摘要
>MZWm6M8 ,R]hNjs-{ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Cg<:C?>!p v*`$is+ 建模任务
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j3jf:7 /\ 光栅特性与参数的严格分析
:=WiT_M 4^vEMq8lB 不同光栅周期下的衍射效率
(oO*|\9u U\'.rT[#
q'~?azg: u~FXO[b 关于光栅周期选择的考虑
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T;K,.a8bU ovJ#2_ 偏振相关的衍射特性
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g]?&qF} k?ubr)[)
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U }z:g}".4
7 wS)'zR; TD:NL4dm 通过参数优化进行光栅设计
AB<|iJC jq#gFt* 固定周期的2D参数优化
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C[MZ9r 2D参数优化–设计1
aC:Sy^Tf \ cmt'b
#T:#!MKa >MD['=J[d 2D参数优化–设计2
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m`luMt9 9a}rE 制造
公差分析–设计2
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<y#-I%ed (n:d
{bKV 变化光栅周期的3D参数优化
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G q%q x4 J60XUxf 制造公差分析
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.%) FK#s- 3db ,6R 走进VirtualLab Fusion
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=kvfe" N0e Fm}#KE0 VirtualLab Fusion中的工作流程
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*Kj*| >) OUCLtn\ •构造光栅
结构 _GEt:=DAP# −
通过使用界面来配置光栅结构 K=,nX7Z5 [用例]
sXHrCU •分析光栅衍射效率
|iN!V3#S −
光栅级次分析器[用例]
i#Tm] ++ •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
4q sIJJ[. •通过参数优化找到最终设计
z}I =: W4n;U-Hb VirtualLab Fusion技术
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