摘要
DUf=\p6`f 6'W79 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
FH}n]T RC Fb&,51
N'R^S98x DG8]FhD^b 建模任务
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a$Eqe_ 光栅特性与参数的严格分析
xdp!'1n."g 8'J>@ uW 不同光栅周期下的衍射效率
<4}zl'. k: PO"<-U
X>OO4SV AbUPJF"F 关于光栅周期选择的考虑
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{'Nvs_{6 # 'G/&&< 偏振相关的衍射特性
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dluNA(Xc- "L.)ML
;RZ@t6^ ;k^wn)JE$ 通过参数优化进行光栅设计
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@Y OQaM4 7" 固定周期的2D参数优化
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dgpo4'c} 2D参数优化–设计1
Yo@>O98 rklr^ e
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) X;flA*6V 2D参数优化–设计2
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84)$ CA+NX r&)/3^S ' 制造
公差分析–设计2
\c>9f"jS_ )v;>6(
EHkb{Q8 7^'TU=ss_ 变化光栅周期的3D参数优化
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"C.'_H!Ex m9Gyjr'L 制造公差分析
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6 走进VirtualLab Fusion
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LSlaz LP_d}ve VirtualLab Fusion中的工作流程
6=A2Y:8 :Gqyj_|<
lG>rf*ei~ QR2J;Oj_ •构造光栅
结构 ['R2$z −
通过使用界面来配置光栅结构 ~6.AE/ow [用例]
h'^7xDw •分析光栅衍射效率
pA3j@w −
光栅级次分析器[用例]
f}^}d"&F •使用参数运行搜索初始解决方案
N~l(ng9'U −
参数运行文档的使用[用例]
uzG<(Q pu •通过参数优化找到最终设计
]0by6hQ WRZi^B8@ VirtualLab Fusion技术
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