摘要
ST5V!jz lx |5?P 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
W=JAq%yd< BHA923p?
3*ixlO:qGk fpWg R4__ 建模任务
!}f1`/ HDVW0QaMu
cc}Key@D 光栅特性与参数的严格分析
tz^/J=)" m/B6[ 不同光栅周期下的衍射效率
0Yl4eB- )yG"^Ulu
HOoPrB m ^/U27B 关于光栅周期选择的考虑
Vw tZLP36 Bc7V)YK
omSM:f_~ s 5WqR8 偏振相关的衍射特性
ritBU:6
YZc>dE
t?c}L7ht WWKvh
0NDftcB] '1?\/,em
{q%Sx*k9[ j;b42G~p 通过参数优化进行光栅设计
e~l#4{w
h `}} 固定周期的2D参数优化
VU`OO$,W oA] KE"T
sRSz}] 2D参数优化–设计1
A4C+5R x5}'7,A
Byl^?5 !Ucjax~ 2D参数优化–设计2
54lu2gD' U>Ld~cw
cH'
iA. N`@NiJ(O; 制造
公差分析–设计2
/1N6X.Zb b-ll
M_v?9L +gd4\ZG 变化光栅周期的3D参数优化
{]_uMg#! @"a6fn
f()FY<b [x=jH>Y 制造公差分析
~h}Fi ~5Pb&+<$
9.'h^#C '* mH*?Y 走进VirtualLab Fusion
,}oM-B A?_ =K
kiUGZ^k\s NBl+_/2'w VirtualLab Fusion中的工作流程
Q!-
0xlx v+p{|X-
)?_#gLrE6 H]Hv;fcC •构造光栅
结构 hfpJ+[ −
通过使用界面来配置光栅结构 JB!:JML [用例]
`E+Jnu,jC •分析光栅衍射效率
=qN2Xg/ −
光栅级次分析器[用例]
zp\8_ U@ •使用参数运行搜索初始解决方案
S$KFf=0 −
参数运行文档的使用[用例]
P96pm6H_; •通过参数优化找到最终设计
5T sU Qc ]7-&V-Ct* VirtualLab Fusion技术
C{TA.\ m/#a0~dB
*8~86u GU RMMd#/A@} 文件信息
:#dE:L;T r0p w_j d%l{V6
%%(R@kh9 wFG3KzEq ~ 更多阅览
{U&.D
[{& -
Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers rG,5[/l -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block $w"$r$K9K -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings Ol4+_n8xj ^C2\`jLMY (来源:讯技光电)