摘要
F5%-6@= )%C482GO- 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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5JI+42S
\ C9Fc(Y?_ 建模任务
N7Z&_$Bx qo.~5
L]#J?lE& 光栅特性与参数的严格分析
T~%5^+[h ?4q6>ipx 不同光栅周期下的衍射效率
/w!b2KwV ")HTUlcAe}
oCSf$g8q XFmnZpqXH 关于光栅周期选择的考虑
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]&VD$Z984r N{P (ym2yR 偏振相关的衍射特性
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>Z|4/PF "SyyOD
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VQ<Z`5eV "C=HBJdYB5 通过参数优化进行光栅设计
/D 8cJgH- "6pjkEt4 固定周期的2D参数优化
jRB:o?S o LX6w
&)fPz-s 2D参数优化–设计1
uzZ|w+3O )J (ekfM
)R,* pq-zy6^ 2D参数优化–设计2
s&y m98k/w_
m^T$H_*; v_5DeaMF' 制造
公差分析–设计2
$z@e19g T 9z_Gf]J~
G!OD7: q97Dn[>3 变化光栅周期的3D参数优化
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[b;Oalw ~z|/t^ 制造公差分析
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"VcGr#zW 4)'5;|pI 走进VirtualLab Fusion
uaJ5'* ,fET.s^|U
"t"dz' }(M<sEK~ VirtualLab Fusion中的工作流程
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J %iD>^ Dp
&% M^:WT mL6/NSSz •构造光栅
结构 <hy>NM@$ −
通过使用界面来配置光栅结构 ~01rc [用例]
,~G _3Oz •分析光栅衍射效率
fRrHWE+ −
光栅级次分析器[用例]
S8"X7\d{ •使用参数运行搜索初始解决方案
i,4JS,82I −
参数运行文档的使用[用例]
Vaq=f/ •通过参数优化找到最终设计
_FdWV? Z[({; WtF VirtualLab Fusion技术
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