摘要
,F*HZBNFZ |i~-,:/-Y 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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KJv%t_4'F 2(x|
% 建模任务
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Ujlbcv6+ 光栅特性与参数的严格分析
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2knSS =v'Aub 不同光栅周期下的衍射效率
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G Y.iCub ]N;nq 关于光栅周期选择的考虑
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dG8mE&$g ?m+];SJk 偏振相关的衍射特性
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GU9G5S. +> d;%K
N{ $?u %W$b2N{l
*M*WjEOA F6{/iF 通过参数优化进行光栅设计
,grx'to(X Q+wO\TtE 固定周期的2D参数优化
J]w3iYK T8)X?>CIW
mdQe)> 2D参数优化–设计1
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ya5HAs 8SLE*c^8 2D参数优化–设计2
)f8 ;ze N$v_z>6Z
"KS"[i!3j 08{^Ksg 制造
公差分析–设计2
:-<30LS$ ->o[ S0
tC oE4Ed 5''k|B> 变化光栅周期的3D参数优化
q*,HN(&l? 3TLym&
sZxTsUW =hd0Ui>x 制造公差分析
)m+O.`x >R_m@$`
#Ef! X LR!%iP 走进VirtualLab Fusion
&/2+'wCp5 Y~Vc|zM^(
hO{&bY0 0VNpd~G$ VirtualLab Fusion中的工作流程
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],w! 9o6[4Q}
7HY8 F5Brx )E7wBNV •构造光栅
结构 `8#xO{B1 −
通过使用界面来配置光栅结构 y29G#Y4J [用例]
t^>P,%$ •分析光栅衍射效率
Z]WX 7d −
光栅级次分析器[用例]
E(_k#X •使用参数运行搜索初始解决方案
EE | c@M^ −
参数运行文档的使用[用例]
ut]UU*g^$ •通过参数优化找到最终设计
X2 ;72 "VHT5k VirtualLab Fusion技术
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