摘要
L3pNna v*U OD'tk 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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XOsuRI? 5LM Ay" 建模任务
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b8@?fC+tm 光栅特性与参数的严格分析
EIug)S~ ,%6!8vX 不同光栅周期下的衍射效率
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]O]6O%.ao L.X"wIs^ 关于光栅周期选择的考虑
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>>%m,F[ RA^6c![ 偏振相关的衍射特性
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I' [gGK4F D6N32q@ 通过参数优化进行光栅设计
>W>3w x<d2/[(}mT 固定周期的2D参数优化
W<Ri(g- %^pm~ck!
mM(Z8PA9- 2D参数优化–设计1
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CT{mzC8 -RI&uFqOI 2D参数优化–设计2
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dj-/%MU LiyR,e 制造
公差分析–设计2
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B}fd#dr kltorlH 变化光栅周期的3D参数优化
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F rd>+ =j^>sg] 制造公差分析
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Rt.2]eZEJ 0JE*| CtK VirtualLab Fusion中的工作流程
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yu( •构造光栅
结构 QCJf −
通过使用界面来配置光栅结构 "M}3T?0 O [用例]
Yij_'0vZ •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
L'HO"EZFj •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
yk0^m/=C( •通过参数优化找到最终设计
o*5b]XWw `3^%ft~l VirtualLab Fusion技术
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