摘要
-f-@[; D t/vw%|AS 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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`Eg~;E: pba`FC4R 建模任务
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o>l/*i0I 光栅特性与参数的严格分析
lf9mdbm N51e.; 不同光栅周期下的衍射效率
U/s! Tb>` oc>N| ww:
Z.%0yS_T KW@][*\uC 关于光栅周期选择的考虑
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F&_b[xso7 n8.Tag(# 偏振相关的衍射特性
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CQns:.`$` ukDaX 通过参数优化进行光栅设计
CeINODcT laQ{nSVBm 固定周期的2D参数优化
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M\D25=( 2D参数优化–设计1
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d",VOhW7)S Vv_lBYV 2D参数优化–设计2
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t Q9 制造
公差分析–设计2
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'pHxO,vo *[+{KJ 变化光栅周期的3D参数优化
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nC5]IYL| NRMEZ\*L 制造公差分析
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,FK.8c 6g Y(;u)uN_ VirtualLab Fusion中的工作流程
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4Cp)!Bq?/ FnCMr_ •构造光栅
结构 <N8z<o4rku −
通过使用界面来配置光栅结构 jk{m8YP)E [用例]
9R99,um$ •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
UG=],\E2 •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
Sr>5V •通过参数优化找到最终设计
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