摘要
s ^3[W0hL RJ*F>2 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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iN`6xkY )7w@E$l" 建模任务
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ko 光栅特性与参数的严格分析
A!4VjE> &N9IcNP 不同光栅周期下的衍射效率
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Oj-r;Tt_G} }1F6?do3& 关于光栅周期选择的考虑
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AI~9m-,mE lZvS0JS 偏振相关的衍射特性
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vS#{-X '{CWanTPi
Uh%6LPg^ D!/0c]" 通过参数优化进行光栅设计
gZ*hkKN6 4]IKh,jT 固定周期的2D参数优化
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M2L0c? 2D参数优化–设计1
'mUI-1GkT mV%h[~-
<uC<GDO s{B_N/^ 2D参数优化–设计2
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7@ 'CJ 制造
公差分析–设计2
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oAaf)?8 ^1Yo-T(R 变化光栅周期的3D参数优化
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Qj:{p5H' wM0E%6
P 制造公差分析
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4Lw'v: ( ij!*CTG 走进VirtualLab Fusion
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zG<0CZQ8 (<n>EF# VirtualLab Fusion中的工作流程
1P \up ^ISQ{M#_
}.OxJ=M *n,UOHlO •构造光栅
结构 "s${!A) −
通过使用界面来配置光栅结构 OK.-]()! [用例]
l=,.iv=W •分析光栅衍射效率
;}f6Y['z −
光栅级次分析器[用例]
zQn//7#-G •使用参数运行搜索初始解决方案
OkkhP −
参数运行文档的使用[用例]
0T=jR{j!o •通过参数优化找到最终设计
tgc@7 Iht@mE VirtualLab Fusion技术
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