摘要
O/'f$ Zj36 cbY3m Sfn* 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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W>UjUq); l
%]<- 建模任务
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[ )B@ 光栅特性与参数的严格分析
vHoT@E#}' AZ]Z,s6 不同光栅周期下的衍射效率
1j8 /4: ">rsA&hN-
t/_\U=i$ UX+?0 K 关于光栅周期选择的考虑
%YsRm%q `\6 +z
9Vh_XBgP $XtV8 偏振相关的衍射特性
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3ytx"=B% 99=[>Ck)G
K7YT0cG @D( KuF 通过参数优化进行光栅设计
C8O7i[uc gogl[gHO 固定周期的2D参数优化
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) >-D={ 2D参数优化–设计1
f[wjur `K@5_db\
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}j]<&I} 2D参数优化–设计2
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+sV# Z, il 8A&`% 制造
公差分析–设计2
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U:C-\ M ^$g],PAY 变化光栅周期的3D参数优化
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?et0W|^k e%5'(V-y, 制造公差分析
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o)$Q]N## MC[`<W)u 走进VirtualLab Fusion
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_AsHw v{\n^|=]) VirtualLab Fusion中的工作流程
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Dg];(c+/
.jrR4@ •构造光栅
结构 @8x6#|D −
通过使用界面来配置光栅结构 %$!R] B) [用例]
&,6y(- •分析光栅衍射效率
2!"\;/ −
光栅级次分析器[用例]
6>P •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
9cx!N,R t •通过参数优化找到最终设计
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