摘要
C.V")D= h+Km | 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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v4!zB9d hK9Trr wau 建模任务
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Vu '/o[nF> 光栅特性与参数的严格分析
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q 不同光栅周期下的衍射效率
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i rMZLc6 tLe!_p) 关于光栅周期选择的考虑
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v!?bEM3D /]_T 偏振相关的衍射特性
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1VK?Svnd T!5m'Q. 通过参数优化进行光栅设计
Xu`c_ `,d*> 固定周期的2D参数优化
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E%OY7zf`% 2D参数优化–设计1
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NR-d|`P; y0cHs|8 2D参数优化–设计2
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:@)UI, ,80qwN, 制造
公差分析–设计2
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Jy1 vI [2#5;') 变化光栅周期的3D参数优化
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6M9t<DQV 3Yf&F([t 制造公差分析
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D7|[:`` <+ UEM~) VirtualLab Fusion中的工作流程
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kcKcIn{ q`z/ S> •构造光栅
结构 H-A?F^# −
通过使用界面来配置光栅结构 0"7%*n."2 [用例]
^Gt&c_gH •分析光栅衍射效率
w>Iw&US
−
光栅级次分析器[用例]
Qd;P?W6 •使用参数运行搜索初始解决方案
XWN
ra −
参数运行文档的使用[用例]
eqbQ,, & •通过参数优化找到最终设计
zWKnkIit, Ix@rn VirtualLab Fusion技术
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