摘要
(8I0%n}.Zo d+(~{xK: 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时，具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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<ANKoPNie 6V)# Yf 建模任务
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. &e,8 光栅特性与参数的严格分析
NM4 n dCHU* 7DS 不同光栅周期下的衍射效率
u!Z&c7kPI qG;WX n 
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2^ ` .Ee8s]h5W 关于光栅周期选择的考虑
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3Ry? {m^ /XXW4_> 偏振相关的衍射特性
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V3jx{BXs2 P"- ,^?6 通过参数优化进行光栅设计
0q/g:" |j ?Z;knX\?J 固定周期的2D参数优化
MP T[f y"7?]#$9/ 
H}:apRb 2D参数优化–设计1
t+vn.X+& sl)_ HA7G 
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2D参数优化–设计2
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2lGq6Au: QutQG 制造
公差分析–设计2
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X uu|] Q tRKmry{ 变化光栅周期的3D参数优化
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|,.gl L 制造公差分析
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E9 | i: ];IUiS1 走进VirtualLab Fusion
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xGz$M@f wJ+"JQY.J+ VirtualLab Fusion中的工作流程
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_w(SHWh2 37{mhU •构造光栅
结构 :U?Kwv8 s −
通过使用界面来配置光栅结构 ^f>+5G [用例]
st pa2z •分析光栅衍射效率
M@
mCB cbN −
光栅级次分析器[用例]
W| ~Ehg •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
m\j'7mZ1 •通过参数优化找到最终设计
?(hdV ?8)P >?I[dYzut VirtualLab Fusion技术
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