摘要
ZP-dW|<[x Zb."*zL 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
80|onP\L _lXt8}:+
!x7o|l|cP !n eo\ 建模任务
|=O1Hn JT04vm4
RwW$O@0 光栅特性与参数的严格分析
GzdRG^vN wFvT0 不同光栅周期下的衍射效率
fp{G|.SA *<IR9.~{6%
@TysXx )|pU.K9qZ 关于光栅周期选择的考虑
{(}yG_Q]! C`NmZwL
qEQAn/& )7dEi+v52 偏振相关的衍射特性
?eV_ACpZ8 +%XnMl
K\(6rS}N o&z!6"S<
d`Oe_< !MoOKW
hU"F;4p (9]6bd 通过参数优化进行光栅设计
*g_w I%l hsz^rZ 固定周期的2D参数优化
<B) 89Z#|#uM5
|gv{z" 2D参数优化–设计1
DtI$9`~ u]E.iXp
pDn&V( rP'AJDuq 2D参数优化–设计2
V&*D~Jq zsVcXBz
>3PMnI @7W?8 制造
公差分析–设计2
`\N]wlB2/b mj2Pk,,SA
51 4Z<omrK q@l(Qol 变化光栅周期的3D参数优化
CxDcY (.?ZKL
_Yq@ FOu ORBxD"J& 制造公差分析
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Fp%Ln(/m aQUGNa0+d 走进VirtualLab Fusion
6G of.:"f W`M6J}oG
kRlA4h1u_$ ',)7GY/n~ VirtualLab Fusion中的工作流程
(0L=AxH UpfZi9v?W
bL`eiol6 `PlOwj@u0` •构造光栅
结构 1e}8LH7 −
通过使用界面来配置光栅结构 |^( M{ [用例]
e |V] •分析光栅衍射效率
C6jR=@42Q −
光栅级次分析器[用例]
;>>C)c4V " •使用参数运行搜索初始解决方案
e2w&&B- −
参数运行文档的使用[用例]
D4Etl5k •通过参数优化找到最终设计
g"K>5Cb KX4],B5 + VirtualLab Fusion技术
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