摘要
F!(Vg z3x/Y/X$S 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
C@1B?OfJ 0N>NX?r
cNOtfn6?F jwhc;y 建模任务
d5jZ? /enlkZx=8
BQTZt'p 光栅特性与参数的严格分析
3Z/_}5%" RC?gozBFJ 不同光栅周期下的衍射效率
:+#$=4 W>W b|W
>J(._K a8nqzuI 关于光栅周期选择的考虑
5argw+2s4$ b?i5C4=K
rMr:\M]t _[F (8Qx" 偏振相关的衍射特性
0+S ;0 6)=`&>9
w]1hoYuV 69< <pm,m
m-?hHdO <OgwA$abl%
Ql>bsr} P! cfe@;<4 通过参数优化进行光栅设计
/ vgEDw b:B+x6M 固定周期的2D参数优化
0MpZdJ "xWrYq'"
m4\e`nl 2D参数优化–设计1
xB4}9zN s &6="r}
0nr 5(4h J(>T&G; 2D参数优化–设计2
*? V boyU (>49SOu;$\
>G9YYt~ &ci;0P#Q 制造
公差分析–设计2
!#y_vz9 5]f6YlJZ
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I"+b\K CH9Psr78 变化光栅周期的3D参数优化
Tfq7<<0$N k%D|17I
:MaP58dhh e@h(Zwp 制造公差分析
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eQqnPqi- Y~TD)c= 走进VirtualLab Fusion
1S+lHG92I E]O/'-
Y;)l icK>| VirtualLab Fusion中的工作流程
$sxRRem{? y
g:&cIr,
8AVtUU [CG3&J •构造光栅
结构 EvYe1Y- −
通过使用界面来配置光栅结构 4^Ke?;v [用例]
1,7 •分析光栅衍射效率
A('o&H −
光栅级次分析器[用例]
b|-}?@&7&q •使用参数运行搜索初始解决方案
KwHlpW* −
参数运行文档的使用[用例]
v#|yr< •通过参数优化找到最终设计
_I?oR.ON33 u|"y&>!R- VirtualLab Fusion技术
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