摘要
Z+pvdu U Y?]\4Om 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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(? #U& 2/<WWfX' 建模任务
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( ;S]{z% 光栅特性与参数的严格分析
W0 ,"V'C :!*;0~# 不同光栅周期下的衍射效率
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x_^OS"h- UOL%tT 关于光栅周期选择的考虑
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sOtNd({ )<&CnK 偏振相关的衍射特性
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L08;z ,i((;/O6 通过参数优化进行光栅设计
M#jee E-}% Sy7^;/(ZZ 固定周期的2D参数优化
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/01(9( 2D参数优化–设计1
w+TuS). )k<~}wvQ0
+OuG!3+w lNnbd?D8 2D参数优化–设计2
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ENF@6] 9%'HB\A 制造
公差分析–设计2
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?fX8WRdh !(AFT! 变化光栅周期的3D参数优化
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1+ARV&bc Kpbber 制造公差分析
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03jBN2[! XA^:n+Yo 走进VirtualLab Fusion
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Tk=3"y+u[ +s 0Bt ' VirtualLab Fusion中的工作流程
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k EDZqUD xb_:9 •构造光栅
结构 .
zMM86 c −
通过使用界面来配置光栅结构 QX3![;0F [用例]
Kt7x'5 •分析光栅衍射效率
&x5ZEe4 −
光栅级次分析器[用例]
s3%8W==rBW •使用参数运行搜索初始解决方案
`lOoT −
参数运行文档的使用[用例]
V zx(J) •通过参数优化找到最终设计
&H>dE]Hq, cf3c+.o VirtualLab Fusion技术
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