摘要
G^ZkY
_O;~
}N4u 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
]XGn2U\ WJU NJN
I!7.fuO '(pdk 建模任务
_
1{5~
OEE{JVeI
8}oDRN!J 光栅特性与参数的严格分析
-mHhB(Td' ,N7l/6 不同光栅周期下的衍射效率
<Ihed| ^1,Eo2yN
[9U srpYi y [9}[NMZ 关于光栅周期选择的考虑
\Tf{ui Wx|6A#cg!
9;Pu9s[q2 =@KY A(D 偏振相关的衍射特性
3:8nwt #Wm@&|U
i)= 89?8 K@sP~('
q\b
?o!#_ lzy$.H"W
e=]oh$] v6P~XK}G 通过参数优化进行光栅设计
YNJpQAuSn) %M)oHX1p 固定周期的2D参数优化
W3V{Xk| 'oiD#\t4
"p~]m~g 2D参数优化–设计1
{8Jk=)(md V0'p1J tD
=Sb:<q+Q %QsSR'` 2D参数优化–设计2
!:5`im;i 4}8+)Pd
M`C~6Mf+ n|mJE,N 制造
公差分析–设计2
i3 l #~ K!D_PxV
'q};L 6 ]k`Fl," 变化光栅周期的3D参数优化
6KCCbg/ Fy_<Ui
i9@;,4f #1jtprc 制造公差分析
q:-]d0B+ Bsu=^z
_> |R-vQ8 fs3-rXoB 走进VirtualLab Fusion
cdJ`Gk -M1~iOb
5 <)gCHa KXx@
{cv VirtualLab Fusion中的工作流程
C DnR pRiH,:\
#lyM+.T ^iV`g?z •构造光栅
结构 zh{@?k −
通过使用界面来配置光栅结构 |auX*hb9 [用例]
vNK`Y|u@ •分析光栅衍射效率
5v!DYx −
光栅级次分析器[用例]
rAlh&
?X •使用参数运行搜索初始解决方案
FD
XWFJ −
参数运行文档的使用[用例]
/H%<oAjp6 •通过参数优化找到最终设计
*< $c
= @`IXu$Wm( VirtualLab Fusion技术
.o\;,l2 ;*wT,2;
w;yiX<t< yBPt%EF 文件信息
]{Mci]H6T <=)D=Ax/_[ k%Ma4_Z
^&`sWO@= a+YR5*&[OO 更多阅览
Q3NPwM -
Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers -'O Q-5 -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block Nl$gU3kL -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings ;T5,T WA]%,6 (来源:讯技光电)