摘要
"|.(yN =(ZGaZ} 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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TI>yi ^} G
DV-wPX 建模任务
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)hug<D *h 光栅特性与参数的严格分析
! Cl/=0$[L o$O,#^ 不同光栅周期下的衍射效率
h uJqqC L?0l1P
K(gj6SrjV i7rq;t< 关于光栅周期选择的考虑
{Fi@|' X2cR+Ha0
ju]]| u3vmC:bV 偏振相关的衍射特性
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^{Ep/ME= MbfzGYA2~
Wv"tAseu E: GJ$I
(5~C
_Y PAHlj,n)
9$&e~^&B j;)g+9` 通过参数优化进行光栅设计
iI*7WO[W iIE(zw)H 固定周期的2D参数优化
:,m)D775S <+gl"lG
86#mmm) 2D参数优化–设计1
ZRB 0OH 3Mx@
bSf(DSqx |lxy< C4V 2D参数优化–设计2
+ZKhmb! vC:b?0s #(
It4z9Gh Hc]1mM 制造
公差分析–设计2
+5[oY,^cO s.` d<(X?
A[kH_{to; _wNPA1q0J 变化光栅周期的3D参数优化
JtpY][}"~3 7Zt\G-QV
~lqGnNhh7 |xZcT4 制造公差分析
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U5!f++ /;AZ/Ocy! 走进VirtualLab Fusion
VONAw3k7! b$O_L4CP
=`~Z@IbdI "F$o!Vk VirtualLab Fusion中的工作流程
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Ia`JIc^e *xg`Kwl5Kl •构造光栅
结构 |90
+)/$4 −
通过使用界面来配置光栅结构 {Y91vXTz7 [用例]
JhCkkw •分析光栅衍射效率
lhoq3A −
光栅级次分析器[用例]
tx5T^K7[ •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
P5>5ps"iU •通过参数优化找到最终设计
^Wfgwmh `n`"g<K)Q VirtualLab Fusion技术
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