摘要
$rB6< GI_DhU]~) 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
'hF@><sqk ($SLb6 1eD.:_t4 /PW&$P1.]" 建模任务
S=PJhAF 6c &Y ^yJ:+m;6K 光栅特性与参数的严格分析
-TS?
fne) R04J3D| 不同光栅周期下的衍射效率
/WYh[XKe Q;wB{vr$ !+KhFC&Py f'_M0x 关于光栅周期选择的考虑
anC+r(jjg9 Dft%ip2 2yxi= XWZ c{4R*|^ 偏振相关的衍射特性
3\+N`! HTR1)b 7=3O^=Q^Q .Q[yD<)Ubs nh0&'hA "-0;#&! 2*Q3.2 Z u*2JUI* 通过参数优化进行光栅设计
W_}/ O'l{ L;yEz[#xaT 固定周期的2D参数优化
Xm@aYNV t7^D-l w+=Q6]FxJ 2D参数优化–设计1
$
S~%Ks C pBU]=[M0 kFwxK"n@C U&Ab#m; 2D参数优化–设计2
=:/>6H1x x8/us 41}/w3Z4 /buWAX1 制造
公差分析–设计2
> UWStzH< N9`97;.X
iRs V#s ^1VbH3M 变化光栅周期的3D参数优化
OoM_q/oI c/'M#h)" X+at%L= r0Z+RB^I 制造公差分析
aTClw<6} GX5W^//} #_fY4vEO EneAX&SG 走进VirtualLab Fusion
S&01SX6 jsZY{s= n$W"=Z;` xlw 2g<s VirtualLab Fusion中的工作流程
0'@u!m? 1ktHN: ta qiU5{} Mz\yPT;Y •构造光栅
结构 27iy4(4 −
通过使用界面来配置光栅结构 1i+FL'' [用例]
WW6yFriuW •分析光栅衍射效率
[>p6 −
光栅级次分析器[用例]
Pgev) rh[ •使用参数运行搜索初始解决方案
PCZ]R −
参数运行文档的使用[用例]
u>|"28y •通过参数优化找到最终设计
T.2ZBG~|[ 9[sG1eP! VirtualLab Fusion技术
S+pP!YX }{mG/(LX8 7}o6_i !qw4mN 文件信息
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