摘要
>zS<1 .4cVX|T 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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M]
oc>N| ww: Z.%0yS_T 建模任务
KW@][*\uC C}=9m
A
NY3/mS3w 光栅特性与参数的严格分析
VprrklZ khb/"VYd 不同光栅周期下的衍射效率
=K;M\_k%y qa>H@`P
eJy}W / 3EA+tG4KnO 关于光栅周期选择的考虑
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A|`mIma# T( z/Jm3 偏振相关的衍射特性
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~vscATQ 3Hi[Y[O`%P
(7A- cC DmiZ"A
H$k2S5,,z l_i&8*=Px 通过参数优化进行光栅设计
*cy!PF& Ve[[J"ze 固定周期的2D参数优化
I\~sE Jwj pC/13|I
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C 2D参数优化–设计1
pn p)- a*7 h#}'9oA
/2x@Z> ]T; 2D参数优化–设计2
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h'"~t#r 0gsRBy 制造
公差分析–设计2
f taa~h* /wPW2<|"X.
P{2j31u` ,FK.8c 6g 变化光栅周期的3D参数优化
Y(;u)uN_ 6$&%z Eh
Zq{TY)PI] $QnsP#ePN 制造公差分析
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( 走进VirtualLab Fusion
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W=I~GhM /kV5~i<1S VirtualLab Fusion中的工作流程
z,g\7F[ 4"s/T0C
Huc|HL#C |w.h97fj •构造光栅
结构 |4!G@-2V:I −
通过使用界面来配置光栅结构 N6BEl55 & [用例]
c!a1@G •分析光栅衍射效率
>">grDX −
光栅级次分析器[用例]
eQJyO9$G •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
&F.L*M •通过参数优化找到最终设计
o('6,D gR${S|Z#u4 VirtualLab Fusion技术
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