摘要
)[eTZg s<*+=aIfu 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
(ot,CpI(I , S^y>
-|x7<$Hw )]n>.ZmLCB 建模任务
Av.`'.b n)N!6u
LYAGpcG 光栅特性与参数的严格分析
}:?*n:g5 9q ]f]S.L 不同光栅周期下的衍射效率
Zzlt^#KLx Mn5(Kw?o2J
I484cR2. 9z?c0W5x 关于光栅周期选择的考虑
RZEq@q "IS; o o$g
p$F`9_bZ '7' 73 偏振相关的衍射特性
dkC_Sh{ pZ $>Hh#
YdV.+v(30 I!b"Rv=Nf-
TFldYKd/l _9-;35D_
xTk6q*NvT^ 5%wA"_ 通过参数优化进行光栅设计
8-gl$h ql%K+4@ 固定周期的2D参数优化
zvN7aG ,or;8aYc#
'RwfW|~6 2D参数优化–设计1
wg_Z@iX 2cu2S"r
A|Ft:_Y 0rX%z$D+@ 2D参数优化–设计2
;=0-B&+v Q@p'nE,
3Ch42< J<NpA(@^ 制造
公差分析–设计2
E*R-Dno_F n[BYBg1yG
lhQMR(w^ "cS7E5-| 变化光栅周期的3D参数优化
D,$M$f1 fx:vhEX
-~sW@u)O >q')%j 制造公差分析
2./z6jXW_ XiV*d06{
3f>9tUWhTy Q?.9BM1V 走进VirtualLab Fusion
E690'\)31 ZCK#=:ln
j!L7r'AV5 6wOj,}2Mn VirtualLab Fusion中的工作流程
)4ok@^. }<z[t5
LvGo$f/9 W-D4"
G@ •构造光栅
结构 ^tyqc8& −
通过使用界面来配置光栅结构 * W"Pv,: [用例]
<}mA>c'k •分析光栅衍射效率
A\"4[PXpQ −
光栅级次分析器[用例]
dXWG`G_ •使用参数运行搜索初始解决方案
;p,Kq5,l −
参数运行文档的使用[用例]
]Gj%-5G •通过参数优化找到最终设计
R4D$)D ko{&~ VirtualLab Fusion技术
;Srzka2 5s0`T]X-
+CQIm!Sp `^g-2~ 文件信息
T_\hhP~ ](+u'8 JBV
06T_4o
C-:|A* z '*U_!RmQ 更多阅览
FIJ]` -
Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers RR`\q>| -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block hZ>1n&[@ -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings R{B5{~m>W@
1[Q~&QC (来源:讯技光电)