摘要
"
t7M3i_ ]79:yMD~ba 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Fd#m<" #/I[Jqf 建模任务
xia |+ ds&e|VSH;
'3<fsK= 光栅特性与参数的严格分析
Pv<24:ao 3"G>>nC& 不同光栅周期下的衍射效率
de>v (s{RnD
LrATSq@ S-YM%8A[ 关于光栅周期选择的考虑
XK: 9r{r{ HO[wTB|D]
C-Ht(x | ^|TG$`M(w 偏振相关的衍射特性
SF5@Vg T}4/0yR2
c wOJy> JqMDqPIQ
ak:ibV 9Ffp2NW`;
Dgx8\~(E' 5ux`U{`m 通过参数优化进行光栅设计
>5j<4ShW lRveHB&V 固定周期的2D参数优化
ONCnVjZ *FmTy|
P(;?kg}0 2D参数优化–设计1
WyZL9K{? ZvUCI8
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Y 2D参数优化–设计2
QjC22lW- bO&7-Z~:=
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V|ij JMVNmq&0 制造
公差分析–设计2
MSV2ip3 QMsHC%l3b
l27\diKPJ 1]}#)- 变化光栅周期的3D参数优化
TO-nD> %%Qo2^-
;r6jx"i rvyrxw%[ 制造公差分析
[|lB5gi4t! JICawj:I
~`D|IWMDq +z9gbcx 走进VirtualLab Fusion
vBsP+K %J8|zKT5t
<&!v1yR jr)7kP@ VirtualLab Fusion中的工作流程
r)T:7zy <HRBMSR+
<BW[1h1k5_ 9m-)Xdoy •构造光栅
结构 (708H_ −
通过使用界面来配置光栅结构 JMCW} bA [用例]
0Hs|*:Y1D •分析光栅衍射效率
6O@J7P −
光栅级次分析器[用例]
(oJ9k[( •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
-!)xQvagD. •通过参数优化找到最终设计
:0/q5_t .^bft P\ VirtualLab Fusion技术
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