摘要
+LuGjDn0 v]SHude{ 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
4=!SG4~o (N{Rda*8
e=ZwhRP 5G"LuA 建模任务
S<HR6Xw . J[2\ "W
2[6>h) 光栅特性与参数的严格分析
&D0suK# zO8`xrN! 不同光栅周期下的衍射效率
D1]%2: Z^5j.d{e$
s3@sX_2 `]%\Y>(a} 关于光栅周期选择的考虑
^wN x5t :ZG^`H/X1d
k]?M^jrm A`_(L|~ 偏振相关的衍射特性
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?|!167/O 5y-8_)y8o 通过参数优化进行光栅设计
banie{ e \)Jv4U\; 固定周期的2D参数优化
=5=D)x~ o"J>MAD
Xb +)@Y4h 2D参数优化–设计1
DE"KbA0} nn><
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cfI5KLG~# pgT XyAP{ 2D参数优化–设计2
N'hj 3S='/^l
u=^0n2ez Fq3[/'M^ 制造
公差分析–设计2
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Ch-56
c*MSd 变化光栅周期的3D参数优化
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b(&~f@%| _\yrR.HIa 制造公差分析
Y#'mALC2 lsmzy_gV7
jRIjFn|~{Y :()(P9? 走进VirtualLab Fusion
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)US|&>
o8 u*_I7.}9 VirtualLab Fusion中的工作流程
48,Aq*JFw ~/?JRL=
Ht^MY B@!a@0,,_ •构造光栅
结构 AMqu}G −
通过使用界面来配置光栅结构 tV2SX7N [用例]
L'=e /& •分析光栅衍射效率
YbZ<=ZzO4 −
光栅级次分析器[用例]
tm\ <w H •使用参数运行搜索初始解决方案
xo{f"8}^ −
参数运行文档的使用[用例]
E:BEQ:(~L •通过参数优化找到最终设计
it!i'lG v8g3]MVj3 VirtualLab Fusion技术
qmUq9bV rN#ydw:9
K]dqK' :@g@jcbYq` 文件信息
iqf+rBL 8OC5L1 Re?sopg0r
,-u | l 6suB!XF; 更多阅览
R`=IYnoOA -
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Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings g#FqjE|mx M64zVxsd (来源:讯技光电)