摘要
9A}nZ1Y ZMch2 U8 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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L(BL_ M'$?Jp#]} 建模任务
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7] 17?s]t, 光栅特性与参数的严格分析
KPa&P:R3 9RY}m7 不同光栅周期下的衍射效率
Y>K3.*. (M%ZSF V
cA`X(Am6]g gR k+KGKn< 关于光栅周期选择的考虑
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&p 偏振相关的衍射特性
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1Gk'f?dw .p\<niu7 通过参数优化进行光栅设计
;5=5HYx% :4S~}}N 固定周期的2D参数优化
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U\;mM\2rE 2D参数优化–设计1
q6V\n:hKV OyTp^W`&
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7 2D参数优化–设计2
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k0-,qM#p;X %2rUJaOgy$ 制造
公差分析–设计2
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08;t%[R r`d.Wy Zj 变化光栅周期的3D参数优化
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F$H^W@<w YX6[m6LU 制造公差分析
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FLOSdMYdw ,2^zX]dgM 走进VirtualLab Fusion
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H%`|yUE( G:?l;+P1 VirtualLab Fusion中的工作流程
EyPF'|Qtn j{;IiVHnR
5SmgE2 } @`#"6y? •构造光栅
结构 aT%6d@g −
通过使用界面来配置光栅结构 %%Z|6V74 [用例]
**lT 'D •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
+#0,2wR# •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
9Y-6e0B: •通过参数优化找到最终设计
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