摘要
McjS)4j&. `=79i$,,t
当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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u4YM^* S. k oM]S+1 建模任务
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:BZMnCfA 光栅特性与参数的严格分析
\c{R <Hh xf/m!b"p 不同光栅周期下的衍射效率
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)1f+ld%R d$K=c1 关于光栅周期选择的考虑
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f&ytK "9@,l! 偏振相关的衍射特性
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ah 通过参数优化进行光栅设计
d&jjWlHgEN F$Q04Qw 固定周期的2D参数优化
Jx$iwu < Dd%
KiAcA]0 2D参数优化–设计1
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]hF 2n|CD|V$ux
=&7@<vBpy 6tn+m54_ 2D参数优化–设计2
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bX 制造
公差分析–设计2
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aMTFW_w C>X|VP|C 变化光栅周期的3D参数优化
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n{& 制造公差分析
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MBw-*K'?zB {38\vX,I(w 走进VirtualLab Fusion
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n ~,tQV $`ztiVu3 VirtualLab Fusion中的工作流程
dE5D3ze zO~9zlik
K
|*5Kwi CQ^3v09N;~ •构造光栅
结构 9+qOP>m −
通过使用界面来配置光栅结构 CO^Jz [用例]
3`F) AWzdr •分析光栅衍射效率
mfom=-q3k −
光栅级次分析器[用例]
:%X Ls, •使用参数运行搜索初始解决方案
n~g LPHY −
参数运行文档的使用[用例]
s8<gK.atl •通过参数优化找到最终设计
2.lgT|p '6-$Xq0^E VirtualLab Fusion技术
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