摘要
mceSUKI;L Gi<f/xQk> 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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qL'3MY.! 0I#<-9&d- 建模任务
PN.6BJvu 3zl!x
61mQJHl. 光栅特性与参数的严格分析
w}YHCh x _2]G' 不同光栅周期下的衍射效率
M}nalr+# 5vpf;
{^\-%3$ bTiw?i+6Dv 关于光栅周期选择的考虑
B"qG-ci {'b8;x8h
SHGO; K[ \z'9Q 偏振相关的衍射特性
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{[s<\<~B* ScTqnY$v
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4/h2_
;T_9;RU<'b 通过参数优化进行光栅设计
!e7vc[N y&CUT:M6 固定周期的2D参数优化
MO D4O4z& i]YQq! B
gSGe] 2D参数优化–设计1
D~y]d 2Z97Tq
tS9m8(Hr%Q $`oA$E3 2D参数优化–设计2
srSTQ\l4 1]<!Xuk^f
B.WJ6.DkS {c1qC zM4 制造
公差分析–设计2
+/X'QB$R 5{5ABV
Yn#8uaU H|!s. 变化光栅周期的3D参数优化
F9<OKcXH wiGwN
Stc\P]%d 4tC_W!?$t 制造公差分析
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9s!/y iP5 H|Nw)*. 走进VirtualLab Fusion
IN"vi|1 Jt)~h,68
t#q>U%! <oO,CXF VirtualLab Fusion中的工作流程
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j{^(TE
d"78:+ HDEG/k/~m •构造光栅
结构 9,W-KM −
通过使用界面来配置光栅结构 42u\Y_^ID [用例]
KRtu@;? •分析光栅衍射效率
J4vKfxEg −
光栅级次分析器[用例]
c|R/,/ •使用参数运行搜索初始解决方案
M BT-L −
参数运行文档的使用[用例]
*p3P\ H^5 •通过参数优化找到最终设计
d0B+syl&4l E8i:ER $$7 VirtualLab Fusion技术
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