摘要
]aMDx>OE }*9F `=%F 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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GjW(&p$& [-l>fP0 建模任务
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S"Vr+x? 光栅特性与参数的严格分析
:,p3&2I :
^}!"4{ 不同光栅周期下的衍射效率
-tWxBGSa@ Oz\J+
:tFcPc' ,V]FAIJ 关于光栅周期选择的考虑
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vxPr)"Vvz rr`_\ut 偏振相关的衍射特性
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0hkYexX73 ?\4kV*/Cqz 通过参数优化进行光栅设计
]S?G]/k} R3_;!/1 固定周期的2D参数优化
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*j,noHUT~> 2D参数优化–设计1
"S{GjOlEDF &=%M("IlD
T<nK/lp1t ~a7@O^q4 2D参数优化–设计2
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制造
公差分析–设计2
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K-*ZS8 po]<sB 变化光栅周期的3D参数优化
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<uoVGV5N [}Rs 制造公差分析
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]B&jMj~y& k+@ :+RL VirtualLab Fusion中的工作流程
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fWg3gRI XI ><;# •构造光栅
结构 .Q</0*sp −
通过使用界面来配置光栅结构 %AT/g&M&1# [用例]
HuA4eJ(2 •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
Frx_aGLH1 •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
N^[MeG,8 •通过参数优化找到最终设计
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