摘要
vHoT@E#}' C5d/)aC 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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UX+?0 K %YsRm%q 建模任务
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s$e K66H 光栅特性与参数的严格分析
NO%|c|B| w`2_6[,9 不同光栅周期下的衍射效率
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F^J&g%ql 关于光栅周期选择的考虑
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* <Nk%` OD>u$tI9 偏振相关的衍射特性
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>&4I.nA _%C_uBLi 通过参数优化进行光栅设计
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E>vm UeIqAG 8 固定周期的2D参数优化
C{U[w^X IX > j8z[
1D#T+t`[ 2D参数优化–设计1
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}Etd#"> ?}!gLp 2D参数优化–设计2
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BHiw!S< 6jQ&dN{=qB 制造
公差分析–设计2
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kM}ic(K Q*oA{eZY 变化光栅周期的3D参数优化
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>"m@qkh rA>A=, 制造公差分析
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x1BDvTqW ;Fwm1ezx0 走进VirtualLab Fusion
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l%Fse&4\ SFXfo1dqH VirtualLab Fusion中的工作流程
Oujlm| <LOx.}fv
o 0cc+ E?;T:7.% •构造光栅
结构 GYy!`E −
通过使用界面来配置光栅结构 .,BD D PFB [用例]
Xk$l-Zfse •分析光栅衍射效率
,EGD8$RA] −
光栅级次分析器[用例]
+h9l%Pz •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
k(vEp] •通过参数优化找到最终设计
]R3pBC"Jv Z ^9{Qq VirtualLab Fusion技术
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