摘要
L~FE;*>7 +2ih!$T;7> 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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8Cr?0Z 建模任务
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qlg~W/ 光栅特性与参数的严格分析
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Zt 9 不同光栅周期下的衍射效率
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$V8B =k~ W$Bx?}x($ 关于光栅周期选择的考虑
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<ZNa` EF{_-FXY 偏振相关的衍射特性
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hGF(E* kc8T@5+I0 通过参数优化进行光栅设计
XI,F^K &w3LMOT 固定周期的2D参数优化
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)x"Z$ jIs 2D参数优化–设计1
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y\@;s?QL N_r*Ig 2D参数优化–设计2
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Pwz^{*u] h{ce+~X 制造
公差分析–设计2
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Q;5'I3w Y@u{73H 变化光栅周期的3D参数优化
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V|HSIJ#J
v-[|7Pg}Z 制造公差分析
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jO:<"l^+u 8N-~ .p 走进VirtualLab Fusion
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f;}<O VirtualLab Fusion中的工作流程
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ohf)) ^Z:x poz, •构造光栅
结构 a9jY^E'|n −
通过使用界面来配置光栅结构 rzaEVXbz1 [用例]
~P6K)V|@< •分析光栅衍射效率
!b _<_Y{l −
光栅级次分析器[用例]
9f l !CG •使用参数运行搜索初始解决方案
~T4=Id −
参数运行文档的使用[用例]
!8=uBS% •通过参数优化找到最终设计
e$>5GM <JH0 & VirtualLab Fusion技术
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