摘要
~Zsj@d /{buFX2"} 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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s@~3L agfDx^, 建模任务
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4wKCzPy 光栅特性与参数的严格分析
P\ P=1NM ^kK")+K 不同光栅周期下的衍射效率
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I;jH'._k# 8Q/cJ+& 关于光栅周期选择的考虑
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V~]~Dj 偏振相关的衍射特性
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JqLPJUr zz3{+1w] 通过参数优化进行光栅设计
d^?e*USh M"c=_5P 固定周期的2D参数优化
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/FXb,)1t 2D参数优化–设计1
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D {E,XOi q\P{h ij 2D参数优化–设计2
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4UL"f<7 T 4t*VI<=<[ 制造
公差分析–设计2
Kk.\P|k2 ]\ZJaU80I~
MYJDfI qzY:>>d' 变化光栅周期的3D参数优化
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{IB4%,qT 1iqgTi> 制造公差分析
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F+zHgE 0^P9)<k' 走进VirtualLab Fusion
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z5^Se!`5 VirtualLab Fusion中的工作流程
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Hu8ADva v~^*L iP+ •构造光栅
结构 .Pe^u%J6F −
通过使用界面来配置光栅结构 0}_1ZU [用例]
Kv5 !cll5 •分析光栅衍射效率
FGMYpapc~ −
光栅级次分析器[用例]
l>Zp#+I- •使用参数运行搜索初始解决方案
O St~P^1 −
参数运行文档的使用[用例]
Hg]iZ,8? •通过参数优化找到最终设计
noWwX 0oyZlv* VirtualLab Fusion技术
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