摘要
~Y~M}4 G/3T0d+- 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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d42Y` Wu =?y0fLTc 建模任务
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f &NX~( 光栅特性与参数的严格分析
^b5+A6? 9wf"5c 不同光栅周期下的衍射效率
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= v8C( $<3%
G!C }ULq lcpiCZ 关于光栅周期选择的考虑
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>X 偏振相关的衍射特性
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q4!\^HwQ dJrUcZBr 通过参数优化进行光栅设计
rZB='(? r~QE}00@^ 固定周期的2D参数优化
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`w4'DB-R) 2D参数优化–设计1
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YE*|KL^ QAo/d4 2D参数优化–设计2
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H /G]/zlUE 制造
公差分析–设计2
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I 变化光栅周期的3D参数优化
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<f.Eog (s|WmSQ 制造公差分析
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|9FrVO$M Vz-q7*o$S 走进VirtualLab Fusion
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2$t%2>1>@ 6#jql VirtualLab Fusion中的工作流程
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sHPeAa22 6,~1^g* •构造光栅
结构 (5+g:mSfr −
通过使用界面来配置光栅结构 =\)zb '\=d [用例]
NZ8X@|N •分析光栅衍射效率
T?Z^2.Pvc −
光栅级次分析器[用例]
PX23M|$! •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
Lq.2vfA> •通过参数优化找到最终设计
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(来源:讯技光电)