摘要
V~%C me fC7rs 5 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
^/V>^9CZ <jwQ&fm)/R
g,61'5\ gFQ\zOlY8a 建模任务
(O@fgBM :{Mr~Co*
f2f2&|7 光栅特性与参数的严格分析
rTmVHt ](2\w9i% 不同光栅周期下的衍射效率
HkL`-
c0
'K7m!y
K}j["p<! N R0"yJV> 关于光栅周期选择的考虑
)nM<qaI{ +$;*" o
t|jp]Vp BJNZH# " 偏振相关的衍射特性
A6Vb'Gqv{ qe3d,!
dWK"Tkf\ L#6!W
# X`t~Y' LyuA("xB#
N7 ox#=g b2 5.CGF 通过参数优化进行光栅设计
RoLN# h; "pAE 固定周期的2D参数优化
dMlJ2\]u kE`Fg(M
7RZ HU+ 2D参数优化–设计1
4Wk`P]?^ dzRnI*
]VcuD05"C Xf%vfAf 2D参数优化–设计2
>.1d1#+b ;BmPP,
)zv"<>Q 6 %u!)1oOIz 制造
公差分析–设计2
m8Y>4:Nw 1/tyne=m
7I=vgT1F ^9zlxs`<d
变化光栅周期的3D参数优化
j^)=<+Q;= C1w6[f1+
yW]>v>l:Eg Q79WGW 制造公差分析
7:'5q]9 .$U=ngj\t
@QfbIP9 9yYNX;C 走进VirtualLab Fusion
FG5YZrONx A)80qx:
AvZOR Egi(z9|Pp VirtualLab Fusion中的工作流程
=J0r,dR otmyI;v 7<
f#&@Vl(i& hH]oJ}H \ •构造光栅
结构 _T(77KLn; −
通过使用界面来配置光栅结构 _+ERX[i [用例]
CuFlI?~8 z •分析光栅衍射效率
=6d'/D#J −
光栅级次分析器[用例]
(YY!e2 •使用参数运行搜索初始解决方案
l{8t;!2t −
参数运行文档的使用[用例]
S76xEL •通过参数优化找到最终设计
l9+)h} S;}/ql y VirtualLab Fusion技术
[H=l#W@
W2]%QN=m$
gg&Dej2{ &\W5|*`x- 文件信息
bW2Msv/H Q94p*]W" S #C;"se
')Qb,#/,% 5|g#>sx>`q 更多阅览
asJ t6C -
Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers (G 9Ku 8Y -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block tN_~zP -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings fiQ/ &]|5 $%zM Z (来源:讯技光电)