摘要
JO*/UC>" d!w3LwZ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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7UY4* j|[C ~;?<OOt|wG 建模任务
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q8&l%-d` 光栅特性与参数的严格分析
d|oO2yzWv `vMhrn 不同光栅周期下的衍射效率
5VP0Xa ~ 8q%y(e
yq49fEgc@U F@k}p-e~ 关于光栅周期选择的考虑
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Db<#gH Vi: ^bv 偏振相关的衍射特性
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);%H;X+x hO&b\#@~
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4MS#`E7LrC =$Mf:F@ 通过参数优化进行光栅设计
"5Y6.$Cuf! ghWWJx9 固定周期的2D参数优化
) jH`lY) 1 GE(~d '
R?O)vLmd 2D参数优化–设计1
pd#Sn+&rf i4,p\rE0
y0sce eFG(2OVg}M 2D参数优化–设计2
Q8%_q"C T"[]'|'
_0v+'&bz uyxYCc 制造
公差分析–设计2
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zS[ jZzTnmm&?
_yv#v_Z 5K ;E*s, 变化光栅周期的3D参数优化
2^=.j2 3}<U'%sd
/O}<e TR /W$i8g 制造公差分析
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A}SGw.3 YND }P9 h 走进VirtualLab Fusion
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6sSwSS x_nwD" VirtualLab Fusion中的工作流程
Mg.%&vH\ ^iMr't\b
)"pvF8JR%3 ^;RK-) •构造光栅
结构 m4 (pMrJ −
通过使用界面来配置光栅结构 xKG7d8= [用例]
w!7ApEH1 •分析光栅衍射效率
cdt9hH`Cd −
光栅级次分析器[用例]
Bi:lC5d5? •使用参数运行搜索初始解决方案
r k W7;! −
参数运行文档的使用[用例]
x%=CEe?6 •通过参数优化找到最终设计
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@ 93HVx# VirtualLab Fusion技术
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$ 文件信息
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