摘要
=yy5D$\ )Qvk*9OS 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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nak Yn 0c#/hFn 建模任务
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b2FO$Os 光栅特性与参数的严格分析
+j4"!:N}B .e3+s* 不同光栅周期下的衍射效率
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&-wxJ]S B9J&=6`) 关于光栅周期选择的考虑
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?pzaG{ Y(d$ 偏振相关的衍射特性
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v 7x:dcV x UD-iSY 通过参数优化进行光栅设计
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Bhg 固定周期的2D参数优化
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D N*t~Z3[ 2D参数优化–设计1
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^R@j=_8} uF3qD|I\ 2D参数优化–设计2
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Z LD}a:s v7`HQvQEz= 制造
公差分析–设计2
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I=NZokfS [E
] E 变化光栅周期的3D参数优化
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A`}rqhU.{- }I2@%tt? 制造公差分析
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gR 走进VirtualLab Fusion
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'`uwJ&@ e;[F\ov% VirtualLab Fusion中的工作流程
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8Bjib&im CLJ;< •构造光栅
结构 Ch3jxgQY −
通过使用界面来配置光栅结构 k|H: [用例]
Yn G_m] •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
&E=>Hj(dTG •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
vsl]92xI •通过参数优化找到最终设计
9^G/8<^^> u!W0P6 VirtualLab Fusion技术
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