摘要
) G|"jFP :v#8O~ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
jzQ I>u ;M-,HK4=
Bd8hJA 9\:w8M X' 建模任务
/3s@6Ex}E )%BT*)x
^(J-dK 光栅特性与参数的严格分析
?`"<DH~:0B 'z~KTDX 不同光栅周期下的衍射效率
y+= \z*9
4L!e=>as"1
PB@-U.Z B]i+,u 关于光栅周期选择的考虑
g&P9UW>qS TD%WJ9K\
bje'Oolc Nl=+.d6Qo 偏振相关的衍射特性
pRmE ryR(U [XxA.S)x3
^&HI+M 9'l.TcVm`,
. rRc u>1v~3,r#
aK-N}T +Z]y #= 通过参数优化进行光栅设计
S~}$Ly@ C>M6&= 固定周期的2D参数优化
wAPO{3 %bN"bxv^
=g1 D; 2D参数优化–设计1
r!>es;R8 %uF:)
7~:>WMv9 dfnX!C~6 \ 2D参数优化–设计2
eUYG96Jw qgh]@JJh
-g~iE]x6Y Fv<]mu 制造
公差分析–设计2
ud5x$` 5QNBB|X@
(Jm(}X]sh[ zC[i <'h!T 变化光栅周期的3D参数优化
@
$9m>6V [@jp9D
H
U. NeK{ qEPf-O:lm 制造公差分析
E\W;:p,{A Gt?!E6^!
1i ?gvzrq HdDo 走进VirtualLab Fusion
NWaI[P uHTKo(NG
-(`K7T>D. h4B+0 VirtualLab Fusion中的工作流程
T
"ZQPLg @w+WLeJ$40
8s\8`2= PL9zNCr-[ •构造光栅
结构 i+kFL$N −
通过使用界面来配置光栅结构 Tey,N^=ek [用例]
Tq_1wX'\ •分析光栅衍射效率
t"jIfU>'a/ −
光栅级次分析器[用例]
2X
qPZ]2g •使用参数运行搜索初始解决方案
bf&.rJ0 −
参数运行文档的使用[用例]
6yV5Yjs •通过参数优化找到最终设计
N4[B:n sASAsGk< VirtualLab Fusion技术
qen44;\L U0lqGEZ
1)nM#@%](h /TR"\xQF 文件信息
n3-GnVC][ 1mvu3}ewx n#/U@qVgc
`Pz!SJ| TPN:cA6[c 更多阅览
[M,27 -
Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers eHfG;NsV/ -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block *+4>iL*: -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings RBMMXJj
oi%5t)VsS (来源:讯技光电)