摘要
H)5v X+9D hqVFb.6[ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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r0)X]l7 DLv\]\h}L 建模任务
n`krK"Ii -&*
4~
C&m[/PJ~l 光栅特性与参数的严格分析
195m0'zda ;X
]+r$_ 不同光栅周期下的衍射效率
$5`P~Q'U c_li.]P
lXS.,#lp ch}t++`l] 关于光栅周期选择的考虑
j ,'$i[F' V3NQij(
2n]Br 2WRa@;Tj 偏振相关的衍射特性
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Mi0?$. 7Rf${Wv0
^b]h4z$ c-L1 Bkw
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>M\3tB2C RHdcRojF 通过参数优化进行光栅设计
'Tni; mX9amS&B$ 固定周期的2D参数优化
r(W=1e' \Q"j^4
ykv,>nSXLL 2D参数优化–设计1
W *t+!cU/: xt7ZrT
dC$z q~q `;yfSoY 2D参数优化–设计2
?CgqHmf\\( Lj"@JF;c
Nv@SpV' [=[>1<L> 制造
公差分析–设计2
uz6S7I G=R`O1-3
88]V6Rm9[* AM4lAq_ 变化光栅周期的3D参数优化
\a+.~_iL| SW!lSIk
4NaL#3 #1-,s.) 制造公差分析
9?5'>WO /a}F;^
o}q>oa b z F<K;tt 走进VirtualLab Fusion
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0x&-/qce6W ,Jm2|WKH VirtualLab Fusion中的工作流程
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{t<E*5N]a .ME>ICA •构造光栅
结构 }
+
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通过使用界面来配置光栅结构 F xek# [用例]
e
:(7$jo •分析光栅衍射效率
pZo:\n5o −
光栅级次分析器[用例]
3q'["SS •使用参数运行搜索初始解决方案
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X −
参数运行文档的使用[用例]
77KB-l2 •通过参数优化找到最终设计
2a=3->D& (}Q(Ux@X VirtualLab Fusion技术
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