摘要
9U10d&M( deM~[1e[ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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!8? ma7fDo0,`h A[ 1)!e +{xG<Wkltz 建模任务
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T] WLy7'3@ 6{^*JC5nj 光栅特性与参数的严格分析
oYqE*mA fm6]CU1^ 不同光栅周期下的衍射效率
:bw6 k M,L@k HWR&C O<a3DyUa; 关于光栅周期选择的考虑
oUS,+e mCrU//G Vw?P.4 2;R/.xI6v 偏振相关的衍射特性
;@'0T4Z&l x9\J1\ htg'tA^CtS '5cZzC
2 g)N54WV n8?KSQy$ >%i9 oI<) ZE ^u .>5 通过参数优化进行光栅设计
/>!!ch n%U9iwJ. 固定周期的2D参数优化
g$gVm:= U;>B7X;`E4 5{fwlA 2D参数优化–设计1
2q|_Dma \
>(zunL intvlki]be T/5nu?v 2D参数优化–设计2
>2t
cEz% p1uN]T7> 4Q/r[x/&C 5#BF,-Jv 制造
公差分析–设计2
7ozYq_ $ 2:n|x5\H ;HT0w_, o[2Y;kP3*P 变化光栅周期的3D参数优化
[5-!d!a|st =yo=q)W {!g?d<* sV&`0N 制造公差分析
i~ROQMN1 *+&z|Pwv[^ e8 v; D F1/6&u9I 走进VirtualLab Fusion
(J/>Gy)d 8QPT\~ Age-AJ 69?I?,7 VirtualLab Fusion中的工作流程
V~JBZ}`TG< S q.9-h%5 Y]?Kqc O&F<oM •构造光栅
结构 E]1\iV −
通过使用界面来配置光栅结构 THb A(SM [用例]
1k0^6gE| •分析光栅衍射效率
'wegipK~R −
光栅级次分析器[用例]
pFS
F[9?e> •使用参数运行搜索初始解决方案
Q1K"% −
参数运行文档的使用[用例]
D1"1MUSod •通过参数优化找到最终设计
-%saeX Wo 1g+LF[*-~ VirtualLab Fusion技术
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