摘要
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当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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9Nkr=/I"P 3TS(il9A 建模任务
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?z]hYsy 光栅特性与参数的严格分析
k Up[b~ OE4hGxG 不同光栅周期下的衍射效率
`J(im ee0)%hc1t
)`sEdVxbr G?t<4MTv 关于光栅周期选择的考虑
D0 f.XWd ,%zU5 hh
>%o\Ue bQ3EBJT{P 偏振相关的衍射特性
p[zKc2 TPk 37SbF,G
E>}(r%B $%3"@$
nhm)P_p IJ`%Zh{f
eA$wJ$* (<"uV%1 通过参数优化进行光栅设计
Z"T#"FDIr VW[!%< 固定周期的2D参数优化
Rz Os, N`JkEd7TT
~_ 8X%uty 2D参数优化–设计1
:'pLuN )Uk!;b
:=iP_*# W8$ky[2R 2D参数优化–设计2
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; /g_cz&luR
bAsoIra [vJLj>@ 制造
公差分析–设计2
(rHS2SA\5 {7%W/C#A
x2m*0D~ `k 5'nnyP 变化光栅周期的3D参数优化
Ob+Rnfx37 ^Pq4 n%x
vIL'&~C\y z;dFS 制造公差分析
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~ryB*eZH 4DYa~ =w 走进VirtualLab Fusion
vH^6O:V "zn<\z$l
$mV1K)ege -8r';zR VirtualLab Fusion中的工作流程
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MYD`P2F
CTG:C5OK DxFmsjX[L •构造光栅
结构 e#+u8 LrN −
通过使用界面来配置光栅结构 7<T1#~w4L [用例]
Ly7|:IbC •分析光栅衍射效率
W7_j;7' −
光栅级次分析器[用例]
co93}A,k •使用参数运行搜索初始解决方案
CWTPf1?eB −
参数运行文档的使用[用例]
nD8 Qeem@ •通过参数优化找到最终设计
2~*J<iO&l t==CdCl VirtualLab Fusion技术
!R;NV|.eI6 ","O8'$OC
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