摘要
cP~?Iz8nD #VwA?$4g` 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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[@qUQ,Ie ]v^;]0vcr 建模任务
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t7%!~s=,M 光栅特性与参数的严格分析
TZ7{cekQ Yz?1]<X 不同光栅周期下的衍射效率
uT}Jw S>]Jc$
E!4Qc+. g]g2`ab | 关于光栅周期选择的考虑
F H'jP` ve#cz2Z
V^t5
Y+7 U?6YY`A8 偏振相关的衍射特性
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U=C8gVb{Hq fNi&1J-/ 通过参数优化进行光栅设计
"mAVkq~ sg(L`P 固定周期的2D参数优化
Qhnz7/a9 c?0uv2*Yh
d0b--v/ 2D参数优化–设计1
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gz[Ng> D+ |n;gGR\ 2D参数优化–设计2
*|x2"?d-F: Z;@F.r
|67j__XC 7cn"@h rJ 制造
公差分析–设计2
hnM|=[wM Lp%V$'
S{Au%Rs /h0<0b?i 变化光栅周期的3D参数优化
W|T"'M_ P,!k^J3:l
}[PbA4l.g Kg>+5~+E?q 制造公差分析
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!&C8y `^s(r>2 走进VirtualLab Fusion
p;) ;Vm+8 J1"u,H F*(
~?aq=T 1+o >#8D VirtualLab Fusion中的工作流程
4i[3|hv' "HVwm>qEi
h^$>{0" 0At??Zpy •构造光栅
结构 V0L^pDLOV −
通过使用界面来配置光栅结构 1,W%t\D [用例]
9U58# •分析光栅衍射效率
H(]lqvO −
光栅级次分析器[用例]
neQ2+W%oj •使用参数运行搜索初始解决方案
2?ZHWS>U −
参数运行文档的使用[用例]
Tp<=dH%$%" •通过参数优化找到最终设计
~sAINV>A @?K(+BGi VirtualLab Fusion技术
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AY0o0\6cw \XMl8G 文件信息
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