摘要
&]jCoBj+_ ZeE(gtM 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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0ra+MQBg @jT=SFf 建模任务
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3 adF) mh 光栅特性与参数的严格分析
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)vy_m_f& 不同光栅周期下的衍射效率
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^)S<Ha }ZkGH}K_} 关于光栅周期选择的考虑
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0khAi|PY szas(7kDS 偏振相关的衍射特性
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yPT\9"/ f1X]zk(=W 通过参数优化进行光栅设计
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q9B Qo])A6$IU 固定周期的2D参数优化
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ldNWdz 2D参数优化–设计1
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;-d2~1$ YfJQ]tt1 2D参数优化–设计2
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LT6VZ,S dZ"d`M>o6 制造
公差分析–设计2
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Yy4l -} " S@6 :H" 变化光栅周期的3D参数优化
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&OP =O*B L;'C5#GN 制造公差分析
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