摘要
n<,BmVQ bcyzhK= 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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4*L_)z&4; D9df=lv
mD 建模任务
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PCvWS.{ 光栅特性与参数的严格分析
txpgO1 wJ]d&::@h 不同光栅周期下的衍射效率
SBpL6~NW sK{e*[I>W
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3Gf2_ \m,PA'nd/ 关于光栅周期选择的考虑
XSDpRo }EPY^VIw
0@(&eH= |>Vb9:q9Po 偏振相关的衍射特性
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3mgD(,(^ q'DW~!>qX 通过参数优化进行光栅设计
&&+H+{_Q s*[bFJwN 固定周期的2D参数优化
53D]3 x4 yR8n(
\<' ?8ri# 2D参数优化–设计1
|N2#ItBbW tc! #wd+u
paK2xX8E n[z+<VGwC 2D参数优化–设计2
'NmRR]Q9 6'/ #+,d'
3$ pX &pRREu:[4L 制造
公差分析–设计2
gJXaPJA{ M-71 1|eGI
]/Pn
EU[ 8=l%5r^cq 变化光栅周期的3D参数优化
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u_enqC3 w>gYx(8b 制造公差分析
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& >A= f1DF
vzM^$V C _Dn{ 走进VirtualLab Fusion
wT@og|M &8H'eAA
uFE)17E n S=W 1zf VirtualLab Fusion中的工作流程
\D4:Nt# Hka2
D~m*!w* s AkdMo •构造光栅
结构 {FkF −
通过使用界面来配置光栅结构 vN:Ng [用例]
:X=hQ:>P •分析光栅衍射效率
'DR!9De −
光栅级次分析器[用例]
LoV<:|GTI •使用参数运行搜索初始解决方案
uT"rq:N −
参数运行文档的使用[用例]
7! Nsm •通过参数优化找到最终设计
4 KiY6) dN q$} VirtualLab Fusion技术
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