摘要
9e.v[K~ C/
VHzV%q 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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8 # BR\ [g`4$_9S 建模任务
Gv]94$'J9 )Pubur %,
$ r-rIW5\ 光栅特性与参数的严格分析
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v}q_j E3{kH
7_'\ 不同光栅周期下的衍射效率
[T9]q8" _s<BXj
K}N~KDW R| fg,vTpBk 关于光栅周期选择的考虑
_J2?B?S/j ^N^s|c'
fHwS12SB @:Ft+*2 偏振相关的衍射特性
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f fI=Bt]t CX2qtI8N?
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(QojIdHt ,c`Wmp^AY 通过参数优化进行光栅设计
Jw;G_dQ[ .i )n1 固定周期的2D参数优化
ZmkH55Cn rmC7!^/
xEq? [M 2D参数优化–设计1
,dosF Q =b"{*Heuw
7/KK}\NE *Jt+-ZM 2D参数优化–设计2
f6\4,() pI.8Ip_r
fGA#0/_` t+pA9^$[` 制造
公差分析–设计2
tCRsaDK> 5zZQt+Ip
C]3:&dx9 T#:b 变化光栅周期的3D参数优化
` PeC,bp a-nn[j
BW3Q03SW6 .h/2-pQ> 制造公差分析
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<Voct y,OG9iD:h 走进VirtualLab Fusion
S{)K_x uvR l`"Y
P;K3T![ l+wfP76w VirtualLab Fusion中的工作流程
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d- >o3R~ [ •构造光栅
结构 OwNo$b]h` −
通过使用界面来配置光栅结构 f;OB"p [用例]
tv~Y5e&8 •分析光栅衍射效率
rR/{Yx4 −
光栅级次分析器[用例]
n{{"+;oR •使用参数运行搜索初始解决方案
CGb4C(%-7 −
参数运行文档的使用[用例]
bVa?yWb. •通过参数优化找到最终设计
MXDCOe~07 1*6xFn VirtualLab Fusion技术
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pp{p4Z R>5Xv%R 文件信息
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