摘要
aGUKpYF L?WF[nFR 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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?9F_E+! 6/A#P$G 建模任务
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e@Cv')]B 光栅特性与参数的严格分析
_8-iO.T+2 R:Pw@ 不同光栅周期下的衍射效率
Y?1
3_~
K 2HxT+|~d6
V>8)1)dF 51,RbADB 关于光栅周期选择的考虑
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M9_G X^2Txm d 偏振相关的衍射特性
`oDs]90 /b$0).fj@,
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hI&ugdf n$jOk
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]VYv>o`2 2jMV6S9 通过参数优化进行光栅设计
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lQ^ 固定周期的2D参数优化
%Ydzzr3 QNGICG-
yMJY6$Ct 2D参数优化–设计1
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q" 2D参数优化–设计2
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[f_4%Now Hy?+p{{G 制造
公差分析–设计2
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^KBE2C UL46%MFQ\ 变化光栅周期的3D参数优化
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v(ATbY75 j:JM v 制造公差分析
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*=6,}rX"I .7BB*!CP 走进VirtualLab Fusion
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R5p VirtualLab Fusion中的工作流程
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z3RlD"F1 np>RxiB^ •构造光栅
结构 Ar+<n 2;[ −
通过使用界面来配置光栅结构 v}$s,j3NO [用例]
v(HCnC •分析光栅衍射效率
dHcGe{T^( −
光栅级次分析器[用例]
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| •使用参数运行搜索初始解决方案
QO'=O}e −
参数运行文档的使用[用例]
Y|s?9'z •通过参数优化找到最终设计
a^9-9* U?MKZL7 VirtualLab Fusion技术
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