摘要
Ok
O;V6` 3LX<&."z 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
'&s:,o-p 2rD`]neA ZYkeW 30[?XVI& 建模任务
>*Y~I0> Dth<hS,2J RI cA)I. 光栅特性与参数的严格分析
ae#7*B `@=}5 9+| 不同光栅周期下的衍射效率
[ nYwJ _.wLQL~y O/l|\n j s7J#b7 关于光栅周期选择的考虑
lty`7(\ ^K&&O{ ZK_IK)g U3%!#E{ 偏振相关的衍射特性
uVOOw&q_ [4(TG<I Uj6R?E{Jt _<kE32Bb >iWl-hI- sStaTR{ AUxLch+"5K 3}n=o d= 通过参数优化进行光栅设计
*1}9`$ Bn47O~ 固定周期的2D参数优化
0XL
x@FYn (a]'}c$X9` >MS}7Hk\ 2D参数优化–设计1
b*r1Jn"h I+8m1* QQ1+uY 56&s' 2D参数优化–设计2
yIqsZJj <hQ@]2w$ 7f[nNng g8!!:fdu 制造
公差分析–设计2
Og"50 - *sB=Ys? LDr!d1A JL2IVENWc 变化光栅周期的3D参数优化
$9Y2\'w<h6 8r)eiERv ?i)-K?4Sb IS]0 3_uQ 制造公差分析
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kH1l -mxz c*MjBAq }B^s!y&b SU2(XP]5 VirtualLab Fusion中的工作流程
]Fl+^aLS G-bG}9vc] ^ yH|k@y -!(3fO: •构造光栅
结构 B;hc|v{( −
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m{(D*Vuqd •分析光栅衍射效率
+J_A*B −
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1\kOjF)l •使用参数运行搜索初始解决方案
zZki9P
−
参数运行文档的使用[用例]
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