摘要
gUR]{dq^' S\wW)Pv8 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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ow/57P npDIX 建模任务
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#u5~0,F 光栅特性与参数的严格分析
F=)&98^v$_ f7hXQ|$ 不同光栅周期下的衍射效率
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&48_2Q"{ d"U(`E=H9 关于光栅周期选择的考虑
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_0pO8o-x k]rLjcB 偏振相关的衍射特性
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O!Wd5Y X8<2L2: 通过参数优化进行光栅设计
x3e]d$ p8+/\Ee]B 固定周期的2D参数优化
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[B0K 2D参数优化–设计1
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V: 2D参数优化–设计2
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`BnP[jF cX
A t:m 制造
公差分析–设计2
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&!y]:CC{ {$^SP7qV#> 变化光栅周期的3D参数优化
fw{,bJ(U y~F<9;$=
,vG<*|pn 5]7&IDA]]9 制造公差分析
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C%ytkzG_ ~4)Y#IxL 走进VirtualLab Fusion
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K@@9:T$ G5{Ot>;*% VirtualLab Fusion中的工作流程
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&.*uc|{ 0k?Sq#7q •构造光栅
结构 M^H90GN)X −
通过使用界面来配置光栅结构 wq4nMY:# [用例]
7aQcP •分析光栅衍射效率
p\U*;'hv −
光栅级次分析器[用例]
>;i\v7 •使用参数运行搜索初始解决方案
NygI67 −
参数运行文档的使用[用例]
(L|}` •通过参数优化找到最终设计
d.pp3D9/ *\LyNL( VirtualLab Fusion技术
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