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    [原创]SYNOPSYS代码详解-消色差透镜设计及公差分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2020-02-20
    消色差透镜设计及公差分析
    参考Donald Dilworth《Lens Design Automatic and quasi-autonomous computational methods and techniques》书第十二、十三章
    0);5cbV7i  
    ^n~Kr1}nj  
    首先,消色差透镜的初始结构设计代码如下: 31^/9lb  
    RLE                                                     !读取镜头文件 K3:z5j.X  
    ID F10 APO                                        !镜头标识 oO[eer_S-  
    WAVL 0.65 0.55 0.45                         !定义三个波长,按照长波到短波顺序排列 tBzE(vW  
    APS 3           !光阑面为表面3,程序会执行一个光瞳来重新计算YP1和XP1,而忽略输入的YP1和XP1值。 *sp")h#Z  
    UNITS INCH                                      !透镜单位为英寸 ~H\P0G5GA  
    OBB 0 0.5 2 -0.01194 0 0 2     !物体类型为OBB,0-入射边缘光线角度(针对无限远物),0.5-半视场角,2-半孔径,-0.01194-表面1上主光线高度,负号是指光线在图像下端;后面三个参数表示光线在X-Z平面的相应值
    0 AIR                                                                        !物面处于空气中 n5 ~Dxk  
    1 RAD -300.4494760791975   TH      0.58187611  !表面1的半径,厚度 FYik}wH]  
    1 N1 1.60978880 N2 1.61494395 N3 1.62386887  !玻璃类型为N-SK4的三个波长折射率被精确指定 5u9lKno  
    1 GTB S    'N-SK4 '                                                  !表面1玻璃类型为N-SK4 ph b ;D  
    2 RAD     -7.4819193194388   TH      0.31629961 AIR   !表面2在空气中的半径,厚度 1 M!4hM Q  
    2 AIR                                                                                 !表面2处于空气中 4IZAJqw(*  
    3 RAD     -6.8555018049530   TH      0.26355283           !表面3的半径,厚度 h/C{  
    3 N1 1.60953772 N2 1.61628830 N3 1.62823445         !玻璃类型为N-KZFS4的三个波长折射率被精确指出 [MAPa  
    3 GTB S    'N-KZFS4'                                                     !表面3玻璃类型为N-KZFS4 A ,0}bFK  
    4 RAD      5.5272935517214   TH      0.04305983 AIR    !表面4在空气中的半径,厚度 th*!EFA^o  
    4 AIR                                                                                  !表面4处于空气中 -T+YMAFU_  
    5 RAD      5.6098999521052   TH      0.53300999   !表面5的半径,厚度 :fRta[  
    5 N1 1.66610392 N2 1.67304720 N3 1.68543133   !玻璃类型为N-BAF10的三个波长折射率被精确指出 k"[AV2UW1  
    5 GTB S    'N-BAF10'                                               !表面5玻璃类型为N-BAF10 ,DHH5sDCn  
    6 RAD    -27.9819596092866  TH     39.24611007 AIR   !表面6在空气中的半径,厚度 5);"()g32  
    6 AIR                                                                                  !表面6处于空气中 g,YF$:e  
    6 CV      -0.03573731                                                         !表面6的曲率 _^{RtP#=  
    6 UMC -0.05000000       !UMC求解表面6的曲率,并给出相对于光轴的近轴轴向边缘光线角U的规定值。U的正切值为1/(2*FNUM)=0.05,负号表示边缘光线在图像下端。
    6 TH     39.24611007      !表面6的厚度 tC1'IE-h  
    6 YMT 0.0000000          !YMT求解在表面7上指定的轴向边缘光线高度为0时所对应的厚度 2va[= >_  
    7 RAD    -11.2104527948015   TH      0.00000000 AIR  !表面7(像面)的半径,厚度 T@vE@D  
    END                                                                                  !以END结束 gF9GU5T:  
    s'tXb=!HO  
    &0* l:uw  
    运行上述代码后,点击图标 打开PAD二维图,得到消色差透镜的初始结构,如图1所示:
    z I9jxwXU  
    nO`[C=|  
    图1 消色差透镜的初始设计
    ql.[Uq  
    点击PAD图中的图标 ,打开玻璃表,已经选中玻璃库Schott,这是我们先前指定的玻璃库,点击OK,得到显示Nd和Vd的玻璃图,如下图: (oiQ5s^f  
    8yI4=P"F,  
    绿色圆圈旁边的数字表示目前三片式透镜表面1、表面3、表面5,即被定义了玻璃类型的表面。 0*P-/)o x  
    而我们关心的是色散特性。所以需单击‘Graph’按钮,然后单击‘Plot P(F,e)vs.Ve’,再点击‘OK’。 s$f9?(,.Ay  
    5<GeAW8ns]  
    得到玻璃的色散图如下: G1X73qoHT<  
    g;R  
    现在,我们查看表面1的玻璃材料的性能。具体操作:单击数字1的绿色圆圈,然后单击‘Properties’按钮。最后表面1的玻璃材料N-SK4的性能如下: OFv-bb*YZ  
    ;gHcDnH)  
    图中显示,N-SK4的酸度(Acid)等级为5,湿度等级(Humidity)为3;此玻璃暴露在空气中的性能不稳定。因此,需要更换一种玻璃材料。 [Ti ' X#  
    如何选取更换材料?首先我们单击'Graph'按钮,选择‘Acid Sensitivity ’,点击‘OK’,得到下图,图中玻璃位置处的红色垂线表示酸敏感度,垂线越长,玻璃越不耐用。 dXn$XGF%R  
    0"@J*e#  
    9gK1Gx:  
    zBI2cB8;P  
    从图中,我们发现N-BAK2根本没有线,可以选取其作为更换材料。 1A;,"8kBd  
    8=f+`e  
    于是,单击N-BAK2符号,名称出现在右侧窗口时,在‘Surface’中填写‘1’,然后点击'Apply',这样就为表面1分配了玻璃类型N-BAK2。 Xq"9TYf$  
    ;gaTSYVe  
    =dKk #*  
    另外,N-BAK2的特性如下,其酸碱度等级为1,湿度等级为2,而且价格也比N-SK4低: H^B,b !5i  
    "7(@I^'t6  
    v8uUv%Hkd  
    现在PAD图中的透镜像差非常差,这是因为表面1更换玻璃N-BAK2后,还未进行优化,如图2所示: &2y9J2aA  
    'Q7t5v@FF  
     k_^ 4NU  
    /HqD4GDoug  
    图2更换玻璃N-BAK2后的消色差透镜 fk2Uxg=[  
    接下来,运行下面代码对透镜进行优化,代码如下: M?gZKdj  
    PANT                                            !参数输入 D][I#v h  
    VLIST RAD 1 2 3 4 5 7                !改变表面1、表面2、表面3、表面4、表面5以及表面7的半径 S:2 xm8 i  
    VLIST TH 2 4                               !改变表面2和表面4的厚度 _Co v>6_i  
    END                                              !以END结束 $WE _aNfja  
    V~.SgbLc  
    AANT                                           !像差输入 (Ze\<Y#cv  
    AEC                                              !自动控制玻璃元件和空气间隙的边缘羽化,防止边缘厚度太薄 [m x}n+~  
    ACC                                              !自动控制玻璃元件的中心厚度,防止中心厚度太厚 Iw$T'I+4W  
    GSO 0 1 4 M 0 0  !校正0视场弧矢面中产生的光线网格OPD像差;0-孔径权重占比,1-权重,4-光线数,M-多色,0-Y视场,0-X视场; Sxy3cv53  
    GNO 0 .2 3 M .75 0  !校正0.75视场光线网格OPD像差 yYaYuf  
    GNO 0 .1 3 M 1.0 0  !校正全视场光线网格OPD像差 e \kR/<L  
    END                          !以END结束 oe9S$C;$'  
    z&qOu8Jh  
    SNAP                        !设置PAD更新频率,每迭代一次PAD更新一次 H?ue!5R#L  
    SYNO 30                  !迭代次数30次 oqK: 5|  
    优化后的消色差镜头结构,如图3所示。由图可知,此透镜的校正的光程差优于1/4波长。并保存镜头文件,命名为'C12L2.RLE'。 4^6Oh#p0  
    RzB64  
    图3 通光更换玻璃后重新优化的消色差透镜
    ,:81DA  
    接着,我们查看离焦在新设计中随波长的变化,如下图。运行以下代码: )B @&q.2B=  
    CHG                    !改变镜头 2<2a3'pG  
    NOP                     !移除所有在透镜上的拾取和求解 4g.S!-H@R  
    END                     !以END结束 5(\[Gke  
    PLOT DELF FOR WAVL = .45 TO .65  !绘制离焦在波长0.45um~0.65um范围内的变化 i-k(/Y0  
    k'[\r>T  
    M9yqJPS}B  
    !VfVpi+-  
    离焦随波长变化的数据分析,分析表明在设计波长范围内的离焦大约为0.0026英寸。 p7*7V.>X  
    d7kv <YG  
    brn>FFAwO  
    透镜具有完美的艾里斑,通过图像工具(MIT)计算,并且为透镜分配了十个波长,在中心产生良好的白色,并具体相干效果。如下图。 a}Jy o!.  
    3 }rx(  
    giN(wPgYP  
    现在,我们计算消色差透镜的公差。首先移除表面6上的曲率求解。代码如下: 5kv]k?   
    CHG $- Z/UHT  
    6 NCOP          !移除表面6的曲率求解 mL, {ZL ^  
    END M?$tHA~OX  
    Dt]FmU  
    然后,在CW命令窗口输入MSB,进行BTOL设置,如图: Y}x_ud,  
    I|mxyyf  
    61TL]S8  
    其中,数字2-设置统计可信水平为2个sigma,则在一大批透镜中应有99.53%透镜的像质等于或优于要求。 y2C/DyuAY|  
    在CW中看到预期的结果如下图。图中表明轴上像质将会有0.05的变动。 1T3YFt@&I  
    y+VR D  
    预测的公差如图所示。由图可知,透镜1和透镜2之间的空气间隔公差为0.00157英寸。透镜2和透镜3之间的空气间隔公差为0.000426英寸。 Rk{2ZUeg  
    透镜2的V-number的公差为0.05359。同时该透镜保持0.00024的共轴性。 ><@& &u.  
    Y9(BxDP_+Y  
    lzZ=!dG  
    现在呢,公差太小,没有办法按照预估公差来制造透镜。所以怎样将公差放大呢? #+3I$ k  
    在CW中输入THIRD SENS: SR\$fmo  
    U09@pne8  
    9**u\H)P6  
    vf_pEkx*wD  
    SAT的值为8.363,即每个表面对球差SA3贡献的平方和为8.363。接下来,通光减小SAT值,来降低公差灵敏度,放大公差。 ]JHY(H2|  
    nx4E}8!Lh  
    优化宏代码如下: /^Lo@672  
    PANT -_Iuvw  
    VLIST RAD 1 2 3 4 5 7 5z:/d`P[  
    VLIST TH 2 4 ]jJ4\O`  
    END yz=6 V%  
    AANT 5s2/YG=  
    AEC O/4)aW3B  
    ACC 7otqGE\2  
    M 4 1 A SAT                      !SAT的目标值为4,权重为1; |.U- yyz  
    GSO 0 1 5 M 0 0   SVyJUd_  
    GNO 0 .2 4 M .75 0   j(=zc6m  
    GNO 0 .1 4 M 1.0 0   u]Y NF[]  
    END `?Xt ,  
    SNAP 4=n%<U`Z/  
    SYNO 30 |a[ :L  
    o)6udRzBv  
    `r8bBzr@%  
    优化后的透镜结果,如图4所示: <b;Oap3  
    7llEB*dSA  
    2$%0~Z5  
    图4 减小SAT值,优化后的消色差透镜
    CU(W0D  
    gIXc-=Ut  
    现在的THIRD SENS为: FUTDR-q O  
    / k8;k56  
    接下来,我们通过编辑BTOL宏来计算公差。
    \ 8X8N CM  
    h!>NS ?X7  
    新BTOL宏代码如下: 4&LoE~  
    CHG F1o"H/:n  
    NOP -Qco4>Z8  
    END } "ts  
    \OXKK<^$uK  
    BTOL 2                      !设置置信区间 ed)!Snz   
    pNzGpCk  
    EXACT INDEX 1 3 5    !表面1,表面3和表面5的折射率是精确的 :WnXoL  
    EXACT VNO 1 3 5        !表面1,表面3和表面5的V-number是精确的 C(*)7| m  
    <ByDT$E_  
    TPR ALL                  !  假定所有表面与光学样板匹配                                                             (gv ~Vq  
    TOL WAVE 0.1        !最大波前变化值为0.1 EMejvPnZO  
    ADJUST 6 TH 100 100  !调整表面6的厚度,第一个数字100是指一组移动的表面数目;第二个 #[#dc]D  
                                                 数字100是指允许的最大调整值; 4==Lt Ep  
    =1vVI Twl  
    PREPARE MC         !自动准备一个调整文件,以便后续的MC运行需使用该文件来检查统计信息 k||DcwO  
    0Z{(,GU  
    GO                          !BTOL输入文件的最后输入,并执行程序 $ /(H%f&  
    STORE 4                !透镜结果储存在透镜库的位置4 Qmh*Gh? v  
    运行BTOL宏之后,公差稍微宽松一点,如下图: Rx=pk  
    #0WO~wL  
    接着,运行MC程序来检查透镜情况。在CW中输入:SYNOPSYS AI> MC 50 4 QUIET -1 ALL 5;此命令将会测试一批储存在透镜库4中的50片透镜,按照上述预计公差来制作透镜,然后监控比较这一批透镜的统计数据,将最坏的透镜情况保存在透镜库位置5。 ,Pd2ZfZ  
    D r$N{d  
    在CW窗口输入:MC PLOT,得到MC直方图:
    ^i^S1h"  
    \:?H_^^ d  
    BPd]L=,/  
    现在测试最坏的透镜。点击 ,在CW中输入GET 5,即将MC最坏的透镜放在ACON2中,如图5所示。
    | Y1<P^  
    w,.Hdd6  
    ~qT+sc!t  
    图5 MC最差透镜情况。必须制造调整。
    uL4@e  
    于是,对保存在透镜库4的透镜进行制造调整。使用FAMC指令(FAMC是制造调整MC)分析统计数据。代码如下: m"vV=6m|\  
    FAMC 50 4 QUIET -1 ALL 5  !测试透镜库4中的50片透镜,按照预计公差来制作透镜,然后监控对比所有透镜质量,将最坏透镜结果保存在透镜库5 :r/rByd'  
    PASSES 20           !对第一阶段(PHASE 1)优化的迭代次数 Ic/<jFZXM  
    FAORDER 5 3 1  !透镜制造序列,按难度排序,最复杂的透镜放首位 6dmTv9e  
     U\~[  
    PHASE 1              !第一阶段,优化透镜参数 hTn }AsfLY  
    PANT 9aC>gye!  
    VLIST RAD 1 2 3 4 5 6 #UJ@P Dwil  
    VLIST TH 2 4 6 3-8Vw$u  
    END Yazpfw 7'd  
    }H ,A T  
    AANT 8YN+ \  
    GSO 0 1 5 M 0 9H3#8T] ;  
    GNO 0 1 5 M 1   <STjB,_s  
    END Rb~Kyy$  
    SNAP r/O(EW#=8  
    EVAL   !必须以EAVL结束,第一阶段已经将透镜公差应用于透镜本身,然后依次完成所有透镜制作 9HEc=,D|  
    D_9/|:N:  
    PHASE 2              !第二阶段,只优化不包括在第一阶段中的透镜参数和评价函数 C>;yW7*g"  
    PANT >)pwmIn<  
    VY 3 YDC 2 100 -100   !改变表面3的Y方向偏心,上限为2,下限为100,增量为-100 W#y)ukRv  
    VY 3 XDC 2 100 -100   !改变表面3的X方向偏心 oaBfq8,;  
    VY 5 YDC 2 100 -100 +TAm9eDNV  
    VY 5 XDC 2 100 -100 ]@?3,N  
    VY 6 TH                        !改变表面6的厚度 >k\*NW  
    END s_Dl8O4u  
    AANT C.(ZXU7  
    GNO 0 1 4 M 0 0 0 F Hab9~v ]  
    GNO 0 1 4 M 1 0 0 F   uX0wg  
    END sX_^H%fd  
    SNAP b8v$*{  
    SYNO 30 @,aL'2G  
    Y9w= [[1  
    PHASE 3 !第三阶段;当遇到第三阶段的输入,程序循环整个过程  BW\R  
    d$2{_6  
    运行代码之后,得到带有制造调整的MC的最差透镜情况,如图6所示。 PUYo >eB)0  
    _Wb-&6{  
    " ^eq5?L  
    图6 带有制造调整的MC最差透镜情况。
    zPkg3H  
    再次在CW中输入MC PLOT,得到MC直方图: QX]tD4OH  
    t583Q/1@  
    xZhD6'Zzz  
    $0W0+A$  
    cq9Q7<&MF  
    相应的局部放大轴上视场直方图
    #uXOyiE  
    打开MPL对话框设置后,透镜元件2的ELD绘制出图: D@JHi'F  
    "+ Qh,fTt  
    }> 1h+O  
    打开MPL对话框设置后,点击DWG得到透镜装配图,图中添加了空气间隙,倾斜角,还有偏心公差: Dk"M8_-_  
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    elsaqueen 光币 +1 优秀文章,支持! 2020-02-26
     
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    只看该作者 1楼 发表于: 2022-01-10
    很好的文章
    离线zh_rj
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    只看该作者 2楼 发表于: 2022-01-26
    谢谢楼主分享!!
    离线coollwl
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    只看该作者 3楼 发表于: 2023-05-04
    资料非常不错,必须点赞!