摘要
s/&]gj" Ol5xyj 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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4 AmF^H %L|bF"K5; 建模任务
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\B ^sJ[n 光栅特性与参数的严格分析
pC.T)k pPoC61F 不同光栅周期下的衍射效率
e;u8G/ RvZ-w$E&?
Ck a]F2, cQ ;Ry!$ 关于光栅周期选择的考虑
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k3lC/f &nw~gSe 通过参数优化进行光栅设计
/\I%)B47^9 ''07Km@x 固定周期的2D参数优化
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shvcc 2D参数优化–设计1
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9?,.zc^ lc#zS_ 2D参数优化–设计2
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s4k%ty} x^skoz 制造
公差分析–设计2
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c)fp;^ Khd ,|pM 变化光栅周期的3D参数优化
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N\&;R$[9: DK%eFCo<~ 制造公差分析
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b<7qmg3 =(\!,S' 走进VirtualLab Fusion
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EBLoRW=8ld XLxr~Yo VirtualLab Fusion中的工作流程
^SCWT\E RVx<2,['
Ma#-'J Z+7S,M •构造光栅
结构 X\RTHlw'] −
通过使用界面来配置光栅结构 <2d@\"AoHE [用例]
z(eAwmuli •分析光栅衍射效率
!{;RtUPz* −
光栅级次分析器[用例]
Vrh],xK7 •使用参数运行搜索初始解决方案
czRh.kz, −
参数运行文档的使用[用例]
o#6}?g. •通过参数优化找到最终设计
mX_`rvYII DboqFh#]=h VirtualLab Fusion技术
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