摘要
n{*A<-vL NflwmMJ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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>;s!X(6b
zg}#X6\G<_ u.yjk/jF 建模任务
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E 光栅特性与参数的严格分析
]broU%#" ^1w<wB\B 不同光栅周期下的衍射效率
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HrK7qLw7 16-1&WuY@ 关于光栅周期选择的考虑
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4R}$P1 E &iTTal.6 偏振相关的衍射特性
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|-Q="7b% w678
W.sH b O9PpOk+z
WQ1K8B4 ],|; 通过参数优化进行光栅设计
Sp-M:,H3H |Duf
3u 固定周期的2D参数优化
~P,@">} .22}=z
70F(`; 2D参数优化–设计1
Iy;bzHXs dTVh{~/
gg?O0W{ u`gY/]y! 2D参数优化–设计2
z{(c-7* $wm8N.I3I
QD*\zB g0M/Sv 制造
公差分析–设计2
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g{e@I;F 2PViY,V| 变化光栅周期的3D参数优化
+5N09$f;R 9xRor<
\Lz4ZZjSY |IZFWZd 制造公差分析
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!{S HlS ia*Bcx_RW+ 走进VirtualLab Fusion
K*aGz8N nC@UK{tVa
' p!\[*e `{+aJ0<S VirtualLab Fusion中的工作流程
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PS/00F/Ak PbIir= •构造光栅
结构 +8 }p-<a −
通过使用界面来配置光栅结构 9t"/@CH{ [用例]
*3h!&.zm •分析光栅衍射效率
s}Q*zy −
光栅级次分析器[用例]
]-8yZWal •使用参数运行搜索初始解决方案
r!)jxIL\ −
参数运行文档的使用[用例]
q/dja •通过参数优化找到最终设计
G0Wv=tX| KFf6um VirtualLab Fusion技术
A08{]E#v> q/3 )yG6s
8]A`WDO3 WXX08" 文件信息
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