摘要
ucoBeNsHx 0>Mm |x*5 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
Aba6/ 7acAU{Rr
lJ7k4ua\ OE4 2{?) 建模任务
+"'h?7'C <LBMth
v]VIUVd 光栅特性与参数的严格分析
4RTEXoXs c%xxsq2n 不同光栅周期下的衍射效率
rB=1*.}FLc %}j/G l5
i]Kq sGdt) 关于光栅周期选择的考虑
Lg Bs<2 3kKXzIh
oWXvkDN
+pf 7 偏振相关的衍射特性
{tWfLfzU w'L;`k;Q
)}paQmy# /8Vh G|Wb
<~:
g uidE/7
YjHGdacs o
&Nr5S 通过参数优化进行光栅设计
jRgv
8n 1
#EmZ{* 固定周期的2D参数优化
,
/ 4}CM 'BUdySng
J3q}DDnEo 2D参数优化–设计1
iT.hXzPzr* ENqJ9%sk7
2H]&3kM3X Zqx5I~ 2D参数优化–设计2
zEks4yd i ;X'1TN(y
4AP<mo @<alWBS 制造
公差分析–设计2
}r,k*I'K {BKI8vy
%kVpW&
~ JY>]u*= 变化光栅周期的3D参数优化
\J1Jn~ OM,uR3,
M%$zor :k(aH Ua 制造公差分析
%PkJ7-/b|^ (U|W=@8`
C9bf1ddCW& xY_/CR[, 走进VirtualLab Fusion
(a)d7y.oo )9@Ftzg|
}1(F~6RH x>Q#Bvy VirtualLab Fusion中的工作流程
{},GxrQm !JrVh$K
2abWIw4 y;Dw%m •构造光栅
结构 >TtkG|/U-T −
通过使用界面来配置光栅结构 #kV=;(lq [用例]
:r#FI".qx •分析光栅衍射效率
5ue{&z
@T −
光栅级次分析器[用例]
r!#a. •使用参数运行搜索初始解决方案
1[B?nk −
参数运行文档的使用[用例]
A:;KU •通过参数优化找到最终设计
$Cf_RFH0 v}[7)oj| VirtualLab Fusion技术
dq|z;,` A
u(Ng q
8 Z#)Xb4 WU}JArX9 文件信息
ea7v:#O[S 0~^opNR V-I_SvWv\
r$.ek\D5 oOJN?97!k 更多阅览
bCE[oi6hb -
Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers !@ bN -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block ^WM)UZEBC -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings L! Q&?xP +KD~/}C%- (来源:讯技光电)