摘要
xS8,W I]R9HGJNlJ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
?pG/m%[ 3vW4<:Lgy
"3}<8c 3-|3`( 建模任务
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J,5+47b1}R 光栅特性与参数的严格分析
fu4!t31 z%sy$^v@vD 不同光栅周期下的衍射效率
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"0Q1qZ U~H?4Izl= 关于光栅周期选择的考虑
(3;@^S4&w +Gh7^v|"
K_ke2{4Jm }k7'"`#?" 偏振相关的衍射特性
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;Vu5p#,O<M 41Ve}% 通过参数优化进行光栅设计
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Q5a)}6-5 nwmW.(R4 2D参数优化–设计2
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,[!LCXp ,S&z<S_ 制造
公差分析–设计2
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Vba.uKNjk "r'ozf2\ 变化光栅周期的3D参数优化
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.uz|/Zy DN] v_u+} VirtualLab Fusion中的工作流程
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GNbBC quxdG>8 •构造光栅
结构 r 2:2,5_ −
通过使用界面来配置光栅结构 m#7*:i&@Y [用例]
ec3<%+0f •分析光栅衍射效率
R.9V,R5 −
光栅级次分析器[用例]
YN/}9. •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
8V/L:h#7 •通过参数优化找到最终设计
>SbK.Q@ei sW@krBxMv VirtualLab Fusion技术
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