摘要
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|QL& 7z~_/mAI 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
'Wa,OFd\8 ^[15&T5
nNXgW mqq;H} 建模任务
u !!X6< Zs<KZGn-B
f@co<iA 光栅特性与参数的严格分析
v`1,4,;,qs cWajrLw 不同光栅周期下的衍射效率
x1 1U@jd+1 t\$U`V)
JF/,K"J K!,<7[MBg 关于光栅周期选择的考虑
/t-fjB{=G I5h[%T
0EJ(.8hwm w\}?( uO 偏振相关的衍射特性
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l -X+H2G
JMdPwI "`[!L z
z#F.xVg' jjM{] 通过参数优化进行光栅设计
W[+|} @*
il3h, 固定周期的2D参数优化
](F#`zUQ /s];{m|>
HHjt/gc}` 2D参数优化–设计1
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y<C<_2 gT/@dVV 2D参数优化–设计2
~afg)[( u{z``]
M,}|tsL wM_c48|d 制造
公差分析–设计2
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?|e'Gbb_
rxO2QQ%V 变化光栅周期的3D参数优化
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lcV<MDS l^J75$7 制造公差分析
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*Ei|fe$sa NA,CZ 走进VirtualLab Fusion
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r6'UUu /=uMk]h VirtualLab Fusion中的工作流程
Z>)][pL `]Bxn)b(
3?E8\^N\n rw)kAe31 •构造光栅
结构 '&;yT[ −
通过使用界面来配置光栅结构 ``ekR6[ 8c [用例]
fri0XxF •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
,7,g%?_P •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
juBw5U< •通过参数优化找到最终设计
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W: VirtualLab Fusion技术
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