摘要
'p[B`Ft3F #RHt;SFx 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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z:u)@>6D1 J
:KU~`r 建模任务
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K\.tR 光栅特性与参数的严格分析
~Bi%8G )RQQhB 不同光栅周期下的衍射效率
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^sqzlF %.HLO.A 关于光栅周期选择的考虑
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zV(aw~CbZ 8]rObT9> 偏振相关的衍射特性
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Z$zX%w r`<x@,
+[4y)y` xC}' "``s
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b` <`wOy[e 通过参数优化进行光栅设计
. i^@v<+ 7zIfsb 固定周期的2D参数优化
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)g}G{9M^ 2D参数优化–设计1
`,4@;j<^@ aIh} j,
1aUg({ fzvyR2 I 2D参数优化–设计2
w\{#nrhYU XL'\$f
(]PH2<3t #zBqj;p 制造
公差分析–设计2
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=%s6QFR gyhy0 变化光栅周期的3D参数优化
=K}T; c q03+FLEfC
MU\Pggs 1kR. .p<" 制造公差分析
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;zV<63tW 3i'01z 走进VirtualLab Fusion
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uZ'Z-!=CL g,W34*7=Q VirtualLab Fusion中的工作流程
Mc!LC
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q8FpJ\ rBy0hGx •构造光栅
结构 ;%^{Zybh −
通过使用界面来配置光栅结构 -=5~-72~ [用例]
%d%?\jV b •分析光栅衍射效率
%~8f0B|im −
光栅级次分析器[用例]
&\b( •使用参数运行搜索初始解决方案
O'{kNr{u −
参数运行文档的使用[用例]
#f/4%|t: •通过参数优化找到最终设计
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yPs6_Qo!p VirtualLab Fusion技术
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