消色差透镜设计及公差分析
参考Donald Dilworth《Lens Design Automatic and quasi-autonomous computational methods and techniques》书第十二、十三章
.00=U;H%` [Cqqjv;_ 首先,消色差透镜的初始结构设计代码如下: 7b,,%rUd
RLE !读取镜头文件 |zq!CLjD@
ID F10 APO !镜头标识 asN
}
WAVL 0.65 0.55 0.45 !定义三个波长,按照长波到短波顺序排列 ` u\z!x'
APS 3 !光阑面为表面3,程序会执行一个光瞳来重新计算YP1和XP1,而忽略输入的YP1和XP1值。 !u{"] T:
UNITS INCH !透镜单位为英寸 \41)0,sEy
OBB 0 0.5 2 -0.01194 0 0 2 !物体类型为OBB,0-入射边缘光线角度(针对无限远物),0.5-半视场角,2-半孔径,-0.01194-表面1上主光线高度,负号是指光线在图像下端;后面三个参数表示光线在X-Z平面的相应值
0 AIR !物面处于空气中
Q!Ow{(| 1 RAD -300.4494760791975 TH 0.58187611 !表面1的半径,厚度
Z3So|M{v 1 N1 1.60978880 N2 1.61494395 N3 1.62386887 !
玻璃类型为N-SK4的三个波长折射率被精确指定
AY'?Xt 1 GTB S 'N-SK4 ' !表面1玻璃类型为N-SK4
NTXL>Q*e 2 RAD -7.4819193194388 TH 0.31629961 AIR !表面2在空气中的半径,厚度
O+p-1 C$\ 2 AIR !表面2处于空气中
eSX[J6 3 RAD -6.8555018049530 TH 0.26355283 !表面3的半径,厚度
rgdQR^!l6 3 N1 1.60953772 N2 1.61628830 N3 1.62823445 !玻璃类型为N-KZFS4的三个波长折射率被精确指出
E<CxKY9 3 GTB S 'N-KZFS4' !表面3玻璃类型为N-KZFS4
L\m !8o4 4 RAD 5.5272935517214 TH 0.04305983 AIR !表面4在空气中的半径,厚度
TDFO9%2c 4 AIR !表面4处于空气中
Bd9hf`%2 5 RAD 5.6098999521052 TH 0.53300999 !表面5的半径,厚度
fj-pNl6Gf 5 N1 1.66610392 N2 1.67304720 N3 1.68543133 !玻璃类型为N-BAF10的三个波长折射率被精确指出
?QSx8d 5 GTB S 'N-BAF10' !表面5玻璃类型为N-BAF10
4m~7 ~- h 6 RAD -27.9819596092866 TH 39.24611007 AIR !表面6在空气中的半径,厚度
Z1$];Q\cX 6 AIR !表面6处于空气中
Wx?&igh 6 CV -0.03573731 !表面6的曲率
'uf2
nUo 6 UMC -0.05000000 !UMC求解表面6的曲率,并给出相对于光轴的近轴轴向边缘光线角U的规定值。U的正切值为1/(2*FNUM)=0.05,负号表示边缘光线在图像下端。
6 TH 39.24611007 !表面6的厚度
"bR'Bt 6 YMT 0.0000000 !YMT求解在表面7上指定的轴向边缘光线高度为0时所对应的厚度
Sm$j:xw< 7 RAD -11.2104527948015 TH 0.00000000 AIR !表面7(像面)的半径,厚度
:#w+?LA* END !以END结束
3Wb2p'V7$? *$Lz2 ] i=1 }lkq 运行上述代码后,点击图标
打开PAD二维图,得到消色差透镜的初始结构,如图1所示:
PM-PP8h
XK%W^a*x 图1 消色差透镜的初始设计
EARfbb"SG7 点击PAD图中的图标
,打开玻璃表,已经选中玻璃库Schott,这是我们先前指定的玻璃库,点击OK,得到显示Nd和Vd的玻璃图,如下图: ~+<xFi
Z?(4%U5z 绿色圆圈旁边的数字表示目前三片式透镜表面1、表面3、表面5,即被定义了玻璃类型的表面。
*hZ~i{c,7 而我们关心的是色散特性。所以需单击‘Graph’按钮,然后单击‘Plot P(F,e)vs.Ve’,再点击‘OK’。
S*CLt
'EL || 得到玻璃的色散图如下:
"VDk1YX_&l
'l'
X^LMD 现在,我们查看表面1的玻璃
材料的性能。具体操作:单击数字1的绿色圆圈,然后单击‘Properties’按钮。最后表面1的玻璃材料N-SK4的性能如下:
+#*&XX5A#?
'Gl;Ir^ 图中显示,N-SK4的酸度(Acid)等级为5,湿度等级(Humidity)为3;此玻璃暴露在空气中的性能不稳定。因此,需要更换一种玻璃材料。
3|~(?4aE 如何选取更换材料?首先我们单击'Graph'按钮,选择‘Acid Sensitivity ’,点击‘OK’,得到下图,图中玻璃位置处的红色垂线表示酸敏感度,垂线越长,玻璃越不耐用。
EItxRHV5 b~/Wnp5
K=tx5{V 3V/_I<y 从图中,我们发现N-BAK2根本没有线,可以选取其作为更换材料。
nOoKGT }$|%/Y 于是,单击N-BAK2符号,名称出现在右侧窗口时,在‘Surface’中填写‘1’,然后点击'Apply',这样就为表面1分配了玻璃类型N-BAK2。
..jq[(;N
U_x0KIm |.b%rVu 另外,N-BAK2的特性如下,其酸碱度等级为1,湿度等级为2,而且价格也比N-SK4低:
>oft :7p
M'cJ)-G a9#W9eP 现在PAD图中的透镜
像差非常差,这是因为表面1更换玻璃N-BAK2后,还未进行
优化,如图2所示:
-l-AToO4 FNz84qVIx'
bbd0ocva m!#_CQ: 图2更换玻璃N-BAK2后的消色差透镜
<\, &:< 接下来,运行下面代码对透镜进行优化,代码如下:
rD0k%-{{ PANT !参数输入
@Pxw hlxa VLIST RAD 1 2 3 4 5 7 !改变表面1、表面2、表面3、表面4、表面5以及表面7的半径
:v#k&Uh3y VLIST TH 2 4 !改变表面2和表面4的厚度
#04{(G|~+E END !以END结束
"?i>p z 0=OD?48< AANT !像差输入
o-SRSu AEC !自动控制玻璃元件和空气间隙的边缘羽化,防止边缘厚度太薄
Y*Y&)k6t ACC !自动控制玻璃元件的中心厚度,防止中心厚度太厚
'rS'B.D GSO 0 1 4 M 0 0 !校正0视场弧矢面中产生的光线网格OPD像差;0-孔径权重占比,1-权重,4-光线数,M-多色,0-Y视场,0-X视场;
)UR1E?' GNO 0 .2 3 M .75 0 !校正0.75视场光线网格OPD像差
PqT"jOF]n GNO 0 .1 3 M 1.0 0 !校正全视场光线网格OPD像差
QjQ4Z'.r > END !以END结束
+ jp|Y?6Z %S{o5txo SNAP !设置PAD更新频率,每迭代一次PAD更新一次
sL)Rg(rkx SYNO 30 !迭代次数30次
^pJ0nY#c 优化后的消色差镜头结构,如图3所示。由图可知,此透镜的校正的光程差优于1/4波长。并保存镜头文件,命名为'C12L2.RLE'。
xe(MHNrj =MMCf0
图3 通光更换玻璃后重新优化的消色差透镜
myD{sE2A 接着,我们查看离焦在新设计中随波长的变化,如下图。运行以下代码:
-&trk CHG !改变镜头
4$%`Qh>yA NOP !移除所有在透镜上的拾取和求解
ewo*7j4* END !以END结束
"YuZ fL`bb PLOT DELF FOR WAVL = .45 TO .65 !绘制离焦在波长0.45um~0.65um范围内的变化
De;, =BSp "\`>2
+jcdf} N%O[ 离焦随波长变化的数据分析,分析表明在设计波长范围内的离焦大约为0.0026英寸。
R @"`~#$$
<E"*)Oi 0HjJaML 透镜具有完美的艾里斑,通过图像工具(MIT)计算,并且为透镜分配了十个波长,在中心产生良好的白色,并具体相干效果。如下图。
.SG0}8gW
f](I.lm: YjFWC!Qj$ 现在,我们计算消色差透镜的公差。首先移除表面6上的曲率求解。代码如下:
=Wj{]&` CHG
{n\6BTs 6 NCOP !移除表面6的曲率求解
h:f;mn?x END
bpGzTU NvcHv7, 然后,在CW命令窗口输入MSB,进行BTOL设置,如图:
6!Qknk$
H]BAW *} w.tW=z5 其中,数字2-设置统计可信水平为2个sigma,则在一大批透镜中应有99.53%透镜的像质等于或优于要求。
Pow|:Lau! 在CW中看到预期的结果如下图。图中表明轴上像质将会有0.05的变动。
7O:"~L :H{Bb{B% 预测的公差如图所示。由图可知,透镜1和透镜2之间的空气间隔公差为0.00157英寸。透镜2和透镜3之间的空气间隔公差为0.000426英寸。
$> ;a'f~ 透镜2的V-number的公差为0.05359。同时该透镜保持0.00024的共轴性。
EVG"._I@ 9-b 8`|s .M8=^,h^K 现在呢,公差太小,没有办法按照预估公差来制造透镜。所以怎样将公差放大呢?
`\wUkmH 在CW中输入THIRD SENS:
N. jA 8X Z^<Sj5}6 &T7cH>E'K^ R+s1[Z SAT的值为8.363,即每个表面对球差SA3贡献的平方和为8.363。接下来,通光减小SAT值,来降低公差灵敏度,放大公差。
WI6(#8^p M=W
4:H,gx 优化宏代码如下:
Oohq9f#! PANT
{f-XyF1` VLIST RAD 1 2 3 4 5 7
wajZqC2yg VLIST TH 2 4
p(.N(c END
(oF-O{ AANT
{(%~i37 AEC
# J]~ ACC
$}db /hY* M 4 1 A SAT !SAT的目标值为4,权重为1;
dKb ^x^ GSO 0 1 5 M 0 0
r( M[8@Nz GNO 0 .2 4 M .75 0
+ZX.1[O GNO 0 .1 4 M 1.0 0
TQ?#PRB END
KYf;_C,$ SNAP
@O'I)(To SYNO 30
ZEqE$: 9l#gMFknI s047"Q 优化后的透镜结果,如图4所示:
@*SA$9/l l:)S 3 zXjwnep 图4 减小SAT值,优化后的消色差透镜
7u|%^Ao6 "ct58Y@ 现在的THIRD SENS为:
-n-Z/5~ X ;7L ; 接下来,我们通过编辑BTOL宏来计算公差。
k&!6fZ) S_$nCyaH2 新BTOL宏代码如下:
u(AA`S" CHG
xdqK.Z% NOP
QAi1,+y]7w END
Iqx84 FD))'!> BTOL 2 !设置置信区间
ncj!KyU >C*4_J7 EXACT INDEX 1 3 5 !表面1,表面3和表面5的折射率是精确的
^\T]r<rCY EXACT VNO 1 3 5 !表面1,表面3和表面5的V-number是精确的
B2Z0 6`Lcs TPR ALL ! 假定所有表面与
光学样板匹配
??j&i6sp TOL WAVE 0.1 !最大波前变化值为0.1
WI{ ;#A ADJUST 6 TH 100 100 !调整表面6的厚度,第一个数字100是指一组移动的表面数目;第二个
8RU.}PD 数字100是指允许的最大调整值;
#n#HzbT i&*<lff PREPARE MC !自动准备一个调整文件,以便后续的MC运行需使用该文件来检查统计信息
?^. Pt [1U{ci&=p GO !BTOL输入文件的最后输入,并执行程序
yuv4* STORE 4 !透镜结果储存在透镜库的位置4
m
&!XA 运行BTOL宏之后,公差稍微宽松一点,如下图:
'gCZ'edM `
jyKCm.$# 接着,运行MC程序来检查透镜情况。在CW中输入:SYNOPSYS AI> MC 50 4 QUIET -1 ALL 5;此命令将会测试一批储存在透镜库4中的50片透镜,按照上述预计公差来制作透镜,然后监控比较这一批透镜的统计数据,将最坏的透镜情况保存在透镜库位置5。
sjn:O' ?9Ma^C;} 在CW窗口输入:MC PLOT,得到MC直方图:
vzG ABP
ly=a>}F_ #"<?_fao~ 现在测试最坏的透镜。点击

,在CW中输入GET 5,即将MC最坏的透镜放在ACON2中,如图5所示。
MOeoU1Hn
{!r#f(?uT S eOy7 图5 MC最差透镜情况。必须制造调整。
7DZTQUb" 于是,对保存在透镜库4的透镜进行制造调整。使用FAMC指令(FAMC是制造调整MC)分析统计数据。代码如下:
JRo;(wqZ FAMC 50 4 QUIET -1 ALL 5 !测试透镜库4中的50片透镜,按照预计公差来制作透镜,然后监控对比所有透镜质量,将最坏透镜结果保存在透镜库5
q~M2:SN@X PASSES 20 !对第一阶段(PHASE 1)优化的迭代次数
F 3s?&T)[G FAORDER 5 3 1 !透镜制造序列,按难度排序,最复杂的透镜放首位
>:$"a }jiK3?e PHASE 1 !第一阶段,优化透镜参数
j_V/GnEQ PANT
&oEyixe VLIST RAD 1 2 3 4 5 6
TL'0T,Jo VLIST TH 2 4 6
QXY}STs END
OpUA{P ^)<