摘要
eHUg-\dy M'DWu|dIBA 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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Z^*NnL.' ]rnXNn; 建模任务
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nS.2C>A 光栅特性与参数的严格分析
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0a 'PpZ/ry$ 不同光栅周期下的衍射效率
N 'i,> '#W_boN
wd wp9 r MxTmWsaW 关于光栅周期选择的考虑
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(N0sE"_~I5 f TO+ZTRqf 偏振相关的衍射特性
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#9\THfb Oc~aW3*A(
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UOt8Q0)} B?3juyB`-- 通过参数优化进行光栅设计
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lrU I+",b4 固定周期的2D参数优化
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LG&5VxT=,< 2D参数优化–设计1
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+/y]h0aa DsGI/c 2D参数优化–设计2
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Ly>OLI0x_ |dk[cX> 制造
公差分析–设计2
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(
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I)-d/ k. GA8=]> 变化光栅周期的3D参数优化
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wa ky<w, <lj\#'G3 制造公差分析
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vv+J0f^ 'N6 S}w7 走进VirtualLab Fusion
Q7GY3X*kA z"UPyW1?
B+"g2Y HnU Et/ VirtualLab Fusion中的工作流程
e&1\'Zq?> AVFjBybu9
!h: Q jg_n 7 •构造光栅
结构 C-w5KW −
通过使用界面来配置光栅结构 NY!jwb@% [用例]
nIBFk?)6 •分析光栅衍射效率
9 Cvn6{ −
光栅级次分析器[用例]
g_z/{1$ •使用参数运行搜索初始解决方案
;`UecLb# −
参数运行文档的使用[用例]
Fo}7hab •通过参数优化找到最终设计
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#~;&D*q VirtualLab Fusion技术
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