摘要
X3;|h93.a dD0:K3@ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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6rr;S
eZ~ZWb, % Z&R{jQ, 建模任务
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`FL!L59nz 光栅特性与参数的严格分析
Iz<}>J B <kr%ylhIu 不同光栅周期下的衍射效率
3mnq=.<(w i0-zGEMB.
@ \(*pa bl;C=n 关于光栅周期选择的考虑
NbtNu$%t h&}XG\ioNA
%XieKL @4N@cM0
偏振相关的衍射特性
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P9aGDma GCTf/V\#
E#=slj@ Ph*tZrd*#
HXTZ`'Rv 7#BpGQJQ 通过参数优化进行光栅设计
0 oFRcU g&30@D" 固定周期的2D参数优化
R8lBhLs s5TPecd
KC-q] 2D参数优化–设计1
76rNs|z~ )wROPA\uA
cDS6RO? x;cjl6Acm 2D参数优化–设计2
Ol9'ZB|R MDCK@?\
\y9( b O)qedy*& 制造
公差分析–设计2
u^T{sQ"_ 9?M><bBX
K 5SHt'P 7Xu.z9y 变化光栅周期的3D参数优化
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C"I:^&sL ^y,%Tv> 制造公差分析
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/& 0\*6UH 走进VirtualLab Fusion
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)/u?_)b4" *t'qn VirtualLab Fusion中的工作流程
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j"aimjqd3 6^pddGIG •构造光栅
结构 AKVll −
通过使用界面来配置光栅结构 E.$1CGd+ [用例]
%.kJ@@_e •分析光栅衍射效率
cCd2f>EHw −
光栅级次分析器[用例]
dHnR)[?e •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
OQ>r;)/ •通过参数优化找到最终设计
}];8v+M -,t2D/xK VirtualLab Fusion技术
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