摘要
,p2BB"^_i qYo"-D* 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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x?s5vxAKf n[DQ5l 建模任务
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MO}J 光栅特性与参数的严格分析
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D [O~'\Q 不同光栅周期下的衍射效率
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/8m2oL\< j7r! N^ 关于光栅周期选择的考虑
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{ a2Y7\C/ WOqAVd\ 偏振相关的衍射特性
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?naPti1GX V[E7mhqy 通过参数优化进行光栅设计
yWS#{|o( H<tk/\C 固定周期的2D参数优化
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>R|*FYam 2D参数优化–设计1
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do3 BI4Q nq'vq]] 2D参数优化–设计2
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@3D8TPH dU!`aPL? 制造
公差分析–设计2
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变化光栅周期的3D参数优化
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7e,<$PH m7:E73: 走进VirtualLab Fusion
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VirtualLab Fusion中的工作流程
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FV[6">;g ++KY+j.^ •构造光栅
结构 =hV-E
D −
通过使用界面来配置光栅结构 f;/t7=>d [用例]
Z=: oIAe •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
lYd#pNN •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
b0a'Y"oef4 •通过参数优化找到最终设计
Z$R2Z$f k&nhF9Y4 VirtualLab Fusion技术
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