摘要
/j.9$H'y _oeS Uzq. 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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c]!V'#U )Pv%#P-< 建模任务
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^iV)MTT 光栅特性与参数的严格分析
tKXIk9e sFRQe]zCcP 不同光栅周期下的衍射效率
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<l{A jmG~Un M 关于光栅周期选择的考虑
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La[V$+Y K{+2G&i 偏振相关的衍射特性
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xskz)kk MF'JeM;H 通过参数优化进行光栅设计
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c}c ' 固定周期的2D参数优化
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*{5fq_ 2D参数优化–设计1
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|Y.?_lC ;hq\ 2D参数优化–设计2
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#<xm. k;Y5BB 制造
公差分析–设计2
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3OB"#Ap8< C,eu9wOT 变化光栅周期的3D参数优化
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|V(0GB \b>]8Un" 走进VirtualLab Fusion
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7}mFL* 8FhdN VirtualLab Fusion中的工作流程
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|':{lH6+1 qg$ <oL@~~ •构造光栅
结构 |vC~HJpuv' −
通过使用界面来配置光栅结构 9tnD=A<PS [用例]
'c~4+o4co •分析光栅衍射效率
[fyLV` −
光栅级次分析器[用例]
H,NF;QPPC •使用参数运行搜索初始解决方案
!'O@2{?B −
参数运行文档的使用[用例]
QsW/X0YBv •通过参数优化找到最终设计
L RF103nw Xwtqi@zlE VirtualLab Fusion技术
ajpXL H"F29Pu2
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