摘要
lokKjs 6bN8}\5 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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K[yP{01 AQwai>eL 建模任务
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:!Nx'F9a 光栅特性与参数的严格分析
{gh<SZsE 9yz@hdG 不同光栅周期下的衍射效率
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@}N6U~* 8([ MR
}N&?8s= Z/czAr@4 关于光栅周期选择的考虑
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Y#QXvo% mLx=Zes:. 偏振相关的衍射特性
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\SoT^PW 通过参数优化进行光栅设计
@lWYc`>} _PcF/Gyk 固定周期的2D参数优化
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y)"rh /; 2D参数优化–设计1
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)|_L?q#w!' #m17cDL 2D参数优化–设计2
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Ii&p v G<*
Iw>ep 制造
公差分析–设计2
,,!P-kK$ xZ6x`BET-
~sZ$`t wqi0%Cu* 变化光栅周期的3D参数优化
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jZC[_p; fs?H 制造公差分析
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N:+)6a \Z,{De% 走进VirtualLab Fusion
t0GJ$]) C BoCT3@~
MB7*AA; z:$ibk4#h VirtualLab Fusion中的工作流程
m"'}{3$% N.H<'Q8&
{z\K!=X/ _m[DieR •构造光栅
结构 Wa7wV
9 −
通过使用界面来配置光栅结构 T2/:C7zL [用例]
#UhH •分析光栅衍射效率
r@m]#4 −
光栅级次分析器[用例]
iPCCTs •使用参数运行搜索初始解决方案
l?
U!rFRq` −
参数运行文档的使用[用例]
ca,W:9#.xn •通过参数优化找到最终设计
1.+6x4%rV /Q3\6DCl VirtualLab Fusion技术
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