摘要
&&Uc%vIN GY%2EM( 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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::lD7@Wg RRasX;zK 建模任务
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Wv4x^nJ 光栅特性与参数的严格分析
4U;Zs3 'Avp16zg 不同光栅周期下的衍射效率
++d%D9*V< .$rt>u,8<
;PA^.RB q#6K'=AC 关于光栅周期选择的考虑
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cD6T4 G2,9$8qE 偏振相关的衍射特性
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$#HPwmd 88}=VS 通过参数优化进行光栅设计
x+%(z8wD {'^!S"9x 固定周期的2D参数优化
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HTa]T' 2D参数优化–设计1
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f\zu7,GU 8etNS~^ 2D参数优化–设计2
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G(*7hs `\]gNn'Q 制造
公差分析–设计2
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$7'K]'UJXO d$;1%rRj8 变化光栅周期的3D参数优化
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pAY[XN UD+r{s/% 制造公差分析
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=a]B#uUn 8euh]+ 走进VirtualLab Fusion
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Y VirtualLab Fusion中的工作流程
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!= B'U;i5u4' •构造光栅
结构 hj*Fn −
通过使用界面来配置光栅结构 /iwL$xQQ [用例]
qbunP! •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
"{X_[ •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
@0qDhv s •通过参数优化找到最终设计
)h&*b9[B= 4or8fG VirtualLab Fusion技术
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