摘要
J
WaI[n} B[k {u#Kp 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
r(9#kLXg a~>.
QTX5F5w >R"]{y 建模任务
OrN>4S |E:q!4?0
^gx`@^su 光栅特性与参数的严格分析
a?#v,4t^ h">L>*Wfx 不同光栅周期下的衍射效率
CD|)TXy b?Dhhf
X1Vx6+[ y>}dKbCN 关于光栅周期选择的考虑
RK%N:!fq= /.!ytHw8
#P[d?pY 6;rJIk@Fx= 偏振相关的衍射特性
+dd\_\ os/_ObPiX
a(>oQG8F .|=~x3mPw
V2-fJ! !Yuu~|
>|h$d:~n *7MTq_K(An 通过参数优化进行光栅设计
:ryyo$ yTj!(C 固定周期的2D参数优化
nff
X AWkXWl}
rGjP|v@3^ 2D参数优化–设计1
iU3GUsPy ]:Y@pZ
ktQMkEj# k e$g[g 2D参数优化–设计2
&fH;A X. 05_aL` &eb
c@p4,G QU0FeGtz 制造
公差分析–设计2
alu3CE M=vRy|TL
~zdHJ8tYp 1eiV[z$? 变化光栅周期的3D参数优化
XN+~g.0 FdrH,
5LJUD>f9Z xqV>m 制造公差分析
zMZP3
xir \^=Wp'5R
=*K~U# uoC jSLC L' 走进VirtualLab Fusion
4dv5 =b\k$WQ_(
uL`6}0 <zmtVE*>g VirtualLab Fusion中的工作流程
6$42-a%b tG1,AkyZ
y_aKW4L+ kGaK(^w •构造光栅
结构 "'389*- −
通过使用界面来配置光栅结构 ^.']-XjC [用例]
kJ^)7_3 •分析光栅衍射效率
{R`,iWV −
光栅级次分析器[用例]
Yc5{M*w •使用参数运行搜索初始解决方案
\SA"DT −
参数运行文档的使用[用例]
P(H,_7 4 •通过参数优化找到最终设计
pVuJ4+` \2$-.npz VirtualLab Fusion技术
a(|YLN [=Qv?am
Y\CR*om!W /]0-|Kg+R 文件信息
"rnZ<A} qx#k()E.U >FrF"u:kM
&c;@u?:@S eVRFb#EU0e 更多阅览
<p_r{ -
Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers G$hH~{Y$ -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block +kh#Jq. -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings <:v2N/i x2@Q5|a (来源:讯技光电)