摘要
);nz4/V %`#G92Z_ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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%K~w 6/| 0+G^ 建模任务
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XYjcJ 光栅特性与参数的严格分析
^]6M["d/p RU0i#suiz 不同光栅周期下的衍射效率
PWvSbn6 VJDoH
vQ 4}WtvA 1?(cmXj 关于光栅周期选择的考虑
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7rcA[)<' # :#M{1I 偏振相关的衍射特性
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[ "a"x>X&
%ISq>A)% xYI;V7 通过参数优化进行光栅设计
%x2uP9 /Pvk),ca 固定周期的2D参数优化
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U&P{?>{u 2D参数优化–设计1
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}_}KVI i@5)`<? 2D参数优化–设计2
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t<63 8`{kk o@W_ai_ 制造
公差分析–设计2
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*KJB>W%@uM 7?J3ci\ 变化光栅周期的3D参数优化
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H(|AH;?ou F2;:vTA> 制造公差分析
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KjYAdia:H E.`6oX\L| •构造光栅
结构
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通过使用界面来配置光栅结构 &|9.}Z8U [用例]
#.._c?%4/ •分析光栅衍射效率
'T,c.Vj) −
光栅级次分析器[用例]
%S@L|t •使用参数运行搜索初始解决方案
8(f:U@BS −
参数运行文档的使用[用例]
6na^]t~ncm •通过参数优化找到最终设计
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~Zr)> 0;<)\Wt=i9 VirtualLab Fusion技术
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