摘要
D7'0o`| *1]k&#s 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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BQmafpp` bH]!~[ 建模任务
\B+SzW ?PtRb:RHt
exU=!3Ji 光栅特性与参数的严格分析
7027@M?A? n&&U9sf? 不同光栅周期下的衍射效率
nk.Eq[08 5Jd {Ev
d(tf: @ WC; a 关于光栅周期选择的考虑
ON!G{=7 jJC((1|
#mxfU>vQ: D??/=`|8 偏振相关的衍射特性
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mV]g5>Q\ V!tBipX%
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L 'Rapu \`# 0,pLr 通过参数优化进行光栅设计
_qNLy/AY LZ dNG\- 固定周期的2D参数优化
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>&z+ih 2D参数优化–设计1
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b >7Q7H#~w 2D参数优化–设计2
}-iOYSn H43D=N&
>?FCv7qN qE=OQs9 制造
公差分析–设计2
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be@uHikp;v ~[6|VpGc: 变化光栅周期的3D参数优化
cNvcpv _@76eZd
c17==S 6%1o<{(%f 制造公差分析
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5(Oc"0''H AW68'G*m 走进VirtualLab Fusion
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Z_+No :F7I ywte\} VirtualLab Fusion中的工作流程
Xpwom' 4f,x@:Jw
Z8UM0B=i *h9vMks
o •构造光栅
结构 ij5YV3 −
通过使用界面来配置光栅结构 xc?<:h" [用例]
>^N:A •分析光栅衍射效率
`h6W@ROb −
光栅级次分析器[用例]
:"]ei@ •使用参数运行搜索初始解决方案
KYN{iaj −
参数运行文档的使用[用例]
M+:wa@Kl •通过参数优化找到最终设计
z& jDO ex (7,Awf5D~ VirtualLab Fusion技术
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