摘要
RtMI[ wI_@ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
+;q\7* eTx9fxw
!lgL=Ys( \tI%[g1M 建模任务
K4!-%d$ U8Y%rFh1
yQ[;y~W 光栅特性与参数的严格分析
"17)`Yf tbRW6 不同光栅周期下的衍射效率
{]R'U/ VyxYv-$Y
^U_T<x8{ BkB>eE1)Ea 关于光栅周期选择的考虑
Wm}c-GD :DN!1~ZtW
crM5&L9zF 1(?4*v@B 偏振相关的衍射特性
/sKL|]i= a+^`+p/5
iNA3Y &n k)F<
'8X>,un 3^o(\=-JX
RehmVkT X(N~tE 通过参数优化进行光栅设计
M5`v^> "<ZV'z 固定周期的2D参数优化
b&z#ZY s:U:Dv
X8|H5Y: 2D参数优化–设计1
FQ<-Wc Yr9'2.%Q
e%\^V\L +lym8n~-O 2D参数优化–设计2
aDbqh~7 Ia&*JYM[
.Mq#88o.* c?A$Y?|9 制造
公差分析–设计2
Tru{8]uMH W>@ti9\t
&GP(yj] d9f7 & 变化光栅周期的3D参数优化
xE1?) gmL~n7m:K
KUI{Z I @j46Ig4~b 制造公差分析
<XdnVe1 INg0[Lpc
:;k?/KU7 \<LCp;- K 走进VirtualLab Fusion
fzSkl`K} ZoG@"vr2
-/Q5?0z X{-4w([ VirtualLab Fusion中的工作流程
Th) Y <6|z3
CsO!Y\'FY 7~h3B< •构造光栅
结构 8Y`Lq$u −
通过使用界面来配置光栅结构 F]$ Nu [用例]
m%HT)`>bg •分析光栅衍射效率
2f,8Jnia −
光栅级次分析器[用例]
?JrUZXY •使用参数运行搜索初始解决方案
p _gN}v −
参数运行文档的使用[用例]
t7Q$ •通过参数优化找到最终设计
7>Scf q7B5#kb VirtualLab Fusion技术
/Ew()>Y Fy=GU<&AI
uzd7v, QiPqN$n 文件信息
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