摘要
Bc3(xI'>J ,?g}->ZB 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
'oSs5lW uLXMEx<^
w:%3]2c I?c "\Fe 建模任务
+EG?8L,z O2./?Ye
YLs%u=e($ 光栅特性与参数的严格分析
T pXbJ]o9 uj#bK
7 不同光栅周期下的衍射效率
OXc!^2^ M
^gva?{
xQ4 5B`$ GBnf]A,^@ 关于光栅周期选择的考虑
yg34b}m{ ,SQmQ6h
^1y (N>W w5zrEk# 偏振相关的衍射特性
d$.t0-lC :uwB)G
}4G/x;D #mu3`,9V
m/}(dT; klSzmi4M
o"h*@. 17IT:T,' 通过参数优化进行光栅设计
_Q&O#f x[XN;W& 固定周期的2D参数优化
n?uVq6c ;Z:zL^rvn
3i1e1Lj1 2D参数优化–设计1
e$!01Y$HI 8K(3{\J[V
!F]7q]g |VC|@ Q 2D参数优化–设计2
G&ZpQ) m"3gTqG
2e~ud9, 2Lravb3 制造
公差分析–设计2
up`.#GWm :
&! >.Y
<zUU` -<e8\ Z` 变化光栅周期的3D参数优化
MPSoRA: h t<sy7e='
"p,TYjT?R 08*O|Ym, 制造公差分析
}M_Yn0(3 ::'DWD1
&U<t*" O [Q;[@ 走进VirtualLab Fusion
t4HDt\}&k~ /m#!<t7
.4I"[$?Q s
Yp?V\Y" VirtualLab Fusion中的工作流程
kl4u]MyL#
-w7g}
2Mqac:L ';T=kS<^_ •构造光栅
结构 8M9LY9C −
通过使用界面来配置光栅结构 .Y@)3 [用例]
`8 Q3=^)3 •分析光栅衍射效率
|n9q4*dN −
光栅级次分析器[用例]
s+mNr3 •使用参数运行搜索初始解决方案
#f*,mY|> −
参数运行文档的使用[用例]
{/Mz/|% •通过参数优化找到最终设计
ds>V|}f[ J2tD).G VirtualLab Fusion技术
JQ9JWu%a BNA` Cc1VV
e-@=QI^, >$^v@jf 文件信息
{R5{v6m_ Ndb_| {3V%
pxj}%LH Os1o!w:m5 更多阅览
N\Nw mx -
Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers c5KJ_Nfi -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block drv"I[}{A -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings WnATgY t WziX1%0$n (来源:讯技光电)