摘要
#cdrobJ n)xLEx, 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Kg>ehn4S@ Ptj[9R 建模任务
&w"1VOV< 2(5<Wj"
;(I')[R" 光栅特性与参数的严格分析
Vq>$ZlvS 5wgeA^HE2y 不同光栅周期下的衍射效率
'7;b+Vbl# guc[du
>uR0Xs;V LUN"p#1 关于光栅周期选择的考虑
jSc!"Trl] 5@&{%99
^P p2T BfUM+RC%5 偏振相关的衍射特性
>.4mAO CYFi_6MFl
]R?{9H|jwE "Di8MMGOY
p^>_VE[S pN?geF~t|
9qcA+gz:| ?CU6RC n 通过参数优化进行光栅设计
'2X6>6`w ExKjH*gn 固定周期的2D参数优化
#|R#/Yc@Bv 4SDUTRoa
~>-MVp 2D参数优化–设计1
&'KJh+jJ
ckhU@C|=*
NcMohpkq 6)j4- 2D参数优化–设计2
b;k3B7< PqDffZ^z
;%W]b ~dz,eB 制造
公差分析–设计2
Q!*}^W rU!QXg]uD
ta+MH, F :p9y_W 变化光栅周期的3D参数优化
R!Lh~~@{( |9'`;4W
1XXuFa& [Rxbb+,U 制造公差分析
k3yA*Ec 1O,:fTG<
;eY.4/*R K6d2}!5 走进VirtualLab Fusion
W{W8\ dYxX%"J
z&KrG v1O 1-aM VirtualLab Fusion中的工作流程
UI%Z`.& rHaj~s 4
XDQ5qfE| ic;M=dsh: •构造光栅
结构 Cno+rmsfT −
通过使用界面来配置光栅结构 YMr2|VEU[ [用例]
euiP<[|h= •分析光栅衍射效率
HE|XDcYO −
光栅级次分析器[用例]
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]6:`5- •使用参数运行搜索初始解决方案
D8 BmC −
参数运行文档的使用[用例]
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•通过参数优化找到最终设计
$H8B%rT] J:Idt}@z VirtualLab Fusion技术
AEd]nVV Q vN9R.R
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