摘要
(Y8LyY hayJgkZ' 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
R=&-nC5e o 9/,@Ri\5
P:N>#G~z TI/RJF b 建模任务
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)KVr2y;RF 光栅特性与参数的严格分析
M\ ~ {yy{ 不同光栅周期下的衍射效率
L jTSu9I> *78c2`)[
:vzIc3~c:` &Tj7qlP\ 关于光栅周期选择的考虑
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cs.t#C T!B\ixt6 偏振相关的衍射特性
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-m=A1~|7 W Zm8!Y 通过参数优化进行光栅设计
US(RWXyg /|i*'6* 固定周期的2D参数优化
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5N%d Les 2D参数优化–设计1
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b @0=&4 /.CS6W^z 2D参数优化–设计2
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;CF:cH* 1Q!^*D 制造
公差分析–设计2
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d=%NFCIV K Cw 变化光栅周期的3D参数优化
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a{Y|`*7y T$%QK?B 制造公差分析
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@9(dk% LO)!Fj4| 走进VirtualLab Fusion
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G$V=\60a- tlUh8os VirtualLab Fusion中的工作流程
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e1h7~ j E>tHKNyVTp •构造光栅
结构 |C z7_Rn −
通过使用界面来配置光栅结构 EYj~Xj8_ [用例]
FI[BZZW •分析光栅衍射效率
so$(-4(E O −
光栅级次分析器[用例]
rZ3ji(4HS •使用参数运行搜索初始解决方案
JN+7oh]u −
参数运行文档的使用[用例]
0Atha>w^o~ •通过参数优化找到最终设计
S sW<,T [1kQ-Ko` VirtualLab Fusion技术
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_ -i{_$G8W/c 更多阅览
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