摘要
4VHWoN"U d,b]#fj 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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!}5f{,.RO RWRqu }a 建模任务
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Hd\.,2a" 光栅特性与参数的严格分析
N%,zME 67;6nXG0K 不同光栅周期下的衍射效率
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Qgf\"s 27+~!R~Yw 关于光栅周期选择的考虑
f|=u{6 P(s:+
A/"<o5(T(P ?@z/#3b 偏振相关的衍射特性
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1S(n3(KRk$ V%{WH} 通过参数优化进行光栅设计
.R@s6}C`}= Sgr. V) 固定周期的2D参数优化
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q 2D参数优化–设计1
?S'aA!/; qX`Hi9ja
vsyg u +?W4ac1 2D参数优化–设计2
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mbIz[un f`KO#Wc 制造
公差分析–设计2
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\>>P%EU, piH0_7qr 变化光栅周期的3D参数优化
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,2rfN"o u;]xAr1 制造公差分析
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|V4<eF-0S &XdTY + 走进VirtualLab Fusion
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%ok SB08-G2 VirtualLab Fusion中的工作流程
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r{t6Vv2J gwsIzYV •构造光栅
结构 x;sc?5_` −
通过使用界面来配置光栅结构 zfE8=d8U [用例]
j#2EQ •分析光栅衍射效率
9gdK&/ulR −
光栅级次分析器[用例]
P_NF;v5v •使用参数运行搜索初始解决方案
mB"I(>q*M −
参数运行文档的使用[用例]
|%F,n2 •通过参数优化找到最终设计
A]5];c 5\XD/Q M VirtualLab Fusion技术
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Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers p> >H$t -
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings 5!fYTo|G> 1<73uR&b% (来源:讯技光电)