摘要
_8SB+s* 4uE)*1 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
|gk4X%o6 hb0)<^xu
m' j1 SG~HzQ\% 建模任务
@D["#pe,} bFG?mG:
E!WlQr:b$ 光栅特性与参数的严格分析
YVHf-uP ,[N(XstI 不同光栅周期下的衍射效率
Pdh`Gu1:3 &&jQ4@m}j
GM8>u O $\k)Y(& 关于光栅周期选择的考虑
W}7Uh
b q$H@W.f
li{<F{7 u46Z}~xf b 偏振相关的衍射特性
jpXbFWgN
;X+.Ag
C\Ob!sv%H @az<D7j2
d@8:f R:'&>.AUw
_h,X3P %y_pF?2@q 通过参数优化进行光栅设计
xU{0rM" +|<bb8% 固定周期的2D参数优化
Mj2Dat`p9 '%+LQ"Bp
8"LM:0x 2D参数优化–设计1
.4w"3> BTOl`U
b9wC:NgQx _TJkYz$ 2D参数优化–设计2
uHZjpMoM "-5FUKI-
<Vh5`-J SEu:31k{o 制造
公差分析–设计2
P uQ )-iUUak
S,'ekWVD " :[;}f; 变化光栅周期的3D参数优化
3qV~C{S @QYCoEU8J
39~WP$GM 5ff5M=M 制造公差分析
XfEp_.~JM
Du-Q~I6
i$:yq. DW /7a3*a 走进VirtualLab Fusion
m<;MOS tp ky
RN&8dsreZp Mx3f T>? VirtualLab Fusion中的工作流程
#!m^EqF1_ iHdX
:a=]<_*x 3EA_-? •构造光栅
结构 =8]Ru(#Ig −
通过使用界面来配置光栅结构 iP9Dr<P [用例]
QY\'Uu{ •分析光栅衍射效率
;s4e8![o3 −
光栅级次分析器[用例]
hO$29_^" •使用参数运行搜索初始解决方案
6@d/k.3p −
参数运行文档的使用[用例]
hA`9[58/ •通过参数优化找到最终设计
&u) qw} jC-`u-_'j VirtualLab Fusion技术
SM<qb0 r$LU$F
mkgL/h* S4E@wLi 文件信息
pUgas?e& 0'zjPE# J|z ' <W
6Tq2WZ}<' 5mZ9rLn 更多阅览
O=u.J8S2 -
Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers
vMJC -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block pC&i!la{o} -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings )1)&fN41i# MGo`j:0 (来源:讯技光电)