摘要
<f8@Qij bbA+ZLZJn 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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5j,)}AYO C'*1w 建模任务
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B=|yjA'Fg 光栅特性与参数的严格分析
[sACPn$f FSc730rM 不同光栅周期下的衍射效率
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2Np9*[C ls 'QfJm 关于光栅周期选择的考虑
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[@Uc4LX _S@s 偏振相关的衍射特性
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BU]9eF!>h \A keC 6[D 通过参数优化进行光栅设计
)x?F1/ Vu;tU. 固定周期的2D参数优化
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^9qncvV 2D参数优化–设计1
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公差分析–设计2
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}w"laZ* 5FH#) 变化光栅周期的3D参数优化
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N ?0V0B Ler9~}\D 制造公差分析
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y;sr# -L :N%]<Mq 走进VirtualLab Fusion
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[P", J&{E VirtualLab Fusion中的工作流程
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!3?HpR/nV a;([L8^7$l •构造光栅
结构 Q4_j`q −
通过使用界面来配置光栅结构 Ed_A#@V [用例]
OC"W=[Myl •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
OW1[Y-o[ •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
'1/uf;OXIH •通过参数优化找到最终设计
Be0P[v Jr\4x7a;`~ VirtualLab Fusion技术
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