摘要
&[RU.Q!_H t {"iIz_S 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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gd qfu2}qUX~% 建模任务
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_|ib@Xbin 光栅特性与参数的严格分析
9C;Y5E~'L gN(hv.nQ 不同光栅周期下的衍射效率
1RbYPX (OB8vTRXP
]5fM?: <l }yw;L(3 关于光栅周期选择的考虑
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nS/jW XL^N5
F5+_p@!i 1omvE9
%zM 偏振相关的衍射特性
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~C'nBV Ts .Zl{B
kA!(}wRL cl{W]4*$
k!=GNRRZE lmKq xs4 通过参数优化进行光栅设计
L59oh =zeLs0s; 固定周期的2D参数优化
SRN9(LN `?^w
DXW?;|8)O 2D参数优化–设计1
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ghq !9xANSb
Q5nyD/k4c o?K|[gNi 2D参数优化–设计2
O6,"#BX n/oipiYx
=veOVv[Q&/ >B /&V|E 制造
公差分析–设计2
^FM9} t/U, i
`QK'=h[
ASZ5;N4u KV}U{s+U8 变化光栅周期的3D参数优化
b+].Uc hYc{9$
.xkV#ol BrH;(*H)8 制造公差分析
I"32[?0
(; xPMyG);
P^3m:bE] yC0f/O 走进VirtualLab Fusion
{L4>2rF ]~00=nXFM/
j%Z{.>mJ _8b]o~[Z+ VirtualLab Fusion中的工作流程
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x)VIA] `)=A!x y •构造光栅
结构 ?3,64[ −
通过使用界面来配置光栅结构 i\Pr3
7
" [用例]
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--W+= •分析光栅衍射效率
r` `iC5Ii −
光栅级次分析器[用例]
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>&Vq •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
u1)TG"+0 •通过参数优化找到最终设计
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