摘要
$5r,Q{;$ =*Xf(mh c 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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MVdx5,t #Au&2_O 建模任务
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ay4xOwcR 光栅特性与参数的严格分析
f,>i%. ?xZmm%JF 不同光栅周期下的衍射效率
4#q JX)/ G65N:
Gu).*cU s_!Z+D$K 关于光栅周期选择的考虑
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KT71%?P (K6StNtN 偏振相关的衍射特性
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w>_EM&r6~u u0b-JJ7)BQ
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j:3Hm0W3 z_@zMLs 通过参数优化进行光栅设计
=osw3"ng wtS*w 固定周期的2D参数优化
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(t$/G3E 2D参数优化–设计1
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P'9io!Z-s 98'XSL| 2D参数优化–设计2
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|:x"L XF$]KAL0 制造
公差分析–设计2
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q.Z#7~6`3 a' o8n6i 变化光栅周期的3D参数优化
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os^SD&hL +N:6wZ7<f 制造公差分析
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wg0.i?R-] !&p:=}s 走进VirtualLab Fusion
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./ y[<e 4 ~YQ\4h= VirtualLab Fusion中的工作流程
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i}F;fWZ` lY9M<8g •构造光栅
结构 wf<`J/7u −
通过使用界面来配置光栅结构 fUKdC\WL [用例]
8;f<q u|w •分析光栅衍射效率
IYg3ve`x −
光栅级次分析器[用例]
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•使用参数运行搜索初始解决方案
RdvTtXg −
参数运行文档的使用[用例]
ur,"K'w •通过参数优化找到最终设计
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)X!DCL:16 VirtualLab Fusion技术
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文件信息
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