摘要
%LdFS~ <m?/yREK2 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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(>x_fDv 建模任务
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Q|HOy8O}Z 光栅特性与参数的严格分析
dr7ry"5Zq ?pF uV`Zm 不同光栅周期下的衍射效率
cLnvb!g'# =_dqoAF
#]o#~:S= Wp$'#HhB 关于光栅周期选择的考虑
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[mI;>q {f)"F;]V 偏振相关的衍射特性
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H#j Z'I &ffd#2f`@ 通过参数优化进行光栅设计
APu cA dD8f`*"*= 固定周期的2D参数优化
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[S!_ubP5 2D参数优化–设计1
R k).D6 UDz#?ZWnd
| sio:QP d$` NApr 2D参数优化–设计2
t<2B3&o1 !G3d5d2)C
9W<I~ =m?x|Zc_v 制造
公差分析–设计2
^h@1t FF ;4 ON
2aUy1*aM RK`C31Ws 变化光栅周期的3D参数优化
XZFM|=%X noa=wy
g4 |s9RMD eO:wx.PW 制造公差分析
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jQ s"8[=s #A2)]XvY 走进VirtualLab Fusion
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]dKLzW:l zLxO\R!d VirtualLab Fusion中的工作流程
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=i/7&gC 75LIQ!G|= •构造光栅
结构 3i'L5f67 −
通过使用界面来配置光栅结构 X^U)j
N2 [用例]
*3A[C-1~. •分析光栅衍射效率
lklMdsIdj −
光栅级次分析器[用例]
U
h'1f7% •使用参数运行搜索初始解决方案
S=o1k −
参数运行文档的使用[用例]
ljij/ C= •通过参数优化找到最终设计
bI,gNVN= <QyJJQM VirtualLab Fusion技术
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