摘要
x)'4u6;d 6>I{Ik@> 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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P#`Mg@. #N`~.96 建模任务
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XwlAW7lU= 光栅特性与参数的严格分析
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% 9S"c-"y\# 不同光栅周期下的衍射效率
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I`%\ "bF@ igNZe."V 关于光栅周期选择的考虑
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Aj`zT' $4yv)6G 偏振相关的衍射特性
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Fv n:V\eb 9Vp|a&Ana
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S 通过参数优化进行光栅设计
~GL"s6C$`; PZn[Yb: 固定周期的2D参数优化
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RhM]OJd' 2D参数优化–设计1
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hQ!sl O \RcB,?OK 2D参数优化–设计2
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]d#Lfgo _akC^hT 制造
公差分析–设计2
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# 4E@y<l$ Z5aU7 变化光栅周期的3D参数优化
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G{*m] 0Q +hdD*}qauC 制造公差分析
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sW)C6 # ~.qzQ_O/ 走进VirtualLab Fusion
Lq@pJ)a DXPiC[g]
uWw4l"RK` ajIgL<x VirtualLab Fusion中的工作流程
VO ^[7Y j?Ki<MD1
]PVPt,c ]=v_u9; •构造光栅
结构 mG[S"?C −
通过使用界面来配置光栅结构 @vWC "W [用例]
M/GQQG; •分析光栅衍射效率
+pU\;x −
光栅级次分析器[用例]
}>vf(9sF` •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
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-,w/ •通过参数优化找到最终设计
l1^/Q~u l,}{Y4\G VirtualLab Fusion技术
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