摘要
"J#:PfJ% d#\n)eGr 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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kXr%73s ?>Aff`dHY 建模任务
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|@BN+o;`Om 光栅特性与参数的严格分析
q~n2VU4L* hbeC|_+ 不同光栅周期下的衍射效率
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d%3BJ+J o1Ln7r. 关于光栅周期选择的考虑
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R5"p7> +b+sQ<w?. 偏振相关的衍射特性
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` qTY [JoTWouNU 通过参数优化进行光栅设计
<Z'hZ >{a,]q* 固定周期的2D参数优化
YHYB.H) n^N]iw{G
Br5Io=/wg 2D参数优化–设计1
`Ny8u")= 2r,'4%G
-(1\`g07 )*h~dx_c m 2D参数优化–设计2
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l,wN@Nk p;$9W+H0 制造
公差分析–设计2
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2<Bv=B r%d11[z 变化光栅周期的3D参数优化
Cg pT(E\E I!gj; a?R
,<b|@1\k -P>=WZu 制造公差分析
T+R I8.#o 4Z9wzQ>
,hLSRj{ k &iDJt 走进VirtualLab Fusion
mthl?,I| UUu-(H-J
x9l0UD*+g vN:[ VirtualLab Fusion中的工作流程
<0)ud)~u x}'4^Cv
g ypq`F m,C,<I|'d •构造光栅
结构 GA.bRN2CI2 −
通过使用界面来配置光栅结构 n~u3 [用例]
I0+wczW,^ •分析光栅衍射效率
PlH`(n# −
光栅级次分析器[用例]
F*t_lN5{ •使用参数运行搜索初始解决方案
KTjlWxD −
参数运行文档的使用[用例]
D"4&9"C U •通过参数优化找到最终设计
2BX GVo u#WTh%/ VirtualLab Fusion技术
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