摘要
j9g0k<eg r=cm(AHF 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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go!jx6~;x EHF
dQ0gIa 建模任务
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i0g/'ZP 光栅特性与参数的严格分析
O3En+m~3n) o!Y61S( 不同光栅周期下的衍射效率
i@o'Fc kj]m@mS[
B{2WvPX~q bS&XlgnKi 关于光栅周期选择的考虑
#V U>Z|$@N J}Ji /
n^2'O:Vs #'fQx`LV 偏振相关的衍射特性
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w@i;<LY. /?B%,$~
9|x{z R&@NFin
wCw_aXqq }:1*@7eR 通过参数优化进行光栅设计
HbMD5( DP08$Iq 固定周期的2D参数优化
yGE)EBH uXm}THI
B]wfDUG 2D参数优化–设计1
&.chqP(| U`kO<ztk
^wW{7Uq> =(Pk7{ 2D参数优化–设计2
p.RSH$] V\P
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IiZXIG4H 制造
公差分析–设计2
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l*]nvd_ t`G<}t 变化光栅周期的3D参数优化
EE,C@d!*k7 6T-iBJT
)Kg_E6 y;ymyy& 制造公差分析
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6bd{3@ YE[{Y(5;q 走进VirtualLab Fusion
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7f\/cS^ )O$T; U VirtualLab Fusion中的工作流程
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dEK bB G^A }T3 •构造光栅
结构 H':0 −
通过使用界面来配置光栅结构 1)!?,O\ey [用例]
!DZ4C. •分析光栅衍射效率
:8l#jU`y −
光栅级次分析器[用例]
nAk;a|Q •使用参数运行搜索初始解决方案
mJa8;X!r6 −
参数运行文档的使用[用例]
U~_G *0 •通过参数优化找到最终设计
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`n VirtualLab Fusion技术
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