摘要
e d=pRb N FVr$?P 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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P
-O& X ?$ft3p} 建模任务
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vxey$Ir 光栅特性与参数的严格分析
MHuQGc"e+4 a5)<roWQ 不同光栅周期下的衍射效率
B8f BX!u/ MRI`h.
'=M4(h S
.KZ) 关于光栅周期选择的考虑
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w$D&LA}(M _SW_I{fjr 偏振相关的衍射特性
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Q#c\ L"_l(<g
( <Abw{BTm o_(@v2G` 通过参数优化进行光栅设计
c2tf7fkH 9{A[n} 固定周期的2D参数优化
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l{2Y[&% 2D参数优化–设计1
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7,.3'cCL^ "-WEUz 2D参数优化–设计2
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mmJ$+$JEk 1-h"1UN2E 制造
公差分析–设计2
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Xf"B\%,(` +s`HTf 变化光栅周期的3D参数优化
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h&k*i ;RElG>#$ 制造公差分析
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6AA"JX [s}nv] 走进VirtualLab Fusion
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'a^'f]" 8+?|4'\` VirtualLab Fusion中的工作流程
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G2,9$8qE BJL*Dihm[ •构造光栅
结构 ZQVr]/W^r −
通过使用界面来配置光栅结构 -(Z%?]+ [用例]
t=6[FK •分析光栅衍射效率
RyN}Gz/YN −
光栅级次分析器[用例]
-Y{=bZS u •使用参数运行搜索初始解决方案
$#HPwmd −
参数运行文档的使用[用例]
&|LP>'H; •通过参数优化找到最终设计
T\
cJn>kCn ZDhl$m[m VirtualLab Fusion技术
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