摘要
8 RA Y[0mTL4IO 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
eb>jT: Oq*;GR(Q
7 MS-Gs| e<$s~ UXv 建模任务
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\GPTGi5A 光栅特性与参数的严格分析
5t,X; LeV";=_n 不同光栅周期下的衍射效率
TSTkMlCG l4gZHMh'
wx8Qz,Z *]:J@KGf 关于光栅周期选择的考虑
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Vg~10Q ^c]c`w 偏振相关的衍射特性
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q"i]&dMr /@64xrvIl= 通过参数优化进行光栅设计
~t1?oJ .I0M'L~!/L 固定周期的2D参数优化
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P@5}}vwS 2D参数优化–设计1
>8|V[-H cB)tfS4)
M8R/a[ -A O^n\lik 2D参数优化–设计2
}.1}yz^y z.|[g$F
cTQ._|M R*?!xDJ 制造
公差分析–设计2
@RZbo@{~ fohZ&f|>
%]1te*_ JS/~6'uB 变化光栅周期的3D参数优化
L}7 TM:% L2c\i
F:sUGM, m@']%X*(, 制造公差分析
y;%\w-.\ y@SI )&D
b7y#uL1AE N2 t` 走进VirtualLab Fusion
X]D:vuB BMtk/r/
~iPXn1 m/q`k VirtualLab Fusion中的工作流程
U02 +,Or^pO=
3:)_oHq 0+k..l •构造光栅
结构 /A+5q\8G −
通过使用界面来配置光栅结构 !DUOi4I [用例]
|h\A5_0_ •分析光栅衍射效率
pgs<Mo$\%B −
光栅级次分析器[用例]
@yj~5Gf(j •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
,4=mlte" •通过参数优化找到最终设计
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