摘要
)A@i2I B
66-l!xa 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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1<Z~Gw4 i9QL}d 建模任务
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u_;&+o2 光栅特性与参数的严格分析
S)$)AN<O ._ 6|epJ# 不同光栅周期下的衍射效率
,KfBG<3 L~WC9xguDl
|#87|XIJ&~ ls^|j%$J 关于光栅周期选择的考虑
82EH'C H{XD>q.
/C'dW `egyk)"aM 偏振相关的衍射特性
~h:/9q B{In
"R8
J:N4F.o&K R*DQm
/5PV|onO ]0g$3
i uNBw] zFR=inI 通过参数优化进行光栅设计
r"%uP[H cAL*Md8+ 固定周期的2D参数优化
y[pU8QSt A.5N<$l
]]InD N 2D参数优化–设计1
Q#,j,h #fuc`X3:HL
>h[ {_+ F+lsza 2D参数优化–设计2
'QMvj` - miq"3
_:ORu Vk DKvNQ:fI>9 制造
公差分析–设计2
~&UfnO f`[gRcZ-
x}c%8dO#J @S-p[u 变化光栅周期的3D参数优化
-kv'C6gB &ND8^lR=Y;
hPM:=@N$ =LUDg7P 制造公差分析
dV:vM9+x DaK2P;WP
DNh{J^S"}w #wvmVB. 5~ 走进VirtualLab Fusion
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#U=}Pv~wM _F"o0K!u VirtualLab Fusion中的工作流程
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Ige
2&k5X-Y fG^#G/n2 •构造光栅
结构 -%h0`hOG{ −
通过使用界面来配置光栅结构 %"1*,g{ [用例]
=>_k ;x •分析光栅衍射效率
RjOQSy3 −
光栅级次分析器[用例]
1l~(J:DT •使用参数运行搜索初始解决方案
c'678!r9 P −
参数运行文档的使用[用例]
.ZB/!WiF •通过参数优化找到最终设计
tR;? o,T 0D\b;ju< VirtualLab Fusion技术
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