摘要
6~>^pkV kG_&-b 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
HCfS)` Cnb[t[hk+j
\H"/2o%l") 5)/4)0 建模任务
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Z7
3D[:Rf[ 光栅特性与参数的严格分析
9;m#>a@Y }0(vR_x 不同光栅周期下的衍射效率
Sm~? zU[k/ >@q2FSMf
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EZ`mj vQ9xG)) 关于光栅周期选择的考虑
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PW~cqo B71 Q>#)LHX 偏振相关的衍射特性
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C {H' 4Tbi%vF{
\?p9qR;"4 k~W;TCJs 通过参数优化进行光栅设计
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Q|f *T 固定周期的2D参数优化
QWIOim- EeF n{_
)PLc+J.I 2D参数优化–设计1
$6]x,Ct ivDG3>"JG
%WXVfkD yx`r;|ds} 2D参数优化–设计2
8B% O%*5` h P6fTZ=Ln
P(W\aLp `G:qtHn"Q< 制造
公差分析–设计2
Fg}5V, Td=]tVM
h&^/, G ?\/dfK:! 变化光栅周期的3D参数优化
o*5e14W(: S+bWD7
p-i]l.mT5 Lqf#,J 制造公差分析
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N]P*6sf-6 =kZwB*7 走进VirtualLab Fusion
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+T8XX@# ~{]m8a/ `6 VirtualLab Fusion中的工作流程
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XP
Iu]F 2
3XAkpzp$ •构造光栅
结构 3dzqVaV −
通过使用界面来配置光栅结构 5eZg+ O [用例]
2%No>w}/2 •分析光栅衍射效率
n46PQm%p −
光栅级次分析器[用例]
(>@syF%PB •使用参数运行搜索初始解决方案
Z ysUz −
参数运行文档的使用[用例]
2ShlYW@~ •通过参数优化找到最终设计
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A_..+I VirtualLab Fusion技术
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