计
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