摘要
NM4 n qAm%h\ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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6ugBbP +^ R\<^A~(Gl 建模任务
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6
pY2nv/ 光栅特性与参数的严格分析
1}(g=S xzy9~))o 不同光栅周期下的衍射效率
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W>"i0p (Yx rZ_F'b 关于光栅周期选择的考虑
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AVi|JY)> 4'{j'kuv 偏振相关的衍射特性
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t?/#:J*_7 Gm*i='f!? 通过参数优化进行光栅设计
;1BbRnCr *u-TNg 固定周期的2D参数优化
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JK_sl>v.7 2D参数优化–设计1
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0.?|%;^ib Chjth" 2D参数优化–设计2
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N 4Dyec\ qwnC{ 制造
公差分析–设计2
Xh){W~- byd[pnI$H
sB /*gO z7J#1q~:yY 变化光栅周期的3D参数优化
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/VJ[1o^ 1MOQ/N2BR 制造公差分析
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XO\P4x:c -[ F<u 走进VirtualLab Fusion
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Y0U:i.) TC ^EyjD VirtualLab Fusion中的工作流程
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#VD[\# H+-9R •构造光栅
结构 yay{lP}b" −
通过使用界面来配置光栅结构 j5tA!o [用例]
is`le}$^y •分析光栅衍射效率
~`T3 i −
光栅级次分析器[用例]
7j{SCE; •使用参数运行搜索初始解决方案
"]`!#5j^WP −
参数运行文档的使用[用例]
DaaLRMQ= •通过参数优化找到最终设计
^cd+W? GtbIw VirtualLab Fusion技术
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6wfCC, 2 P)ZGNtO9fG 更多阅览
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings %6HDLG6@^} W8R@Pf (来源:讯技光电)