摘要
F~Li.qF )0Lq>6j9 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
C/bttd (X9V-4 r~TT c)2 "OPUGwf 建模任务
sHF vzE% !2Orklzd1 kpdFb7>| 光栅特性与参数的严格分析
{G}HZv%S U S|[UEU3FpB 不同光栅周期下的衍射效率
J-}NFWR;t
W6~=?C @K9T )p] 7'|PHQ? S 关于光栅周期选择的考虑
#RF=a7&F =(ZGaZ} 3\{Sf /# &Yg/08* 偏振相关的衍射特性
.H"hRYPC? :3B\,inJ H[D/Sz5` asg>TOW _#C}hwOR>X Al|7Y/ #*!$!c{ ! Cl/=0$[L 通过参数优化进行光栅设计
V%ch' 5)UmA8"zVB 固定周期的2D参数优化
}>0
Kc= c
#kV+n< i7rq;t< 2D参数优化–设计1
{Fi@|' X2cR+Ha0 g1~I*!p o!~bR
2D参数优化–设计2
vNC0M:p, /<0D
E22 ;X(n3F Q(UGwd1 制造
公差分析–设计2
{0 ~0 C t)MvZ N^+ww]f? E0Q"qEvU 变化光栅周期的3D参数优化
YJ$ewK4E#. @@wx~|% _sVs6AJ opMUt,4 制造公差分析
s3{s.55{m U[b;#Y1X }&DB5M
#-T.@a1X 走进VirtualLab Fusion
?Z>.G{Wm@ au|^V^m 4Umsc>yfK J\3} il
N VirtualLab Fusion中的工作流程
/\rq$W_ /y)"j#-eW Y/H^*1 vo(NB
!x$ •构造光栅
结构 8/"|VE DOr −
通过使用界面来配置光栅结构 wy{>gvqK [用例]
~lqGnNhh7 •分析光栅衍射效率
:(>9u.>l?5 −
光栅级次分析器[用例]
B#"|5 •使用参数运行搜索初始解决方案
iIaT1i4t. −
参数运行文档的使用[用例]
Rt^<xXX$ •通过参数优化找到最终设计
( 'n8=J #}dVaXY) VirtualLab Fusion技术
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