摘要
;VS$xnZ %/w%A:y#& 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
f"R'Q|7D yR1v3D4E
A5go)~x\ +;bP.[Z 建模任务
"P a y2 kK/([!
}~Ir& 光栅特性与参数的严格分析
}6!m Q -lS(W^r4 不同光栅周期下的衍射效率
ZKt`>KZ >E9 k5
Igh=Z % Xx1e SX 关于光栅周期选择的考虑
X+QoO=02LR th%T(D5n
3jjV
bm s9,Z}]Th 偏振相关的衍射特性
{
t@7r B7(bNr
=F09@C, jIck!
MG vp6/Pd v(;n|=O
,c|Ai(U [:8+ +#KD 通过参数优化进行光栅设计
q9(Z9$a(\ DFp">1@`PR 固定周期的2D参数优化
v+C%t!dx RV),E:?
LerRrN}~ 2D参数优化–设计1
C(n_*8{ O% 8>siU
kL"Y>@H NIG*
}[}P 2D参数优化–设计2
v;(k7
>
1=].
vngn^2 t**MthnW 制造
公差分析–设计2
('+C $ cH6J:0>W
~cSE 9ul H3+P;2{ 变化光栅周期的3D参数优化
w d6+,B oB+Ek~{z]
|%@pjJ`3 DDe`Lb%% 制造公差分析
5=Il2 ~:99
)AOM
oj[<{/,C9 fvRqt)Ks 走进VirtualLab Fusion
a1z*Z/!5 ''}2JJU{
,6aF~p;wI| yC[Q-P *rG VirtualLab Fusion中的工作流程
Va^(cnwa lT_dzO
/%TL{k&m$ Qp +M5_ •构造光栅
结构 PV-B<Y −
通过使用界面来配置光栅结构 Esf\Bo" [用例]
n&8SB'-r •分析光栅衍射效率
W8M(@*
T −
光栅级次分析器[用例]
f=-R<l •使用参数运行搜索初始解决方案
AE=E"l1] −
参数运行文档的使用[用例]
=lL)g"xX •通过参数优化找到最终设计
ohi0_mBz V0xO:7G^ VirtualLab Fusion技术
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