摘要
Q{))+'s2h AXOR<Ns` 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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YTo^Q& @Tl!A1y? 建模任务
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9e xHR&>{ 光栅特性与参数的严格分析
DHO+JtO h1uD >heGl 不同光栅周期下的衍射效率
VtJy0OGcRP JHCV7$RS
{aRZBIv -a(\(^NW 关于光栅周期选择的考虑
Y
=BXV7\ *E- VS= #
FeM,$&G: 7Yjxx+X9 偏振相关的衍射特性
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Pv(icf
l| xp>p#c 通过参数优化进行光栅设计
<Gr775" }M I9?\"q 固定周期的2D参数优化
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+J~q:b. 2D参数优化–设计1
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xedbr (n~e2tZ/ 2D参数优化–设计2
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1wqsGad+; X|WAUp? 制造
公差分析–设计2
Kb# }f/ :K)=Hf2y
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rLkO Va1 eG]jQ 变化光栅周期的3D参数优化
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lj1wTiaI( fi[c^e+IX 制造公差分析
3-Q*umh h69: Tj!
fQ&:1ec rX%qWhiEJ 走进VirtualLab Fusion
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.bm#|X)RO s'V8PN+- VirtualLab Fusion中的工作流程
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*6)u5 `ecuquX' •构造光栅
结构 "Q~6cH[# −
通过使用界面来配置光栅结构 fNi&1J-/ [用例]
:zC'jceO •分析光栅衍射效率
{. N" 6P −
光栅级次分析器[用例]
dm Lgt)-t •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
#=f ]"uM< •通过参数优化找到最终设计
"Yn<]Pa_ #4{f2s[j6 VirtualLab Fusion技术
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p;VqkSQ76 C.{*|#&GAt 文件信息
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