摘要
G<u.+V 0]eh>ab> 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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"Eok;io H&yFSz}6a 建模任务
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RZ)vU'@kx 光栅特性与参数的严格分析
-4y)qGb*? Sp`fh7d.( 不同光栅周期下的衍射效率
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^{fi^lL= g"Q}h 关于光栅周期选择的考虑
,LW(mdIe( 76IALJ00V
qD$GKN. *<.WL"Qhl 偏振相关的衍射特性
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P$(WdVG 5}X<(q( 通过参数优化进行光栅设计
k67i`f= ?HEtrX,q 固定周期的2D参数优化
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g0-u(Y 2D参数优化–设计1
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$9F `uNvFlP 2D参数优化–设计2
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A"\P&kqMV t-eKruj+ 制造
公差分析–设计2
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1IOo?e=/bM Z0()pT 变化光栅周期的3D参数优化
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[Hv*\rb I8<Il^ 制造公差分析
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u@=+#q~/P #514a(6 走进VirtualLab Fusion
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-!'Oy%a# PmPyb>HK=P VirtualLab Fusion中的工作流程
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?$30NK3G |dl0B26x •构造光栅
结构 1R'u v4e −
通过使用界面来配置光栅结构 5YTb7M [用例]
_XH4;uGg •分析光栅衍射效率
7gVh!rm −
光栅级次分析器[用例]
iXUWIgr •使用参数运行搜索初始解决方案
g:3d<CS −
参数运行文档的使用[用例]
P[Y{LKAbb •通过参数优化找到最终设计
iwG>]:K3 86;+r'3p. VirtualLab Fusion技术
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