摘要
vj9'5]!~q f4Ob4ah!( 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
gg/2R?O] A1n4R
zX]l$Q+ Vsr"W@k_ 建模任务
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De2$:? 光栅特性与参数的严格分析
,P%i%YPj 3_8W5J3I 不同光栅周期下的衍射效率
<99/7># {YG qa$+\
OIDP#K 86);0EBX 关于光栅周期选择的考虑
=IKgi-l* />wE[`
q07H{{h/B =]S,p7* 7 偏振相关的衍射特性
(/FG#D. wI;sZJc
Hb/8X
!= Rg^ps
my0iE: Xzl$Qc
a"`>J! >pp#>{} 通过参数优化进行光栅设计
-@ra~li,yQ r'4Dj&9Ac 固定周期的2D参数优化
|h&Z. "L!U7|9J
&8I}q]'k 2D参数优化–设计1
`Tei 9Y@ eXP
(\'$$ t)= dKC 2D参数优化–设计2
M2\c0^R F]fXS-@ c
|*DkriYY Z1Qv>@u 制造
公差分析–设计2
8/T,{J\ `X)A$lLr
2x<!>B J~n|5*cz 变化光栅周期的3D参数优化
hxMV?\MYj 9kB R /{
9s*QHCB0 fzA Fn$[ 制造公差分析
mZM,"Wq, pRzL}-[/v
%'X~9Pvi B]vR=F}* 走进VirtualLab Fusion
0b['{{X( n/x((d%"E
!8D>Bczq) w!z*?k=Da VirtualLab Fusion中的工作流程
BMqr YW )iZU\2L
i"xV=. &H
P g> •构造光栅
结构 V]GF53D −
通过使用界面来配置光栅结构 .6C6ZUB; [用例]
T
"hjL •分析光栅衍射效率
~$C}?y^ a −
光栅级次分析器[用例]
`HO]
kJpX •使用参数运行搜索初始解决方案
Fq_>}k@fI −
参数运行文档的使用[用例]
[$pb •通过参数优化找到最终设计
Zw _aeJ 00{a}@n VirtualLab Fusion技术
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N&eo;Ti ~Uey'Xz 文件信息
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