摘要
zO5u{ NZC='3Uz 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Y-3[KH D ,Q=)$ `% 建模任务
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zt[4_;2Y 光栅特性与参数的严格分析
XBQ< 9^QYuf3O 不同光栅周期下的衍射效率
-)OkG#J@ >6[ X }
.)@tXH=}+ ZE8/ m") 关于光栅周期选择的考虑
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Z0ncN]) QI#*5zm 偏振相关的衍射特性
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MLt'YW^ C^,4`OI 通过参数优化进行光栅设计
(~7m"? (9KDtr*(2i 固定周期的2D参数优化
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DN"S, 2D参数优化–设计1
s("Cn/ZkS A3MZxu=':3
3|K=%jr[ b=K6IX; 2D参数优化–设计2
MvZ+n (ET ;LH3
Zk/' \(5 ]_ejDN\>{V 制造
公差分析–设计2
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YN%=Oq "ep ` 变化光栅周期的3D参数优化
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`Di ^6UK( S,*{q( 制造公差分析
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dThR)Z'= &/>;LgN 走进VirtualLab Fusion
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oLrkOn/aY yhcNE8mkQ/ VirtualLab Fusion中的工作流程
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g08*}0-k pqyWv; •构造光栅
结构 z5XYpi_;[ −
通过使用界面来配置光栅结构 2BoFyL* [用例]
:y+B;qw •分析光栅衍射效率
IL~]m?'V( −
光栅级次分析器[用例]
(3
IZ •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
7?6xPKQ)H •通过参数优化找到最终设计
81GQijq #4P8Rzl$/ VirtualLab Fusion技术
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