摘要
3Q!)bMv \ &HB!6T/ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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r) g:-[Ox9 -LU%z' 建模任务
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=:*2t
0)]?@"j 光栅特性与参数的严格分析
:6jh*,OHZl C$4!|Wg3 不同光栅周期下的衍射效率
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ht_'GBS) @iBaJ"*, 关于光栅周期选择的考虑
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Vf $ww0$ 偏振相关的衍射特性
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V`m9+<.1 b 2" u,f 通过参数优化进行光栅设计
@tlWyUju zALtG<_t 固定周期的2D参数优化
Slv91c&md, O,Ej m<nt
y' RQ_Gi 2D参数优化–设计1
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[Om,Q< .'bhRQY 2D参数优化–设计2
0M!GoqaA 6z2%/P-'
+!mEP> {gb` %J 制造
公差分析–设计2
R(f6uO!m {a0yHy$H
\)i,`bz }H:wgy` 变化光栅周期的3D参数优化
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t:.88 YySo%\d 制造公差分析
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Y 1 %8JMq\ 走进VirtualLab Fusion
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p8j*m~4B fR]KXfZ VirtualLab Fusion中的工作流程
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=w/AJ%6 B+z>$6 •构造光栅
结构 \_x~lRqJJ −
通过使用界面来配置光栅结构 4UHviuOo8 [用例]
R>B6@|}? •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
<m~{60{ •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
-vv_6ZL[ •通过参数优化找到最终设计
CA5T3J@vAQ P !I Lji! VirtualLab Fusion技术
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6!SW]#sD 5+UNLvsZ 文件信息
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings frc9 HPg%v| (来源:讯技光电)