摘要
*UG=dl#F# f%d
=X>_ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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f9E.X\" vi.q]$ohbV 建模任务
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j~9,Ct 光栅特性与参数的严格分析
;V~~lcD&Y` u"r1RG' 不同光栅周期下的衍射效率
O~g0 R6M6e w`0r`\#V/
h|=&a0 [@t 6,g 关于光栅周期选择的考虑
/`VtW$9- (V~PYf%
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} =gr3a,2 偏振相关的衍射特性
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QI2T G, B\!.o=<h 通过参数优化进行光栅设计
?_c*(2i&^ ?l<u %o 固定周期的2D参数优化
[I` 6F6 R'r^v
|LDo<pE*V4 2D参数优化–设计1
BK:S: wKAc ;!
%sLij* !M&B=vk4 2D参数优化–设计2
FLekyJmw~ OW<5,h
U8KEg)Msk *m sW4|=^2 制造
公差分析–设计2
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U= PG0 !>+Na~eN 变化光栅周期的3D参数优化
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x~tG[Y2F? OC]_b36v 制造公差分析
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}0Q6iHX@ n300kpv 走进VirtualLab Fusion
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:RW0< VirtualLab Fusion中的工作流程
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U>^-Db] (k..ll p~ •构造光栅
结构 Z\y@rp\l −
通过使用界面来配置光栅结构 f&Bu_r [用例]
M+ gYKPP •分析光栅衍射效率
Q[y75 [ −
光栅级次分析器[用例]
g<Sa{<0 •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
KPUc+`cN% •通过参数优化找到最终设计
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