摘要
G/FDD{y ~Gmt,l!b 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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)-1e}VF(U P (7Q8i' 建模任务
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!~%DR~^` 光栅特性与参数的严格分析
&n_f.oUc ,g}$u'A+d 不同光栅周期下的衍射效率
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( %X.g+uu
xg7KU& C P&u 关于光栅周期选择的考虑
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w{dRf!b69 Y DHP-0? 偏振相关的衍射特性
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*_YR*e0^nN F.aG7 通过参数优化进行光栅设计
1aIGC9xQ` t7u*j-YE 固定周期的2D参数优化
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Q z8"1*V 制造
公差分析–设计2
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e~(e&4pb ;qUB[Kw 变化光栅周期的3D参数优化
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走进VirtualLab Fusion
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~/JS_>e#6P W/t,7lPFb VirtualLab Fusion中的工作流程
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oEuKT •构造光栅
结构 KGc.YUoE −
通过使用界面来配置光栅结构 3w |5%` [用例]
`^^t#sT •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
aN*{nW •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
O wu?ND •通过参数优化找到最终设计
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