摘要
37xxVbik ]aNnY?qW5 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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y6}):| 建模任务
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5>)jNtZ 光栅特性与参数的严格分析
7h1gU NrcCUZ .:N 不同光栅周期下的衍射效率
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OU@x1G{Cy s.' \&B[ 关于光栅周期选择的考虑
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zF&UdS3 *GP_ut% 偏振相关的衍射特性
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~+C?][T V(LFH9.Mp 通过参数优化进行光栅设计
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固定周期的2D参数优化
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?3TV:fx"X 2D参数优化–设计1
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7CM03R[P E5G"QnxR>N 2D参数优化–设计2
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1xAFu+ 3n(gfQo-o 制造
公差分析–设计2
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8vo ) Zo_6% 变化光栅周期的3D参数优化
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8sIA;r%S \K~fRUo]=c 制造公差分析
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dyiEK)$h s%[GQQ-N 走进VirtualLab Fusion
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dP7Vsa+ 92]ZiL?k VirtualLab Fusion中的工作流程
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|W*@}D |F@xwfgb •构造光栅
结构 PuZs5J3 −
通过使用界面来配置光栅结构 UlNfI}#X [用例]
M'zS7=F!: •分析光栅衍射效率
^M"z1B] −
光栅级次分析器[用例]
6w"( y~c1 •使用参数运行搜索初始解决方案
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参数运行文档的使用[用例]
HXfXb^~ •通过参数优化找到最终设计
BBR"HMa4 (s$u_aq77 VirtualLab Fusion技术
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