摘要
xf?"Q# o=-Af|#b 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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W.59Al' 2Sk hBb=d 建模任务
vs>Pd |p; s`pdy$
r?|(t? 光栅特性与参数的严格分析
N!Xn)J F$'po# 不同光栅周期下的衍射效率
l3y}nh+ 8 >|0I\{C
_Ea1;dJmq G
*<g%" 关于光栅周期选择的考虑
HdyE`FY \ lk`|u$KPz
bN|1%[7 }S4+1
U3 偏振相关的衍射特性
dA<SVk*0Q (,|eE)+
F&C< = l\X '+GY6Ecg
c[;A$P=
8. 7V5kYYR^F
'e6J&X S_^;#=_c 通过参数优化进行光栅设计
6B Hdc 5k?xBk=< 固定周期的2D参数优化
GnCs_[*&r lanU)+U.
\w&R`;b8w 2D参数优化–设计1
z@~mu %$bhg&}
f(\S+4 'H"!%y{:i 2D参数优化–设计2
)TBm?VMe Fu% n8
?kRx;S+ yTNHM_P 制造
公差分析–设计2
wod(P73? LMN`<R(q]
b8[
ayy Pa=xc>m^ 变化光栅周期的3D参数优化
N/1xc1$SB /(9.Fqe(
C0khG9,BL {DE4PE` 制造公差分析
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走进VirtualLab Fusion
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Ef3="}AI; P,7R/-u 5D VirtualLab Fusion中的工作流程
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uTdz$Nh -zZb]8\E •构造光栅
结构 .&Sjazk0XO −
通过使用界面来配置光栅结构 #miG"2ea.. [用例]
\Hq=_}]F •分析光栅衍射效率
vrh2}biCR −
光栅级次分析器[用例]
~wcp&D •使用参数运行搜索初始解决方案
kX*.BZI}C −
参数运行文档的使用[用例]
)EcfEym.> •通过参数优化找到最终设计
_s:5) ];eJ'# VirtualLab Fusion技术
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Cd_H<8__ [(vV45(E 文件信息
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