摘要
xg3G dr9I+c7u 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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YJ3970c/M uidE/7 建模任务
VJ;'$SYx |nm,5gPNC
ig?]kZ 光栅特性与参数的严格分析
_II;$_N ;K:.*sAa 不同光栅周期下的衍射效率
D.?KgOZ 60`y= !?f
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Pn dX+DE(y 关于光栅周期选择的考虑
N18Zsdrp C}+(L3Z
Dhef|E< VaQ}XM 偏振相关的衍射特性
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(F_#LeJ| *a$z!Ma3h
^[qmELW#7 Mb$&~! 通过参数优化进行光栅设计
Xq J@NgsY ^-=,q.[7 固定周期的2D参数优化
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nnr(\r~ 2D参数优化–设计1
C:P, q6 1lMU('r%
n*_FC ~~yo& ] 2D参数优化–设计2
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p RJd55+h
F;MFw2G JsiJ=zo< 制造
公差分析–设计2
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@T 变化光栅周期的3D参数优化
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eOLS }0f[x ?V 制造公差分析
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/4=O^; Zkxt>%20~ 走进VirtualLab Fusion
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C\EV$U, %JiA, VirtualLab Fusion中的工作流程
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Q*U$i#, nDaQ1 •构造光栅
结构 <$7*yV −
通过使用界面来配置光栅结构 _>&zhw2 [用例]
2&5"m;< •分析光栅衍射效率
K4l,YR;r −
光栅级次分析器[用例]
)!M:=}." •使用参数运行搜索初始解决方案
]M= 3Sn8} −
参数运行文档的使用[用例]
qW7S<ouh •通过参数优化找到最终设计
J6::(0HM wRU pQ~=B2 VirtualLab Fusion技术
M[Ls:\1a 9Y*6AaKE6
tQUp1i{j\ w{Dk,9>w) 文件信息
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