摘要
|1tKQ0jg xh6(~'$ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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A`c22Ls] # @\3{;{R 建模任务
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7KT*p&xm 光栅特性与参数的严格分析
pP\Cwo #, {1GJ,['qL 不同光栅周期下的衍射效率
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%wD#[<BGn> 6(|mdk`i 关于光栅周期选择的考虑
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_S!^=9bJ }"Y<<e<z: 偏振相关的衍射特性
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1=VyD<dNG6 z*3b2nV 通过参数优化进行光栅设计
LUbhTc 3ML][|TR 固定周期的2D参数优化
eSPS3|YYn V:0IBbh)w
iIfiv<(ChM 2D参数优化–设计1
}2
S. ulR yt^bx|
UlXm4\@ 31n"w; 2D参数优化–设计2
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7uBx YSjc= 制造
公差分析–设计2
KdNo'*;U]_ "2e3 <:$
G/x6zdk 2OG/0cP 变化光栅周期的3D参数优化
Z;+,hR (( &+9 ;
v[CR$@Y * :"*' 制造公差分析
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k-$Acv( e\)%<G5 走进VirtualLab Fusion
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> 01Jav~WR
Kq7r+A ? Fqh
i VirtualLab Fusion中的工作流程
AArLNXzVW nC:T0OJv
1$Up7=Dr= a-5UG#o •构造光栅
结构 eI-fH −
通过使用界面来配置光栅结构 dJ"44Wu+J [用例]
j;$f[@0o •分析光栅衍射效率
``xm##K −
光栅级次分析器[用例]
e]<Syrk •使用参数运行搜索初始解决方案
%6ckau1_; −
参数运行文档的使用[用例]
)St0}?I~ •通过参数优化找到最终设计
AFt- V .M6. ]H VirtualLab Fusion技术
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