摘要
%8}ksl07 '#4mDz~ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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l6`d48U -4^@)~Y 建模任务
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zy/tQGTr@ 光栅特性与参数的严格分析
L1Cn @Pb 1QLiz 不同光栅周期下的衍射效率
h[`Op#^x3 5k%N<e``
eVCkPv* (fGJP*YO 关于光栅周期选择的考虑
^$Eiz. PM@s}(
_@~kYz #g`cih=QL 偏振相关的衍射特性
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#L4Kwy 9uq+Ve> 通过参数优化进行光栅设计
/DG`Hg Tk#&Ux{ZJ 固定周期的2D参数优化
'3_B1iAv Q0"F> %Cn
zS"zb 2D参数优化–设计1
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%YTJS 2D参数优化–设计2
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<,cIc]eX +uiH0iGS 制造
公差分析–设计2
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_:=OHURc dR, NC-* 变化光栅周期的3D参数优化
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UE`4$^qs l0_E9qh-i 制造公差分析
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&Cpxo9- [[r3fEr$!p 走进VirtualLab Fusion
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D*r Zaqy [BR}4(7 VirtualLab Fusion中的工作流程
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)E~\H+FP6 : )"jh` •构造光栅
结构 V45Udwp^ −
通过使用界面来配置光栅结构 . N} }cJq [用例]
M^Ay,jK! •分析光栅衍射效率
iGeT^!N −
光栅级次分析器[用例]
7(USp#" •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
Eno2<< •通过参数优化找到最终设计
)qP{X,Uf B';>Hk VirtualLab Fusion技术
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