摘要
]f3R;d jLreN#:9 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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iFaC[(1@a Eb9{ 建模任务
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(c9!: 光栅特性与参数的严格分析
d# q8- ZVz`-hB 不同光栅周期下的衍射效率
>A1;!kGE# ^|=3sJ4[U
`rI[ =s1Pf__<k 关于光栅周期选择的考虑
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!!UQ,yU C/A~r 偏振相关的衍射特性
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Fx' E"d cY[qX/0~ 通过参数优化进行光栅设计
;U$EM+9 K!_''Fg 固定周期的2D参数优化
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y7Sj^muBY 2D参数优化–设计1
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=CjN=FM QLe<).S1B2 2D参数优化–设计2
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gPg2Ve0Qy Z;nUS,?om 制造
公差分析–设计2
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变化光栅周期的3D参数优化
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N3rQ]HZiP SjB#"A5 制造公差分析
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1rQKHC:| D^e7%FX 走进VirtualLab Fusion
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61{IXx_ 5 ]v]^Y'? VirtualLab Fusion中的工作流程
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bIz! •构造光栅
结构 uw`fC%-xh −
通过使用界面来配置光栅结构 '`fz|.|cbB [用例]
A%c)=(, •分析光栅衍射效率
}g|)+V\A −
光栅级次分析器[用例]
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•使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
+qzCy/_gd •通过参数优化找到最终设计
FkJX) K7N.gT*4 VirtualLab Fusion技术
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