摘要
$~\Tl:!#? 5RP5%U 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
cC]]H&'Hg+ +O)ZB$w4
L* ScSxw .HRd6O; 建模任务
7I*rtc&Kb 5H, (\Xd
v^;vH$B 光栅特性与参数的严格分析
vQj{yJ\l1 m*\LO%s]E 不同光栅周期下的衍射效率
":qS9vW $ab{GxmX'4
u$X =2u:P HZjuL.Tj 关于光栅周期选择的考虑
93ggCOaYA BqM[{Kv
W@i|=xS? ,@I\'os 偏振相关的衍射特性
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@, AB2D K)}Vr8,V 通过参数优化进行光栅设计
0DN&HMI# ggpa!R 固定周期的2D参数优化
Fq`@sM$ y<#Hq1
\Ym!5,^o 2D参数优化–设计1
vl?fCO @}uo:b:Q
kBY#=e). 3>=G-AH/$K 2D参数优化–设计2
!3o/c w9 P7REE_<1
&B++ "f [?(qhp! 制造
公差分析–设计2
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bjN"H`Q )Y"t$Iw" 变化光栅周期的3D参数优化
)i\foSbB`V +ZV?yR2yn
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V8b^{}nxt 制造公差分析
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}uO2x@ pW>.3pj 走进VirtualLab Fusion
;!OME*?m< ZmI#-[/
,4}s 1J# +eop4 |Z VirtualLab Fusion中的工作流程
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`8TL*.9 yA`,ns&n •构造光栅
结构 }VVtv1 −
通过使用界面来配置光栅结构 Jq+@%#G [用例]
Xob(4 •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
%;J$ h^ •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
h*sL' fJ] •通过参数优化找到最终设计
5j _[z|W2 w"A>mEex< VirtualLab Fusion技术
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