摘要
SHB'g){P _<F;&(o 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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>w@@A q7_Ttjn-DV 建模任务
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lIx./Nf 光栅特性与参数的严格分析
L<iRqayn XHdhSFpm 不同光栅周期下的衍射效率
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f52P1V] 关于光栅周期选择的考虑
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<I2ENo5? %,<Ki]F 偏振相关的衍射特性
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<HN{.p{ 3iX\):4 通过参数优化进行光栅设计
|6^%_kO!| cPAR.h,b? 固定周期的2D参数优化
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|Ox='.oIb 2D参数优化–设计1
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Q[q`)~| L1DH9wiQi 2D参数优化–设计2
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,=[%#gS lQ!OD&6 制造
公差分析–设计2
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>}O}~$o 8 Zp^/43 变化光栅周期的3D参数优化
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:lvBcFw ^eO/?D8~h 制造公差分析
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{]dtA&8( PR$;*|@ VirtualLab Fusion中的工作流程
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cgQ6b. VHl1f7%@H •构造光栅
结构 iQ2j ejd3( −
通过使用界面来配置光栅结构 2E!~RjxSY [用例]
'/@wk#, •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
?7LvJ8 •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
,R<9yEWm •通过参数优化找到最终设计
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B j4!O,.!T VirtualLab Fusion技术
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