摘要
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o 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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UtHloq(r >C`#4e?} 建模任务
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v(P <_}G 光栅特性与参数的严格分析
_Zxo<}w}y TwKi_nh2m 不同光栅周期下的衍射效率
z<8VJZd pMoza8
y8dOx=c @QF;m 关于光栅周期选择的考虑
P|TM4i] X#o;`QM
P[jh^!<j {HjJ9ZGQ 偏振相关的衍射特性
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bl\;*.s' f,ql8q(|J 通过参数优化进行光栅设计
N:,V{Pw LdnTdh? 固定周期的2D参数优化
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D[{"]=- 2D参数优化–设计1
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x!u6LDq0 i*mI-l 2D参数优化–设计2
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=>7czw:S1 .`oKd@I*" 制造
公差分析–设计2
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::@JL #z}0]GJKj 变化光栅周期的3D参数优化
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AG"iS<u IEWl
I 制造公差分析
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^BP4l_rO9 ]PbwG 走进VirtualLab Fusion
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!>Q{co' y8]vl;88yY VirtualLab Fusion中的工作流程
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DB5u c$_} •构造光栅
结构 >"Zn#
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通过使用界面来配置光栅结构 tR_DN [用例]
id]}10 •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
Uh^j;s\y •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
EdZNmL3cB •通过参数优化找到最终设计
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i(xL-&{ VirtualLab Fusion技术
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(来源:讯技光电)