摘要
`-)!4oJ] u= a5Z4 N' 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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1pe eecE wNsAVUjLe 建模任务
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T /iKz 光栅特性与参数的严格分析
;6o p|O h.\V;6ly 不同光栅周期下的衍射效率
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QR'yZ45n4 z[kz[ 关于光栅周期选择的考虑
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aA Hx^X^ .~#<> 偏振相关的衍射特性
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~T;FOB%w ,xA`Fu9^ 通过参数优化进行光栅设计
:r0?[#r?N, l{U-$} 固定周期的2D参数优化
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rUC@Bf 2D参数优化–设计1
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aAY=0rCI- \B _g=K 2D参数优化–设计2
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o!TG8aeb NABwtx>. 制造
公差分析–设计2
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WLr\ l29 xA|72!zk0P 变化光栅周期的3D参数优化
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iN\D`9e eil"1$k 制造公差分析
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Y\!* c=@k L\L/+yNv:G 走进VirtualLab Fusion
NFT&\6!o 'bN\8t\S
s53Pw>f KCR6@{@ VirtualLab Fusion中的工作流程
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:BLD&mb"Y ?3ldHWa •构造光栅
结构 vu^ '+ky −
通过使用界面来配置光栅结构 7hPiPv
[用例]
` <+MR6M •分析光栅衍射效率
)l}Gwd]h −
光栅级次分析器[用例]
D+Osz •使用参数运行搜索初始解决方案
T%kr&XsQX −
参数运行文档的使用[用例]
sqkk4w1#C •通过参数优化找到最终设计
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^J,Zl`N VirtualLab Fusion技术
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