摘要
3]}RjOTU ~bzac2Rp 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
Fo;J3<U) Jo;&~/V
S^D@8<6GJ $g VbeQ 建模任务
F3o"ETle 6~{'\Z
6q`)%"4k 光栅特性与参数的严格分析
ui`EODhA( &'Nzw2 不同光栅周期下的衍射效率
6M_ W( |}YxxeAk
F+BCzsm7$ (5:pHX`P 关于光栅周期选择的考虑
Ke:EL;*8k =\ 5f_g2M
:?ZrD,D ]^wr+9zd 偏振相关的衍射特性
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[x=(:soEqC n?D/bX p
#M#$2Vt Tu}EAr
a\,V>}e Q;q{1M > 通过参数优化进行光栅设计
/d"@$+ Ie _{P&J 固定周期的2D参数优化
p0CPeH '+iLW~
%8Y+Df;ax 2D参数优化–设计1
1!U:M8T| Xnh&Kyz`v
Y1ca=ewFx -j rAk 2D参数优化–设计2
GCw4sb4~w ;iJxJX\+
%yfl-c(u K/}x'*= 制造
公差分析–设计2
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&5. q;sZwp<
3'A0{(b H{9P=l 变化光栅周期的3D参数优化
]8$H 'u(C {0/2Hw n
;0?OBUDO Ml?KnSb 制造公差分析
;+o6"ky5 D Vg$rm`
4eSFpy1 $II~tO 走进VirtualLab Fusion
c(5XT[Tw yQ<h>J>
F)imeu vE#8&Zq VirtualLab Fusion中的工作流程
rHOhi|+ fsnZHL}=n
SG0PQ kou7_4oS •构造光栅
结构 -lv(@7o~ −
通过使用界面来配置光栅结构 ~mK+Q%G5 [用例]
i tk/1 •分析光栅衍射效率
L=HnVgBs −
光栅级次分析器[用例]
q*a~9.i@ •使用参数运行搜索初始解决方案
bNm]h. −
参数运行文档的使用[用例]
mtE+}b@(!& •通过参数优化找到最终设计
BE~-0g$W @}{uibLD\ VirtualLab Fusion技术
iG~&uEAJ #QSSpsF@
Q^@7Yg@l JxLfDr,dy 文件信息
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings cg9}T[A Z6Kp-z(l3 (来源:讯技光电)