摘要
ioggD \!r^6'A 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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J5k% J}JnJV8|G 建模任务
E_K7.c4M \
(,2^T'$J
jKzjTn9{E 光栅特性与参数的严格分析
W4<}w-AoEp 9L};vkYk# 不同光栅周期下的衍射效率
P]n
'q < -Nj
Gsb]e Ot?rsr 关于光栅周期选择的考虑
!ZRV\31% X_lNnk
DxlX- ]9' \<uR 偏振相关的衍射特性
SZ_hG D 0 QU t!fF@t
DcOLK\ $[Fk>d
'&9b*u";x( xInWcQ
^N]*Zf~N? %9j]N$.V 通过参数优化进行光栅设计
STI8[e7{ %^S1 fUwT 固定周期的2D参数优化
LE;c+(CAU ,0~=9dR
W;=ZQ5Lw 2D参数优化–设计1
/vu7;xVG PJ'l:IU
6vDgMfw fRiHs\+ 2D参数优化–设计2
IoC,\$s, y3x_B@}BY
q45n.A6a t?\osPL 制造
公差分析–设计2
|
!Knd ^} %\A~w3 E
i[B%:q:& M-n +3E9 变化光栅周期的3D参数优化
D3]_AS&\ 'G&w[8mqY
d$!ibL#o YJ6Xq||_ 制造公差分析
Cd4G&(= (j(6%U
n'SnqJ&} x`4">:IA 走进VirtualLab Fusion
RW'QU`N[Y +:b|I'S
?n}L+| =vR>KE VirtualLab Fusion中的工作流程
MD +Q_ NOvN8.K%
dP82bk/e B{44|aq1 | •构造光栅
结构 gD-<^Q- −
通过使用界面来配置光栅结构 dI`b AP;\ [用例]
WkT4&|POJ •分析光栅衍射效率
=7a9~&| −
光栅级次分析器[用例]
]\{EUx9 •使用参数运行搜索初始解决方案
DUaj]V{_^ −
参数运行文档的使用[用例]
-0Ps.B •通过参数优化找到最终设计
?Pa5skqR 2vynz,^ET VirtualLab Fusion技术
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Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers yTv#T(of -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block uZCPxog -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings $%ps:ui~X )KG.:BO< (来源:讯技光电)