摘要
[pz1f!Wn UZo[]$"Q` 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
JQSczE3 \o5/, C
W\O.[7JP y7LM}dH#m 建模任务
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DS7Pioa86 光栅特性与参数的严格分析
LGWQBEXw &zHY0fxX 不同光栅周期下的衍射效率
Kk>va->R Q.SqOHeJ
*-@@t+3 sbV_h;< 关于光栅周期选择的考虑
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$~r=I[5'( J:\O .F#Fi 偏振相关的衍射特性
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`91?^T;\F U)SQ3*j2D
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ZU5; w FeJKXYbk< 通过参数优化进行光栅设计
nDXy$f8 "Wy!,RH 固定周期的2D参数优化
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xgWVxX^) 2D参数优化–设计1
K# h7{RE #$JY&!M
/%P,y+<}iG OmaG|2u 2D参数优化–设计2
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}SGb`l VpB+|%@p 制造
公差分析–设计2
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U.J/ "}5`T 8[u$CTl7a 变化光栅周期的3D参数优化
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Ki%RSW(_` dhi9=Co; 制造公差分析
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A )xfO- cnM`ywKW 走进VirtualLab Fusion
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I(+%`{Wv tZA%^Y VirtualLab Fusion中的工作流程
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zG~nRt{4 kDWvjT •构造光栅
结构 E1>zKENN; −
通过使用界面来配置光栅结构 n#)kvr [用例]
%>,Kd6bdg •分析光栅衍射效率
Cx
;n#dn* −
光栅级次分析器[用例]
t<znz6 •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
$e,'<Jl •通过参数优化找到最终设计
s6_[H >('Z9<|r: VirtualLab Fusion技术
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