摘要
K)wWqC. ls&H oJ7 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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OR!W3
@ CxjB9# 建模任务
v\4<6Z:4 {4,],0bjx/
/z4c>)fV 光栅特性与参数的严格分析
`R:W5_n prN+{N8YC 不同光栅周期下的衍射效率
fV5$[CL1 (g/A uL
x51R:x(p ,0,FzxX0! 关于光栅周期选择的考虑
<\ <o#Vq [8IO0lul+
^7gKs2M oC49c~`8 偏振相关的衍射特性
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Vi-Ph;6[ l7qW)<r 通过参数优化进行光栅设计
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HrvyI)4{ 固定周期的2D参数优化
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;[R6rVHe{ 2D参数优化–设计1
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>bze0`}Z _8u TK%| 2D参数优化–设计2
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S\8v)|Pr iLuC_.'u= 制造
公差分析–设计2
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Uc {m##! VnsV&cx 变化光栅周期的3D参数优化
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?+Yhq 制造公差分析
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Zyz#xMmM }`<&l 走进VirtualLab Fusion
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"x=\mA#` J@I>m N1\ VirtualLab Fusion中的工作流程
Q*>)W{H&) ?<!qF:r:
-t|/g5.w_ 3Xu|hkK\e •构造光栅
结构 -[-oz0`Sl{ −
通过使用界面来配置光栅结构 y ;[~(Yg[ [用例]
9hIKx:XCg •分析光栅衍射效率
.<`)`:n+B −
光栅级次分析器[用例]
z:#]P0 •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
?lsK?>uU •通过参数优化找到最终设计
IHO*%3mA/ B~KxUp VirtualLab Fusion技术
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B&a{,.m&q6 ``WTg4C(Y 文件信息
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