摘要
lRFYx?y fuySN!s 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
Tyx_/pJT `X&gE,Ii
&V/MmmT
SE %pw9 建模任务
-uf|w? 2\{zmc}G-0
ZUd-<y 光栅特性与参数的严格分析
}o`76rDN Rima;9.Y0 不同光栅周期下的衍射效率
1=V-V< !+v$)3u9
wbl& $ddCTS^ 关于光栅周期选择的考虑
*$g-:ILRuZ Y$@?.)tY
X'iWJ8 pv|G^,># 偏振相关的衍射特性
vEJbA H/M@t\$Dc
ew4U)2J+ H4+i.*T#
6=Otq=WH S)@j6(HC4
C,4e"yynb 3^yK!-Wp( 通过参数优化进行光栅设计
G"A#Q" F:S}w 固定周期的2D参数优化
o`-msz UkFC~17P
{)sdiE 2D参数优化–设计1
A.w.rVDD
Z *x'+X
7@W>E;go ;aVZ"~a+\ 2D参数优化–设计2
l.M0`Cn-% JB<t6+"rD
CU!Dhm/U
El8,,E 制造
公差分析–设计2
^U/O!GK [Y `W
KMax$ rYk0
ak 变化光栅周期的3D参数优化
?}Y]|c^W &$H!@@09|w
x]j W<A Tw<q,O 制造公差分析
[dz _R VUuE T
6ik$B f
_:A0 走进VirtualLab Fusion
qf-8<{T Wx#;E9=Im
F8ulkcD (/$^uWj VirtualLab Fusion中的工作流程
{oL>1h,%3? \Vk:93OH21
{M)Nnst"~ Q/Rqa5LI: •构造光栅
结构 #w=~lq)9 −
通过使用界面来配置光栅结构 uXiN~j &Be [用例]
6aj!Q*(WT •分析光栅衍射效率
"<gOzXpa −
光栅级次分析器[用例]
8{ I|$*nB •使用参数运行搜索初始解决方案
rvM {M/4 −
参数运行文档的使用[用例]
%a7$QF] •通过参数优化找到最终设计
^B^9KEjTz # f\rt
VirtualLab Fusion技术
$/ ],tSm N$tGQ@
G#$-1"!` J .<F"r> 文件信息
Iga024KR vih9KBT 4^d?D!j
y1#1Ne_ 2~2 O V 更多阅览
,#K'PB4 E -
Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers iURe( [@ -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block =EsavN -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings xyxy`qR A _"{Xi2@H (来源:讯技光电)