摘要
&a0r%L()X cre;P5^E 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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5b 建模任务
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ZP\M9Ja 光栅特性与参数的严格分析
=8Jfgq9E eV^d6T$ 不同光栅周期下的衍射效率
s^Nw%KAv }L=/A7Nk>
op2Of<{h @$^bMIj@W 关于光栅周期选择的考虑
y&~w2{a \>. LW9
/6uT6G+(z} &)wiKh"$ 偏振相关的衍射特性
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x&sI=5l H9XvO
K7knK f"G-
Rk<@?(l!6x +j_;(Gw7 通过参数优化进行光栅设计
^FmU_Q0 p@!nYPr. 固定周期的2D参数优化
`_I@i]i^ v4,h&JLt
MB^~%uZ2K 2D参数优化–设计1
H(c72]@Vg GE;e]Jkjn
?liK\C2Z< <P[T!gST 2D参数优化–设计2
/@ !CKh` >2$5eI
zLs|tJOVp +CH},@j 制造
公差分析–设计2
EKEjv|_) `+'rib5
oBQ#eW aY h!~3Dw>,N 变化光栅周期的3D参数优化
FuG4F Q)m4_+,d
5Wyz=+?m| [ylsz? 制造公差分析
n~"$^Vr Ee)[\Qjn
B[=(#W fH`P[^N 走进VirtualLab Fusion
Wt)Drv{@ { 'j^xbikr
+;$oJJ W>r#RXmh VirtualLab Fusion中的工作流程
3&u_A?; iLP7!j
H9h@ sSg 1c3TN#|)W •构造光栅
结构 I}e3zf> −
通过使用界面来配置光栅结构 U~h'*nV& [用例]
[U}+sTQ •分析光栅衍射效率
_Jwq`]Z −
光栅级次分析器[用例]
gmIqT
f •使用参数运行搜索初始解决方案
pi=-#g(2 −
参数运行文档的使用[用例]
l Z#o+d2Y •通过参数优化找到最终设计
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