摘要
()Qq7/ 'fZ\uMdTx 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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[S0wwWU |0 $5DlCN 建模任务
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28j/K=0( 光栅特性与参数的严格分析
{uxTgX .]N`]3$= 不同光栅周期下的衍射效率
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\T?6TDZ] p9&gKIO_m 关于光栅周期选择的考虑
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+mYK {D8yqO A} 偏振相关的衍射特性
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YR[I,j cGlpJ)'-{ 通过参数优化进行光栅设计
NTVaz. GtKSA#oYZB 固定周期的2D参数优化
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li0)<("/ 2D参数优化–设计1
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o3:BH@@ N|/gwcKe 2D参数优化–设计2
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Lz!H@)-mr )"_&CYnd 制造
公差分析–设计2
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<`NtTG V`G^Jyj 变化光栅周期的3D参数优化
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Yy,XKIqU SAE'y2B* 制造公差分析
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dJ>tM'G {7`1m!R VirtualLab Fusion中的工作流程
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PGuPw'2;[ @~FJlG(n •构造光栅
结构 . HAFKB; −
通过使用界面来配置光栅结构 /?a9g>G%N [用例]
,l.+$G •分析光栅衍射效率
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光栅级次分析器[用例]
=L`PP>"rW •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
9t8ccr •通过参数优化找到最终设计
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