摘要
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*; T4fVZd)x 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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iU1yJ= ]K!NLvz 建模任务
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dZ6P)R 光栅特性与参数的严格分析
:+?w> l RM7s(^l 不同光栅周期下的衍射效率
bSvr8FY3d ygo4.
=&,<Co1 hF 7mBH#Q) 关于光栅周期选择的考虑
E},^,65 ;QS(`SK l
bZ-_Q 8ZN"-]* 偏振相关的衍射特性
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WFm\ bZ. {^V9?^?d (
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/7,55 7)zF8V
~zO>Q4-k ?K!^[aO}= 通过参数优化进行光栅设计
|?\J,h k"$E|$ 固定周期的2D参数优化
bD:[r))#e +zL|j/q ?
e anR$I;Yj 2D参数优化–设计1
O-,0c1ts \C &V)/
I ]HP E'iN==p_: 2D参数优化–设计2
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$VNj0i. Pr sg9 制造
公差分析–设计2
VBq|j"o0" L )53o!
EC`=nGF 66C_XT 变化光栅周期的3D参数优化
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>`=9So_J cUj^aT pm 制造公差分析
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+[B@83 +cwuj 走进VirtualLab Fusion
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^|UD&6 dx 4'#?"I VirtualLab Fusion中的工作流程
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zFm:=,9 rGmxK|R •构造光栅
结构 A/TCJ#>l −
通过使用界面来配置光栅结构 wO&+Bb\= [用例]
K:q|M?_ •分析光栅衍射效率
3,y zRb −
光栅级次分析器[用例]
5*\]F} •使用参数运行搜索初始解决方案
3,^. −
参数运行文档的使用[用例]
a98J_^ n •通过参数优化找到最终设计
FSD~Q&9& bc]SY = VirtualLab Fusion技术
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Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers Q" G;L -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block S+bpWA -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings +'9E4Lpx .~,=?aq^ (来源:讯技光电)