摘要
P1=bbMk 6 +^V 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
9c8zH{T_{ ##BMh!
:Y(Yk5 Bo.x 建模任务
-r]s #$ <<LmO-92
3X*;.'#Z 光栅特性与参数的严格分析
D; H</5#Q Hs~M!eK 不同光栅周期下的衍射效率
.\X/o!xC :aLShxKA
N+\#k*n? KMhoG.$Ra 关于光栅周期选择的考虑
2V/A% ^v*ajy.>
-aLBj?N c[ M:6H%6eT 偏振相关的衍射特性
yfiRMN"2 +cheLc
wd~e3%JM *58<.L|
o DPs xw %;^[WT`,
zN#$eyt N'Ywn}!js 通过参数优化进行光栅设计
C"k8M\RW? Dd<gYPC 固定周期的2D参数优化
<tuh%k 'SYj Ehvw
N~EM`d 2D参数优化–设计1
f,d @*E \yNjsG@,
!w]!\H Sq/M
%z5' 2D参数优化–设计2
u3Z*hs)Z% ;H_yNrwA
dE_BV=H{ M
ioS 制造
公差分析–设计2
j7<`^OG |Q`}a %
.^I,C!O# 3Fo,F 变化光栅周期的3D参数优化
2U2=ja9:Y 5b0Ipg
0?BT* %FT F 制造公差分析
-0YS$v%au> p+snBaAo}
bnUpH3 (03m%\ 走进VirtualLab Fusion
rVzjLkN^ gmLGK1
f";70}_ "}*P9-% VirtualLab Fusion中的工作流程
;dRTr * ,COSpq]6
SLSJn))@! 1& YcCN\k •构造光栅
结构 ,aV89"} −
通过使用界面来配置光栅结构 L;Nz\sJ [用例]
, =IbZ •分析光栅衍射效率
QL-((dZ< −
光栅级次分析器[用例]
j8M}*1 •使用参数运行搜索初始解决方案
7 '2E-#^ −
参数运行文档的使用[用例]
kMo;<Z •通过参数优化找到最终设计
^>.?kh9z szF[LRb VirtualLab Fusion技术
Q
{3"& bICi'`
64#~ p) LV0g *ng 文件信息
Rde#=>@V =9i:R!,W `R!0uRu
,'= Y ]r$S{< 更多阅览
_{_LTy%[ -
Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers UB|Nx(V s -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block ZUQ1\Iw -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings
4sSQ
nK M< *5Y43 (来源:讯技光电)