摘要
eg
Zb)pP QFX )Nov]; 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Y5?OJO{h" }0z]sYI 建模任务
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k@/s-^ry3 光栅特性与参数的严格分析
q}0xQjpo j$jgEtPK9= 不同光栅周期下的衍射效率
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# 8fq6z|JZ WXX)_L$2 关于光栅周期选择的考虑
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"0]s|ys6< =#|K-X0d= 偏振相关的衍射特性
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T.x"a$AU (n0h#%
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6
r}R%{ 0; BX 通过参数优化进行光栅设计
*Y/}EX!F \1R<GBC4 固定周期的2D参数优化
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k;c>=B)e 2D参数优化–设计1
HyKv5S$ wseb]=U
a15kFun QssU\@/Q 2D参数优化–设计2
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h}knn3"S (+lCh7. 制造
公差分析–设计2
LOX} 3;Ztm$8
C^8n;i9 vS'l@`Eg] 变化光栅周期的3D参数优化
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Z 制造公差分析
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5nSi29C q9iHJ'lMD* 走进VirtualLab Fusion
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-}$mv V~!lY\ VirtualLab Fusion中的工作流程
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ngI3.v/R +\/1V` •构造光栅
结构 yHNx,ra −
通过使用界面来配置光栅结构 vn5O8sD [用例]
SL ) ope •分析光栅衍射效率
aRE%(-5 −
光栅级次分析器[用例]
h5^qo ^;g7 •使用参数运行搜索初始解决方案
8LH\a.> −
参数运行文档的使用[用例]
Cyu= c1D ; •通过参数优化找到最终设计
R?L?6~/q fs,]%g^ VirtualLab Fusion技术
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Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers hy|Yy&- -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block vp|'Yy(9z -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings >O$JS, 3]wV 1<K (来源:讯技光电)