摘要
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k^y|\UtZ }kbSbRH43 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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F /b`[ eE;tiX/ 建模任务
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ZSMed(//b 光栅特性与参数的严格分析
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C@*q +)Te)^&v% 不同光栅周期下的衍射效率
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#%"q0" aM^iDJ$> 关于光栅周期选择的考虑
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\?:L>-&h8 w7nt $L5 偏振相关的衍射特性
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*2X6;~ 8$Q`wRt(% 通过参数优化进行光栅设计
HN47/]"* O--p)\ 固定周期的2D参数优化
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St=nf\P&F 2D参数优化–设计1
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(5a73%>@ ?}||?2=P 2D参数优化–设计2
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Xo^8o0xi +^I0>\ 制造
公差分析–设计2
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CB7dr&> k(Yz2 变化光栅周期的3D参数优化
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h!"2Ux3!x A`c22Ls] 制造公差分析
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;i{B,!# H7O~So*N5 VirtualLab Fusion中的工作流程
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f(@M[ •构造光栅
结构 #h!+b −
通过使用界面来配置光栅结构 , c.^"5 [用例]
s"L&y <?) •分析光栅衍射效率
kuY^o,u-1e −
光栅级次分析器[用例]
whI{?NP •使用参数运行搜索初始解决方案
~Ps *i]n( −
参数运行文档的使用[用例]
B5\l&4X •通过参数优化找到最终设计
+)jUA]hJ/ o<g?*"TRh VirtualLab Fusion技术
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