摘要
_)%4NjWKk |fRajuA; 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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(v(_XlMK XUMCz7&j 建模任务
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*?\2Ohp 光栅特性与参数的严格分析
u45e>F= r>osa3N' 不同光栅周期下的衍射效率
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mv30xcc 关于光栅周期选择的考虑
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G. <9K9K +cjNA2@ 偏振相关的衍射特性
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X}p4yR7' ^!kvgm<{$
cl)MI,/> JTz1M~ 通过参数优化进行光栅设计
B5tJ|3! %iJ6;V4 固定周期的2D参数优化
h ]MSjC.X '*)!&4f
7&HP2r 2D参数优化–设计1
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iB]kn(2C YK}(VF?& 2D参数优化–设计2
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<v5toyA J'B; 制造
公差分析–设计2
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C*c=@VAa
M{nz~W80 `5!7Il 变化光栅周期的3D参数优化
lg!1q8 A;Zg:
4["}U1sG Ylo@ 制造公差分析
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3QXGbu}:h! ;M'R/JlUN 走进VirtualLab Fusion
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Z?v9ub~% YY]LK%- VirtualLab Fusion中的工作流程
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H;$w^Tr XP(q=Mw •构造光栅
结构 XeZv%` ? −
通过使用界面来配置光栅结构 F htf4 [用例]
(tVY
/(~# •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
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/2 •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
6\E |` •通过参数优化找到最终设计
5Impv3qaZ 69IBG,N' VirtualLab Fusion技术
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