摘要
bT&{8a op5`#{ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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建模任务
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Wm`*IBWA 光栅特性与参数的严格分析
U|x Hy+N J sz=5` 不同光栅周期下的衍射效率
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S-88m/"]s Qd
kus214 关于光栅周期选择的考虑
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xh$yXP0/ 2=n`z)R 偏振相关的衍射特性
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CYgokS\=, rFpYlMct
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qe{;EH* X"+p=PGZK 通过参数优化进行光栅设计
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K74 固定周期的2D参数优化
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W j^@Zq# 2D参数优化–设计1
SfC* ZM}< \WFcb\..
x4c|/}\)*
b)Da6fp 2D参数优化–设计2
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*/aQ+%>jf G&^8)S@1 制造
公差分析–设计2
~SBb2*ID +5*bU1}O
\{:A&X~\! {c9 fv H 变化光栅周期的3D参数优化
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By8SRWs ZBpcC0
z 制造公差分析
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InbB2l4G ~k"b"+2 走进VirtualLab Fusion
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FqA4 OU #z.n?d2Gd VirtualLab Fusion中的工作流程
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PB$beQ 3{?X>6T •构造光栅
结构 Z3{1`"\<K
−
通过使用界面来配置光栅结构 9h\RXVk{tA [用例]
"ymR8y' •分析光栅衍射效率
Ue9Y+'-x
−
光栅级次分析器[用例]
Y,0Z&6 < •使用参数运行搜索初始解决方案
;UTM9.o[ −
参数运行文档的使用[用例]
/i>n1>~yn •通过参数优化找到最终设计
3W[?D8yi) A_S7z*T VirtualLab Fusion技术
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