摘要
:W 8DgL>l p7Gs 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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$yHlkd`Y YjoN:z`b 建模任务
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3QZw 光栅特性与参数的严格分析
>Ix)jSNLgo ZSU;>&>%v 不同光栅周期下的衍射效率
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N@)tU;U3O ^1Y0JQ 关于光栅周期选择的考虑
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gBf%9F [#$z.BoEo 偏振相关的衍射特性
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7.hn@_ VD<W
*R0Ae 4 G<Z|NT 通过参数优化进行光栅设计
xmT(yv, w*f.Fu(su 固定周期的2D参数优化
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2~K.m@U}!Z 2D参数优化–设计1
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LTm2B_+ `/Zi=.rr 2D参数优化–设计2
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ry/AF W]4Gs; 制造
公差分析–设计2
HUfH/x3zj] CZS{^6Ye
6dt]$ w q% 4'( 变化光栅周期的3D参数优化
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\8'fy\ )ZEUD] X 制造公差分析
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*![u5# S>Z V8 VirtualLab Fusion中的工作流程
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ek1YaE hyH " •构造光栅
结构 w*Vf{[a' −
通过使用界面来配置光栅结构 !?`5r)K [用例]
ZqsI\"bj •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
(f,D$mX •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
\Azl6`Em •通过参数优化找到最终设计
rZ/,^[T Vv~rgNh VirtualLab Fusion技术
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