摘要
-{9Gagy2& +=8X8<Pu 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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=p&sl;PsLw >$F:*lO 建模任务
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,w&:_n 光栅特性与参数的严格分析
=s'7$D}0. w{'2q^>6* 不同光栅周期下的衍射效率
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ma9ADFFT 2q%K)h 关于光栅周期选择的考虑
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C(,=[Fi- O}gX{_|6 偏振相关的衍射特性
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93I'cWN G\1J _al 通过参数优化进行光栅设计
9Q@*0- nC~fvyd<P 固定周期的2D参数优化
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,QS'$n 2D参数优化–设计1
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\/,g VT uMDtdC8 2D参数优化–设计2
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(0@ 制造
公差分析–设计2
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QV/";A3k =xBT>h; 变化光栅周期的3D参数优化
cqk]NL`' bp Ml =_
a*Jn#Mx<M DVzssPg 制造公差分析
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</yo9. v?%3~XoH 走进VirtualLab Fusion
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n* VirtualLab Fusion中的工作流程
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^5>du~d <Cr8V'c •构造光栅
结构 hpjUkGm5 −
通过使用界面来配置光栅结构 G)~MbesJ [用例]
.ujj:> •分析光栅衍射效率
cdN/Qy −
光栅级次分析器[用例]
3]_qj*V •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
IwM8#6;S~ •通过参数优化找到最终设计
v D&Kae< O8$~*NFJf VirtualLab Fusion技术
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