摘要
G;YrF)\ 7Hs%Cc" 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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rda# h^ 建模任务
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+llR204 光栅特性与参数的严格分析
#"B\UN d QqK^# 不同光栅周期下的衍射效率
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9E6_]8rl o,)?!{k} 关于光栅周期选择的考虑
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ajEjZ6 n^g|Ja 偏振相关的衍射特性
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<P=twT;P hbY5l}\5 通过参数优化进行光栅设计
oaIi2=Tf ()6wvu} 固定周期的2D参数优化
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yjF1}SQ 2D参数优化–设计1
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}EM 2D参数优化–设计2
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$}!p+$ =\H!GT 制造
公差分析–设计2
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,X`)ct ;)D];u|_ 变化光栅周期的3D参数优化
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3$ ^\4h<M 制造公差分析
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.y!<t} 1;Ou7T9w 走进VirtualLab Fusion
XAF+0 x! &L'Dqew,*
zh8nc%X{ Y 0d<~* VirtualLab Fusion中的工作流程
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S[PE$tYT#t Rh_np •构造光栅
结构 L ~lxXTG\ −
通过使用界面来配置光栅结构 t*Sa@$p [用例]
X= 5xh •分析光栅衍射效率
(k5We!4[1 −
光栅级次分析器[用例]
L^@'q6*} •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
F \KjEl0 •通过参数优化找到最终设计
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Cs?e c;Pe/ d VirtualLab Fusion技术
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