摘要
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eZL MP 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
;o-yQmdh aWy]9F&C:
*5VXyt2 / nZ;v4 建模任务
G7@O`N8' 0F:1\9f5
z42F,4Gk 光栅特性与参数的严格分析
feX^~gM _S@aGw 不同光栅周期下的衍射效率
Uxu\u0* cz/Q/%j$/
T
vtm`Yk\ ?okx<'"[ 关于光栅周期选择的考虑
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7~1IO|4t ~9\zWRh 偏振相关的衍射特性
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TDt Amk hBU\'.x
'CR)`G_'[ ^tH#YlV4>9
!CUoHTmB x@>&IBiL 通过参数优化进行光栅设计
-&2B@]] V5`^Y=X(% 固定周期的2D参数优化
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ZD>a>] 2D参数优化–设计1
<Fz~7WVd \ I`p|&vG
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6j 2D参数优化–设计2
v(]]_h eqAW+Ptx
_-TA{21) 2&!bfq![ 制造
公差分析–设计2
:4gLjzL ,XkGe
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ps$qB' ]D2udeg 变化光栅周期的3D参数优化
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ZraT3 LwcIGhy 制造公差分析
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3r+.N NB_)ZEmF 走进VirtualLab Fusion
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/Ci*Az P An*~-u9m VirtualLab Fusion中的工作流程
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F[
ajOb 8 yS(}:'`r •构造光栅
结构 'G\XXf%J −
通过使用界面来配置光栅结构 gD`>Twa&6 [用例]
$d S@y+ •分析光栅衍射效率
=Z=o#46JY −
光栅级次分析器[用例]
d[p;T\?" •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
0+Ta%H{ •通过参数优化找到最终设计
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_A13[Mt3 VirtualLab Fusion技术
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@fv}G>t 文件信息
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