摘要
^Ux*"\/Es -AKbXkc~\ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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eBW]hwhKzM jF5oc 建模任务
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光栅特性与参数的严格分析
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y(Q.uYz* 不同光栅周期下的衍射效率
yn{U/+ M]e _@:!
;] #Q! AdRt\H < 关于光栅周期选择的考虑
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om,=.,|Ld bJ6v5YA% 偏振相关的衍射特性
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lb #`f,r> 5LxzET"P 通过参数优化进行光栅设计
:*lB86Ly $qhVow5~ 固定周期的2D参数优化
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a~[]Ye@H 2D参数优化–设计1
$RV'DQO ZlYb8+rW
*:V"C\`^n lD)QB!*v 2D参数优化–设计2
'=m ?l "8`f x
E+E.z?>S `=~d^wKYJ3 制造
公差分析–设计2
WqRg/ Nv_"?er+y
,LJX ||k^pzj% 变化光栅周期的3D参数优化
s&zg!~@5b 6 {tW$q
BM]sW:-v K3^N_^H 制造公差分析
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ws$!-t4<( vZpt}u 走进VirtualLab Fusion
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VirtualLab Fusion中的工作流程
u!&Vbo? .B CEos`
#~^Y2-C# CzZmC]5 •构造光栅
结构 G>0S(M) −
通过使用界面来配置光栅结构 E6d0YgfD [用例]
\[w82%U •分析光栅衍射效率
y2eeE CS] −
光栅级次分析器[用例]
- ?W hJ.U •使用参数运行搜索初始解决方案
#b4Pn`[ −
参数运行文档的使用[用例]
nAJ<@a •通过参数优化找到最终设计
=<,AzuV fu 95-)M VirtualLab Fusion技术
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M[R\URu8 ;yO7!{_ 文件信息
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