摘要
]YP?bP,: tp<V OUa 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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^U}0D^jDeE pQNFH)=nw 建模任务
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^|C|=q~: 光栅特性与参数的严格分析
7,TWCVap _ LNPB$P 不同光栅周期下的衍射效率
N6;Z\\&0^q 7o. 'F
}H=OVbQor "> 3@<f> 关于光栅周期选择的考虑
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AX+d? M >9`ep7 偏振相关的衍射特性
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p( *3U[1 {O)&5
M-N2>i# !Yu-a!
1 1CJT $8k_M 通过参数优化进行光栅设计
l{9h8]^
#Uh 5tc 固定周期的2D参数优化
SWpUVZyd ?LI9F7n
dn_OfK 2D参数优化–设计1
e-9unnk G:`Jrh
M%xL K7 8F` 2D参数优化–设计2
.5;LL,S- Ky#B'Bh}`g
Yj6p19 E]U0CwFtr 制造
公差分析–设计2
PU5mz.&0' CDj Dhs
4rG 7\ nM-SDVFM 变化光栅周期的3D参数优化
k &iDJt mthl?,I|
UUu-(H-J x9l0UD*+g 制造公差分析
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?K {1S siYRRr 走进VirtualLab Fusion
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Fx5d@WNa> Cfo 8gX* VirtualLab Fusion中的工作流程
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x9"4vp ;+34g6 •构造光栅
结构 86fK=G:> −
通过使用界面来配置光栅结构 (%y c5+f! [用例]
`(/saq* •分析光栅衍射效率
qlITQKGG −
光栅级次分析器[用例]
AAq=,=:R< •使用参数运行搜索初始解决方案
rw[ {@|)'z −
参数运行文档的使用[用例]
V<ApHb •通过参数优化找到最终设计
:dIQV(iW .#55u+d, VirtualLab Fusion技术
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\ 文件信息
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