摘要
e*n@j IkXx# ) 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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-o.:P>/ zA"`!}* 建模任务
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buy"X4 光栅特性与参数的严格分析
^Va1f'g BV+ Bk+ 不同光栅周期下的衍射效率
T"}vAG( .O s|B3~Q]
{GcO3G#FZ AnvRxb.e 关于光栅周期选择的考虑
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u4|$bbig 19KQlMO.G 偏振相关的衍射特性
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G<^{&E+= 78H'ax9m 通过参数优化进行光栅设计
_OC<[A e01epVR; 固定周期的2D参数优化
om-omo&,X= Y]u+\y~
fLm*1S|%\ 2D参数优化–设计1
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hzbw>g+ Y,e B| 2D参数优化–设计2
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nSAdCJ;4 ye? 'Ze 制造
公差分析–设计2
M6-&R=78K yU}qOgXx
%zw1}|s#z ;K&o-y 变化光栅周期的3D参数优化
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@Sbe^x c+nq] xOs' 制造公差分析
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2WVka gH7|=W 走进VirtualLab Fusion
'V=P*#|SR 'B0{_RaTb
-JjM y X q,eVjtF VirtualLab Fusion中的工作流程
1.9}_4! :#?5X|Gz
?+a,m# Yx W=qVc •构造光栅
结构 tX %5BTv −
通过使用界面来配置光栅结构 =k0_eX0 [用例]
M|`U"vO •分析光栅衍射效率
s;vHPUB\n −
光栅级次分析器[用例]
)i^<r ;_z •使用参数运行搜索初始解决方案
Q_X.rUL0w −
参数运行文档的使用[用例]
6@0OQb •通过参数优化找到最终设计
%k?U9pj^ YCM]VDx4u1 VirtualLab Fusion技术
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