摘要
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s vG'I|OWg 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Gx/kel[Y} %+0V0. 建模任务
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?Np^A 光栅特性与参数的严格分析
#[ ?E, 1XPYI 不同光栅周期下的衍射效率
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m. SKeX~uLz 关于光栅周期选择的考虑
32x[6"T ZYo?b"6A
]@A}v\wa crl"Ec 偏振相关的衍射特性
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.-4]FGg3 L. DD
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2 pmqP-pKd 20?@t.aMp 通过参数优化进行光栅设计
U\GuCw nR`)kORc 固定周期的2D参数优化
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nN5fP<H2x 2D参数优化–设计1
vtF|:*h fprP$MbI
FL E3LH 7Xf52\7n 2D参数优化–设计2
OAo;vC:^ L25%KGg'o
uZe"M(3r$ j06qr\Es 制造
公差分析–设计2
\dJOZ2J<z &M{;[O{
TXo`P_SE UU*v5& 变化光栅周期的3D参数优化
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SW)jDy qPoN 8>. 制造公差分析
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-CLBf'a y;<F|zIm 走进VirtualLab Fusion
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-car>hQq K.Tob,5` VirtualLab Fusion中的工作流程
kgh0 M;9s
otbr8&?- j]C}S*`" •构造光栅
结构 ==AmL]* −
通过使用界面来配置光栅结构 K<q#2G0{ [用例]
HZqk)sN •分析光栅衍射效率
xVk5% −
光栅级次分析器[用例]
}0,dG4Oo= •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
Y_)xytJ$ •通过参数优化找到最终设计
)H(i)$I 055C1RV% VirtualLab Fusion技术
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