摘要
nd,\<}uP9 `B&=ya|bl 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时，具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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I<,~>'cq. qT
#=C'? 建模任务
I $x<B7U ;K|K]c 
9o6[4Q} 光栅特性与参数的严格分析
7HY8 F5Brx b<#zgf 不同光栅周期下的衍射效率
`8#xO{B1 y29G#Y4J 
t^>P,%$ Z]WX 7d 关于光栅周期选择的考虑
E(_k#X EE | c@M^ 
ut]UU*g^$ u|.|dv'mbp 偏振相关的衍射特性
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BFP@Yn~k 6[RTL2&W 
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0%;| B *?C8,;=2r 通过参数优化进行光栅设计
.@EzHe ^W |+JO]J#bc 固定周期的2D参数优化
J7oj@Or9 Zn40NKYc 
F7w\ctUP 2D参数优化–设计1
Z+EZ</'(a \o3s&{+ y, 
#*lD Kn[vO xluA jOQ6 2D参数优化–设计2
m@*aA }69 \*BRFUAc 
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v0(}"0 制造
公差分析–设计2
UM`$aPz xaB#GdD 
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变化光栅周期的3D参数优化
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59:kL<;S- 7@ y}J5, 制造公差分析
X t:j~cVA C~K/yLCAi 
)ezkp%I5D OEzSItAI/[ 走进VirtualLab Fusion
'4 3U v pNuU{:9 B0 
U UtS me 4AvIU!0w VirtualLab Fusion中的工作流程
0R+p\Nc&1
E5|GP 
qh&KNJ>1 !Q%r4Nr
•构造光栅
结构 CN-4FI)1D9 −
通过使用界面来配置光栅结构 ~R=p[h) [用例]
@n9iOf~< •分析光栅衍射效率
+]yVSns
3 −
光栅级次分析器[用例]
iWUxB28 •使用参数运行搜索初始解决方案
DIvxut −
参数运行文档的使用[用例]
L8zMzm= - •通过参数优化找到最终设计
sT<h+[2d &Q\k`0vzVB VirtualLab Fusion技术
EL2z& B tJF1#f 
A] o3 MoSt 0lcwc"_DZX 文件信息
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