摘要
`DC2gJKk% L|,!?cSAT 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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v61[.oS 6Aku1h 建模任务
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"T|PS6R~ 光栅特性与参数的严格分析
|6$p;Aar 9pX&ZjYP- 不同光栅周期下的衍射效率
AT%u%cE- svq<)hAf<
/bi}'H+# *"{lMZ+ 关于光栅周期选择的考虑
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F~P%AjAx' * cgI.+ 偏振相关的衍射特性
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Vb= Mg smnSDS
/@,j232 !s&NT @ S
LS917ci- 8/=L2fNN[ 通过参数优化进行光栅设计
eb =D/ c\Q7"!e 固定周期的2D参数优化
r_-_a(1R: fP(d8xTx2y
Ac<Phy-J 2D参数优化–设计1
iy%ZQ[Un ;oc&Hb
{\:{[{qF -$dXE+& 2D参数优化–设计2
6BCf:mqP RH&~+5
(w}H]LQ {qN 5MsY 制造
公差分析–设计2
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/!3@]xz* w.\&9]P3~ 变化光栅周期的3D参数优化
D?NbW @] LILQ\I<<'
OUhqMVX9C :(M(>4t 制造公差分析
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T-U}QM_e Z)SY.iK. 走进VirtualLab Fusion
n6BQk2l xo&]$W8
,}K7Dg^1 j'MO(ev VirtualLab Fusion中的工作流程
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Wwr;-Qa}g N-e @j4WU •构造光栅
结构 Nn T1X;0W −
通过使用界面来配置光栅结构 Y7*U:I+N [用例]
V 7Ek-2M •分析光栅衍射效率
USM4r!x −
光栅级次分析器[用例]
K*X_FJ •使用参数运行搜索初始解决方案
0 g?z&? −
参数运行文档的使用[用例]
?'KL11@R •通过参数优化找到最终设计
d~JKH&x< wfq7ob4^ VirtualLab Fusion技术
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