摘要
0trFLX S&VN</p 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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%|;^[^7+}t #&@&BlIe 建模任务
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V{"5)Ly?fu 光栅特性与参数的严格分析
'C[gcp $)'{+1 不同光栅周期下的衍射效率
Y)uNzb6R z` sH
S`J_}> cJqPcCq(wn 关于光栅周期选择的考虑
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pS :dK%=j*ZK 偏振相关的衍射特性
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ak NJL\b d>(dSKx
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= U^B,q L\b$1U!i 通过参数优化进行光栅设计
>z(6ADq t rHj7Nw 固定周期的2D参数优化
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NoPM!.RU{ 2D参数优化–设计1
v+\E%H }$b/g
h IGa);g 6E 2D参数优化–设计2
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AKS(WNGEp 2[WQq)\ 制造
公差分析–设计2
D,X$66T ^ ']qC,;2
s_RYYaM mhcJ0\@_ 变化光栅周期的3D参数优化
+8~S28"Wg3 M14pg0Q
U_14CLsdG !D z:6r 制造公差分析
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YpuA,r;" xvgIYc{ 走进VirtualLab Fusion
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f(9w FT ~kYF/B2* VirtualLab Fusion中的工作流程
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O*jNeYA L:'Y#VI{ •构造光栅
结构 AjZT- Q0L −
通过使用界面来配置光栅结构 |Q7Ch]G [用例]
Z-:$)0f •分析光栅衍射效率
#ReW#?P%b/ −
光栅级次分析器[用例]
+[*UC" •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
;1"K79 •通过参数优化找到最终设计
8fdOV&&D~i tl#hCy VirtualLab Fusion技术
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