摘要
Yevd h< }vP(SF6 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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<M5fk?n,| ,qB@agjvo< 建模任务
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ql5&&e=- 光栅特性与参数的严格分析
>*B59+1P *e:I*L 不同光栅周期下的衍射效率
(u@X5O(a Y0Tw:1a
_ A{F2M z^9rM" 关于光栅周期选择的考虑
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~]v'|5[ D\J.6W 偏振相关的衍射特性
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1x##b[LC 4kV$JV.l 通过参数优化进行光栅设计
Ue`Y>T7+! kbH@h2Ww 固定周期的2D参数优化
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;5T}@4m|r 2D参数优化–设计1
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6N Ogi s6}SdmE 2D参数优化–设计2
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|{,c2Ck:N b
o_`P3 制造
公差分析–设计2
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eqOT@~H >s.y1Vg~C 变化光栅周期的3D参数优化
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E 8$S0u;` IQd~`
G 制造公差分析
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pnL[FMc '<e$ c 走进VirtualLab Fusion
Z rgv* N<Ym&$xR
]|K6Z>V {z;K0 VirtualLab Fusion中的工作流程
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?Ycl!0m S
{+Z.P •构造光栅
结构 i;Kax4k −
通过使用界面来配置光栅结构 (KPD`l8. [用例]
=CdrhP_ •分析光栅衍射效率
jlqSw4_ −
光栅级次分析器[用例]
xDS]k]/(T •使用参数运行搜索初始解决方案
,S`FxJcE −
参数运行文档的使用[用例]
xBf->o S? •通过参数优化找到最终设计
g "c7$ n`jG[{3t& VirtualLab Fusion技术
NweGK LZ&I<ID`-
+n%8*F& NMC0y|G 文件信息
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