摘要
F?5kl/(" Q0ev*MS9Z 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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9I^_n+E 2{@:
:JZ 建模任务
- DL/Hk_r ]7'Q2OU7
@36^4E>h 光栅特性与参数的严格分析
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uop_bJ 不同光栅周期下的衍射效率
1*;?uC\ F}i rCi47c
pwU]r 3lA<{m;V 关于光栅周期选择的考虑
kTs)u\r. YR~g&E#U^
8oN4!#: F
N(&3Ull 偏振相关的衍射特性
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%Ljc#AVg dtm_~r7~
.^P^lQT]> fs~n{z,ja%
OuS{ve 6mMJ$FY+ 通过参数优化进行光栅设计
`=%[ *C's7O{O 固定周期的2D参数优化
*"j_3vAx o"QpV
>x
Q.M3rRh 2D参数优化–设计1
.R biF &AOw(?2
P|_?{1eO2 Gash3}+ 2D参数优化–设计2
|~v($ c J>X aQfzwU
%#ms`"H cGOE $nL 制造
公差分析–设计2
~iF*+\ q`9~F4\
%aL>n=$ #BlH)Cv 变化光栅周期的3D参数优化
q)<5&|V |FPx8b;#
mj5A*%"W .'D+De&y 制造公差分析
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v+G}n\F .B#Lt,m 走进VirtualLab Fusion
!Me%W3 ?vf\_R'M
\+L_'*&8 fBw+Y4nCO7 VirtualLab Fusion中的工作流程
VJHHC.Kz ~LYKt0/W&
'{6`n5:e [h8F) •构造光栅
结构 xH3SVn(I −
通过使用界面来配置光栅结构 Er{[83
[用例]
T7cT4PAW •分析光栅衍射效率
ecf<(Vl} −
光栅级次分析器[用例]
JR7~|ov •使用参数运行搜索初始解决方案
R>pa? tQgK −
参数运行文档的使用[用例]
W,AI E6F •通过参数优化找到最终设计
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s.GTY@t VirtualLab Fusion技术
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K"-N:OV iF61J%3- 文件信息
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