摘要
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V`>A 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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x: wq"X ~sja^ 建模任务
P6Z,ci17 ^J=txsx
C g,w6<7 光栅特性与参数的严格分析
21J82M &7y1KwfXn 不同光栅周期下的衍射效率
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Wv'B[;[) Uc;IPS 关于光栅周期选择的考虑
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Z0 y]z# ??
HE.Dl7{ gYIYA"xN` 偏振相关的衍射特性
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)uJ`E8>- C2%3+ 通过参数优化进行光栅设计
6B P%&RL F,$$N> 固定周期的2D参数优化
8pKPbi;(2 IaqN@IlWb
y,eoTmaI 2D参数优化–设计1
e/~<\ r,@|Snv)
g(/O)G. [9Hm][|Ph 2D参数优化–设计2
:EAfD(D{) j[
YTg]
5 `mVe0uI A)0m~+?{J 制造
公差分析–设计2
+K4v"7C
V \}(-9dr
obkv ]~ 6EGEwx 变化光栅周期的3D参数优化
s0'U[] vYun^(_-
:7]R2JP ,$*klod 制造公差分析
rMx_ <tX X C8SNSeg
C'"6@-~ eNKdub 走进VirtualLab Fusion
dTNgrW`4 $O>MV
m=y)i]=1 dz DssAHy VirtualLab Fusion中的工作流程
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L^Af3]]2 !T1i_ •构造光栅
结构 U4/$4.'NQ −
通过使用界面来配置光栅结构 p_N=V. w [用例]
0
N^V&k •分析光栅衍射效率
}e6:&`a xD −
光栅级次分析器[用例]
T}LJkS~*l •使用参数运行搜索初始解决方案
Lf<9GYNy>` −
参数运行文档的使用[用例]
@J)vuGS •通过参数优化找到最终设计
]5L3[A4Vu [C#pMLp,~ VirtualLab Fusion技术
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