摘要
G|(
]bvJ? }T%}wdj 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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X!m9lV< S%yd5<%_ 建模任务
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:&:JTa1cv 光栅特性与参数的严格分析
mw='dFt :j]vf8ec 不同光栅周期下的衍射效率
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(Nx;0"5IX OU/MiyP2 关于光栅周期选择的考虑
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*X,
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m"o ;L3 pb$~b\s]= 偏振相关的衍射特性
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%5A+V0D0' j&
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Oh'Y0_oB> \o/n 通过参数优化进行光栅设计
I+dbZBX ;~\MZYs3m 固定周期的2D参数优化
qt;y2gf= LWHd~"eU
3Ei5pX =g 2D参数优化–设计1
`$B3X Wh%ucX&
e{v=MxO=S '*k'i;2/1 2D参数优化–设计2
^8@Iyh 1$81E.
7?kIVP1r dVFf. 制造
公差分析–设计2
aOiR l, )JNSZB
Hf vTxaK 61jI 变化光栅周期的3D参数优化
^pe{b9c TW9WMId
|7}CQU hDp6YV,q 制造公差分析
Xixqxm*8 Tp9-niW
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X0M1(BJgGo A^2Uzmzl?
ZJ 77[ lME)?LOI VirtualLab Fusion中的工作流程
hwIMn33 ]Wq?H-B{
" $ew~;z f}@jFhr'< •构造光栅
结构 P b]3&!a −
通过使用界面来配置光栅结构 ?w+Ix~k [用例]
't9hXzAfW •分析光栅衍射效率
-~QHqU. −
光栅级次分析器[用例]
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Z •使用参数运行搜索初始解决方案
acw4B5] −
参数运行文档的使用[用例]
r@o6voX •通过参数优化找到最终设计
3t0[^cY8=z XxaGp95so VirtualLab Fusion技术
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