摘要
WN o+% KVoM\ttP 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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u(JuU/U m;S%RB^~H 建模任务
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jRxzZt4 光栅特性与参数的严格分析
<ILi38%Y muO;g& 不同光栅周期下的衍射效率
l I2UpfkBP lE3&8~2
nFwdW@E9 ^$<:~qq! 关于光栅周期选择的考虑
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jI$7vmO N5b&tJbM0 偏振相关的衍射特性
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Dc] J3r 2-^['R
x_= 3!) ='(;!3ZH 通过参数优化进行光栅设计
Z*'_/Grv? uC2 5pH" 固定周期的2D参数优化
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AS lmW@/9v 2D参数优化–设计1
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.G|U#%"6x p&HkR^.S 2D参数优化–设计2
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_;-b ZH VGOdJ|2]Wr 制造
公差分析–设计2
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UBx0Z0Y z@2nre 变化光栅周期的3D参数优化
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s$/Z+"f( i^eDM.#X 制造公差分析
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YV6w}b: ^_o:Ddz?l" 走进VirtualLab Fusion
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~P9^4 bbWW|PtWwP VirtualLab Fusion中的工作流程
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S|_lbMZM D*8oFJub •构造光栅
结构 I5g!c|#y
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通过使用界面来配置光栅结构 $oZV 54 [用例]
i.+#a2 •分析光栅衍射效率
T7*p!0 −
光栅级次分析器[用例]
u6*mHkM •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
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#Yp0, •通过参数优化找到最终设计
F/D/1w^ iR 1(4IcIR5T; VirtualLab Fusion技术
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#:nds, @34CaZ$k 更多阅览
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