摘要
_1hiNh$ n|M~C\* 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
=-m"y~{>3 M}S1Zz%Ii1
,O'#7Dj C]bre^q 建模任务
y!kU0 m+a\NXWR?N
( Ev=kO 光栅特性与参数的严格分析
b)(rlX &*nq.l76X` 不同光栅周期下的衍射效率
Dga;GYx <Crbc$!OeX
KB$SB25m 0zHMtC1, 关于光栅周期选择的考虑
i>aIuQ`pe
`mE>h4
G(fS__z s$wIL//= 偏振相关的衍射特性
NRI@M5 JGRL&MG4
; "K"S[ +td]g9Ie
iRIO~XVo b$JrLZs$_
8JFvz(SK> sd,KB+) 通过参数优化进行光栅设计
#WlTE& Klj -dz 固定周期的2D参数优化
Py~1xf/ Jmml2?V-c
~#];&WE 2D参数优化–设计1
oO4hBM([ /7fD;H^*
(Zz8 ldO 3Ow bU 2D参数优化–设计2
@9e}kiW 5XzN%<_h9
[lz#+~rOS Wi+}qO 制造
公差分析–设计2
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V]5MIiNl $}8@?>-w 变化光栅周期的3D参数优化
yBl9 a-2A %5ovW<E:
rX}FhBl5 $z[@DB[ 制造公差分析
5rH?FQE ]RxJ^'a63
ey@{Ng# ]R*h3U@5#K 走进VirtualLab Fusion
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%6AjyN ^ u:bgwP VirtualLab Fusion中的工作流程
:SD#>eD0 FI"KJk'
\k9]c3V M)"'Q6ck= •构造光栅
结构 W
P9PX −
通过使用界面来配置光栅结构 u10;qYfL8o [用例]
HV=P!v6 •分析光栅衍射效率
7DPxz'7): −
光栅级次分析器[用例]
q|sT4}
= •使用参数运行搜索初始解决方案
JLak>MS −
参数运行文档的使用[用例]
A=+1PgL66 •通过参数优化找到最终设计
)W/_2Q. Y~k,AJ{ ^ VirtualLab Fusion技术
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