摘要
a[ l5k M3`A&*\; 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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_ 建模任务
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Ma#-'J 光栅特性与参数的严格分析
$c47cJO)W X\RTHlw'] 不同光栅周期下的衍射效率
B[V=l<J x0GZ2*vfsb
J)NpG9iN 'Y Zs6rcJ 关于光栅周期选择的考虑
V1;-5L75 >FNt*tX<0
cf!R 4*W7{MPY 偏振相关的衍射特性
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4/|=0TC; g2q=&eI"
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" 通过参数优化进行光栅设计
] plC hNy S 固定周期的2D参数优化
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OpQa! 2D参数优化–设计1
FoQk Y~xZ{am
0<9TyN6 swrd 2D参数优化–设计2
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X;NTz75 Le!I-i(aD 制造
公差分析–设计2
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2Mda'T8 0*^Fk=>ej 变化光栅周期的3D参数优化
b&1@rE- Zpmy)W]1
#UQ[8e Xc^~|%+ 制造公差分析
.w~USJ=X ,R+u%bmn#
U9w*x/Swb 0"N %Vm 走进VirtualLab Fusion
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4SYN$?.Mp :w+Rs+R VirtualLab Fusion中的工作流程
5hAg*zJb5o nq=fSK(
H =jnCGk ]O."M"B •构造光栅
结构 $((<le5-) −
通过使用界面来配置光栅结构 @!$NUY8,A# [用例]
x-<dJ}` •分析光栅衍射效率
UL/>t}AG −
光栅级次分析器[用例]
;
F=_ozWV* •使用参数运行搜索初始解决方案
pP @#|T −
参数运行文档的使用[用例]
_$0Ix6y, •通过参数优化找到最终设计
dQ[lXV[}v w9%gaK; VirtualLab Fusion技术
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