摘要
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u<\/T&S 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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d7tH~9GX8 -$4PY, 建模任务
f?_H02j`/E Zl.}J,0F
r>`65o 光栅特性与参数的严格分析
qMz0R\4 %Ow,.+m 不同光栅周期下的衍射效率
6P!M+PO (Y!@,rKd
#G^?4Za t*^Q`V wQ 关于光栅周期选择的考虑
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O(S 偏振相关的衍射特性
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A3 bE3Fk$ cyG3le& +G
,`MUd0 n TgVvp0F;
o|AV2FM) $ T.c>13 通过参数优化进行光栅设计
W)?B{\ S!k cC-7 固定周期的2D参数优化
<`b)56v:+ SV}I+O_w
sUcx;<|BC 2D参数优化–设计1
uJm9h(xq > c?Z.of
ZPY#<^WOzr )avli@W-3j 2D参数优化–设计2
DnP>ed"M! CbA!
z'JtH^^Z <MI>>$seiJ 制造
公差分析–设计2
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me#VCkr# _1f!9ghT\ 变化光栅周期的3D参数优化
hkee,PiiP dmW0SK
:aR&t#<"E Tz]t.]!&E 制造公差分析
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KQj5o>} 6 =U!M,zw4 走进VirtualLab Fusion
DDyeNuK Ua)ARi %
{ ,qm=Xjq X<m#:0iD VirtualLab Fusion中的工作流程
_<|NVweFS G<l+94(
U@!e&QPn Ro`9Ibqr •构造光栅
结构 \L-o>O −
通过使用界面来配置光栅结构 <<W{nSm# [用例]
|?hNl2m •分析光栅衍射效率
8hZ+[E} −
光栅级次分析器[用例]
H[UV]qO, •使用参数运行搜索初始解决方案
7,ysixY −
参数运行文档的使用[用例]
'kf]l=i[n •通过参数优化找到最终设计
BMkN68q bf|s=,D VirtualLab Fusion技术
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