摘要
v+znKpE y^Oj4Y: 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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!VMl>hP |iLeOztuE 建模任务
3F5r3T6j} ~bL(mq
=R:3J"ly0 光栅特性与参数的严格分析
7SoxsT) !ceuljd] 不同光栅周期下的衍射效率
a^iefwsNc m=z-}T5y!T
u Y V= %((F}9_6 关于光栅周期选择的考虑
!\JG]2 \ S-gL]r3G8
l@q.4hT G2ZF`WQ 偏振相关的衍射特性
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7 '2E-#^ kMo;<Z
=4\|'V15 %LXk9K^]e
t2BkQ8vr mc?5,oz;pz 通过参数优化进行光栅设计
llhJ,wD M cNj TD 固定周期的2D参数优化
P}~6yX G<4H~1?P
/jC0[%~jV 2D参数优化–设计1
`R!0uRu ,'= Y
IJD'0/R'c REW
*6: 2D参数优化–设计2
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6>%)qc$i UN`-;! 制造
公差分析–设计2
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F 16ke CG\ 变化光栅周期的3D参数优化
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_Jj|g9b $A7[?Ai ? 制造公差分析
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|5F]y"Nb gA2Il8K 走进VirtualLab Fusion
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@H@&B`K d #8R\J[9 VirtualLab Fusion中的工作流程
\hc}xy
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k^C;"awh 3.Ni%FF` •构造光栅
结构 c<A@Op"A −
通过使用界面来配置光栅结构 bV@53_)N2 [用例]
cI?dvfU? •分析光栅衍射效率
Q6MDhv, −
光栅级次分析器[用例]
+C/K@:p •使用参数运行搜索初始解决方案
EqUiC*u8{I −
参数运行文档的使用[用例]
u&STGc[ •通过参数优化找到最终设计
_66zXfM< o8KlY?hX VirtualLab Fusion技术
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