摘要
xzGsfd iw]BQjK 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
{$QF*j IG3K Pmu
nD?M;XN &0<R:K ?>N 建模任务
w\8rh\Mvh ZZ.0'
c402pj
光栅特性与参数的严格分析
+/_B/[e<> /o06h y 不同光栅周期下的衍射效率
^$s~qQQ}B ~PS2[5yo
%H 6ZfEO IkXKt8`YVA 关于光栅周期选择的考虑
.1? i'8TF aBtfZDCfzp
YvP"W/5 <T2~xn 偏振相关的衍射特性
R;-FZ@u/ m=y,_Pz>U
Er+3S@sfq, ThqfZl=V
6Bq2?;5 #/sE{jm
/dvnQW4}8 G|Yp<W%o 通过参数优化进行光栅设计
kFZu/HRI !m O] zn 固定周期的2D参数优化
Q{|'g5(O p 2f
WL
eq 1 4 2D参数优化–设计1
DBh/V#* D d~f0]O
QO`Sn N} mM^8YL 2D参数优化–设计2
\w\47/k{ qxCL
JP% ;rAoJ 3/|{>7]1 制造
公差分析–设计2
8{=(#] J<:D~@qq
28qWC~/9 exMPw;8 变化光栅周期的3D参数优化
>U
Ich j
tkPi)QR
FZ.Yn n_NG~/x 制造公差分析
?;7>`F6ld cw-JGqLx
\c^jaK5 $A0]v!P~i- 走进VirtualLab Fusion
|q b92|? k)t8J \
FHPZQC8 *E q7r>[ VirtualLab Fusion中的工作流程
;? QAPTz 8i$`oMv[y
b0CaoSWo [B;Ek\ 5W •构造光栅
结构 I8wVvs;k −
通过使用界面来配置光栅结构 &XTd[_VW! [用例]
n{NgtH\V •分析光栅衍射效率
)s[S.`STz −
光栅级次分析器[用例]
K]Cs2IpI •使用参数运行搜索初始解决方案
qBrZg −
参数运行文档的使用[用例]
[*E.G~IS` •通过参数优化找到最终设计
+uXnFf d^ .Eyk?"^ VirtualLab Fusion技术
gG> ^h1_o~ -.3k
vL
g5N<B+?!i /'^>-!8_1 文件信息
Y-k~ 7{7 f;dU72]q+ gx
R|S
d(tf: @ WC; a 更多阅览
zC;lfy{f= -
Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers jJC((1| -
Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block #mxfU>vQ: -
Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings D??/=`|8 5!fW&OiY (来源:讯技光电)