摘要
%G9:M;|' MpbH!2J 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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.Z=D|&! 4;;F(yk8 建模任务
~8'4/wh+8 w yO@oi
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HjTK/x'_'L 光栅特性与参数的严格分析
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R~9qO 不同光栅周期下的衍射效率
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y4`<$gL 'tK5s>gv< 关于光栅周期选择的考虑
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bu"R2~sb !pI)i*V| 偏振相关的衍射特性
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WSfla~-'F ,)A^ 3Q*
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iZ+\vO?| -}k'a{sj= 通过参数优化进行光栅设计
{O*<1v9< @YmD 79 固定周期的2D参数优化
NUBzm nA>8 yG58?5\9
S4kGy}{+i 2D参数优化–设计1
")7,ZN; /_E:sI9(
k%#`{#ni |jm|/{lc 2D参数优化–设计2
w\=zTHo88 ]@1YgV
';??0M :7p0JGd 制造
公差分析–设计2
h{.KPK\ WZ5[tZf
0CI?[R\ (,Yb]/O* 变化光栅周期的3D参数优化
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#/@U|g :w(J=0Lt 制造公差分析
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!`\W8JT+ @8Drhx 走进VirtualLab Fusion
o^4qY Vj4
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j2lo~J) ;|w &n VirtualLab Fusion中的工作流程
[{N
i94:d \^;Gv%E
n=r}jRH1 MTb}um.($ •构造光栅
结构 swG^L$r` −
通过使用界面来配置光栅结构 J:f>/ [用例]
I"Ji_4QV •分析光栅衍射效率
?Li^XONz −
光栅级次分析器[用例]
Yc=y Vh •使用参数运行搜索初始解决方案
E{T\51V]% −
参数运行文档的使用[用例]
8 jqt=}b •通过参数优化找到最终设计
p$f#W qS&PMQ"$ VirtualLab Fusion技术
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