摘要
Xwy0dXko B9pro%R1Bo 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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\xG>>A% t98t&YUpm 建模任务
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B}_*0D 光栅特性与参数的严格分析
Xdj` $/RI |k$^RU<OF 不同光栅周期下的衍射效率
TUoEk IiTV*azVh
\}Fx'' . (G9mZFV 关于光栅周期选择的考虑
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`%}SK~<R rC.z772y% 偏振相关的衍射特性
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Zg1=g_xY FrBoE# 通过参数优化进行光栅设计
=.`(KXT 6L[ Yn?; 固定周期的2D参数优化
NrH2U Jm P34UD:
4ti\;55{W 2D参数优化–设计1
ApHs`0=( {`,dWjy{%
~t7?5b?*\ Hx[YHu
KL^ 2D参数优化–设计2
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%%n'xmm ;8\w$SPP
ssaEAm: u6^cLQO+ 制造
公差分析–设计2
_N!L?b83P J%ng8v5ex
!5I;3EN 91%QO?hz 变化光栅周期的3D参数优化
,aOi:aaZRT "ee:Z_Sz
zOJ4I^^ dsck:e5agZ 制造公差分析
s2=rj?g&(X buV{O[
u#(VR]u\7 3!E*h0$} 走进VirtualLab Fusion
(jb9U k_t `-@8IZ7
v?Dc3 {l$DNnS VirtualLab Fusion中的工作流程
d%+oCoeb XY %er
=rSJ6'2(" BG ,ln(Vz •构造光栅
结构 oz3N
8^M −
通过使用界面来配置光栅结构 yOR]r+8 [用例]
S -$ L2N •分析光栅衍射效率
o/0cd −
光栅级次分析器[用例]
cGF_|1` •使用参数运行搜索初始解决方案
;75m 9yGo −
参数运行文档的使用[用例]
g7\MFertR^ •通过参数优化找到最终设计
='r86vq <ZmC8&Uo VirtualLab Fusion技术
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